專利名稱：電鍍裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體和電鍍領域，尤其涉及能夠用在集成電路制造廠內的電鍍裝置。
背景技術：
集成電路制造過程通常包括電鍍工藝，電鍍工藝的質量直接影響到最后制成的集成電路的性能，電鍍工藝通常借助電鍍裝置實現(xiàn)。圖1是現(xiàn)有電鍍槽的俯視結構示意圖，圖2是現(xiàn)有電鍍槽的前視圖，所述電鍍槽10 用來容置電鍍溶液11，所述電鍍溶液11通常為藍色的硫酸銅溶液。電鍍時，將放置有晶片 12的隔離銅反應腔13置于電鍍溶液11內，電鍍溶液11通過電鍍溶液擴散膜14擴散進入隔離銅反應腔13，并與晶片12反應，實現(xiàn)晶片12的電鍍。電鍍時電鍍溶液擴散膜14下方容易出現(xiàn)氣泡，這會降低電鍍工藝質量，繼而降低制成的集成電路性能，甚至導致集成電路制造失敗。電鍍溶液11的顏色導致幾乎無法直接觀察到其內是否有氣泡，目前業(yè)內主要通過質量檢測參數(shù)例如hfilm_PA、RS及RS Uniformity等來判斷是否有氣泡產生，如果這些參數(shù)偏離正常值，則表明可能有氣泡產生，然后重新設置電鍍溶液擴散膜14來去除氣泡。 其中hfilenuPA用于檢測薄膜中的微粒，RS用于檢測電阻率。由于影響質量檢測參數(shù)的因素不止氣泡，因此上述判斷是否有氣泡產生的方案存在效率低及時間耗費長等問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明提供了電鍍裝置，以提高氣泡檢測的效率，降低檢測時間。本發(fā)明提供的電鍍裝置包括電鍍槽，還包括顯色輔助裝置，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出一種或多種光線，所述光線能夠照射在電鍍槽內的電鍍溶液及該溶液內的氣泡上， 以使得在所述光線照射后，該溶液的顏色及氣泡的顏色能夠區(qū)別開。可選的，所述溶液的顏色及氣泡的顏色的區(qū)別能夠通過肉眼觀測?？蛇x的，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出白光、紅光及黃光?？蛇x的，所述顯色輔助裝置由白光燈、紅光燈及黃光燈組成?？蛇x的，所述白光燈、紅光燈及黃光燈環(huán)繞于電鍍槽外壁，從電鍍槽底部往上依次為黃光燈、紅光燈及白光燈?？蛇x的，所述白光燈、黃光燈及紅光燈與電鍍槽有間距。可選的，在光線照射后，所述溶液的顏色及氣泡的顏色的區(qū)別能夠通過觀測裝置觀測。本發(fā)明提供的電鍍裝置由于采用了顯色輔助裝置將電鍍溶液的顏色及氣泡的顏色區(qū)別，因此使得檢測人員能夠通過肉眼或者借助觀測裝置觀測到兩者顏色區(qū)別，從而可以直接檢測氣泡是否產生，提高了檢測效率，降低了檢測時間。


圖1 圖2分別為現(xiàn)有電鍍裝置的俯視圖及前視圖；圖3 圖4分別為本發(fā)明實施例提供的電鍍裝置的俯視圖及前視圖。
具體實施例方式圖3是本實施例提供的電鍍裝置俯視結構示意圖，圖4是本實施例提供的電鍍裝置前視結構圖，該電鍍裝置包括電鍍槽31及顯色輔助裝置32，其中電鍍槽31用于放置硫酸銅溶液33，顯色輔助裝置32由三個環(huán)繞于電鍍槽31的燈圈構成，從上至下依次為第一燈圈320、第二燈圈321及第三燈圈322。所述第一燈圈320能發(fā)出白光，第二燈圈321能發(fā)出紅光，第三燈圈322發(fā)出黃光，硫酸銅溶液33本身為藍色，但在紅光及黃光的照射下，硫酸銅溶液33顯示為黑色。如果有氣泡產生，則在第一燈圈320發(fā)出的白光的照射下，氣泡呈白色，其將于顯黑色的硫酸銅溶液33形成鮮明對比，從而很容易通過肉眼檢測到氣泡， 這大大提高了檢測效率并降低檢測時間。顯色輔助裝置32的燈圈可以選擇多種類型的燈圈，例如可以是發(fā)光二極管(LED) 燈圈、鎢絲發(fā)光燈圈或熒光燈圈，也可以是不同類型燈圈的組合。上述實施例中顯色輔助裝置32的燈圈能將電鍍槽31環(huán)繞，實際由于設置燈圈的目的在于發(fā)光使硫酸銅溶液33顯示的顏色變?yōu)楹谏?，并在有氣泡的情況下使得氣泡顯示為白色，以便形成氣泡和硫酸銅溶液33顏色的鮮明區(qū)別，因此所述顯色輔助裝置32也可以采用其它形狀的發(fā)光源發(fā)光，而不必局限于燈圈形式，而且發(fā)光源也可以與電鍍槽31有一定間距，發(fā)光源的發(fā)光方向的也可以是特定方向發(fā)光，只要在肉眼觀測時能保證從其檢測的角度來觀測，能鮮明區(qū)別出氣泡和硫酸銅溶液31即可。實際上還可以采用其它顯色輔助裝置32將氣泡和電鍍溶液例如硫酸銅溶液31的顏色區(qū)別，該區(qū)別通過肉眼難以觀測，不過可以通過紅外眼鏡等觀測裝置實現(xiàn)亦可。顯然，本領域的技術人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求
1.一種電鍍裝置，包括電鍍槽，其特征在于，還包括顯色輔助裝置，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出一種或多種光線，所述光線能夠照射在電鍍槽內的電鍍溶液及該溶液內的氣泡上，以使得在所述光線照射后，該溶液的顏色及氣泡的顏色能夠區(qū)別開。
2.如權利要求1所述的電鍍裝置，其特征在于，所述溶液的顏色及氣泡的顏色的區(qū)別能夠通過肉眼觀測。
3.如權利要求2所述的電鍍裝置，其特征在于，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出白光、紅光及黃光。
4.如權利要求3所述的電鍍裝置，其特征在于，所述顯色輔助裝置由白光燈、紅光燈及黃光燈組成。
5.如權利要求4所述的電鍍裝置，其特征在于，所述白光燈、紅光燈及黃光燈環(huán)繞于電鍍槽外壁，從電鍍槽底部往上依次為黃光燈、紅光燈及白光燈。
6.如權利要求4所述的電鍍裝置，其特征在于，所述白光燈、黃光燈及紅光燈與電鍍槽有間距。
7.如權利要求1所述的電鍍裝置，其特征在于，在光線照射后，所述溶液的顏色及氣泡的顏色的區(qū)別能夠通過觀測裝置觀測。
全文摘要
本發(fā)明提供了電鍍裝置，以提高電鍍溶液內氣泡檢測的效率，降低檢測時間，電鍍裝置包括電鍍槽，還包括顯色輔助裝置，所述顯色輔助裝置能夠發(fā)出一種或多種光線，所述光線能夠照射在電鍍槽內的電鍍溶液及該溶液內的氣泡上，以使得在所述光線照射后，該溶液的顏色及氣泡的顏色能夠區(qū)別開。
文檔編號C25D17/00GK102443835SQ201010508089
公開日2012年5月9日 申請日期2010年10月15日 優(yōu)先權日2010年10月15日
發(fā)明者方文勇, 曾海, 羅燦, 謝誠 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司