專利名稱：真空泵系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空泵系統(tǒng)，該真空泵系統(tǒng)具有多個彼此連接的真空泵。
背景技術(shù)：
這種真空泵系統(tǒng)具有兩個或多個真空泵，所述真空泵通常串聯(lián)地設(shè)置。由此，通常為氣體的待輸送的介質(zhì)由第一泵、由第一泵的進(jìn)氣口吸取，并且通過第一泵的排氣口輸送到后接的第二真空泵。在具有兩個真空泵的系統(tǒng)中，第二真空泵通?？朔h(huán)境壓力進(jìn)行輸送。必要時，可將多個真空泵串聯(lián)或者部分彼此并聯(lián)地設(shè)置，其中，通常將在輸送方向上的最后的真空泵克服環(huán)境壓力地密封。在這種情況下，通常將旋片式真空泵、定片式真空泵、 爪式真空泵、多級羅茨真空泵以及螺旋式真空泵用作為環(huán)境壓力密封的前級真空泵。通常使用羅茨真空泵作為這樣的泵系統(tǒng)的在輸送方向中的第一真空泵，在其進(jìn)氣口處產(chǎn)生最低壓力。已公知的真空泵系統(tǒng)具有支架或者說框架，各個真空泵設(shè)置在所述支架或者框架中。在這種情況下，真空泵例如借助于設(shè)置在泵殼體上的足部裝配在支架上。然后，真空泵的進(jìn)氣口和排氣口通過固定的或者柔性的管或者特殊的配接器彼此連接。在這種情況下， 產(chǎn)生的重力和氣體力主要由支架來承受。在這種泵系統(tǒng)中可行的是，支架借助叉車從下部舉起并且移動，或者在使用起吊耳環(huán)的情況下借助起重機來舉起并且移動。這種具有用于容納各個泵的支架的真空泵系統(tǒng)具有下述優(yōu)點，即各個泵大多可以彼此獨立地更換。然而這種系統(tǒng)的主要缺點是用于支架的結(jié)構(gòu)空間大。此外，支架以及必需的連接元件產(chǎn)生額外的成本。在其他公知的真空泵系統(tǒng)中，兩個真空泵通常直接地彼此連接。在這種情況下，不設(shè)置分開的支架。兩個真空泵的連接通過將第一真空泵的排氣口法蘭直接或者經(jīng)由配接器與第二真空泵的進(jìn)氣口法蘭連接來實現(xiàn)。在運行中出現(xiàn)的重力和氣體力在該實施方式中必須由法蘭承受并且傳遞到泵殼體上。設(shè)置起吊耳環(huán)來運輸真空泵系統(tǒng)通常是不可行的，因為在運輸時會出現(xiàn)很大的法蘭負(fù)荷，并且在這種情況下會存在高損壞風(fēng)險。此外，通過排氣口法蘭或者進(jìn)氣口法蘭的兩個泵的連接具有下述缺點，即法蘭或者配接器必須極其堅實地構(gòu)造并且構(gòu)造有用于螺紋連接的自由空間，以便能夠承受和傳遞相應(yīng)的力及能夠完全地裝配，由此形成額外的成本。此外，兩個彼此連接的真空泵的平面輪廓通常不重合，從而使得一個泵突出于另一個泵的平面輪廓。這導(dǎo)致大的必需結(jié)構(gòu)空間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是，提供一種緊湊的、需要盡可能小的結(jié)構(gòu)空間的真空泵系統(tǒng)。該任務(wù)的解決方案根據(jù)本發(fā)明通過權(quán)利要求1的特征來實現(xiàn)。根據(jù)本發(fā)明的真空泵系統(tǒng)具有至少兩個真空泵。在第一種情況中，第一真空泵的泵排氣口與第二或者沿流動方向后置的真空泵流體地連接。連接通過排氣口法蘭與進(jìn)氣口法蘭的連接來進(jìn)行。在這種情況下，連接優(yōu)選直接地通過法蘭實現(xiàn)。然而，通過管道或者其他中間元件的間接連接也是可行的。根據(jù)本發(fā)明，在兩個泵殼體上，至少三個連接部位為了力傳遞和/或力矩傳遞而機械地彼此連接。在這種情況下，根據(jù)本發(fā)明，連接部位中的至少兩個是與法蘭無關(guān)的。此外可行的是，將第二真空泵的泵進(jìn)氣口與第一真空泵的泵進(jìn)氣口連接。在這種使用情況中，并聯(lián)接通的、同類型的兩個真空泵如此地彼此連接，使得一個泵從另一個泵的吸取區(qū)域中抽吸，從而使得兩個泵在相同的運行條件下運轉(zhuǎn)，其中，在另一泵的自由的吸取法蘭上可以再置放另一個也是其他類型的真空泵。代替直接的法蘭連接，可以將同類型的泵的兩個吸取區(qū)域通過外部的管道來連接。由此在第一優(yōu)選的實施方式中，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，通過兩個彼此連接的法蘭實現(xiàn)第一機械連接，從而使得排氣口法蘭與進(jìn)氣口法蘭的連接構(gòu)造成第一連接部位，通過所述第一連接部位來傳遞出現(xiàn)的力和/或力矩的一部分。然后，根據(jù)本發(fā)明，在兩個泵殼體上設(shè)置至少兩個其他的連接部位。在這種情況下，兩個連接部位優(yōu)選在兩個泵殼體上分別具有連接元件，其中，連接部位的兩個連接元件在優(yōu)選實施方式中彼此對置地設(shè)置。在至少兩個其他的連接部位上同樣進(jìn)行力和/或力矩的傳遞。相對于兩個真空泵的通過泵法蘭進(jìn)行的直接連接，至少兩個連接部位的額外設(shè)置具有下述優(yōu)點，即僅必須由法蘭連接承受力和力矩的一部分。這具有如下優(yōu)點，即法蘭本身可以不那么堅固地構(gòu)成。尤其可行的是，將三個連接部位彼此以盡可能大的距離來設(shè)置，以便實現(xiàn)有利的力分布和/或力矩分布。由此，在特別優(yōu)選的實施方式中，至少兩個連接部位處于法蘭面之外，也就是說在其上兩個法蘭彼此貼靠并且必要時通過螺紋連接或者類似方式彼此連接的這個面之外。連接部位中的至少兩個尤其位于由標(biāo)準(zhǔn)限定的法蘭面之外。在大的法蘭系統(tǒng)中可能足夠的是，還設(shè)置僅一個額外的連接部位，以便這樣實現(xiàn)充分的力分布和力矩分布。特別優(yōu)選的是，通過至少兩個與法蘭無關(guān)的連接部位來承受或者傳遞在運行中產(chǎn)生的力和力矩的至少25%，尤其至少40%。由此可行的是，在彼此連接的泵進(jìn)氣口和泵排氣口處的法蘭不那么堅實地構(gòu)成，進(jìn)而相應(yīng)合算地構(gòu)成。在另一優(yōu)選的實施方式中，設(shè)置至少三個與法蘭無關(guān)的連接部位。這尤其具有下述優(yōu)點，即可以更簡單地構(gòu)成通過進(jìn)氣口法蘭和排氣口法蘭的流體的連接。尤其可行的是， 如此地構(gòu)造法蘭連接，使得所述法蘭連接基本僅用于流體的連接，并且基本不進(jìn)行力傳遞。 這尤其在法蘭連接難于夠到時是有利的。例如可行的是，在該實施方式中，如此地構(gòu)造在泵排氣口和泵進(jìn)氣口之間的法蘭連接，使得僅實現(xiàn)密封功能，并且如果必需則額外地設(shè)置通過對中銷或類似物(例如具有定心環(huán)的殼體密封件)進(jìn)行的定位。這具有如下優(yōu)點，即可以將在兩個真空泵之間的機械連接設(shè)置在更易于夠到的部位處。由此，在該實施方式中，泵排氣口和泵進(jìn)氣口不力鎖合地連接。由其不設(shè)置螺紋連接。特別優(yōu)選的是，連接元件至少部分地構(gòu)造為相應(yīng)的真空泵的殼體壁的凸起的凸出部。這具有如下優(yōu)點，即這種凸出部容易夠到，并且尤其還易于加工。由此尤其以簡單的方式可行的是，加工凸出部的接觸面并且盡可能平坦地構(gòu)成。在這種情況下，兩個彼此對置的連接元件優(yōu)選在連接部位上具有兩個彼此平面平行的接觸面。由此尤其避免通過真空泵系統(tǒng)的裝配而將應(yīng)力引入到各個真空泵的殼體中。在這種情況下特別優(yōu)選的是，將真空泵的至少兩個、優(yōu)選所有的接觸面設(shè)置在一個平面中。優(yōu)選的是，該平面相符于法蘭接觸面，其中，這尤其在如下實施方式中是優(yōu)選的，在這些實施方式中同樣通過法蘭連接進(jìn)行力和力矩的傳遞。在使用三個或者四個連接部位的情況下可能有利的是，如果密封系統(tǒng)允許，那么排氣口法蘭和進(jìn)氣口法蘭的法蘭面保持為相距大約0. 1mm，從而使得法蘭系統(tǒng)絲毫不必承受連接力或者連接力矩。以這種方式可以避免泵殼體由于連接力而變形，進(jìn)而必要時造成降低的用于泵轉(zhuǎn)子的運轉(zhuǎn)間隙。在各個連接部位上，優(yōu)選額外地設(shè)置有保持元件。保持元件例如具有螺栓、夾緊元件或者諸如此類，以便確保真空泵系統(tǒng)的各個真空泵的機械連接。在這種情況下，各個保持元件例如集成到構(gòu)成連接元件的凸出部中。例如，可以如此地構(gòu)成保持部位，使得兩個待連接的真空泵中的一個具有圓柱形的凸出部，在所述凸出部上平放有關(guān)于第二泵殼體側(cè)向向外伸出的、足狀的凸出部。然后可行的是，螺栓設(shè)置為保持元件，所述螺栓穿過上部的泵的足狀的凸出部旋入到下部的泵的圓柱形凸出部中。同樣可行的是，設(shè)置分開的保持元件，其中，在這種情況下例如設(shè)置兩個圓柱形彼此對置的凸出部，所述凸出部彼此貼靠，然而不機械地彼此連接。通過爪式的連接、借助于扣眼的連接或者諸如此類，真空泵的兩個殼體然后可以尤其在外部在其側(cè)壁上彼此連接。在另一優(yōu)選的實施方式中，連接部位的至少一個連接元件如此地構(gòu)造，使得在該連接部位上的兩個連接元件的可相對彼此移動。在這種情況下，兩個連接元件之一尤其構(gòu)造成軌道式的，從而使得該連接部位的第二連接元件可以在軌道式的第一連接元件內(nèi)移動。在這種情況下特別優(yōu)選的是，如此地構(gòu)成兩個連接部位，其中兩個移動方向彼此平行。 這例如具有下述優(yōu)點，即能以簡單的方式補償制造公差并且避免由于裝配而出現(xiàn)應(yīng)力。由此同樣可行的是，將不同尺寸的真空泵彼此連接。由于這種軌道式連接元件的設(shè)置，尤其在狹窄的空間條件下簡便化了裝配和拆卸。在軌道式連接元件的相應(yīng)的設(shè)計中還可以補償兩個泵的不同的熱膨脹。此外可行的是，在連接元件之間為了水平面補償而設(shè)置間隔元件。這尤其是有效的，因為由此可以將不同的泵相互連接，從而可以構(gòu)成模塊系統(tǒng)。在這種情況下，相應(yīng)的間隔元件可以剛性地或者彈性地構(gòu)造。各個連接元件的位置在特別優(yōu)選的實施方式中至少部分如此地選擇，使得將連接元件設(shè)置在泵殼體的側(cè)壁的區(qū)域中和/或者設(shè)置在軸承法蘭的區(qū)域中。這具有下述優(yōu)點， 即到泵殼體中的良好的力導(dǎo)入和/或力矩導(dǎo)入是可能的。由此確保的是，基于導(dǎo)入的力和 /或力矩實現(xiàn)泵殼體的盡可能小的變形。這尤其由于在泵殼體和泵元件如轉(zhuǎn)子之間的非常狹窄的游隙是有利的。在本發(fā)明的另一優(yōu)選實施方式中或者上述實施方式的可能的改進(jìn)方案中，在兩個待連接的真空泵之間設(shè)置有配接器元件。由此可能的是，例如將非常不同的真空泵彼此連接。尤其可行的是，不具有分開的連接元件的真空泵通過排氣口法蘭與另一真空泵連接，所述另一真空泵然后具有多個連接元件。對此，配接器元件優(yōu)選具有至少兩個配接器足部。那么，當(dāng)上部的泵的法蘭為了承受力和/或力矩而足夠地度量時，這種連接是尤其可行的。又如此地加載下部的泵，使得至少兩個與法蘭無關(guān)的連接部位承受或者傳遞在運行中出現(xiàn)的力的至少25 %，尤其至少40 %。具有至少兩個真空泵的真空泵系統(tǒng)的各個上述根據(jù)本發(fā)明的實施方式尤其具有下述優(yōu)點，即通過進(jìn)氣口法蘭的和排氣口法蘭的以及連接部位的位置的相應(yīng)調(diào)整可以實現(xiàn)非常緊湊的真空泵系統(tǒng)。這尤其具有小的結(jié)構(gòu)長度，因為例如可將兩個真空泵中的較小的那個設(shè)置在較大的真空泵的平面輪廓之內(nèi)，從而使得較小的泵不突出于較大的泵。尤其在羅茨泵中可行的是，在軸向上至少在一定界限中自由地選擇排氣口法蘭的位置。由此，相應(yīng)的幾何形狀的匹配進(jìn)而兩個泵相對彼此的位置的優(yōu)化是可能的，以便實現(xiàn)緊湊的真空泵系統(tǒng)。通過連接元件在各個真空泵處的根據(jù)本發(fā)明的設(shè)置尤其可行的是，設(shè)置不同真空泵尤其是前級真空泵和高真空泵的模塊系統(tǒng)。在這種情況下以簡單的方式可行的是，將具有不同功率的不同的泵彼此組合，從而能以簡單的方式實現(xiàn)具有非常不同的功率頻譜的真空泵系統(tǒng)。由此可將系統(tǒng)成本保持得很低。此外，本發(fā)明的不同實施方式具有下述優(yōu)點，即可以實現(xiàn)緊湊的真空泵系統(tǒng)，所述真空泵系統(tǒng)額外地具有高堅固性。此外，可以顯著地簡化裝配。由于優(yōu)選構(gòu)成的模塊系統(tǒng)可以實現(xiàn)高的靈活性，其中，可以實現(xiàn)模塊化的可擴展的模塊系統(tǒng)。此外不言而喻地，可將多于兩個泵相互組合在真空泵系統(tǒng)中。此外，由于有利的力傳遞和/或力矩傳遞，可借助起重機或者地面輸送系統(tǒng)(例如叉車)來運輸整個真空泵系統(tǒng)。


下面，根據(jù)優(yōu)選實施方式參考附圖詳細(xì)闡明本發(fā)明。其中圖1至圖5示出真空泵系統(tǒng)的真空泵的不同實施方式的俯視圖；圖6示出在圖5中的箭頭VI方向上的放大的剖面圖；圖7示出連接部位的優(yōu)選設(shè)計方案的示意俯視圖；圖8示出在圖7中的沿著線VIII的示意剖面圖；圖9和圖10示出連接部位的優(yōu)選設(shè)計方案的示意側(cè)視圖；圖11示出真空泵系統(tǒng)的實施方式的示意側(cè)視圖；圖12示出在圖11中示出的上部的真空泵的底側(cè)的在圖11中的箭頭XII方向上的視圖；圖13示出法蘭連接的實施方式的示意剖面圖；并且圖14示出具有配接器元件的真空泵系統(tǒng)的另一實施方式的示意側(cè)視圖。
具體實施例方式在圖1至圖5中分別非常簡化地示出了真空泵如螺旋式真空泵的俯視圖。將真空泵系統(tǒng)的在圖中沒有示出的第二真空泵置放到相應(yīng)的真空泵殼體的相應(yīng)上側(cè)10上，并且與示出的第一真空泵12連接。在所有在圖1至圖5中示出的真空泵12中，在上側(cè)10上示出包圍進(jìn)氣口開16的進(jìn)氣口法蘭14。在示出的實施例中具有正方形橫截面的進(jìn)氣口法蘭 14不言而喻地也可以構(gòu)造成呈圓形的。進(jìn)氣口法蘭14在示出的實施例中具有四個固定孔 18。通過待與第一泵12連接的、置放在其上的第二泵的在排氣口法蘭處的相對應(yīng)的固定孔，可以通過螺栓進(jìn)行兩個法蘭的機械的連接。此外，在圖1至圖5中示出的真空泵12在側(cè)向上具有排氣口 20。為了構(gòu)成連接部位，在圖1中示出的實施例中設(shè)置有六個構(gòu)造成圓柱形的、從殼體側(cè)10向上延伸的連接元件22。經(jīng)由該圓柱形的、柱狀的連接元件22，可以通過如稍后根據(jù)圖6至圖10闡明的不同的連接可能性進(jìn)行與第二或者上部真空泵的連接。在圖1中示出的實施例中，由此在法蘭14之外設(shè)置有六個與法蘭無關(guān)的連接元件22，用于構(gòu)成直至六個的連接部位。由此，第一泵12與設(shè)置在其上的第二泵的連接可以機械地僅通過連接部位實現(xiàn)。這具有如下優(yōu)點，即沒有或僅微小的力和/或力矩必須通過法蘭14傳遞。由此不必需的是，將法蘭14構(gòu)造得特別堅固或者穩(wěn)定。尤其在較小的真空系統(tǒng)中足夠的是，僅設(shè)置兩個連接元件22 (圖2、。由此，然后通過兩個連接元件22以及通過法蘭14進(jìn)行與設(shè)置在其上的第二真空泵的連接。在另一設(shè)計方案中，設(shè)置三個與法蘭無關(guān)的連接部位22 (圖幻。由此涉及通過三個連接元件22的三點式連接。法蘭14在該實施方式中不必適合用于承受力和/或力矩。在圖1至圖3中示出的實施例中，各個構(gòu)造成圓柱形的連接部位22具有用于容納固定螺栓的螺紋孔M，其中，同樣在該實施例中可以進(jìn)行兩個泵的另一個在下面根據(jù)圖7 至圖10說明的連接。在圖4中示意地示出替選的連接。在該實施例中，不通過連接元件22進(jìn)行連接。 在這種情況下，連接部位22構(gòu)造成圓柱形并且具有平坦的表面沈，在所述表面上例如置放有位于其上的真空泵的相應(yīng)于連接元件22的圓柱形的足狀的元件。由此，連接元件22在該實施方式中僅用作為支座，然而不用于機械固定的連接。機械連接通過分開的保持元件 28實現(xiàn)。在這種情況下，在示出的實施例中，每個連接元件22設(shè)置有一個保持元件28，所述保持元件設(shè)置在泵殼體的外壁30上。在這種情況下是具有呈U形的凹陷部的凸出部，從而可通過螺桿或類似物與設(shè)置在第二真空泵上的相應(yīng)保持元件固定(對此稍后參見圖9)。在另一優(yōu)選的實施方式中(圖幻，設(shè)置軌道式的連接元件32來代替圓柱形的連接元件22。這些連接元件具有橫截面為矩形的軌道33，所述軌道33固定地與下部的泵12的殼體連接。在軌道33上，滑塊37可以在泵殼體的縱向方向39上移動，所述滑塊固定地與上部的泵的殼體連接。此外，為了校正可以設(shè)置側(cè)向的導(dǎo)引部33a。由此，能以簡單的方式相對于下部的泵對準(zhǔn)上部的泵。由此尤其確保沒有應(yīng)力由于裝配而引入到法蘭14中。為了機械地連接兩個泵，在該實施方式中，然后又在下部的泵的以及沒有示出的上部的泵的側(cè)壁30上設(shè)有保持元件觀。真空泵系統(tǒng)的兩個或多個泵的連接可以如下所述根據(jù)圖7至圖10闡明的來實現(xiàn)。在連接部位34的第一實施方式中(圖7、8)，下部的泵12的上側(cè)10設(shè)置有構(gòu)造成圓柱形的連接元件22。上部的泵的殼體36具有側(cè)向的眼狀的凸出部38。該凸出部以其底側(cè)平放在連接元件22的平坦的上側(cè)沈上。此外，上部的泵殼體36的連接元件38具有孔 40，所述孔與下部的連接元件22的螺紋孔M對中心。由此可行的是，通過在圖7中沒有示出的螺栓42 (圖8)進(jìn)行固定。同樣可行的是，通過兩個呈搭板形的連接元件38 (圖9)來實現(xiàn)連接部位34。兩個構(gòu)造成搭板狀的連接元件38在圖9中示出的實施例中不直接彼此貼靠，而是具有設(shè)置在其中的間隔元件44。該間隔元件可以剛性地或者彈性地構(gòu)成，并且同樣也可根據(jù)連接元件的設(shè)計方案去掉。兩個搭板狀的，尤其設(shè)置在泵殼體的外壁上的連接元件38也可以用作為保持元件。由此，如上根據(jù)保持元件觀(圖4和圖幻所說明的那樣，通過保持元件基本上進(jìn)行兩個泵的機械連接。然后，額外地設(shè)置連接元件，兩個泵在這些連接元件上彼此相疊地平放， 然而不進(jìn)行機械的連接。這些連接元件可以例如根據(jù)圖4和圖5中所說明的來構(gòu)造。此外，連接部位34也可以如在圖10中所示地構(gòu)造。在這種情況下，在呈搭板形的連接元件38和圓柱形的連接元件22之間按需設(shè)置間隔元件44，所述連接元件再通過螺栓 42彼此連接。在圖11中示出根據(jù)本發(fā)明的泵系統(tǒng)的實施方式的側(cè)視圖。泵系統(tǒng)具有例如螺旋式真空泵作為下部的第一泵12。將羅茨真空泵設(shè)置為第二或者說上部的泵35。兩個泵12、 35的連接如此地相互調(diào)整，使得真空泵系統(tǒng)盡可能緊湊地構(gòu)成。特別的是，在側(cè)視圖中，上部的泵35在側(cè)向上不突出于下部的泵12。兩個泵12、35的連接在圖11中右側(cè)上通過兩個依次連續(xù)的連接部位34來進(jìn)行。這些連接部位如在圖9和圖10中所示地構(gòu)成，其中，為了高度補償而設(shè)置有間隔元件44。在圖11的左側(cè)上，同樣連續(xù)地設(shè)置兩個其他的連接部位 34，其中，在這種情況下是根據(jù)圖7和圖8構(gòu)造的連接部位。該連接部位不具有間隔元件。由此，在羅茨真空泵35的下視圖中(圖12)可以看見四個連接部位34的四個連接元件38。此外，從該視圖中可看見排氣口法蘭46，所述排氣口法蘭與下部的泵12的進(jìn)氣口法蘭14連接。連接可以通過在相應(yīng)的、為此設(shè)置的孔18處的螺栓實現(xiàn)。然而，因為不是絕對必須通過法蘭46、14進(jìn)行力和/或力矩傳遞，所以也可以利用相應(yīng)的密封元件進(jìn)行純流體的連接。這具有下述優(yōu)點，即不必在也許難于夠到的法蘭14、46上通過螺栓進(jìn)行裝配。作為例子在圖13中示出在兩個法蘭14、46之間的法蘭連接。在這種法蘭連接中在兩個法蘭14、46之間基本不進(jìn)行力和/或力矩的傳遞。涉及到一種在兩個法蘭14、46之間的純流體的連接。對此，在法蘭14中設(shè)置環(huán)形槽48，所述環(huán)形槽包圍下部的泵12的進(jìn)氣口 16。在環(huán)形槽48處設(shè)置有密封元件52，從而實現(xiàn)相對于上部的法蘭46的密封。兩個殼體在連接部位34處通過螺栓42彼此連接并且彼此對準(zhǔn)。對準(zhǔn)還可以通過對中銷(Passstift) 來進(jìn)行。根據(jù)泵系統(tǒng)的另一設(shè)計方案，上部的或者說第二泵56 (圖14)僅通過其排氣口法蘭46與下部的泵12連接。為了實現(xiàn)良好地承受產(chǎn)生的力和/或力矩，不進(jìn)行排氣口法蘭 46與進(jìn)氣口法蘭14的直接連接。而是設(shè)置有配接器元件58。配接器元件如此地構(gòu)造，使得該配接器元件一方面實現(xiàn)在兩個法蘭46、14之間的機械的和流體的連接，并且此外具有至少兩個配接器足部60。由此，示出的實施例的配接器元件58在俯視圖中基本構(gòu)造成呈Y 形的，從而依次連續(xù)地設(shè)置配接器足部60。兩個配接器足部60與下部的泵12的連接元件 22連接，其中，連接可以根據(jù)本發(fā)明如以不同例子說明的那樣進(jìn)行。為了可以將必要時重的上部的真空泵盡可能無力或者無力矩地裝配到下部泵的泵殼體上，特別有利的是，如此地構(gòu)造配接器元件58，使得配接器元件呈X形地通過四個連接部位22來固定，并且下部的泵12的進(jìn)氣口法蘭14保持幾乎無負(fù)荷。不言而喻地，根據(jù)本發(fā)明的泵系統(tǒng)可以不僅具有兩個泵，還具有多于兩個泵。
權(quán)利要求
1.真空泵系統(tǒng)，所述真空泵系統(tǒng)具有具有泵進(jìn)氣口 (16)和泵排氣口 (20)的第一真空泵(12)，具有泵進(jìn)氣口和泵排氣口(50)的第二真空泵(35)，其中，所述第二真空泵(3 的所述泵排氣口(50)和/或所述泵進(jìn)氣口與所述第一真空泵的所述泵進(jìn)氣口(16)通過法蘭(14、46)流體地連接，其特征在于，第一和第二泵殼體(11，36)在至少三個連接部位02、34、38 ；14,46)處彼此機械地連接以便傳遞力，其中，至少兩個連接部位02、34、38)是與法蘭無關(guān)的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，每個連接部位02、34、38)具有兩個彼此對置的連接元件02、38)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，至少兩個連接部位02、34、 38)位于法蘭面之外。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，至少兩個與法蘭無關(guān)的連接部位02、34、38)構(gòu)造成或者設(shè)置成，使得所述連接部位傳遞在運行中出現(xiàn)的力或者力矩的總共至少25%，尤其至少40%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，至少三個連接部位02、 34,38)是與法蘭無關(guān)的。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，所述泵進(jìn)氣口(16)與所述泵排氣口(50)的連接基本僅構(gòu)成為流體的連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，在所述泵進(jìn)氣口(16)和所述泵排氣口(50)之間不設(shè)置有力鎖合的連接，尤其不設(shè)有螺紋連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7之一所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，所述連接元件(22、38)具有相對于殼體壁(10、30)凸起的凸出部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8之一所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，連接部位02、34、38)的彼此對置的相互連接的連接元件(22、38)具有兩個彼此平面平行的接觸面06)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，真空泵(12、35)的至少兩個連接元件02、38)的所述接觸面06)位于一個平面中，優(yōu)選地在法蘭接觸面的平面中。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10之一所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，所述連接部位02、34、 38)具有保持元件(觀)，其中，所述保持元件08)優(yōu)選集成到所述凸出部02、38)中或者分開地設(shè)置。
12.根據(jù)權(quán)利要求2至11之一所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，至少一個連接部位 (34)的所述連接元件(33、33a、37)構(gòu)造成能相對彼此移動。
13.根據(jù)權(quán)利要求2至12之一所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，為了補償在彼此對置的連接元件(22、38)之間、尤其在所述連接元件的接觸面之間的水平面差而設(shè)置有間隔元件 G4)。
14.根據(jù)權(quán)利要求2至13之一所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，所述連接元件02、38) 至少部分地設(shè)置在所述泵殼體的側(cè)壁(10、30)的區(qū)域中和/或設(shè)置在支承法蘭的區(qū)域中。
15.根據(jù)權(quán)利要求2至14之一所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，為了連接彼此不對置的連接元件02、38 ；46,14)而在兩個彼此連接的真空泵(12，56)之間設(shè)置配接器元件(58)，其中，所述真空泵之一(56)必要時僅具有一個構(gòu)造為法蘭的連接部位06)。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，為了承受上部的真空泵(56)的重量)，所述配接器元件(58)具有至少兩個配接器足部(60)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的真空泵系統(tǒng)，其特征在于，為了承受上部的真空泵(56)的重量，所述配接器元件(58)具有至少三個、優(yōu)選四個配接器足部(60)，從而使得所述進(jìn)氣口法蘭(14)優(yōu)選保持無負(fù)荷。
18.根據(jù)權(quán)利要求1至17之一所述的真空泵系統(tǒng)，具有多于兩個真空泵。
全文摘要
一種真空泵系統(tǒng)具有兩個彼此連接的真空泵(12、35)。為了實現(xiàn)緊湊的真空泵系統(tǒng)，在直接與泵殼體連接的連接元件(22、38)處進(jìn)行兩個真空泵的連接，所述連接元件構(gòu)成連接部位(34)并且上部的泵(35)的排氣口法蘭(46)直接置放在下部的泵(12)的進(jìn)氣口法蘭(14)上，而不由此傳遞較大的力或者力矩。
文檔編號F01C21/00GK102472107SQ201080035698
公開日2012年5月23日 申請日期2010年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月11日
發(fā)明者托馬斯·德賴費特, 沃爾夫?qū)ぜ惵?申請人:厄利孔萊博爾德真空技術(shù)有限責(zé)任公司