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一種半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品生產(chǎn)用裝置的制造方法

文檔序號:9032824閱讀:321來源:國知局
一種半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品生產(chǎn)用裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種清洗設(shè)備,尤其涉及一種半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品生產(chǎn)用裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體(semiconductor),指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體(conductor)與絕緣體(insulator)之間的材料。半導(dǎo)體在收音機(jī)、電視機(jī)以及測溫上有著廣泛的應(yīng)用。如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可受控制,范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。無論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看,半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產(chǎn)品,如計算機(jī)、移動電話或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)連。常見的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等,而硅更是各種半導(dǎo)體材料中,在商業(yè)應(yīng)用上最具有影響力的一種。半導(dǎo)體的表面是需要用化學(xué)品進(jìn)行加工處理而獲得干凈平整、抗氧化能力強(qiáng)的表面的,而在生產(chǎn)半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品品時,有些設(shè)備溶液混合不均容易產(chǎn)生分層,由于化學(xué)品的危險性其防護(hù)度不夠會造成人員及設(shè)備的危險發(fā)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述問題,本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品生產(chǎn)用裝置。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是:一種半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品生產(chǎn)用裝置,包括攪拌裝置、儲液裝置、轉(zhuǎn)液裝置、輸液管道、包裝桶和控制裝置,所述儲液裝置中安裝有攪拌裝置,所述儲液裝置在攪拌裝置的一側(cè)開設(shè)有加藥口,所述加藥口處設(shè)有封閉蓋板,所述儲液裝置在加藥口的下方設(shè)有防噴裝置,所述防噴裝置由固定板和防噴板組成,所述固定板固定在儲液裝置的內(nèi)部,所述固定板的下端向加藥口一側(cè)折彎設(shè)有防噴板;所述儲液裝置的一側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)液裝置,所述轉(zhuǎn)液裝置的一端連接有可調(diào)計量控制裝置和定量儲液裝置,所述定量儲液裝置的下端設(shè)有輸液管道,所述輸液管道的下方安裝有包裝桶。
[0005]進(jìn)一步的,所述輸液管道上設(shè)有輸液控制裝置。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型具備使化學(xué)品溶液混合均勻的優(yōu)勢、及加藥口下方的防噴裝置,其具有保護(hù)生產(chǎn)中加藥時藥水濺射危害,確保生產(chǎn)安全,同時加藥口具有密閉蓋板,以防止化學(xué)品氣味的外泄,保護(hù)生產(chǎn)環(huán)境的純凈,通過轉(zhuǎn)液裝置及可調(diào)計量控制裝置及定量儲液裝置的合理配合,達(dá)到計量準(zhǔn)確,操作便利,輸液控制裝置及輸液管路將上述定量計量的化學(xué)溶液輸送至包裝桶,以上所述裝置均由控制裝置加以控制,此裝置具有安全生產(chǎn),無化學(xué)泄漏,操作簡便,計量精確,包裝清潔無殘液等優(yōu)勢。
【附圖說明】
[0007]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0008]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]如圖1,一種半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品生產(chǎn)用裝置,包括攪拌裝置1、儲液裝置2、轉(zhuǎn)液裝置5、輸液管道9、包裝桶10和控制裝置11,所述儲液裝置2中安裝有攪拌裝置1,所述儲液裝置2在攪拌裝置I的一側(cè)開設(shè)有加藥口 3,所述加藥口 3處設(shè)有封閉蓋板31,所述儲液裝置2在加藥口 3的下方設(shè)有防噴裝置4,所述防噴裝置4由固定板41和防噴板42組成,所述固定板41固定在儲液裝置2的內(nèi)部,所述固定板41的下端向加藥口 3—側(cè)折彎設(shè)有防噴板42 ;所述儲液裝置2的一側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)液裝置5,所述轉(zhuǎn)液裝置5的一端連接有可調(diào)計量控制裝置6和定量儲液裝置7,所述定量儲液裝置7的下端設(shè)有輸液管道9,所述輸液管道9的下方安裝有包裝桶10。
[0010]進(jìn)一步的,所述輸液管道9上設(shè)有輸液控制裝置8。
[0011]本實(shí)用新型具備使化學(xué)品溶液混合均勻的優(yōu)勢、及加藥口 3下方的防噴裝置4,其具有保護(hù)生產(chǎn)中加藥時藥水濺射危害,確保生產(chǎn)安全,同時加藥口 3具有密閉蓋板31,以防止化學(xué)品氣味的外泄,保護(hù)生產(chǎn)環(huán)境的純凈,通過轉(zhuǎn)液裝置5及可調(diào)計量控制裝置6及定量儲液裝置7的合理配合,達(dá)到計量準(zhǔn)確,操作便利,輸液控制裝置8及輸液管路9將上述定量計量的化學(xué)溶液輸送至包裝桶10,以上所述裝置均由控制裝置11加以控制,此裝置具有安全生產(chǎn)、無化學(xué)泄漏、操作簡便、計量精確、包裝清潔無殘液等優(yōu)勢。
[0012]需要強(qiáng)調(diào)的是,以上是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并非對本實(shí)用新型在外觀上作任何形式的限制,凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品生產(chǎn)用裝置,包括攪拌裝置、儲液裝置、轉(zhuǎn)液裝置、輸液管道、包裝桶和控制裝置,其特征在于:所述儲液裝置中安裝有攪拌裝置,所述儲液裝置在攪拌裝置的一側(cè)開設(shè)有加藥口,所述加藥口處設(shè)有封閉蓋板,所述儲液裝置在加藥口的下方設(shè)有防噴裝置,所述防噴裝置由固定板和防噴板組成,所述固定板固定在儲液裝置的內(nèi)部,所述固定板的下端向加藥口一側(cè)折彎設(shè)有防噴板;所述儲液裝置的一側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)液裝置,所述轉(zhuǎn)液裝置的一端連接有可調(diào)計量控制裝置和定量儲液裝置,所述定量儲液裝置的下端設(shè)有輸液管道,所述輸液管道的下方安裝有包裝桶。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品生產(chǎn)用裝置,其特征在于:所述輸液管道上設(shè)有輸液控制裝置。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體表面處理化學(xué)品生產(chǎn)用裝置,儲液裝置中安裝有攪拌裝置,儲液裝置在攪拌裝置的一側(cè)開設(shè)有加藥口,加藥口處設(shè)有封閉蓋板,儲液裝置在加藥口的下方設(shè)有防噴裝置,防噴裝置由固定板和防噴板組成,所述固定板固定在儲液裝置的內(nèi)部,所述固定板的下端向加藥口一側(cè)折彎設(shè)有防噴板;所述儲液裝置的一側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)液裝置,所述轉(zhuǎn)液裝置的一端連接有可調(diào)計量控制裝置和定量儲液裝置,所述定量儲液裝置的下端設(shè)有輸液管道,所述輸液管道的下方安裝有包裝桶。本實(shí)用新型具備使化學(xué)品溶液混合均勻的優(yōu)勢,其具有保護(hù)生產(chǎn)中加藥時藥水濺射危害,確保生產(chǎn)安全,同時加藥口具有密閉蓋板,以防止化學(xué)品氣味的外泄,保護(hù)生產(chǎn)環(huán)境的純凈。
【IPC分類】B01F13/04
【公開號】CN204685028
【申請?zhí)枴緾N201520372684
【發(fā)明人】李超, 孫一軍, 周毅鋒
【申請人】蘇州工業(yè)園區(qū)恒越自動化科技有限公司
【公開日】2015年10月7日
【申請日】2015年6月3日
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