光阻涂布設備及涂布設備用噴嘴的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光阻涂布設備，該設備包括噴嘴、光阻容納機構、涂布驅動機構及刮拭機構；其中，所述噴嘴與所述光阻容納機構連接，所述涂布驅動機構驅動所述光阻容納機構內的光阻流向所述噴嘴；所述刮拭機構包括刮拭元件及刮拭驅動機構，所述刮拭驅動機構驅動所述刮拭元件對所述噴嘴進行刮拭。本發(fā)明還公開了一種涂布設備用噴嘴。本發(fā)明光阻涂布設備通過利用刮拭驅動機構驅動所述刮拭元件對所述噴嘴進行刮拭，能夠高效地在短時間內完成對噴嘴的維護和保養(yǎng)，對涂布單元內的環(huán)境也不會造成影響，風險小，且節(jié)省人力。
【專利說明】
光阻涂布設備及涂布設備用噴嘴
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及一種涂布設備，特別是涉及一種光阻涂布設備及涂布設備用噴嘴。
【背景技術】
[0002]涂布設備中所使用的光敏材料是光阻，由于光阻長時間暴露在外，而光阻成分之一的溶劑是易揮發(fā)、易干燥凝結的物質。因此，作為光阻涂布設備，目前業(yè)界涂布設備在光阻凝結時，一般需停機，并且采用經刮拭噴嘴、溶劑泡管、排泡等步驟進行維護保養(yǎng)。
[0003]其中一種維護保養(yǎng)方式是利用手動刮拭方法對噴嘴進行刮拭，但是人為操作風險大，操作者方法、熟練度不一，可能會發(fā)生刮刀片斷裂、從而遺留部分刮刀殘片在噴嘴里的情況，若未及時發(fā)現，則會對后續(xù)工藝造成極大影響，需耗費大量時間排查和取出，而造成產能和良率的降低。而又因手動刮拭需開啟涂布設備stage Booth門，會影響整個涂布設備內的溫濕度、潔凈度、氣流等，從而影響涂布工藝，造成良率降低;而且手動刮拭操作員也會吸入一定量的溶劑，且會接觸到化學品，對人體造成一定程度的傷害。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明主要解決的技術問題是提供一種光阻涂布設備及涂布設備用噴嘴，能夠高效地在短時間內完成對噴嘴的維護和保養(yǎng)，對涂布設備內的環(huán)境也不會造成影響，風險小，且節(jié)省人力。
[0005]為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的一個技術方案是:提供一種光阻涂布設備，包括噴嘴、光阻容納機構、涂布驅動機構及刮拭機構;其中，所述噴嘴與所述光阻容納機構連接，所述涂布驅動機構驅動所述光阻容納機構內的光阻流向所述噴嘴;所述刮拭機構包括刮拭元件及刮拭驅動機構，所述刮拭驅動機構驅動所述刮拭元件對所述噴嘴進行刮拭。
[0006]其中，所述刮拭元件包括固定件和刮線，所述固定件數量為二，且相對固定于所述噴嘴兩端，所述刮線兩端分別固定于兩個所述固定件;所述刮拭驅動機構驅動所述固定件沿所述噴嘴的噴液口方向來回移動，以帶動所述刮線在所述噴液口內來回刮拭，在刮拭結束后驅動所述刮線離開所述噴液口。
[0007]其中，所述刮拭驅動機構進一步在刮拭結束后驅動兩個所述固定件同向旋轉，使得所述刮線遠離所述噴液口。
[0008]其中，所述刮線是與所述噴嘴豎截面形狀匹配的剛性線，且所述固定件的行程大于所述噴液口的深度。
[0009]其中，所述刮線是與所述噴嘴豎截面形狀匹配的柔性線，且所述固定件的行程大于所述噴液口的深度。
[0010]為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的另一個技術方案是:提供一種涂布設備用噴嘴，包括噴嘴主體和刮拭機構;所述刮拭機構包括刮拭元件及刮拭驅動機構，所述刮拭驅動機構驅動所述刮拭元件對所述噴嘴主體進行刮拭。
[0011]其中，所述刮拭元件包括固定件和刮線，所述固定件數量為二，且相對固定于所述噴嘴兩端，所述刮線兩端分別固定于兩個所述固定件;所述刮拭驅動機構驅動所述固定件沿所述噴嘴的噴液口方向來回移動，以帶動所述刮線在所述噴液口內來回刮拭，在刮拭結束后驅動所述刮線離開所述噴液口。
[0012]其中，所述刮拭驅動機構進一步在刮拭結束后驅動兩個所述固定件同向旋轉，使得所述刮線遠離所述噴液口。
[0013]其中，所述刮線是與所述噴嘴豎截面形狀匹配的剛性線，且所述固定件的行程大于所述噴液口的深度。
[0014]其中，所述刮線是與所述噴嘴豎截面形狀匹配的柔性線，且所述固定件的行程大于所述噴液口的深度。
[0015]本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現有技術的情況，本發(fā)明提供一種光阻涂布設備，包括噴嘴、光阻容納機構、涂布驅動機構及刮拭機構;其中，所述噴嘴與所述光阻容納機構連接，所述涂布驅動機構驅動所述光阻容納機構內的光阻流向所述噴嘴;所述刮拭機構包括刮拭元件及刮拭驅動機構，所述刮拭驅動機構驅動所述刮拭元件對所述噴嘴進行刮拭，因此可以利用刮拭機構來清理噴嘴，無需人工直接刮擦噴嘴，從而能夠高效地在短時間內完成對噴嘴的維護和保養(yǎng)，對涂布單元內的環(huán)境也不會造成影響，風險小，且節(jié)省人力。
【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明光阻涂布設備實施方式的立體結構示意圖；
[0017]圖2是本發(fā)明光阻涂布設備實施方式的噴嘴的一側面結構示意圖，其中顯示刮拭元件對噴嘴進行刮拭的狀態(tài)；
[0018]圖3是本發(fā)明光阻涂布設備實施方式的噴嘴的另一側面結構示意圖，其中顯示刮拭元件收起的狀態(tài)。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖和實施方式對本發(fā)明進行詳細說明。
[0020]參閱圖1，圖1是本發(fā)明光阻涂布設備實施方式的立體結構示意圖。如圖1所示，噴嘴10與光阻容納機構20相連接，涂布驅動機構30驅動光阻容納機構20內的光阻流向噴嘴10刮拭機構包括刮拭元件40及刮拭驅動機構50，刮拭驅動機構50驅動刮拭元件40對噴嘴1進行刮拭。
[0021 ]其中，光阻是一種光敏材料，主要由樹脂、感光劑和溶劑三種成分混合而成。
[0022]進一步地，刮拭元件40包括固定件41和刮線42，固定件41的數量為二，且相對固定于噴嘴10的兩端，刮線42兩端分別固定于兩個固定件41;刮拭驅動機構50驅動固定件41沿噴嘴10的噴液口 11方向來回移動，以帶動刮線42在噴液口 11內來回刮拭，在刮拭結束后驅動刮線42離開噴液口 11。
[0023]圖2是本發(fā)明光阻涂布設備實施方式的噴嘴的一側面結構示意圖，其中顯示刮拭元件對噴嘴進行刮拭的狀態(tài)。當在刮拭狀態(tài)下時，刮拭元件的固定件41位于第一旋轉狀態(tài)，使得刮線42垂下，正對噴嘴1的噴液口 11，如圖2所示的噴嘴豎截面61所示。此時，刮線42可以在固定件41的上下來回帶動下，進入噴液口 11來回刮擦。
[0024]圖3是本發(fā)明光阻涂布設備實施方式的噴嘴的另一側面結構示意圖，其中顯示刮拭元件收起的狀態(tài)。在非刮拭狀態(tài)下，刮拭元件的固定件41旋轉90度，位于第二旋轉狀態(tài)遠離噴液口 11。
[0025]其中，刮線42是與噴嘴豎截面60形狀匹配的剛性線或柔性線，且固定件41的行程大于噴液口 11的深度。
[0026]本實施方式中，使用刮拭驅動機構50驅動刮拭元件40對噴嘴10進行刮拭，因此可以利用刮拭機構來清理噴嘴10，無需人工進行刮擦，從而能夠高效地在短時間內完成對噴嘴10的維護和保養(yǎng)，對涂布設備內的環(huán)境也不會造成影響，風險小，且節(jié)省人力。
[0027]本發(fā)明還提供了一種涂布設備用噴嘴，如圖2所示，其包括噴嘴主體10和刮拭機構；刮拭機構包括刮拭元件40及刮拭驅動機構50，刮拭驅動機構50驅動刮拭元件40對噴嘴主體10進行刮拭。
[0028]進一步地，刮拭元件40包括固定件41和刮線42，固定件41的數量為二，且相對固定于噴嘴10的兩端，刮線42兩端分別固定于兩個固定件41;刮拭驅動機構50驅動固定件41沿噴嘴10的噴液口 11方向來回移動，以帶動刮線42在噴液口 11內來回刮拭，在刮拭結束后驅動刮線42離開噴液口 11。
[0029]進一步地，當在刮拭狀態(tài)下時，刮拭元件的固定件41位于第一旋轉狀態(tài)，使得刮線42垂下，正對噴嘴10的噴液口 11，如圖2所示的噴嘴豎截面61所示。此時，刮線42可以在固定件41的上下來回帶動下，進入噴液口 11來回刮擦。在非刮拭狀態(tài)下，刮拭元件的固定件41旋轉90度，位于第二旋轉狀態(tài)遠離噴液口 11。
[0030]進一步地，刮線42是與噴嘴豎截面60形狀匹配的剛性線或柔性線，且固定件41的行程大于噴液口 11的深度。
[0031]本實施方式中，由于使用刮拭驅動機構50驅動刮拭元件40對噴嘴主體10進行刮拭，因此可以利用刮拭機構來清理噴嘴，從而能夠高效地在短時間內完成對噴嘴的維護和保養(yǎng)，對涂布設備內的環(huán)境也不會造成影響，風險小，且節(jié)省人力。
[0032]以上所述僅為本發(fā)明的實施方式，并非因此限制本發(fā)明的專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種光阻涂布設備，其特征在于，包括: 噴嘴、光阻容納機構、涂布驅動機構及刮拭機構； 其中，所述噴嘴與所述光阻容納機構連接，所述涂布驅動機構驅動所述光阻容納機構內的光阻流向所述噴嘴； 所述刮拭機構包括刮拭元件及刮拭驅動機構，所述刮拭驅動機構驅動所述刮拭元件對所述噴嘴進行刮拭。2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于， 所述刮拭元件包括固定件和刮線，所述固定件數量為二，且相對固定于所述噴嘴兩端，所述刮線兩端分別固定于兩個所述固定件； 所述刮拭驅動機構驅動所述固定件沿所述噴嘴的噴液口方向來回移動，以帶動所述刮線在所述噴液口內來回刮拭，在刮拭結束后驅動所述刮線離開所述噴液口。3.根據權利要求2所述的設備，其特征在于， 所述刮拭驅動機構進一步在刮拭結束后驅動兩個所述固定件同向旋轉，使得所述刮線遠離所述噴液口。4.根據權利要求2所述的設備，其特征在于， 所述刮線是與所述噴嘴豎截面形狀匹配的剛性線，且所述固定件的行程大于所述噴液口的深度。5.根據權利要求2所述的設備，其特征在于， 所述刮線是與所述噴嘴豎截面形狀匹配的柔性線，且所述固定件的行程大于所述噴液口的深度。6.一種涂布設備用噴嘴，其特征在于，包括: 噴嘴主體和刮拭機構； 所述刮拭機構包括刮拭元件及刮拭驅動機構，所述刮拭驅動機構驅動所述刮拭元件對所述噴嘴主體進行刮拭。7.根據權利要求6所述的噴嘴，其特征在于， 所述刮拭元件包括固定件和刮線，所述固定件數量為二，且相對固定于所述噴嘴兩端，所述刮線兩端分別固定于兩個所述固定件； 所述刮拭驅動機構驅動所述固定件沿所述噴嘴的噴液口方向來回移動，以帶動所述刮線在所述噴液口內來回刮拭，在刮拭結束后驅動所述刮線離開所述噴液口。8.根據權利要求7所述的噴嘴，其特征在于， 所述刮拭驅動機構進一步在刮拭結束后驅動兩個所述固定件同向旋轉，使得所述刮線遠離所述噴液口。9.根據權利要求7所述的噴嘴，其特征在于， 所述刮線是與所述噴嘴豎截面形狀匹配的剛性線，且所述固定件的行程大于所述噴液口的深度。10.根據權利要求7所述的噴嘴，其特征在于， 所述刮線是與所述噴嘴豎截面形狀匹配的柔性線，且所述固定件的行程大于所述噴液口的深度。
【文檔編號】B05C5/02GK106076744SQ201610742751
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年8月26日
【發(fā)明人】但清華
【申請人】武漢華星光電技術有限公司