噴頭裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備零部件領(lǐng)域，尤其涉及一種能夠輸出具有穩(wěn)定形貌的液體的噴頭裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]噴頭是工業(yè)生產(chǎn)中一種常見的液體輸出裝置，液體從噴頭噴出時(shí)，人們希望能夠得到穩(wěn)定的液體形貌。然而，現(xiàn)有噴頭裝置由于缺乏相應(yīng)設(shè)計(jì)，很難保證這一點(diǎn)。如圖1所示，圖1示例了現(xiàn)有噴頭裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖?，F(xiàn)有噴頭裝置包括緩沖部11及噴頭本體12。緩沖部11與噴頭本體12固定連接，緩沖部11設(shè)有緩沖腔111。噴頭本體12設(shè)有噴嘴121，噴嘴121與緩沖部11的出液端連接。
[0003]參考圖2所示，圖2示例了現(xiàn)有噴頭裝置的應(yīng)用的示意圖。如圖2所示,緩沖部11的進(jìn)液端通過(guò)L形管道與供液泵13的輸出端連接，液體由供液泵13抽出，通過(guò)管道流進(jìn)緩沖腔111，然后從噴頭本體12的噴嘴121噴出。由于緩沖部11的進(jìn)液端是通過(guò)L形管道與供液泵13的輸出端連接，L形管道的強(qiáng)大管阻導(dǎo)致從噴頭本體12的噴嘴121噴出的液體形貌為不規(guī)則的“ △”形(不規(guī)則三角形)，如圖3(a)所示，而期望的液體輸出形貌為如圖3(d)所示的半橢圓形的形貌。此外，供液泵13通常選用的是氣動(dòng)隔膜泵，此種泵輸出的液體是脈沖式的，圖3 (b)示出了脈沖波峰時(shí)從噴嘴121噴出的液體形貌，圖3 (c)示出了脈沖波谷時(shí)從噴嘴121噴出的液體形貌。顯然，脈沖波峰與脈沖波谷時(shí)從噴嘴121輸出的液體形貌不同。在脈沖波峰輸出的液體形貌偏大，而在脈沖波谷輸出的液體形貌偏小。同樣，也存在對(duì)于穩(wěn)定的液體形貌的期望。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題提供一種改進(jìn)型的噴頭裝置，該噴頭裝置能夠輸出具有穩(wěn)定形貌的液體。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出一種噴頭裝置，包括緩沖部、噴頭本體和調(diào)節(jié)裝置。緩沖部設(shè)有緩沖腔、進(jìn)液端和出液端。噴頭本體固定在緩沖部的出液端，噴頭本體設(shè)有噴嘴和數(shù)個(gè)液體出口，噴頭本體的噴嘴和數(shù)個(gè)液體出口分別與緩沖部的出液端連接。調(diào)節(jié)裝置包括遮擋在數(shù)個(gè)液體出口上方的遮擋部件和位于緩沖腔內(nèi)的致動(dòng)部件，致動(dòng)部件與遮擋部件聯(lián)動(dòng)。遮擋部件和液體出口之間形成能調(diào)節(jié)的間隙，經(jīng)緩沖部輸出的液體的一部分由噴嘴輸出，另一部分由間隙溢出，致動(dòng)部件根據(jù)輸入至緩沖部的液體的量的大小移動(dòng)，致動(dòng)部件與遮擋部件的聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)間隙的大小以改變由間隙溢出的液體的量，使得由噴嘴輸出的液體的量維持穩(wěn)定。
[0006]在一個(gè)實(shí)施例中，遮擋部件包括遮蓋、數(shù)對(duì)限位件、墊片和彈性件。遮蓋設(shè)置在噴頭本體的數(shù)個(gè)液體出口的上方并遮擋住該數(shù)個(gè)液體出口，遮蓋設(shè)有數(shù)對(duì)限位孔。數(shù)對(duì)限位件穿過(guò)遮蓋的數(shù)對(duì)限位孔并固定在噴頭本體上，遮蓋沿限位件上升或下降。墊片設(shè)置在遮蓋與噴頭本體之間，使得遮蓋與噴頭本體之間形成間隙。彈性件設(shè)置在遮蓋與限位件的上端之間。
[0007]在一個(gè)實(shí)施例中，致動(dòng)部件包括擋板和連接架。擋板設(shè)置在緩沖部的緩沖腔內(nèi)并正對(duì)著緩沖部的進(jìn)液端。連接架的一端與擋板連接，連接架的另一端與遮蓋連接。
[0008]在一個(gè)實(shí)施例中，緩沖部的進(jìn)液端通過(guò)一管阻消除部件連接到一脈沖供液裝置。
[0009]在一個(gè)實(shí)施例中，管阻消除部件是回型管路，回型管路的一端連接到脈沖供液裝置，回型管路的另一端連接到緩沖部的進(jìn)液端。
[0010]在一個(gè)實(shí)施例中，脈沖供液裝置是氣動(dòng)隔膜泵。
[0011]在一個(gè)實(shí)施例中，數(shù)個(gè)液體出口對(duì)稱分布在噴嘴的周向。
[0012]在一個(gè)實(shí)施例中，遮擋部件設(shè)有通孔，噴頭本體的噴嘴從遮蓋的通孔中穿出。
[0013]在一個(gè)實(shí)施例中，遮擋部件包括數(shù)個(gè)獨(dú)立的部件，噴頭本體的每個(gè)液體出口的上方設(shè)置一個(gè)獨(dú)立的部件以遮擋住該液體出口。
[0014]根據(jù)本發(fā)明，緩沖腔內(nèi)的液體一部分通過(guò)噴頭本體的噴嘴噴出，另一部分通過(guò)噴頭本體的液體出口并從遮蓋與噴頭本體之間的間隙溢出。當(dāng)緩沖部的進(jìn)液端處的液體流量增大時(shí)，擋板受到液體的擠壓力向上運(yùn)動(dòng)，從而促使遮蓋沿限位件上升，遮蓋與限位件的上端之間設(shè)置的彈性件被擠壓壓縮，遮蓋與噴頭本體之間的間隙變大，從遮蓋與噴頭本體之間的間隙溢出的液體的量增大；當(dāng)緩沖部的進(jìn)液端處的液體流量減小時(shí)，擋板受到液體的擠壓力減小，彈性件釋放壓縮力并使得遮蓋下降，從而使遮蓋與噴頭本體之間的間隙變小，從遮蓋與噴頭本體之間的間隙溢出的液體的量減小。噴頭裝置通過(guò)自適應(yīng)調(diào)節(jié)，確保從噴嘴噴出的液體的流量穩(wěn)定，從而能夠輸出具有穩(wěn)定形貌的液體。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1揭示了現(xiàn)有噴頭裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2揭示了現(xiàn)有噴頭裝置的應(yīng)用的示意圖。
[0017]圖3(a)至圖3(c)示例了現(xiàn)有噴頭裝置應(yīng)用時(shí),從該噴頭裝置的噴嘴噴出的液體形貌圖，圖3(d)示例了理想的液體形貌圖。
[0018]圖4揭示了本發(fā)明的噴頭裝置的一實(shí)施例的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖5揭示了本發(fā)明的噴頭裝置的擋板與連接架組合后的俯視圖。
[0020]圖6揭示了本發(fā)明的噴頭裝置的噴頭本體的俯視圖。
[0021]圖7揭示了本發(fā)明的噴頭裝置的噴頭本體的剖視圖。
[0022]圖8揭示了本發(fā)明的噴頭裝置的遮蓋的俯視圖。
[0023]圖9揭示了本發(fā)明的噴頭裝置的遮蓋的剖視圖。
[0024]圖10揭示了本發(fā)明的噴頭裝置的應(yīng)用的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]為詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及效果，下面將結(jié)合實(shí)施例并配合圖式予以詳細(xì)說(shuō)明。
[0026]考慮到液體供應(yīng)裝置中最常用的是氣動(dòng)隔膜泵，是一種脈沖供液裝置，因此其輸出的液體是脈沖式的。如前面所述的，脈沖式供液導(dǎo)致液體流量存在較大波動(dòng)，使得噴嘴的出液流量也有較大波動(dòng)，導(dǎo)致液體的形貌不穩(wěn)定。由此，本發(fā)明提出的噴頭裝置包括緩沖部、噴頭本體和調(diào)節(jié)裝置。緩沖部設(shè)有緩沖腔、進(jìn)液端和出液端。噴頭本體固定在緩沖部的出液端，噴頭本體設(shè)有噴嘴和數(shù)個(gè)液體出口，噴頭本體的噴嘴和數(shù)個(gè)液體出口分別與緩沖部的出液端連接。調(diào)節(jié)裝置包括遮擋在數(shù)個(gè)液體出口上方的遮擋部件和位于緩沖腔內(nèi)的致動(dòng)部件，致動(dòng)部件與遮擋部件聯(lián)動(dòng)。遮擋部件和液體出口之間形成能調(diào)節(jié)的間隙，經(jīng)緩沖部輸出的液體的一部分由噴嘴輸出，另一部分由間隙溢出，致動(dòng)部件根據(jù)輸入至緩沖部的液體的量的大小移動(dòng)，致動(dòng)部件與遮擋部件的聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)間隙的大小以改變由間隙溢出的液體的量，使得由噴嘴輸出的液體的量維持穩(wěn)定。
[0027]參考圖4所示，揭示了本發(fā)明的噴頭裝置的一實(shí)施例的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4所示，該噴頭裝置包括緩沖部21、噴頭本體22、遮蓋23、擋板24及連接架25。
[0028]緩沖部21設(shè)有緩沖腔211、進(jìn)液端和出液端。噴頭本體22固定在緩沖部21的出液端。結(jié)合圖6和圖7所示，圖6和圖7分別揭示了本發(fā)明的噴頭裝置的噴頭本體的俯視圖和剖視圖。噴頭本體22的中心設(shè)有噴嘴221，根據(jù)不同的需求，噴嘴221的形狀可以為方形、圓形等，在本實(shí)施例中，示例的噴嘴221的形狀為方形。噴頭本體22還設(shè)有數(shù)個(gè)液體出口 222，該數(shù)個(gè)液體出口 222對(duì)稱分布在噴嘴221的周向，該數(shù)個(gè)液體出口 222的形狀為扇形。顯然，液體出口 222的形狀并不局限于所示例的扇形。噴頭本體22的噴嘴221和液體出口 222分別與緩沖