本發(fā)明屬于氣體凈化設備技術領域，具體涉及一種超純納米電子級氣體過濾裝置。

背景技術：

超純電子級氣體由氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等組成，它們大部分是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進一步精制得到。超純電子級氣體通常根據(jù)原料氣來源情況、雜質組份含量、純度要求來選擇相應的制備方法。集成電路發(fā)展到兆位級后，對超凈提出了更嚴格要求。在超純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動或氣流沖擊所造成的脫落粒子，在使用氣前須安裝過濾器。

目前國內電子級氣體整體水平和國外還有較大的差距，純度在99.999％以上的電子級氣體幾乎全部依賴國外進口。和快速發(fā)展的國內微電子產業(yè)相比，與之相關的國內電子級氣體的研究與生產相對落后。解決國內半導體、微電子、led、光伏等行業(yè)對國外進口電子級氣體的依賴。對超純納米電子級氣體的生產工藝及過濾技術研究已經非常有必要、并且意義重大。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術問題是，提供一種超純納米電子級氣體過濾裝置，可以解決現(xiàn)有技術中氣體過濾裝置過濾精度低以及過濾效率低、結構強度弱、使用壽命短的技術問題。

為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案：一種超純納米電子級氣體過濾裝置，其特征在于：包括筒體、封頭、以及若干個金屬燒結濾芯，所述封頭安裝在所述筒體的兩端，位于出氣口一端的所述筒體上設置有花盤，所述金屬燒結濾芯安裝在所述花盤上，所述花盤將筒體與封頭封閉形成的空間分隔成第一空間和第二空間，待過濾氣體的傳送發(fā)生在第一空間，已過濾氣體的傳送發(fā)生在第二空間，與第一空間相通的封頭上設置有進氣接頭，與第二空間相通的封頭上設置有出氣接頭。

本發(fā)明中，采用獨特的金屬燒結濾芯替代傳統(tǒng)的陶瓷膜濾芯，使得超純納米電子級氣體過濾裝置能耐更高的溫度和壓力，其過濾效率更高，結構強度更好，且使用壽命更長。且過濾器采用封閉式結構，可以防止過濾過程中引入污染；此外本發(fā)明裝置中，筒體兩端的封頭上分別設置有接頭，使本發(fā)明不但實現(xiàn)過濾氣體的功能，同時還能實現(xiàn)反吹功能，即通過出氣接頭通入潔凈氣體至金屬燒結濾芯內，使金屬燒結濾芯外表面雜質吹落，濾芯重新保持潔凈，可以進一步循環(huán)使用。

進一步地，所述金屬燒結濾芯為一端開口、另一端封閉的管狀濾芯，且所述管狀濾芯水平間隔排列在第一空間內，開口一端的所述管狀濾芯與所述花盤固定。

本發(fā)明中，管狀濾芯水平間隔排列可以提高單根濾芯的過濾效果，有效延長超純納米電子級氣體過濾裝置的使用壽命。

更進一步地，所述筒體上設置有多孔支撐板，管狀濾芯的封閉一端固定在多孔支撐板上。

本發(fā)明中，在筒體的第一空間內還安裝有多孔支撐板，用于固定管狀濾芯，可以保證濾芯的強度和穩(wěn)定性；同時多孔支撐板對進入的氣體進行布氣，進一步提高單根濾芯的過濾效果，延長其使用壽命。

進一步地，所述進氣接頭與出氣接頭均為vcr接頭。

采用獨特的vcr接頭可以保證出氣接頭與進氣接頭具備良好的氣密性，降低泄漏率，從而有效避免氣源泄露造成的危險。

進一步地，所述封頭與筒體之間通過焊接連接；所述金屬燒結濾芯采用焊接連接。采用焊接固定可以提高器件的固定強度，同時也可以避免安裝金屬燒結濾芯造成的二次污染。

進一步地，所述筒體與封頭的粗糙度低于0.2。

本發(fā)明的有益效果：

1、本發(fā)明中，采用獨特的金屬燒結濾芯替代傳統(tǒng)的陶瓷膜濾芯，使得超純納米電子級氣體過濾裝置能耐更高的溫度和壓力，其過濾效率更高，結構強度更好，且使用壽命更長。且過濾器采用封閉式結構，可以防止過濾過程中引入污染；此外本發(fā)明裝置中，筒體兩端的封頭上分別設置有接頭，使本發(fā)明不但實現(xiàn)過濾氣體的功能，同時還能實現(xiàn)反吹功能，即通過出氣接頭通入潔凈氣體至金屬燒結濾芯內，使金屬燒結濾芯外表面雜質吹落，濾芯重新保持潔凈，可以進一步循環(huán)使用。

2、本發(fā)明中，在筒體的第一空間內還安裝有多孔支撐板，用于固定管狀濾芯，可以保證濾芯的強度和穩(wěn)定性；同時多孔支撐板對進入的氣體進行布氣，進一步提高單根濾芯的過濾效果，延長其使用壽命。

3、本發(fā)明采用獨特的vcr接頭可以保證出氣接頭與進氣接頭具備良好的氣密性，降低泄漏率，從而有效避免氣源泄露造成的危險。

附圖說明

圖1為實施例1的結構示意圖。

圖中附圖標記，1-進氣接頭，1’-出氣接頭；2，2’-封頭；3-多孔支撐板；4-筒體；5-金屬燒結濾芯；6-花盤；a-第一空間；b-第二空間。

具體實施方式

下面對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

實施例1：

一種超純納米電子級氣體過濾裝置，包括筒體4、封頭2，2’、以及若干個金屬燒結濾芯5，筒體4的兩端通過焊接固定有封頭2，2’，筒體4與封頭2，2’形成一密封空間。筒體4的一端為進氣口，相對應的筒體4另一端為出氣口，位于出氣口一端的筒體4上焊接有花盤6。金屬燒結濾芯5安裝在所述花盤6上，花盤6將筒體4與封頭2，2’封閉形成的空間分隔成第一空間a和第二空間b，待過濾氣體的傳送發(fā)生在第一空間a，已過濾氣體的傳送發(fā)生在第二空間b，與第一空間a相通的封頭2上設置有進氣接頭1，與第二空間b相通的封頭2’上設置有出氣接頭1’。

需要說明的是，本發(fā)明中金屬燒結濾芯5的數(shù)量不做具體的限定，可以根據(jù)實際需求確定具體的金屬燒結濾芯5的數(shù)量。采用獨特的金屬燒結濾芯5替代傳統(tǒng)的陶瓷膜濾芯，使得超純納米電子級氣體過濾裝置能耐更高的溫度和壓力，其過濾效率更高，結構強度更好，且使用壽命更長。

本實施例中，為了保證濾芯的強度和穩(wěn)定性，優(yōu)選的，在筒體4上設置有多孔支撐板3，金屬燒結濾芯5的封閉一端固定在多孔支撐板3上。多孔支撐板3用于固定金屬燒結濾芯5，保證金屬燒結濾芯5的強度和穩(wěn)定性；同時多孔支撐板3上分布有多個布氣孔(圖中沒有標注)，可以對進入的氣體進行布氣，進一步提高單根金屬燒結濾芯5的過濾效果，延長其使用壽命。

本實施例中為了提高單根金屬燒結濾芯5的過濾效果，優(yōu)選的，金屬燒結濾芯5為一端開口、另一端封閉的管狀濾芯，且管狀濾芯水平間隔排列在第一空間a內，開口一端的管狀濾芯與花盤6固定。管狀濾芯水平間隔排列可以提高單根金屬燒結濾芯5的過濾效果，有效延長超純納米電子級氣體過濾裝置的使用壽命。且本發(fā)明中金屬燒結濾芯5采用焊接連接，可以避免安裝金屬燒結濾芯5造成的二次污染。

本實施中筒體4與封頭2，2’焊接形成一密封空間。采用封閉式結構可以防止過濾過程中引入雜質。封頭2，2’與筒體4之間通過焊接連接，可以提高器件的固定強度；此外，本發(fā)明裝置中，筒體4兩端的封頭2，2’上分別設置有出氣接頭1’和進氣接頭1，且該接頭都采用vcr接頭，獨特的vcr接頭可以保證出氣接頭1’與進氣接頭1具備良好的氣密性，降低泄漏率，從而有效避免氣源泄露造成的危險；此外，通過出氣接頭1’和進氣接頭1，本發(fā)明不但可以實現(xiàn)過濾氣體的功能，同時還能實現(xiàn)反吹功能。當該裝置中進出口兩端的壓差達到設定值后裝置需要反吹，將進氣接頭1停止通入超純氣體，將潔凈的超純氣體通入出氣接頭1’，氣體經過花盤6進入金屬燒結濾芯5，從而將附著在金屬燒結濾芯5外表面的雜質和顆粒吹落下來，掉落在筒體4內，并通過多孔支撐板3上的布氣孔經由封頭2最終通過進氣接頭1排出裝置，從而保證金屬燒結濾芯5的清潔，使之能夠循環(huán)使用，延長使用壽命。

本實施例中，筒體4與封頭2，2’分別采用拋光處理，且拋光處理后筒體4與封頭2，2’的粗糙度為0.2。采用拋光處理后的筒體4與封頭2，2’內部表面較為光滑，從而不會附著較多顆粒，長期使用后，該裝置內部較為光潔。

本發(fā)明裝置凈化氣體的具體操作方法為：超純氣體由入口進氣接頭1進入裝置，經過封頭2后由多孔支撐板3上的布氣孔均勻的進入筒體4內，通過金屬燒結濾芯5由外向內進行過濾，過濾完后的潔凈氣體最終從出氣接頭2’送出裝置。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發(fā)明揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內。因此，本發(fā)明的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。