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一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿的制作方法

文檔序號:9958102閱讀:429來源:國知局
一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于電子級單晶硅拋光硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,主要涉及一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿。
【背景技術(shù)】
[0002]在傳統(tǒng)包裝盒清洗機(jī)清洗硅拋光片包裝盒的工藝過程中,為了使包裝盒達(dá)到符合工藝要求的潔凈度及干燥度,工藝過程中需要使用大量高溫純水及高速離心旋轉(zhuǎn)過程。在此過程中清洗腔的腔門表面會附著大量水滴,水滴在重力作用下緩慢流動至腔門底部,由于腔門底部與其支撐腔門的支撐桿為緊密的面接觸,因此會有很大一部分水滴附著在腔門底部邊緣處,當(dāng)包裝盒清洗及干燥工藝完成后,這部分水滴不能完全干燥而最終附著在腔門底部邊緣處。當(dāng)腔門打開,在進(jìn)行包裝盒卸載操作時,經(jīng)常會有水滴滴落在包裝盒上,造成包裝盒再次污染及濕潤。使用這樣的包裝盒進(jìn)行成品硅拋光片包裝后,將會出現(xiàn)顆粒沾污及嚴(yán)重的水霧缺陷,嚴(yán)重影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量,造成大量返工甚至報廢,影響生產(chǎn)進(jìn)度,造成經(jīng)濟(jì)損失。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]針對現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問題,本實用新型設(shè)計并提出了一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿,在原腔門底部支撐桿基礎(chǔ)上將其與腔門底部接觸的狀態(tài)由面接觸改為點(diǎn)接觸,這樣一來,既可以保留對腔門的支撐作用,又可以以最小的接觸面積與腔門底部接觸。這種接觸方式可以避免清洗腔腔門底部邊緣存積大量的未完全干燥的水滴,以解決原有結(jié)構(gòu)經(jīng)常出現(xiàn)的已干燥的包裝盒被二次污染及濕潤的問題。
[0004]為實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本實用新型采取的具體技術(shù)方案是:一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿,由下端平面和鋸齒狀上端面構(gòu)成鋸齒狀支撐桿;其中,鋸齒狀支撐桿采用聚偏氯乙烯材料制作,鋸齒狀支撐桿的下端平面與清洗腔底部采用螺絲緊密固定,鋸齒狀上端面固定在清洗腔腔門底部邊緣。所述的一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿,其中鋸齒狀上端面與腔門底部邊緣之間為點(diǎn)接觸。
[0005]本實用新型所述的一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿,可有效減少清洗腔腔門底部邊緣的水滴附著,避免殘余水滴再次污染已清洗干凈并充分干燥的硅拋光片包裝盒。由于鋸齒狀支撐桿與腔門底部邊緣接觸面積很小,較之原有的支撐桿結(jié)構(gòu),其接觸面積約為之前的百分之二十,因此最終殘余的水量非常少,在重力作用下水滴幾乎可以完全脫落,甚至目測不會發(fā)現(xiàn)有明顯水滴。在取出已經(jīng)充分干燥的包裝盒時,不會發(fā)生水滴滴落污染包裝盒的情況,從而避免了包裝盒被二次污染。
【附圖說明】
[0006]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0007]圖中:1、鋸齒狀支撐桿;2、下端平面;3、鋸齒狀上端面;4、腔門底部邊緣;5、清洗腔底部;6、清洗腔腔門;7、腔門提位裝置。
【具體實施方式】
[0008]下面結(jié)合附圖給出本實用新型的【具體實施方式】如下:
[0009]如圖1所示,本實用新型所述的一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿,由下端平面2和鋸齒狀上端面3構(gòu)成了鋸齒狀支撐桿1,其中,鋸齒狀支撐桿I采用聚偏氯乙烯材料制作,具有耐高溫、高潔凈度的優(yōu)點(diǎn)。鋸齒狀支撐桿I的鋸齒狀上端面與腔門底部邊緣4固定在一起,鋸齒狀支撐桿I的下端平面2與清洗腔底部5采用螺絲緊密固定。
[0010]工藝過程中,清洗腔腔門6表面的大量水滴在重力作用下滑落到腔門底部邊緣4,由于腔門底部邊緣4與鋸齒狀支撐桿I上的鋸齒狀上端面3采用的是點(diǎn)接觸的方式,接觸面積小,可有效防止水滴大量附著在腔門底部邊緣4處。當(dāng)包裝盒清洗及干燥工藝完成后,按下設(shè)備顯示屏上的腔門開啟按鈕,腔門提位裝置7動作,將清洗腔腔門6慢慢提起到適當(dāng)位置,此時腔門底部邊緣4殘余的水量非常少,目測不會發(fā)現(xiàn)有明顯水滴。在取出已經(jīng)充分干燥的包裝盒時,不會發(fā)生水滴滴落污染包裝盒的情況,從而避免了包裝盒被二次污染。
【主權(quán)項】
1.一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿,其特征是:所述的新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿是由下端平面(2 )和鋸齒狀上端面(3 )構(gòu)成鋸齒狀支撐桿(I);其中,鋸齒狀支撐桿(I)的鋸齒狀上端面(3)與腔門底部邊緣(4)固定在一起;鋸齒狀支撐桿(I)的下端平面(2 )與清洗腔底部(5 )采用螺絲固定在一起。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿,其特征是:鋸齒狀上端面(3)與腔門底部邊緣(4)之間為點(diǎn)接觸。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿,其特征是:鋸齒狀支撐桿(I)采用聚偏氯乙烯材料制作。
【專利摘要】一種新型清洗機(jī)清洗腔腔門底部支撐桿,用于支撐硅拋光片用包裝盒清洗機(jī)清洗腔腔門。本實用新型中的鋸齒狀支撐桿(1)的上端面采用鋸齒狀設(shè)計,將原支撐桿與清洗腔腔門(6)腔門底部邊緣(4)的接觸面由原來的面接觸改變?yōu)辄c(diǎn)接觸,既可起到支撐桿對腔門的支撐作用,又可以以最小接觸面積與腔門底邊緣(4)接觸,以減少清洗機(jī)腔門底部邊緣(4)存積大量的未完全干燥的水滴二次污染及濕潤硅拋光片包裝盒的問題??捎行p少清洗腔腔門(6)腔門底部邊緣(4)的水滴附著,避免了包裝盒的再次污染,提高工效,減少損失和浪費(fèi)。
【IPC分類】B08B13/00
【公開號】CN204866794
【申請?zhí)枴緾N201520601684
【發(fā)明人】吳躍峰, 熊誠雷, 邵奇
【申請人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月16日
【申請日】2015年8月12日
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