一種用于槽型濕法設(shè)備的干燥裝置及干燥方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種用于槽型濕法設(shè)備、可防止晶圓在裝載及卸載時(shí)表面產(chǎn)生凝結(jié)缺陷的干燥裝置及干燥方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體晶圓的加工工藝中，晶圓表面在水汽環(huán)境下容易產(chǎn)生condense defect(凝結(jié)缺陷)，此缺陷如果在一些關(guān)鍵工藝如離子注入前或柵氧化層淀積前的清洗工藝環(huán)節(jié)產(chǎn)生，就會(huì)對(duì)晶圓的良率產(chǎn)生不利影響。
[0003]請(qǐng)參閱圖1，圖1是現(xiàn)有的一種采用槽型濕法清洗設(shè)備清洗晶圓時(shí)的流程圖。如圖1所示，清洗工藝所使用的槽型濕法清洗設(shè)備10—般分為清洗槽1、干燥槽2以及裝載及卸載晶圓區(qū)域3。晶圓一般先進(jìn)入裝載及卸載晶圓區(qū)域3，然后傳送手臂4將晶圓傳送到清洗槽I進(jìn)行濕法清洗工藝，清洗工藝結(jié)束后傳送手臂4會(huì)把晶圓傳送到干燥槽2進(jìn)行表面干燥，干燥工藝完成后傳送手臂4會(huì)再次將晶圓傳送至裝載及卸載晶圓區(qū)域3，最后晶圓離開(kāi)設(shè)備(如圖示箭頭方向所指)。
[0004]從上述流程可見(jiàn)，當(dāng)晶圓在干燥工藝后表面是干燥的，此時(shí)不會(huì)有凝結(jié)缺陷問(wèn)題。在槽型濕法設(shè)備中，由于其裝載及卸載晶圓區(qū)域與清洗晶圓區(qū)域公用同樣的傳送手臂，所以通常傳送手臂會(huì)把其側(cè)壁殘留的一些水汽帶到裝載及卸載晶圓區(qū)域，導(dǎo)致在裝載及卸載晶圓區(qū)域的環(huán)境充滿水汽。雖然目前各種槽型濕法設(shè)備都有清洗傳送手臂的裝置設(shè)備，但在傳送手臂的側(cè)壁等清洗死角部分總會(huì)有水汽附著，從而導(dǎo)致傳送手臂將晶圓傳送到裝載及卸載晶圓區(qū)域時(shí)或多或少會(huì)帶些水汽。
[0005]長(zhǎng)時(shí)間水汽積累會(huì)導(dǎo)致裝載及卸載晶圓的環(huán)境變差，如果裝載及卸載晶圓區(qū)域環(huán)境水汽嚴(yán)重，那么晶圓在最后進(jìn)入裝載及卸載晶圓區(qū)域時(shí)可能就會(huì)產(chǎn)生凝結(jié)缺陷。而且，由于此環(huán)節(jié)是晶圓在濕法設(shè)備里的最后環(huán)節(jié)，后續(xù)無(wú)干燥工藝，所以，此時(shí)晶圓上的凝結(jié)缺陷是無(wú)法去除的。
[0006]因此，如何改善槽型濕法清洗設(shè)備裝載及卸載晶圓區(qū)域的環(huán)境，防止水汽集聚，避免晶圓表面產(chǎn)生凝結(jié)缺陷，就成為當(dāng)前一個(gè)重要課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種用于槽型濕法設(shè)備的干燥裝置及干燥方法，可改善槽型濕法清洗設(shè)備裝載及卸載晶圓區(qū)域的環(huán)境，防止水汽集聚，避免晶圓表面產(chǎn)生凝結(jié)缺陷。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0009]—種用于槽型濕法設(shè)備的干燥裝置，所述槽型濕法設(shè)備包括清洗槽、干燥槽以及裝載及卸載晶圓區(qū)域，并通過(guò)傳送手臂將晶圓在其之間傳送，所述干燥裝置包括至少兩組干燥氣體噴嘴，所述噴嘴設(shè)于裝載及卸載晶圓區(qū)域的相對(duì)兩側(cè)，所述干燥裝置通過(guò)所述噴嘴，向從干燥槽進(jìn)入裝載及卸載晶圓區(qū)域的傳送手臂兩側(cè)噴射干燥氣體，對(duì)所述傳送手臂進(jìn)行干燥。
[0010]優(yōu)選地，每組所述噴嘴與傳送手臂之間的水平、垂直位置及相互距離可調(diào)。
[0011 ]優(yōu)選地，所述噴嘴的噴射角度可調(diào)。
[0012]優(yōu)選地，所述噴嘴在裝載及卸載晶圓區(qū)域的四周分設(shè)四組。
[0013]優(yōu)選地，在裝載及卸載晶圓區(qū)域的上方還設(shè)有一組所述噴嘴。
[0014]優(yōu)選地，每組的所述噴嘴并列設(shè)置1-6個(gè)，并圍繞每組所述噴嘴設(shè)有廣角導(dǎo)向罩。
[0015]—種用于槽型濕法設(shè)備的干燥方法，使用上述的用于槽型濕法設(shè)備的干燥裝置，包括:
[0016]使用傳送手臂，將進(jìn)入裝載及卸載晶圓區(qū)域的晶圓依次傳送到清洗槽、干燥槽進(jìn)行濕法清洗工藝并進(jìn)行表面干燥，然后，再次將晶圓傳送至裝載及卸載晶圓區(qū)域;打開(kāi)干燥裝置的各組噴嘴，至少?gòu)膫魉褪直鄣膬蓚?cè)噴射干燥氣體，對(duì)進(jìn)入裝載及卸載晶圓區(qū)域的所述傳送手臂進(jìn)行干燥。
[0017]優(yōu)選地，對(duì)所述傳送手臂進(jìn)行干燥時(shí)，從傳送手臂的四周及上方向傳送手臂噴射干燥氣體。
[0018]優(yōu)選地，對(duì)所述傳送手臂進(jìn)行干燥時(shí)，通過(guò)變換所噴射的干燥氣體與傳送手臂之間的水平、垂直位置及相互距離，以及變換噴射角度，對(duì)所述傳送手臂進(jìn)行移動(dòng)式及多角度的干燥處理。
[0019]優(yōu)選地，所述干燥氣體為經(jīng)加熱的高壓氮?dú)狻?br>[0020]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明通過(guò)在槽型濕法設(shè)備的裝載及卸載晶圓區(qū)域設(shè)置干燥裝置，并通過(guò)干燥裝置的噴嘴，向從干燥槽進(jìn)入裝載及卸載晶圓區(qū)域的傳送手臂的至少兩側(cè)噴射干燥氣體，對(duì)傳送手臂進(jìn)行干燥，且能夠調(diào)節(jié)干燥氣體的噴射位置、距離和角度，可改善槽型濕法清洗設(shè)備裝載及卸載晶圓區(qū)域的環(huán)境，防止水汽集聚，從而可有效避免晶圓表面產(chǎn)生凝結(jié)缺陷。
【附圖說(shuō)明】
[0021 ]圖1是現(xiàn)有的一種采用槽型濕法清洗設(shè)備清洗晶圓時(shí)的流程圖；
[0022]圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種用于槽型濕法設(shè)備的干燥裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0024]需要說(shuō)明的是，在下述的【具體實(shí)施方式】中，在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以便于說(shuō)明，特對(duì)附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡(jiǎn)化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本發(fā)明的限定來(lái)加以理解。
[0025]在以下本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，請(qǐng)參閱圖2，圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種用于槽型濕法設(shè)備的干燥裝置俯視結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的干燥裝置用于槽型濕法設(shè)備10，所述槽型濕法設(shè)備10包括依次排列設(shè)置的清洗槽1、干燥槽2以及裝載及卸載晶圓區(qū)域3。并且，所述槽型濕法設(shè)備10通過(guò)傳送手臂4將晶圓在清洗槽1、干燥槽2以及裝載及卸載晶圓區(qū)域3之間進(jìn)行傳送(請(qǐng)參考圖1加以理解)。
[0026]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2。所述干燥裝置可包括至少兩組的干燥氣體噴嘴5、6，所述噴嘴5、6與干燥氣體供應(yīng)源相連接。所述噴嘴5、6設(shè)于裝載及卸載晶圓區(qū)域3，并相對(duì)位于裝載及卸載晶圓區(qū)域的兩側(cè)，使從干燥槽2進(jìn)入裝載及卸載晶圓區(qū)域3的傳送手臂4可以位于這兩組干燥氣體噴嘴5、6之間。
[0027]當(dāng)傳送手臂4將晶圓從干燥槽2傳送到裝載及卸載晶圓區(qū)域3時(shí)，所述干燥裝置即可通過(guò)打開(kāi)所述噴嘴5、6的控制閥，向進(jìn)入裝載及卸載晶圓區(qū)域的傳送手臂4兩側(cè)噴射干燥氣體，對(duì)所述傳送手臂4進(jìn)行干燥。
[0028]作為一優(yōu)選的實(shí)施方式，可通過(guò)分別將每組所述噴嘴5、6安裝在一個(gè)三軸向移動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖略)上，從而在進(jìn)行干燥時(shí)，可使每組所述噴嘴5、6與傳送手臂4之間的水平、垂直位置及相互距離處于可調(diào)節(jié)狀態(tài)，以便根據(jù)傳送手臂4的外形結(jié)構(gòu)輪廓特點(diǎn)，移動(dòng)噴嘴5、6使之位于恰當(dāng)?shù)奈恢?，可提高干燥的效果并?jié)約時(shí)間及用氣量。
[0029]進(jìn)一步地，還可以將所述噴嘴5、6安裝在一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖略)上，以便使所述噴嘴
5、6的噴射角度可調(diào)。從而可在進(jìn)行干燥時(shí)，對(duì)傳送手臂4的兩側(cè)進(jìn)