本實(shí)用新型涉及電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鏤空載板自動(dòng)清洗平臺(tái)。

背景技術(shù)：

PECVD系統(tǒng)是模塊化系統(tǒng)，在制備硅基異質(zhì)結(jié)電池時(shí)，將硅片制絨及清洗預(yù)處理之后，硅片通過上料機(jī)構(gòu)放置到載板上，進(jìn)入預(yù)熱腔室，然后完成n(或p)層沉積，之后通過具有冷卻功能的冷卻機(jī)構(gòu)進(jìn)入下料機(jī)構(gòu)，其中，硅片進(jìn)入PECVD系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)是通過放在鏤空載板上來(lái)實(shí)現(xiàn)，因此載板有些部分會(huì)有硅的沉積，而載板從大氣進(jìn)入腔室，加熱到冷卻的這種循環(huán)很容易使在載板上的沉積硅剝落到各個(gè)腔室內(nèi)，造成沉積鈍化膜質(zhì)量的下降。因此需要定期對(duì)PECVD鏤空載板進(jìn)行保養(yǎng)清洗。

目前，對(duì)PECVD鏤空載板只能將拆除放置硅片的小框連接線，后取下小框進(jìn)行手工打磨或者腐蝕清洗，之后在重新對(duì)該小框進(jìn)行串接拼裝回鏤空載板邊框。拆裝小框工作繁重且極易造成邊框螺絲滑牙而損壞邊框，手動(dòng)打磨小框效率低，打磨效果不均勻，容易在載板上留下磨痕而且產(chǎn)生大量粉塵不利于人身健康。采用溶液腐蝕，危險(xiǎn)系數(shù)較高，且溶液加熱速度慢，清洗后需純水再次清洗后烘干操作亦十分繁瑣。因此，很有必要開發(fā)一種有效的清洗設(shè)備，克服現(xiàn)有技術(shù)和設(shè)備上的不足，使鏤空載板清洗實(shí)現(xiàn)機(jī)械化和自動(dòng)化。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型提供了一種操作簡(jiǎn)單快捷，清洗載板速度快節(jié)省時(shí)間，清洗效果好，腐蝕均勻、干凈的鏤空載板自動(dòng)清洗平臺(tái)。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：一種鏤空載板自動(dòng)清洗平臺(tái)，包括底座、設(shè)在底座上的支架、設(shè)在支架上的清洗槽、堿液回收循環(huán)系統(tǒng)、純水進(jìn)出水控制系統(tǒng)，所述清洗槽分為上槽和下槽，所述上槽和下槽可拆分連接，所述下槽底面中部設(shè)有超聲波板，所述堿液回收循環(huán)系統(tǒng)由堿液回收桶、堿液輸出管、堿液回收管組成，所述堿液輸出管連接堿液回收桶和清洗槽，所述堿液回收管設(shè)于清洗槽底部并伸入堿液回收桶內(nèi)，所述純水進(jìn)出水控制系統(tǒng)由廢水收集桶、純水進(jìn)水管、廢水出水管組成，所述純水進(jìn)水管外接水源并連接到清洗槽底部，所述廢水出水管設(shè)于清洗槽底部并伸入廢水收集桶內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述清洗槽采用耐腐蝕材料不銹鋼或PP材質(zhì)焊接而成。

進(jìn)一步的，清洗槽槽體側(cè)面設(shè)有加強(qiáng)筋，可防止槽體發(fā)生形變。

進(jìn)一步的，所述清洗槽的上槽和下槽接觸面均設(shè)有相對(duì)的密封圈，上槽和下槽通過緊固裝置緊密連接，保證清洗時(shí)溶液漫過載板而不發(fā)生滲漏。

進(jìn)一步的，所述下槽設(shè)有支撐鏤空載板邊框的支撐架，鏤空載板的內(nèi)框與上槽和下槽接觸面平齊而不出現(xiàn)上下形變。

由上述對(duì)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的描述可知，和現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型集腐蝕、清洗為一體的多功能槽，上下槽配合可直接將鏤空載板的內(nèi)框放置于溶液中腐蝕而不會(huì)對(duì)外框造成影響，節(jié)省拆卸工序，清洗工序、組裝工序等，操作簡(jiǎn)單快捷，同時(shí)免去拆卸鏤空載板保養(yǎng)后再裝配的繁瑣工序，清洗載板速度快節(jié)省時(shí)間，提高鏤空載板的保養(yǎng)效率，清洗效果比傳統(tǒng)手工打磨好，打磨均勻、干凈。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本實(shí)用新型一種鏤空載板自動(dòng)清洗平臺(tái)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

實(shí)施例

參考圖1，一種鏤空載板自動(dòng)清洗平臺(tái)，包括底座1、設(shè)在底座上的支架2、設(shè)在支架上的清洗槽3、堿液回收循環(huán)系統(tǒng)4、純水進(jìn)出水控制系統(tǒng)5，所述清洗槽3分為上槽31和下槽32，所述上槽31和下槽32可拆分連接，所述下槽32底面中部設(shè)有超聲波板6，所述堿液回收循環(huán)系統(tǒng)4由堿液回收桶41、堿液輸出管42、堿液回收管43組成，所述堿液輸出管42連接堿液回收桶41和清洗槽3，所述堿液回收管43設(shè)于清洗槽3底部并伸入堿液回收桶41內(nèi)，所述純水進(jìn)出水控制系統(tǒng)5由廢水收集桶51、純水進(jìn)水管52、廢水出水管53組成，所述純水進(jìn)水管52外接水源并連接到清洗槽3底部，所述廢水出水管53設(shè)于清洗槽3底部并伸入廢水收集桶51內(nèi)。

所述清洗槽3采用耐腐蝕材料不銹鋼或PP材質(zhì)焊接而成，清洗槽3槽體側(cè)面設(shè)有加強(qiáng)筋33，可防止槽體發(fā)生形變。

所述清洗槽的上槽31和下槽32接觸面均設(shè)有相對(duì)的密封圈，上槽31和下槽32通過緊固裝置34緊密連接，保證清洗時(shí)溶液漫過載板而不發(fā)生滲漏。

所述下槽32設(shè)有支撐鏤空載板邊框的支撐架35，鏤空載板的內(nèi)框與上槽31和下槽32接觸面平齊而不出現(xiàn)上下形變。

工作原理：首先堿液回收循環(huán)系統(tǒng)4在載板放置于下槽支撐架35上槽通過上下槽密封圈及緊固裝置34與下槽32連接后由耐腐蝕泵進(jìn)行添加堿液，使堿液漫過載板而不發(fā)生滲漏，待載板覆蓋物被腐蝕反應(yīng)完成后，堿液排回堿液回收桶41內(nèi)；然后所述載板覆蓋物腐蝕清潔干凈后，采用純水進(jìn)水管52純水注入，當(dāng)液位到達(dá)要求后，純水停止注入同時(shí)超聲波系統(tǒng)工作，超聲波工作時(shí)間到達(dá)時(shí)，停止超聲波工作同時(shí)進(jìn)行排液處理，廢水通過廢水出水管53排入廢水收集桶51內(nèi)；經(jīng)數(shù)次以上重復(fù)工作確定載板已被清洗干凈后停止上述重復(fù)工作，清洗完成后分離上下槽取出載板。

本實(shí)用新型集腐蝕、清洗為一體的多功能槽，上下槽配合可直接將鏤空載板的內(nèi)框放置于溶液中腐蝕而不會(huì)對(duì)外框造成影響，節(jié)省拆卸工序，清洗工序、組裝工序等，操作簡(jiǎn)單快捷，同時(shí)免去拆卸鏤空載板保養(yǎng)后再裝配的繁瑣工序，清洗載板速度快節(jié)省時(shí)間，提高鏤空載板的保養(yǎng)效率，清洗效果比傳統(tǒng)手工打磨好，打磨均勻、干凈。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。