廢水處理裝置制造方法
【專利摘要】一種廢水處理裝置包含一淋式導(dǎo)引爐，其包含一槽體、一循環(huán)加熱裝置以及一淋式結(jié)構(gòu)。槽體具有一進(jìn)水口、一循環(huán)進(jìn)水口、一循環(huán)出水口、一排水口以及一排氣口，其中，循環(huán)進(jìn)水口以及排氣口設(shè)置于槽體的上半部，且循環(huán)出水口以及排水口設(shè)置于槽體的下半部。循環(huán)加熱裝置用以將槽體下半部的廢水抽出槽體外加熱至一循環(huán)溫度，并將加熱的廢水經(jīng)由循環(huán)進(jìn)水口引入槽體。淋式結(jié)構(gòu)設(shè)置于槽體內(nèi)的上半部，用以使廢水形成多個(gè)較小水流灑下，其中，廢水中的特定成分氣化并經(jīng)由排氣口抽離槽體。上述廢水處理裝置能夠大幅節(jié)省能源，并達(dá)到較高的回收效率。
【專利說明】廢水處理裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型是有關(guān)一種廢水處理裝置，特別是一種從廢水中分離出特定成分的廢水處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體工藝經(jīng)常會(huì)產(chǎn)生廢氣或廢水，為了符合環(huán)保法規(guī)，廢氣或廢水中的特定成分需降低至標(biāo)準(zhǔn)值以下才能進(jìn)行排放。舉例而言，氨(NH3)常被應(yīng)用于蝕刻、外延或清潔等半導(dǎo)體工藝，而未經(jīng)反應(yīng)的氨則從半導(dǎo)體裝置中排出。因此，在半導(dǎo)體工藝的后端需進(jìn)行廢氣處理，以將氨從廢氣或廢水中去除，以符合環(huán)保法規(guī)。
[0003]已知處理含有氨的廢氣或廢水的方法主要有酸吸收法以及燃燒法。酸吸收法是以硫酸或磷酸等來吸附氨，并將氨轉(zhuǎn)化為硫酸銨液或磷酸銨液再進(jìn)行排放，但仍需符合環(huán)保法令的相關(guān)規(guī)定。燃燒法則是將廢氣進(jìn)行燃燒排放，其導(dǎo)致較高的維修以及操作成本。此外，上述方法無法回收氨再利用。
[0004]綜上所述，提供一種以較低操作成本即可從廢水中分離出特定成分的廢水處理裝置便是目前極需努力的目標(biāo)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型提供一種廢水處理裝置，其是以一淋式導(dǎo)引爐使廢水以較小水流型式灑下，以提升廢水中特定成分氣化的效率，進(jìn)而使特定成分自廢水中分離出來。
[0006]本實(shí)用新型一實(shí)施例的廢水處理裝置是用以自一廢水中分離出一特定成分。廢水處理裝置包含一淋式導(dǎo)引爐，其包含一槽體、一循環(huán)加熱裝置以及一淋式結(jié)構(gòu)。槽體具有一進(jìn)水口、一循環(huán)進(jìn)水口、一循環(huán)出水口、一排水口以及一排氣口，其中，廢水經(jīng)由進(jìn)水口引入至槽體，循環(huán)進(jìn)水口以及排氣口設(shè)置于槽體的上半部，且循環(huán)出水口以及排水口設(shè)置于槽體的下半部。循環(huán)加熱裝置設(shè)置于循環(huán)進(jìn)水口以及循環(huán)出水口之間，用以將槽體下半部的廢水抽出槽體外加熱至一循環(huán)溫度，并將加熱的廢水經(jīng)由循環(huán)進(jìn)水口引入槽體。淋式結(jié)構(gòu)設(shè)置于槽體內(nèi)的上半部，用以使廢水形成多個(gè)較小水流灑下，其中，廢水中的特定成分氣化并經(jīng)由排氣口抽離槽體。
[0007]本實(shí)用新型另一實(shí)施例的含氨廢水處理裝置是用以自一廢水中分離出氨。廢水處理裝置包含一淋式導(dǎo)引爐，其包含一槽體、一循環(huán)加熱裝置以及一淋式結(jié)構(gòu)。槽體具有一進(jìn)水口、一循環(huán)進(jìn)水口、一循環(huán)出水口、一排水口以及一排氣口，其中，廢水經(jīng)由進(jìn)水口引入至槽體，循環(huán)進(jìn)水口以及排氣口設(shè)置于槽體的上半部，且循環(huán)出水口以及排水口設(shè)置于槽體的下半部。循環(huán)加熱裝置設(shè)置于循環(huán)進(jìn)水口以及循環(huán)出水口之間，用以將槽體下半部的廢水抽出槽體外加熱至一循環(huán)溫度,并將加熱后的廢水經(jīng)由循環(huán)進(jìn)水口引入槽體。淋式結(jié)構(gòu)設(shè)置于槽體內(nèi)的上半部，用以使廢水形成多個(gè)較小水流灑下，其中，廢水中的氨氣化并經(jīng)由排氣口抽離槽體。
[0008]以下經(jīng)由具體實(shí)施例配合所附的附圖詳加說明，當(dāng)更容易了解本實(shí)用新型的目 的、技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及其所達(dá)成的功效。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為一示意圖，顯示本實(shí)用新型一實(shí)施例的廢水處理裝置。
[0010]符號(hào)說明:
[0011]10 淋式導(dǎo)引爐
[0012]11 槽體
[0013]12 循環(huán)加熱裝置
[0014]13 淋式結(jié)構(gòu)
[0015]20 第一熱交換器
[0016]30 第二熱交換器
[0017]CIP 循環(huán)進(jìn)水口
[0018]COP 循環(huán)出水口
[0019]GOP 排氣口
[0020]GSC 氣態(tài)的特定成分
[0021]IP 進(jìn)水口
[0022]LCff 較低濃度廢水
[0023]OP 排水 口
[0024]SC 特定成分
[0025]W 廢水
【具體實(shí)施方式】
[0026]本實(shí)用新型的一實(shí)施例的廢水處理裝置是用以自一廢水中分離出一特定成分。舉例而言，廢水可為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)或光電產(chǎn)業(yè)的半導(dǎo)體工藝所產(chǎn)生的含氨的廢氣或廢水，但不限于此?？梢岳斫獾氖牵钡膹U氣可利用純水來吸收氨而形成含氨的廢水。后續(xù)即可利用本實(shí)用新型的廢水處理裝置將氨自廢水中分離出來再利用。
[0027]請(qǐng)參照?qǐng)D1，本實(shí)用新型的一實(shí)施例的廢水處理裝置一淋式導(dǎo)引爐10。淋式導(dǎo)引爐10則包含一槽體11、一循環(huán)加熱裝置12以及一淋式結(jié)構(gòu)13。槽體11具有一進(jìn)水口 IP、一循環(huán)進(jìn)水口 CIP、一循環(huán)出水口 C0P、一排水口 OP以及一排氣口 G0P。廢水W可經(jīng)由進(jìn)水口 IP引入至槽體11。循環(huán)進(jìn)水口 CIP以及排氣口 GOP設(shè)置于槽體11的上半部，而循環(huán)出水口 COP以及排水口 OP則設(shè)置于槽體11的下半部。
[0028]循環(huán)加熱裝置12是設(shè)置于循環(huán)進(jìn)水口 CIP以及循環(huán)出水口 COP之間。循環(huán)加熱裝置12可將槽體11下半部的廢水W經(jīng)由循環(huán)出水口 COP抽出槽體外加熱至一循環(huán)溫度，接著，將加熱后的廢水W經(jīng)由循環(huán)進(jìn)水口 CIP再引入槽體11?？梢岳斫獾氖?，為了減少能源的消耗，槽體11可包含一隔熱結(jié)構(gòu)(未圖示)，例如槽體11的外壁可為真空雙層結(jié)構(gòu)或包覆發(fā)泡材料以降低熱能的散失。隔熱結(jié)構(gòu)亦可由其它現(xiàn)有的技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)，在此不再贅述。同理，循環(huán)加熱裝置12連接至循環(huán)進(jìn)水口 CIP或循環(huán)加熱裝置12連接至循環(huán)進(jìn)出口COP的管路亦可包含適當(dāng)?shù)母魺峤Y(jié)構(gòu)(未圖示)。
[0029]淋式結(jié)構(gòu)13則是設(shè)置于槽體11內(nèi)的上半部。淋式結(jié)構(gòu)13可使廢水W形成多個(gè)較小水流自槽體上半部灑下，如此一來，廢水W中的特定成分即會(huì)有部分氣化，氣態(tài)的特定成分GSC即可經(jīng)由排氣口 GOP抽離槽體11。
[0030]于一實(shí)施例中，本實(shí)用新型的廢水處理裝置更包含一第一熱交換器20，其設(shè)置于進(jìn)水口 IP的上游側(cè)。第一熱交換器20可用以調(diào)整廢水W至一第一溫度。需注意者，依據(jù)實(shí)際的產(chǎn)線設(shè)計(jì)，此處所稱之調(diào)整一詞可能包含加熱或冷卻的意義。
[0031]于一實(shí)施例中，本實(shí)用新型的廢水處理裝置更包含一第二熱交換器30，其設(shè)置于排氣口 GOP的下游側(cè)。第二熱交換器30可用以調(diào)整經(jīng)由排氣口排出的特定成分SC至一第二溫度。需注意者，依據(jù)實(shí)際的產(chǎn)線設(shè)計(jì)或后續(xù)處理程序的需求，第二熱交換器30的出口端所輸出的特定成分SC可為氣態(tài)或液態(tài)。同理，此處所稱的調(diào)整一詞可能包含加熱或冷卻的意義。
[0032]需注意者，圖1所示的實(shí)施例是以一第一熱交換器、一淋式導(dǎo)引爐以及一第二熱交換器作說明，但不限于此。本實(shí)用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者能夠以任意數(shù)量的上述元件以及不同的組合方式設(shè)計(jì)出符合實(shí)際需求的廢水處理裝置。
[0033]以下以處理含氨的廢水來說明本實(shí)用新型的廢水處理裝置的操作流程。首先，將含氨的廢水W以第一熱交換器20調(diào)整至第一溫度。舉例而言,第一溫度的溫度范圍可為攝氏15至99度。需注意者，此流程可加以省略，而將適當(dāng)溫度的廢水直接經(jīng)由槽體11的進(jìn)水口 IP引入槽體11。經(jīng)由進(jìn)水口 IP引入槽體11的廢水W可直接流至槽體11的下半部。較佳者,經(jīng)由進(jìn)水口 IP引入槽體11的廢水W亦可經(jīng)由淋式結(jié)構(gòu)13形成較小水流而自槽體11的上半部灑下。
[0034]接著，循環(huán)加熱裝置12將槽體11下半部的廢水W經(jīng)由循環(huán)出水口 COP抽出槽體外加熱至一循環(huán)溫度，再將加熱后的廢水W經(jīng)由循環(huán)進(jìn)水口 CIP引入槽體11。于一實(shí)施例中，循環(huán)溫度的溫度范圍可為攝氏25至99度。經(jīng)由環(huán)進(jìn)水口 CIP引入槽體11的廢水是經(jīng)由淋式結(jié)構(gòu)13形成較小水流而自槽體11的上半部灑下?？梢岳斫獾氖?，適當(dāng)溫度的廢水以較小水流灑下時(shí)，部分廢水即會(huì)氣化，如同淋浴時(shí)熱水自蓮蓬頭或花灑流出所產(chǎn)生的蒸氣。而氣化的廢水中則包含較高濃度的氨?？梢岳斫獾氖牵^細(xì)小的水流可增加廢水與空氣的接觸面積，進(jìn)而提升氣化的效率。未氣化的廢水則流至槽體11的下半部，以進(jìn)行下一次循環(huán)加熱。當(dāng)未氣化的廢水中氨濃度降低至一設(shè)定值時(shí)，較低濃度廢水LCW即可經(jīng)由排水口OP排出槽體外。
[0035]最后，包含較高濃度氨的氣化廢水可經(jīng)由排氣口 GOP抽離槽體11，再經(jīng)第二熱交換器30調(diào)整至一第二溫度。舉例而言，第二溫度的溫度范圍可為攝氏-10至99度。第二溫度可依據(jù)欲獲得氣態(tài)或液態(tài)的產(chǎn)物來決定。舉例而言，第二熱交換器30的出口端欲獲得氣態(tài)的產(chǎn)物，則應(yīng)設(shè)定較高的第二溫度。相反的，欲獲得液態(tài)的產(chǎn)物，則應(yīng)設(shè)定較低的第二溫度。于一實(shí)施例中，第二熱交換器30的出口端所獲得的產(chǎn)物，其氨濃度大于或等于18%重量百分比。
[0036]需注意者，前述實(shí)施例是自廢水中分離氨，但不限于此，其它易于氣化的特定成分亦能夠以本實(shí)用新型的廢水處理裝置將其自廢水中分離。
[0037]綜合上述，本實(shí)用新型的廢水處理裝置是以一淋式導(dǎo)引爐中的淋式結(jié)構(gòu)使廢水以較小水流型式灑下，因此以相對(duì)較低的循環(huán)溫度即可有效促使廢水中特定成分氣化，進(jìn)而使特定成分自廢水中分離出來。此外，在廢水以較小水流型式灑下時(shí)維持適當(dāng)溫度即可有效促使廢水中特定成分氣化，因此，槽體內(nèi)的液態(tài)廢水以抽離槽體循環(huán)加熱的方式即能夠以較少的能源維持廢水灑下時(shí)的循環(huán)溫度，因而大幅節(jié)省能源。
[0038]以上所述的實(shí)施例僅是為說明本實(shí)用新型的技術(shù)思想及特點(diǎn)，其目的在使熟習(xí)此項(xiàng)技藝的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，當(dāng)不能以之限定本實(shí)用新型的專利范圍，即大凡依本實(shí)用新型所揭示的精神所作的均等變化或修飾，仍應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的專利范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種廢水處理裝置，其特征在于，其用以自一廢水中分離出一特定成分，該廢水處理裝置包含: 一淋式導(dǎo)引爐，其包含: 一槽體，其具有一進(jìn)水口、一循環(huán)進(jìn)水口、一循環(huán)出水口、一排水口以及一排氣口，其中，該廢水經(jīng)由該進(jìn)水口引入至該槽體，該循環(huán)進(jìn)水口以及該排氣口設(shè)置于該槽體的上半部，且該循環(huán)出水口以及該排水口設(shè)置于該槽體的下半部； 一循環(huán)加熱裝置，其設(shè)置于該循環(huán)進(jìn)水口以及該循環(huán)出水口之間，用以將該槽體下半部的該廢水抽出該槽體外加熱至一循環(huán)溫度，并將加熱后的該廢水經(jīng)由該循環(huán)進(jìn)水口引入該槽體；以及 一淋式結(jié)構(gòu)，其設(shè)置于該槽體內(nèi)的上半部，用以使該廢水形成多個(gè)較小水流灑下，其中，該廢水中的該特定成分氣化并經(jīng) 由該排氣口抽離該槽體。
2.如權(quán)利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，該循環(huán)溫度的溫度范圍為攝氏25至99度。
3.如權(quán)利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，更包含: 一第一熱交換器，其設(shè)置于該進(jìn)水口的上游側(cè)，用以調(diào)整該廢水至一第一溫度。
4.如權(quán)利要求3所述的廢水處理裝置，其特征在于，該第一溫度的溫度范圍為攝氏15至99度。
5.如權(quán)利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，更包含: 一第二熱交換器，其設(shè)置于該排氣口的下游側(cè)，用以調(diào)整經(jīng)由該排氣口排出的該特定成分至一第二溫度。
6.如權(quán)利要求5所述的廢水處理裝置，其特征在于，該第二溫度的溫度范圍為攝氏-10至99度。
7.如權(quán)利要求5所述的廢水處理裝置，其特征在于，該第二熱交換器的出口端為氣態(tài)或液態(tài)的該特定成分。
8.如權(quán)利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，該槽體包含一隔熱結(jié)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，該循環(huán)加熱裝置連接至該循環(huán)進(jìn)水口的一管路包含一隔熱結(jié)構(gòu)。
10.如權(quán)利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，該循環(huán)加熱裝置連接至該循環(huán)出水口的一管路包含一隔熱結(jié)構(gòu)。
11.一種含氨廢水處理裝置，其特征在于，其用以自一廢水中分離出氨，該廢水處理裝置包含: 一淋式導(dǎo)引爐，其包含: 一槽體，其具有一進(jìn)水口、一循環(huán)進(jìn)水口、一循環(huán)出水口、一排水口以及一排氣口，其中，該廢水經(jīng)由該進(jìn)水口引入至該槽體，該循環(huán)進(jìn)水口以及該排氣口設(shè)置于該槽體的上半部，且該循環(huán)出水口以及該排水口設(shè)置于該槽體的下半部； 一循環(huán)加熱裝置，其設(shè)置于該循環(huán)進(jìn)水口以及該循環(huán)出水口之間，用以將該槽體下半部的該廢水抽出該槽體外加熱至一循環(huán)溫度，并將加熱后的該廢水經(jīng)由該循環(huán)進(jìn)水口引入該槽體；以及 一淋式結(jié)構(gòu)，其設(shè)置于該槽體內(nèi)的上半部，用以使該廢水形成多個(gè)較小水流灑下，其中，該廢水中的氨氣化并經(jīng)由該排氣口抽離該槽體。
12.如權(quán)利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該循環(huán)溫度的溫度范圍為攝氏25至99度。
13.如權(quán)利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，更包含: 一第一熱交換器，其設(shè)置于該進(jìn)水口的上游側(cè)，用以調(diào)整該廢水至一第一溫度。
14.如權(quán)利要求13所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該第一溫度的溫度范圍為攝氏15至99度。
15.如權(quán)利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，更包含: 一第二熱交換器，其設(shè)置于該排氣口的下游側(cè)，用以調(diào)整經(jīng)由該排氣口排出的氨至一第二溫度。
16.如權(quán)利要求15所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該第二溫度的溫度范圍為攝氏-10至99度。
17.如權(quán)利要求15所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該第二熱交換器的出口端為氣態(tài)氨或液態(tài)氨。
18.如權(quán)利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該槽體包含一隔熱結(jié)構(gòu)。
19.如權(quán)利要求11所 述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該循環(huán)加熱裝置連接至該循環(huán)進(jìn)水口的一管路包含一隔熱結(jié)構(gòu)。
20.如權(quán)利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該循環(huán)加熱裝置連接至該循環(huán)出水口的一管路包含一隔熱結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】C02F1/04GK203794656SQ201420075921
【公開日】2014年8月27日 申請(qǐng)日期:2014年2月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月21日
【發(fā)明者】楊名翔, 范尚圣 申請(qǐng)人:楊名翔, 范尚圣