一種具有預加熱功能的氣體加熱設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及氣體輸送領域，尤其涉及一種具有預加熱功能的氣體加熱設備。
【背景技術】
[0002]隨著全球電子和光伏產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，國內(nèi)的半導體和光伏制造業(yè)也得到了迅猛的發(fā)展。據(jù)2006年中國半導體產(chǎn)業(yè)研宄報告指出:“2006年底，中國國內(nèi)有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC裝配廠，450家IC設計公司。2006年中國國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測350億元，晶圓制造242億元，IC設計215億元。中國國內(nèi)半導體市場的規(guī)模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上?！惫夥a(chǎn)業(yè)在近兩年快速發(fā)展，是未來新能源產(chǎn)業(yè)的主力軍。
[0003]目前，在半導體和光伏相關產(chǎn)業(yè)中，常用的制程中需要使用許多特殊氣體，而某些氣體在通過減壓后，因為溫度降低而使調(diào)壓閥及其它部件冷凝結(jié)冰，導致閥門及部件的壽命受損和氣體的不能正常運輸和供應，從而嚴重影響產(chǎn)業(yè)的效率，并導致成本的提高。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為了解決上述問題，本實用新型提供一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，利用預加熱的方式，有效的確保氣體運輸和供應的正常。
[0005]上述的一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，包括殼體和預加熱系統(tǒng)，所述殼體為長方體結(jié)構(gòu)，所述殼體的頂部設置有工藝氣出口、工藝氣進口以及上蓋板；所述預加熱系統(tǒng)包括接線柱、鉑熱電阻、過溫開關、電氣接頭以及電氣接頭預留口，所述接線柱和過溫開關均位于鉑熱電阻的周圍，所述接線柱、鉑熱電阻以及過溫開關均位于上蓋板的下方的殼體內(nèi)；所述電氣接頭和電氣接頭預留口分別位于殼體的兩個側(cè)壁上；所述殼體上設置有電氣接頭的側(cè)壁還設置有線纜固定座。
[0006]上述設備中，所述接線柱的數(shù)量為4根。
[0007]上述設備中，所述4根接線柱按照每組2根的布局分為2組。
[0008]上述設備中，所述2組接線柱中每組接線柱的功率為600W或1200W。
[0009]上述設備中，所述過溫開關的數(shù)量為2個。
[0010]上述設備中，所述過溫開關的保護溫度為65°C或100°C。
[0011]本實用新型的優(yōu)點和有益效果在于:本實用新型提供了一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，通過在現(xiàn)有加熱設備的基礎上增加了預加熱系統(tǒng)，從而實現(xiàn)了對輸送氣體的預加熱處理，進而避免了由于溫度降低而使調(diào)壓閥及其它部件冷凝結(jié)冰等情況的發(fā)生，并最終達到了確保氣體運輸和供應正常的目的。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1是本實用新型中氣體加熱設備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是圖1中氣體加熱設備去除上蓋板后的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0016]本實用新型記載了一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，包括殼體9和預加熱系統(tǒng)。
[0017]如圖1所示，殼體9采用了長方體結(jié)構(gòu)且其頂部設置有工藝氣出口 6、工藝氣進口7以及上蓋板10 ;該工藝氣出口 6則作為待加熱氣體的出口，可選擇3/8與1/2的male或Fmale的VCR ；;而工藝氣進口 7作為待加熱氣體的進口，同樣可選擇3/8與1/2的male或Fmale的VCR ;至于上蓋板10則負責保護其內(nèi)部的各個部件。
[0018]如圖2所示，本實用新型中的預加熱系統(tǒng)包括接線柱1、鉑熱電阻2、過溫開關3、電氣接頭4以及電氣接頭預留口 8，該接線柱I和過溫開關3位于鉑熱電阻2的周圍，且接線柱1、鉑熱電阻2以及過溫開關3均位于上蓋板10下方的殼體9的內(nèi)部；
[0019]其中，接線柱I主要負責加熱電源的接入，且共有四根，該4根接線柱I按照每組2根的布局分為2組。單組的功率為600W或1200W，如兩組全接時則功率翻倍；而鉑熱電阻2則主要用于測量系統(tǒng)的溫度，該鉑熱電阻2為PT100型電阻，它的阻值會隨著溫度的變化而改變，PT后的100即表示它在0°C時阻值為100歐姆，在100°C時它的阻值約為138.5歐姆。
[0020]同時，上述的過溫開關3可以根據(jù)氣體的性質(zhì)來工作，一般情況下會被限制在650C (動作溫度65±5°C，復位溫度50±10°C )以下，而部分冷卻效應過高的氣體則會限制在100 °C (動作溫度100±5°C，復位溫度85± 10°C )，從而可以在系統(tǒng)達到動作溫度時進行自我保護。
[0021]優(yōu)選的，為了達到更好的保護效果，本實用新型中的過溫開關3的數(shù)量為2個，且均設置在鉑熱電阻2的周圍。
[0022]此外，利用上述的電氣接頭4，可以將系統(tǒng)里的電源與信號與外部控制器相結(jié)合，以便進行控制；
[0023]至于電氣接頭4和電氣接頭預留口 8分別位于殼體9的兩個側(cè)壁上，且在設置有電氣接頭4的一側(cè)還設有線纜固定座5，該線纜固定座5可以將電氣接頭4出來的線纜固定在一起，以便減小設備的使用空間；
[0024]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，其特征在于，包括殼體和預加熱系統(tǒng)，所述殼體為長方體結(jié)構(gòu)，所述殼體的頂部設置有工藝氣出口、工藝氣進口以及上蓋板；所述預加熱系統(tǒng)包括接線柱、鉑熱電阻、過溫開關、電氣接頭以及電氣接頭預留口，所述接線柱和過溫開關均位于鉑熱電阻的周圍，所述接線柱、鉑熱電阻以及過溫開關均位于上蓋板的下方的殼體內(nèi)；所述電氣接頭和電氣接頭預留口分別位于殼體的兩個側(cè)壁上；所述殼體上設置有電氣接頭的側(cè)壁還設置有線纜固定座。
2.如權(quán)利要求1所述的一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，其特征在于，所述接線柱的數(shù)量為4根。
3.如權(quán)利要求2所述的一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，其特征在于，所述4根接線柱按照每組2根的布局分為2組。
4.如權(quán)利要求3所述的一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，其特征在于，所述2組接線柱中每組接線柱的功率為600W或1200W。
5.如權(quán)利要求1所述的一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，其特征在于，所述過溫開關的數(shù)量為2個。
6.如權(quán)利要求5所述的一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，其特征在于，所述過溫開關的保護溫度為65°C或100°C。
【專利摘要】本實用新型記載了一種具有預加熱功能的氣體加熱設備，包括殼體和預加熱系統(tǒng)，該殼體為長方體結(jié)構(gòu)且頂部設置有工藝氣出口、工藝氣進口以及上蓋板；而預加熱系統(tǒng)則包括接線柱、鉑熱電阻、過溫開關、電氣接頭以及電氣接頭預留口，該接線柱和過溫開關均位于鉑熱電阻的周圍，且接線柱、鉑熱電阻以及過溫開關均位于上蓋板下方的殼體內(nèi)；同時，在殼體的側(cè)壁上還設置有線纜固定座。由于采用了上述技術，本實用新型通過在現(xiàn)有加熱設備的基礎上增加了預加熱系統(tǒng)，從而實現(xiàn)了對輸送氣體的預加熱處理，進而避免了由于溫度降低而使調(diào)壓閥及其它部件冷凝結(jié)冰等情況的發(fā)生，并最終達到了確保氣體運輸和供應正常的目的。
【IPC分類】H05B3-02, F24H9-18, F24H3-00
【公開號】CN204574466
【申請?zhí)枴緾N201520253683
【發(fā)明人】甘萬
【申請人】上海盛韜半導體科技有限公司
【公開日】2015年8月19日
【申請日】2015年4月23日