專(zhuān)利名稱(chēng)：活動(dòng)梁式輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于輸送半導(dǎo)體基板、玻璃基板等的薄板狀的基板的活動(dòng)梁式輸送裝置。
背景技術(shù)：
已經(jīng)公知的活動(dòng)梁式輸送裝置，其具有長(zhǎng)條狀的第1梁和笫2梁，用于為了對(duì)半導(dǎo)體基板、玻璃基板等的薄板狀的基板實(shí)施規(guī)定的處理，而交替進(jìn)行長(zhǎng)度方向的相對(duì)移動(dòng)和上下方向的相對(duì)移動(dòng)，通過(guò)該第1梁和第2梁之間的交接，輸送被輸送物。例如，具有用于在對(duì)基板進(jìn)行熱處理的熱處理爐內(nèi)采用活動(dòng)梁而進(jìn)行輸送的活動(dòng)梁式輸送裝置的熱處理裝置即為其中一種。
但是，根據(jù)上述活動(dòng)梁式輸送裝置，在一邊交替支撐在第1梁和第2梁上一邊輸送的途中，有時(shí)由于熱沖擊、振動(dòng)等某種原因，會(huì)有在基板上產(chǎn)生破裂而分裂成多個(gè)的情況。這樣就會(huì)具有如下的問(wèn)題基板如果破裂成多塊，就不能被上述第1梁和第2梁支撐而脫落，并被繼續(xù)依次輸送來(lái)的基板所碰撞而堆積起來(lái)，因此產(chǎn)生不良品。
對(duì)此，提出了如下的活動(dòng)梁式輸送裝置，即，除了專(zhuān)門(mén)支撐基板的多個(gè)支撐銷(xiāo)之外，還在梁上設(shè)有低于該多個(gè)支撐銷(xiāo)的多個(gè)副支撐銷(xiāo)，如果基板破裂，也能通過(guò)上述副支撐銷(xiāo)支撐。例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的活動(dòng)梁式輸送裝置即為其中一種。由此，即使基板發(fā)生破裂，也能繼續(xù)輸送破裂的基板，所以，可減輕其后輸送來(lái)的基板碰撞破裂后的基板而堆積起來(lái)的情況。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)2004-18122號(hào)公報(bào)但是，根據(jù)上述以往的活動(dòng)梁式輸送裝置，與基板的背面相互鄰接的由第1梁支承的面積和由第2梁支承的面積相互不同，所以特別是在從第1梁向第2梁交接時(shí)，分裂后的基板有時(shí)會(huì)脫落，很難得到充分的效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是將以上的情況作為背景而進(jìn)行的，其目的在于提供一種即使被輸送物產(chǎn)生破裂，其也很難從梁上脫落，可保持原來(lái)狀態(tài)地輸送的活動(dòng)梁式輸送裝置。
本發(fā)明人等將以上的情況作為背景而不斷進(jìn)行各種研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)下述事實(shí)，即如果使與被輸送物的底面相互鄰接的由第1梁支承的范圍和由第2梁支承的范圍相互重疊，則即使在由于破裂等而分裂成多塊的被輸送物的情況下，也可以保持原來(lái)狀態(tài)地適當(dāng)?shù)剌斔?。本發(fā)明就是根據(jù)這樣的發(fā)現(xiàn)而進(jìn)行的。
即，作為用于實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的第1方面的發(fā)明要旨，(a)它是具有輸送方向的相對(duì)移動(dòng)和上下方向的相對(duì)移動(dòng)交替進(jìn)行的長(zhǎng)條狀的第1梁和第2梁，并用于通過(guò)在該第1梁和第2梁之間的交接來(lái)輸送被輸送物的活動(dòng)梁式輸送裝置；其特征在于，(b)包含用于支撐上述被輸送物的底面的多根長(zhǎng)條狀的水平支撐部件，其分別設(shè)置在上述第1梁和第2梁上，并在與輸送方向交叉的水平方向上相互平行；(c)設(shè)置在上述第1梁上的長(zhǎng)條狀的水平支撐部件的前端部和設(shè)置在上述第2梁上的長(zhǎng)條狀的水平支撐部件的前端部，在與上述輸送方向交叉的方向上的尺寸，在該輸送方向上相互重疊。
另外，根據(jù)本發(fā)明的第2方面的發(fā)明要旨，其中，使其通過(guò)具有用于輻射加熱上述被輸送物的加熱體的管道狀的加熱爐內(nèi)，來(lái)輸送該被輸送物。
根據(jù)本發(fā)明的第1方面的活動(dòng)梁式輸送裝置，包含用于支撐上述被輸送物的底面的多根長(zhǎng)條狀的水平支承部件，它們分別設(shè)置在上述第1梁和第2梁上、且在與輸送方向交叉的水平方向上相互平行；設(shè)置在上述第1梁上的長(zhǎng)條狀的水平支撐部件的前端部和設(shè)置在上述第2梁上的長(zhǎng)條狀的水平支撐部件的前端部，在上述輸送方向上相互重疊，所以，與被輸送物的底面相互鄰接的由第1梁支撐的范圍和由第2梁支撐的范圍在輸送方向上相互重疊；所以，即使是由于破裂等而分裂成多塊的被輸送物也可以適當(dāng)?shù)乇３制屏褷顟B(tài)地被輸送。因此，即使在被輸送物上產(chǎn)生破裂而被分裂成多塊，后續(xù)的被輸送物也不會(huì)碰撞該破裂后的被輸送物而堆積起來(lái)，可在降低不良產(chǎn)品率的同時(shí)提高被輸送物的處理設(shè)備的機(jī)動(dòng)性。
此外，根據(jù)本發(fā)明的第2方面的活動(dòng)梁式輸送裝置，使其通過(guò)具有用于輻射加熱上述被輸送物的加熱體的管道狀的加熱爐內(nèi)來(lái)輸送該被輸送物，所以，在該加熱爐內(nèi)，即使被輸送物破裂而分裂成多塊，后續(xù)的被輸送物也不會(huì)碰撞該割破的被輸送物而堆積起來(lái)，可在降低不良產(chǎn)品率的同時(shí)可提高用于對(duì)被輸送物進(jìn)行熱處理的設(shè)備即加熱爐的機(jī)動(dòng)性。


圖1是表示具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的活動(dòng)梁式輸送裝置的熱處理裝置的主視剖面圖。
圖2是用于表示圖1的實(shí)施例的活動(dòng)梁式輸送裝置的熱處理裝置的俯視剖面圖。
圖3是說(shuō)明通過(guò)圖1的實(shí)施例的活動(dòng)梁式輸送裝置來(lái)支撐基板的狀態(tài)的圖。
圖4是說(shuō)明通過(guò)本發(fā)明的其它實(shí)施例的活動(dòng)梁式輸送裝置來(lái)支撐基板的狀態(tài)的圖，是與圖3對(duì)應(yīng)的圖。
圖5是說(shuō)明通過(guò)本發(fā)明的其它實(shí)施例的活動(dòng)梁式輸送裝置來(lái)支撐基板的狀態(tài)的圖，是與圖3對(duì)應(yīng)的圖。
圖6是用于表示本發(fā)明的其它實(shí)施例的活動(dòng)梁式輸送裝置的熱處理裝置的俯視剖面圖，是與圖2對(duì)應(yīng)的圖。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明10熱處理裝置
14加熱爐16基板(被輸送物)18、58活動(dòng)梁式輸送裝置30固定梁(第1梁)34可動(dòng)梁(第2梁)52水平支撐軸(水平支撐部件)60固定梁64可動(dòng)梁66水平支撐部件具體實(shí)施方式
在此，上述被輸送物優(yōu)選為太陽(yáng)能電池、太陽(yáng)能電池用半導(dǎo)體晶片、LCD或者PDP用的玻璃基板等的薄板狀的基板。
此外，上述水平支撐部件優(yōu)選為以比上述被輸送物的輸送方向的尺寸的1/2還要短的間隔進(jìn)行配置的部件。這樣一來(lái)，在輸送方向上，在分別由第1梁支撐的狀態(tài)和由第2梁支撐的狀態(tài)下，由多根水平支撐部件來(lái)支撐，所以，即使是比較脆的容易破裂的基板也可以適當(dāng)?shù)剌斔?。例如，即使被輸送物產(chǎn)生破裂也可以適當(dāng)?shù)剌斔汀?br> 此外，上述水平支撐部件優(yōu)選為剖面圓形、剖面矩形的實(shí)心或者中空的長(zhǎng)條狀的棒材，并優(yōu)選由多孔陶瓷等的熱傳導(dǎo)率低于被輸送物的材料構(gòu)成。由此，被輸送物內(nèi)的溫度分布更加均勻。
此外，上述水平支撐部件優(yōu)選為，不必一定與輸送方向垂直，也不必一定是棒狀的，而是越朝著前端直徑越小的部件。
此外，上述水平支撐部件優(yōu)選為具有向上方突出的多個(gè)小突起、并通過(guò)該小突起來(lái)支撐上述被輸送物的部件。由此，被輸送物內(nèi)的溫度分布更加均勻。
此外，上述第1梁和/或第2梁優(yōu)選為，通過(guò)從該第1梁和第2梁向垂直方向突出設(shè)置的垂直支撐軸，來(lái)支撐上述水平支撐部件。這樣一來(lái)，在通過(guò)用于熱處理的爐壁時(shí)，垂直支撐軸支撐水平支撐部件，所以，被輸送物內(nèi)的溫度分布更加均勻。
上述第1梁和第2梁，可以設(shè)置成一方被固定并且另一方在輸送方向和上下方向上可相對(duì)移動(dòng)，也可以設(shè)置成兩方在輸送方向和上下方向上都可以相對(duì)移動(dòng)。
實(shí)施例以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。并且，在以下的實(shí)施例中，在說(shuō)明發(fā)明的具體例子的目的范圍內(nèi)，附圖進(jìn)行了適當(dāng)?shù)暮?jiǎn)化或者變形，各部分的尺寸和形狀等未必描述的準(zhǔn)確。
圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的熱處理裝置10的主要部分的剖面圖，圖2是切開(kāi)加熱爐14的爐體而表示其內(nèi)部的主要部分的俯視圖。在圖1和圖2中，熱處理裝置10包括管道狀的加熱爐14，其由機(jī)架12固定在規(guī)定高度位置；和活動(dòng)梁式輸送裝置18，其用于通過(guò)該加熱爐14內(nèi)來(lái)將作為被輸送物的基板16從加熱爐14的入口側(cè)向出口側(cè)依次輸送?；?6是用于例如大型液晶顯示裝置或者大型等離子顯示裝置中的玻璃半導(dǎo)體基板，是矩形例如100cm×120cm左右的長(zhǎng)方形?；?6，為了通過(guò)熱處理來(lái)將印刷在例如其表面和背面上的電極材料糊等的膜材料燒結(jié)固定而形成電極層，而在上述熱處理裝置10中進(jìn)行熱處理。
上述加熱爐14包括爐體20，其由在入口和出口處進(jìn)行開(kāi)口的管道狀的爐壁構(gòu)成；隔板22，其用于將該加熱爐14內(nèi)劃分成具有一定間隔的多個(gè)加熱室；和加熱板26，其設(shè)置在該爐體20內(nèi)并放射例如3到4μm或以上的波長(zhǎng)的遠(yuǎn)紅外線(xiàn)，對(duì)通過(guò)上述活動(dòng)梁式輸送裝置18而在各加熱室之間被依次輸送的基板16、以規(guī)定的加熱曲線(xiàn)來(lái)進(jìn)行熱處理。上述隔板22，是用于在各加熱室內(nèi)、一邊將基板16內(nèi)保持為均勻的溫度一邊進(jìn)行加熱的部件，并具有貫通孔24，其具有使基板16和后述梁狀的可動(dòng)梁34通過(guò)的必要且充分的截面積。當(dāng)在氧化性氣氛中進(jìn)行加熱時(shí)，通過(guò)未圖示的空氣供給管和排氣管除去上述加熱室內(nèi)的膜材料的燃燒尾氣，從而維持氣氛的清潔。如果是非氧化性氣氛，代替上述空氣采用氮?dú)獾榷栊詺怏w；如果是還原氣氛，則采用氫氣。
上述爐體20和隔板22由隔熱性能優(yōu)異且質(zhì)量輕的陶瓷纖維板構(gòu)成，并在該陶瓷纖維板的表面的至少內(nèi)壁面?zhèn)仁┘庸桀?lèi)涂層，上述陶瓷纖維板是通過(guò)將陶瓷纖維浸漬在例如硅膠中并被固定而成形為較厚的塊狀的。因此，不僅能得到隔熱性能，還能夠防止產(chǎn)生從陶瓷纖維板下來(lái)的粉塵，提高清潔度。
上述活動(dòng)梁式輸送裝置18包括較薄的梁狀的多根(在本實(shí)施例中是相互平行且等長(zhǎng)的4根)固定梁30，其作為第1梁，在爐體20內(nèi)的各加熱室內(nèi)分別固定成與輸送方向A平行且相互平行；比爐長(zhǎng)要長(zhǎng)的長(zhǎng)條狀的多根可動(dòng)梁34，即第2梁，其由貫通爐體20下側(cè)爐壁的多根支柱32來(lái)支撐；以及梁驅(qū)動(dòng)裝置36，其在該可動(dòng)梁34上，使相對(duì)于固定梁30在爐長(zhǎng)方向上的相對(duì)移動(dòng)和上下方向上的相對(duì)移動(dòng)交替進(jìn)行。在本實(shí)施例中，相互平行并比爐體20要長(zhǎng)的3根可動(dòng)梁34，配設(shè)在4根固定梁30之間。另外，可動(dòng)梁34，即使在其長(zhǎng)度方向上分割成多根，只要是相互被同步驅(qū)動(dòng)就沒(méi)有問(wèn)題。
梁驅(qū)動(dòng)裝置36包括多個(gè)移動(dòng)臺(tái)38，其設(shè)置成通過(guò)一對(duì)水平導(dǎo)軌37在輸送方向A上可移動(dòng)，并在爐體20的下側(cè)配置于爐長(zhǎng)方向的多個(gè)位置上；通用的往復(fù)驅(qū)動(dòng)裝置40，其往復(fù)驅(qū)動(dòng)該移動(dòng)臺(tái)38；通用的凸輪軸44，其具有多個(gè)上下凸輪42，并可轉(zhuǎn)動(dòng)地支撐在各移動(dòng)臺(tái)38上；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置46，其配置在移動(dòng)臺(tái)38之一上，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)該凸輪軸44；和上下面板50，其通過(guò)設(shè)置在移動(dòng)臺(tái)38上的上下引導(dǎo)裝置48而向上下方向引導(dǎo)，并且通過(guò)上下凸輪42而上下驅(qū)動(dòng)；借助于直立設(shè)置在該上下面板50上的支柱32而在可動(dòng)梁34上依次且反復(fù)地進(jìn)行相對(duì)于固定梁30的上升運(yùn)動(dòng)、前進(jìn)運(yùn)動(dòng)、下降運(yùn)動(dòng)、后退運(yùn)動(dòng)，由此進(jìn)行在固定梁30和可動(dòng)梁34之間的交接，從而使基板16向加熱爐14的出口、以規(guī)定的輸送行程來(lái)依次輸送。另外，圖1的點(diǎn)劃線(xiàn)表示固定設(shè)置在可動(dòng)梁34上的水平支撐軸52下降的位置。
分別在上述固定梁30和可動(dòng)梁34上，以一定的間隔固定有多個(gè)水平支撐軸52，其與輸送方向A成直角交叉并在水平方向上相互平行。該支撐軸52的配置間隔，設(shè)定成基板16的輸送方向A的尺寸B的1/8，所以在由固定梁30支撐的狀態(tài)和由可動(dòng)梁34支撐的狀態(tài)中，分別通過(guò)8根或9根水平支撐軸52來(lái)支撐著。該支撐軸52的配置間隔只要設(shè)定在上述尺寸B的1/2或以下便可得到大致的效果。此外，該支撐軸52的配置間隙也可以不設(shè)成一定。上述水平支撐軸52為例如剖面圓形、剖面矩形的實(shí)心或者中空的棒材，由多孔陶瓷等的熱傳導(dǎo)率低于基板16的材質(zhì)構(gòu)成。
如圖1和圖2所示，在本實(shí)施例中，固定在4根固定梁30中的位于內(nèi)側(cè)的一對(duì)固定梁30上的支撐軸52，與固定在位于外側(cè)的一對(duì)固定梁30上的支撐軸52相比，長(zhǎng)度尺寸較大。另外，固定在3根可動(dòng)梁34中的位于內(nèi)側(cè)的1根可動(dòng)梁34上的水平支撐軸52，與固定在位于外側(cè)的1對(duì)可動(dòng)梁34上的支撐軸52相比，長(zhǎng)度尺寸較大。并且，設(shè)置在上述固定梁30上的水平支撐軸52的前端部，和設(shè)置在可動(dòng)梁34上的水平支撐軸52的前端部，以在上述輸送方向A上相互重疊的方式，來(lái)設(shè)置水平支撐軸52的長(zhǎng)度。圖2的d1、d2、d3、d4、d5、d6，分別表示設(shè)置在固定梁30上的水平支撐軸52的前端部和設(shè)置在可動(dòng)梁34上的水平支撐軸52的前端部的重疊尺寸。為了將這些重疊尺寸d1、d2、d3、d4、d5、d6盡可能地放大，水平支撐軸52從固定梁30和可動(dòng)梁34的一方朝向另一方，突出于到達(dá)另一方的正前方位置為止。這些支撐軸52作為用于支撐基板16的支撐部件而起作用。
在如以上所述那樣構(gòu)成的活動(dòng)梁式輸送裝置18中，基板16通過(guò)設(shè)置在固定梁30上的水平支撐軸52來(lái)支撐的狀態(tài)，和如圖3所示基板16通過(guò)設(shè)置在可動(dòng)梁34上的水平支撐軸52來(lái)支撐的狀態(tài)，這兩種狀態(tài)交替進(jìn)行，從而輸送基板16。在此，設(shè)置在固定梁30上的水平支撐軸52的前端部和設(shè)置在可動(dòng)梁34上的水平支撐軸52的前端部，這兩個(gè)端部以重疊的方式構(gòu)成，所以對(duì)于規(guī)定的基板16，由上述固定梁30的多根水平支撐軸52支撐的支撐面積(包含與水平支撐軸52相接觸的多個(gè)接觸點(diǎn)的面積)，和由可動(dòng)梁34的多根水平支撐軸52支撐的支撐面積，兩種支撐面積相互重疊，所以，即使在被輸送的過(guò)程中基板16被分裂并分離，也能夠作為整體而以破裂的狀態(tài)輸送。
如上所述，根據(jù)本實(shí)施例的熱處理裝置10的活動(dòng)梁式輸送裝置，包含用于支撐基板(被輸送物)16的底面的多根水平支承軸52，它們分別設(shè)置在固定梁(第1梁)30和可動(dòng)梁(第2梁)34上、且在與輸送方向A垂直的水平方向上相互平行；設(shè)置在上述固定梁30上的水平支撐軸52的前端部和設(shè)置在上述可動(dòng)梁34上的水平支撐軸52的前端部，在上述輸送方向A上相互重疊，所以，與基板16的底面相互鄰接的由固定梁30支撐的范圍和由可動(dòng)梁34支撐的范圍在輸送方向上相互重疊；所以，即使是由于破裂等而分裂成多塊的基板16也可以適當(dāng)?shù)乇３制屏褷顟B(tài)地被輸送。因此，即使在基板16上產(chǎn)生破裂而被分裂成多塊，后續(xù)的基板16也不會(huì)碰撞該破裂后的基板而堆積起來(lái)，可在降低不良產(chǎn)品率的同時(shí)提高基板16的處理設(shè)備的機(jī)動(dòng)性。
此外，根據(jù)本實(shí)施例的活動(dòng)梁式輸送裝置18，使其通過(guò)具有對(duì)基板16進(jìn)行輻射加熱的加熱板(加熱體)26的管道狀的加熱爐14內(nèi)，來(lái)輸送該基板16，所以，在該加熱爐14內(nèi)，即使在基板16上產(chǎn)生破裂而被分裂成多塊，后續(xù)的基板16也不會(huì)碰撞該破裂后的基板而堆積起來(lái)，可在降低不良產(chǎn)品率的同時(shí)提高用于對(duì)基板16進(jìn)行熱處理的設(shè)備即加熱爐14的的機(jī)動(dòng)性。
此外，在本實(shí)施例中，由于水平支撐軸52，以比基板16的輸送方向的尺寸的1/2還要短的間隔進(jìn)行配置，所以，在輸送方向A上，在由固定梁30支撐的狀態(tài)和由可動(dòng)梁34支撐的狀態(tài)下，分別由多個(gè)水平支撐軸52來(lái)支撐，因此即使是比較脆的容易破裂的基板16也可以適當(dāng)?shù)剌斔汀?br> 此外，在本實(shí)施例中，水平支撐軸52，為例如剖面圓形、剖面矩形的實(shí)心或者中空的棒材，并由多孔陶瓷等熱傳導(dǎo)率低于基板16的材質(zhì)構(gòu)成，所以基板16的溫度分布更加均勻。
下面，對(duì)本發(fā)明的其它實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。另外，在以下的說(shuō)明中，對(duì)于與前述的實(shí)施例相同的部分標(biāo)以相同的標(biāo)號(hào)并省略說(shuō)明。
在圖4的實(shí)施例中，在可動(dòng)梁34中，垂直支撐軸54借助于水平支撐軸52而安裝在可動(dòng)梁34上。即，可動(dòng)梁34借助于從其向垂直方向突出設(shè)置的垂直支撐軸54來(lái)支撐水平支撐軸52。垂直支撐軸54由與水平支撐軸52相同的材質(zhì)構(gòu)成。根據(jù)本實(shí)施例，在通過(guò)用于熱處理的爐體(爐壁)20時(shí)，垂直支撐軸54支撐水平支撐軸52，所以，基板16的溫度分布更加均勻。另外，上述垂直支撐軸54也可以設(shè)置在固定梁30上。
在圖5的實(shí)施例中，在設(shè)置于固定梁30和可動(dòng)梁34上的水平支撐軸52上，具有向上方突出的多個(gè)小凸起56。這些小凸起56，用于以盡可能的小接觸面積支撐基板16，并由與水平支撐軸52相同的材質(zhì)構(gòu)成。在本實(shí)施例中，水平支撐軸52，具有向上方突出的多個(gè)小凸起56，借助于這些小凸起56來(lái)支撐基板16，所以基板16內(nèi)的溫度分布更加均勻。
圖6是用于表示本發(fā)明的其它實(shí)施例的活動(dòng)梁式輸送裝置58的熱處理裝置的俯視剖面圖。在圖6的活動(dòng)梁式輸送裝置58中，固定梁60和可動(dòng)梁64與上述固定梁30和可動(dòng)梁34相同，但設(shè)置在這些固定梁60和可動(dòng)梁64上的水平支撐部件66的形狀和上述的水平支撐軸52不同。即，在本實(shí)施例中，固定在可動(dòng)梁64上的水平支撐部件66，是剖面矩形的板狀，并形成得，從兩端部向該可動(dòng)梁64、越來(lái)越朝向與輸送方向A相反的方向，并相對(duì)于可動(dòng)梁64而左右對(duì)稱(chēng)，而且以小于直角的角度與可動(dòng)梁64交叉，并且分別設(shè)置在3根可動(dòng)梁64上、在輸送方向A上相互重疊的部分的水平支撐部件66相互平行。另外，固定在4根固定梁60上的水平支撐部件66，形成得，從其兩端部向該固定梁60、越來(lái)越朝向輸送方向A的方向，并相對(duì)于固定梁60而左右對(duì)稱(chēng)，而且以小于直角的角度與固定梁60交叉，并且固定在上述固定梁60上的水平支撐部件66之間相互平行。另外，在固定在4根固定梁60中的位于外側(cè)的一對(duì)固定梁60上的水平支撐部件66中，在從該一對(duì)固定梁60向外側(cè)突出的部分上，設(shè)有相對(duì)于從該固定梁60向內(nèi)側(cè)突出的部分，位于直線(xiàn)上的分支凸起66b。根據(jù)本實(shí)施例，與上述實(shí)施例的支撐軸52相比，水平支撐部件66的長(zhǎng)度更長(zhǎng)，并且，由于設(shè)有上述分支凸起66b，所以相對(duì)于基板16的水平支撐部件66的支撐長(zhǎng)度更長(zhǎng)，因此即使是由于破裂等而被分裂成多塊的基板16，也可以更適當(dāng)?shù)乇３制屏褷顟B(tài)而被輸送。
上面，參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明在其他的方式中也可以實(shí)施，在不脫離其主要意思的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更。
權(quán)利要求
1.一種活動(dòng)梁式輸送裝置，它是具有輸送方向的相對(duì)移動(dòng)和上下方向的相對(duì)移動(dòng)交替進(jìn)行的長(zhǎng)條狀的第1梁和第2梁，并用于通過(guò)在該第1梁和第2梁之間的交接來(lái)輸送被輸送物的活動(dòng)梁式輸送裝置；其特征在于，包含用于支撐上述被輸送物的底面的多根長(zhǎng)條狀的水平支撐部件，其分別設(shè)置在上述第1梁和第2梁上，并在與輸送方向交叉的水平方向上相互平行；設(shè)置在上述第1梁上的長(zhǎng)條狀的水平支撐部件的前端部和設(shè)置在上述第2梁上的長(zhǎng)條狀的水平支撐部件的前端部，在與上述輸送方向交叉的方向上的尺寸，在該輸送方向上相互重疊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的活動(dòng)梁式輸送裝置，其特征在于，使其通過(guò)具有用于輻射加熱上述被輸送物的加熱體管道狀的加熱爐內(nèi)，來(lái)輸送該被輸送物。
全文摘要
提供一種即使被輸送物產(chǎn)生破裂，其也很難從梁上脫落，可保持原來(lái)狀態(tài)地輸送的活動(dòng)梁式輸送裝置。根據(jù)該活動(dòng)梁式輸送裝置，設(shè)置在固定30上的水平支撐軸52的前端部和設(shè)置在可動(dòng)梁34上的水平支撐軸52的前端部，在輸送方向A上相互重疊，所以，與基板16的底面相互鄰接的固定梁30的支撐范圍和可動(dòng)梁34的支撐范圍，在輸送方向上相互重疊，所以，即使是由于破裂等而被分裂成多塊的基板16，也可以保持該狀態(tài)下被輸送。
文檔編號(hào)F27D3/04GK1854658SQ20061006696
公開(kāi)日2006年11月1日 申請(qǐng)日期2006年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月30日
發(fā)明者森洋行, 田中健一, 石榑智之, 大川直樹(shù) 申請(qǐng)人:諾利塔克股份有限公司