專利名稱：清潔室、局部清潔系統(tǒng)、其使用方法及清潔室安全系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造半導(dǎo)體裝置的制造工廠中的清潔室、局部清潔系統(tǒng)、其使用方法及清潔室安全系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
伴隨著半導(dǎo)體工序的精細化，對工序環(huán)境的清潔程度也逐漸提高。為此，低成本控制性好可控制清潔度的局部清潔化(小環(huán)境)方式的采用在增加。
小環(huán)境方式中，使用將半導(dǎo)體基板暴露在環(huán)境中的局部區(qū)域的小環(huán)境內(nèi)清潔度設(shè)定為等級1(粒徑0.1μm以上的異物每0.028m3(1立方feet)1個以下)，這以外的區(qū)域的清潔度設(shè)定為等級1000(粒徑0.1μm以上的異物每0.028m3(1立方feet)1000個以下)的清潔室是一般的。
但是，對于設(shè)備的維修和故障時，小環(huán)境內(nèi)或工藝室內(nèi)，沒有設(shè)想露出半導(dǎo)體基板的清潔度低環(huán)境，就有小環(huán)境等內(nèi)部污染的擔心。還有，相反在設(shè)備檢修作業(yè)時產(chǎn)生的粒子等污染周圍環(huán)境。
為了防止這些現(xiàn)象，由支柱和風扇過濾單位、尼龍簾子構(gòu)成的簡易移動式局部清潔室，準備在任何區(qū)域的高清潔度的范圍(參照專利文獻1)。
(專利文獻1)特開平4-34743 5號公報(日本)(發(fā)明所要解決的課題)然而，組合這樣局部清潔室的方法，運入現(xiàn)場及組合需要大量人手和時間，在使用于日常的設(shè)備維修是不適宜的。還有，為有效地利用清潔室面積，半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備盡可能地密集配置，所以，將需要支柱的局部清潔室設(shè)置到清潔室內(nèi)是非常困難的，甚至在組成局部清潔室時污染周圍的環(huán)境。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明，其目的在于解決上述以前的問題，實現(xiàn)簡便地短時間地能夠構(gòu)筑在清潔室內(nèi)區(qū)域具有必要的清潔度的局部清潔化區(qū)域的局部清潔化系統(tǒng)，它的使用方法及清潔室安全系統(tǒng)。
(解決課題的方法)為了達成上述目的，本發(fā)明由自走式風扇過濾單元沿著設(shè)置在清潔室內(nèi)的運送用軌道形成的局部清潔化區(qū)域構(gòu)成局部清潔化系統(tǒng)。
具體地講，本發(fā)明的清潔室，在內(nèi)部設(shè)置了半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備，是以在天花板下配置了格子狀運送用軌道為特征。
本發(fā)明的清潔室，因為在天花板下配置了格子狀運送用軌道，所以不需要經(jīng)過人手可以在清潔室內(nèi)運送任意位置的材料、零件、裝置及其他，所以能夠防止由于工作人員的移動所產(chǎn)生的清潔室內(nèi)的污染。還有，通過使用運送用軌道移動風扇過濾單元，可以在清潔室內(nèi)局部形成高清潔度區(qū)域。因此，既省力又提高清潔度能夠兩立，實現(xiàn)了適合于半導(dǎo)體裝置制造的清潔室。
本發(fā)明的局部清潔化系統(tǒng)，是以包括在清潔室內(nèi)天花板下配置了格子狀運送用軌道和沿著運送用軌道運送可能的自走式風扇過濾單元，通過使用運送用軌道在清潔室內(nèi)所規(guī)定的區(qū)域移動自走式風扇過濾單元，可在清潔室內(nèi)所規(guī)定區(qū)域形成與除該所規(guī)定區(qū)域以外的區(qū)域清潔度高的局部清潔化區(qū)域為特征。
根據(jù)本發(fā)明的局部清潔化系統(tǒng)，因為沿著在清潔室內(nèi)配置的格子狀運送用軌道運送自走式風扇過濾單元，所以，只是移動風扇過濾單元就能簡單地短時間地在清潔室內(nèi)形成所規(guī)定位置所規(guī)定大小的局部清潔化區(qū)域。因此，在設(shè)備維修時或異常發(fā)生時能夠快速對應(yīng)，其結(jié)果，可以提高設(shè)備的生產(chǎn)性。
還有，因為不再需要保留設(shè)置局部清潔空間那樣的支柱的位置，所以有效地利用清潔室內(nèi)的空間成為可能。再有，不需要組裝作業(yè)，在可能省力的同時也防止了伴隨組裝作業(yè)的清潔室的污染。
在本發(fā)明的局部清潔化系統(tǒng)中，自走式風扇過濾單元，最好的是具有粒子除去用過濾器或化學(xué)過濾器中至少一種。由這種構(gòu)成，能夠確實構(gòu)筑必要的清潔度的環(huán)境。
本發(fā)明的局部清潔化系統(tǒng)，最好的是還包括可以沿運送用軌道且形成遮斷空氣流的隔板的自走式隔板單元，通過將自走式隔板單元配置在局部清潔化區(qū)域的周圍，遮斷該局部清潔化區(qū)域和除該局部清潔化區(qū)域以外的區(qū)域之間的空氣流。通過這樣的構(gòu)成，由于從其他區(qū)域向局部清潔化區(qū)域流入空氣，就確實可以防止局部清潔化區(qū)域內(nèi)的清潔度降低。
還有，這種情況下，自走式隔板單元，最好的是噴出空氣形成空氣簾的空氣簾單元。還有，安裝可收卷簾式卷簾單元亦可。通過這樣的構(gòu)成確實可以分割局部清潔化區(qū)域和其他區(qū)域。
本發(fā)明的局部清潔化系統(tǒng)，最好的是在清潔室外設(shè)置收納自走式風扇過濾單元及自走式隔板單元的收納區(qū)域，通過這樣的構(gòu)成，可以有效地利用清潔室內(nèi)的空間。
本發(fā)明第1使用局部清潔化系統(tǒng)的方法，在內(nèi)部設(shè)置了半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的清潔室內(nèi)，是以在天花板下配置了格子狀運送用軌道，具有沿著運送用軌道運送可能的自走式風扇過濾單元，通過使用運送用軌道在清潔室內(nèi)所規(guī)定的區(qū)域移動自走式風扇過濾單元，當設(shè)置了可在清潔室內(nèi)所規(guī)定區(qū)域形成與除該所規(guī)定區(qū)域以外的區(qū)域清潔度高的局部清潔化區(qū)域的情況下，以包括在設(shè)置了清潔室內(nèi)的半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的區(qū)域形成局部清潔化區(qū)域的工序和在局部清潔化區(qū)域中進行半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的維修工序為特點。
根據(jù)本發(fā)明的第1使用局部清潔化系統(tǒng)的方法，可使進行維修的半導(dǎo)體裝置制造設(shè)備的周圍簡單迅速地達到所規(guī)定的清潔度。因此，在大幅度削減了維修所需工時數(shù)的同時，也防止了維修時污染半導(dǎo)體裝置制造設(shè)備。
第1使用局部清潔化系統(tǒng)的方法，最好的是還包括用運送用軌道向局部清潔化區(qū)域運送維修半導(dǎo)體裝置制造設(shè)備工序中使用的部件、工具及備件的工序。通過這樣做，在容易運入維修用材料的同時，也防止了污染環(huán)境。
本發(fā)明的第2使用局部清潔化系統(tǒng)的方法，以包括在內(nèi)部設(shè)置了半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的清潔室內(nèi)，具有在該天花板下配置了格子狀運送用軌道和沿著運送用軌道運送可能的自走式風扇過濾單元，通過使用運送用軌道在清潔室內(nèi)所規(guī)定的區(qū)域移動自走式風扇過濾單元，當設(shè)置了可在清潔室內(nèi)所規(guī)定區(qū)域形成與除該所規(guī)定區(qū)域以外的區(qū)域清潔度高的局部清潔化區(qū)域的情況下，設(shè)置在清潔室內(nèi)的運入運出口附近區(qū)域及成為運入運出通道的區(qū)域形成局部清潔化區(qū)域的工序，以及沿著局部清潔化了的運入運出通道進行運入運出半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的工序為特點。
根據(jù)第2使用局部清潔化系統(tǒng)的方法，因為極容易將運入運出口及運入運出通道局部清潔化，所以能夠保持清潔的環(huán)境的情況下運入運出設(shè)備。還有，因為可以遮斷運入運出口及運入運出通道和清潔室內(nèi)其他區(qū)域之間的空氣流動，所以可以防止設(shè)備運入運出時清潔室內(nèi)的污染。
本發(fā)明的第3使用局部清潔化系統(tǒng)的方法，以包括在內(nèi)部設(shè)置了半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的清潔室內(nèi)，具有在該天花板下配置了格子狀運送用軌道和沿著運送用軌道運送可能的自走式風扇過濾單元，通過使用運送用軌道在清潔室內(nèi)所規(guī)定的區(qū)域移動自走式風扇過濾單元，當設(shè)置了可在清潔室內(nèi)所規(guī)定區(qū)域形成與除該所規(guī)定區(qū)域以外的區(qū)域清潔度高的局部清潔化區(qū)域的情況下，設(shè)置在清潔室內(nèi)的制造半導(dǎo)體裝置的區(qū)域形成局部清潔化區(qū)域的工序，以及在局部清潔化區(qū)域制造半導(dǎo)體裝置的工序為特點。
根據(jù)第3使用局部清潔化系統(tǒng)的方法，因為使用本發(fā)明的局部清潔化系統(tǒng)局部清潔化了露出半導(dǎo)體基板的區(qū)域，就可以防止半導(dǎo)體基板由于環(huán)境的污染。還有，因為沒有必要提高全清潔室的清潔度，節(jié)省半導(dǎo)體裝置制造設(shè)備的能量使用成為可能。
本發(fā)明的清潔室安全系統(tǒng)，是以包括在該天花板下配置的格子狀運送用軌道，安裝了氣體檢驗裝置或視認用攝像裝置且沿著運送用軌道可以運送的自走式監(jiān)視單元，設(shè)置在清潔室外部，進行自走式監(jiān)視單元的移動及監(jiān)視的自走式監(jiān)視單元控制裝置為特征。
根據(jù)本發(fā)明的清潔室安全系統(tǒng)，因為可容易地將監(jiān)視單元移動到清潔室內(nèi)任何位置，所以，由監(jiān)視單元確實可以監(jiān)視清潔室內(nèi)的狀況。
(發(fā)明效果)本發(fā)明的清潔室、局部清潔化系統(tǒng)、及其使用方法和清潔室安全系統(tǒng)，能夠在清潔室內(nèi)簡便短時間地構(gòu)筑成必要區(qū)域中的必要清潔度的局部清潔化區(qū)域，所以，通過使用它可能有效地進行半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的日常維修及運出運入等的同時，也防止了清潔室內(nèi)的污染。再有，沒有必要使清潔室整體高度清潔，制造設(shè)備的省能源可以實現(xiàn)。


圖1，是表示包括本發(fā)明的第1實施方式所涉及的局部清潔化系統(tǒng)的清潔室構(gòu)造剖面概略圖。
圖2，是表示包括本發(fā)明的第1實施方式所涉及的局部清潔化系統(tǒng)的清潔室從上方看的平面圖。
圖3，是表示包括本發(fā)明的第2實施方式所涉及的局部清潔化系統(tǒng)的清潔室從上方看的平面圖。
圖4，是表示包括本發(fā)明的第3實施方式所涉及的局部清潔化系統(tǒng)的清潔室構(gòu)造剖面概略圖。
(符號說明)1系統(tǒng)天花板2固定風扇過濾單元3活動板4返回通道5空調(diào)線圈單元6運送用軌道7保存區(qū)域8自走式風扇過濾單元9自走式隔板單元11 卷簾端部12 氣體檢測裝置13 視認用攝像裝置14 半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備16 運出通路17 運出通路20 局部清潔化區(qū)域21 空氣簾單元
22卷簾式24自走式監(jiān)視單元具體實施方式
(第1實施方式)參照

本發(fā)明的第1實施方式。圖1，是表示包括本發(fā)明的第1實施方式所涉及的局部清潔化系統(tǒng)的清潔室構(gòu)造剖面概略圖。如圖1所示清潔室的系統(tǒng)天花板1上，配置了由過濾部和風扇部形成的固定風扇過濾單元2，從固定風扇過濾單元2向活動板3提供向下的風(層流)的清潔空氣?；顒影?成為格柵形，從風扇過濾單元2提供的清潔空氣通過格柵從底下流走。從底下流走的清潔空氣，通過設(shè)置在清潔室的內(nèi)壁和外壁之間的返回通道4回收，接下來由設(shè)置在返回通道4內(nèi)的空調(diào)線圈單元5調(diào)整后，再次提供給風扇過濾單元2，在清潔室內(nèi)循環(huán)。通過這樣的構(gòu)成使清潔室內(nèi)的環(huán)境達到等級1000(粒徑0.1μm以上的異物每0.028m31000個以下)。
系統(tǒng)天花板1和活動板3之間以從系統(tǒng)天花板1吊下設(shè)置運送用軌道6，可以使由過濾部及風扇部組合的運送體的自走式風扇過濾單元8沿著運送用軌道6自走。運送用軌道6，在清潔室內(nèi)全區(qū)域配置成格子狀，可以使運送體沿著運送用軌道6移動到清潔室內(nèi)的任何位置。還有，運送用軌道6的一部分，延長到設(shè)置在清潔室外的外部保存區(qū)域7，可以收納不使用的運送體。且，運送用軌道6上，可以使用通常所使用的任意種類的運送用軌道，如，使用在軌道上運送體行走種類的運送用軌道或在軌道下吊下運送體種類的運送用軌道均可。
自走式風扇過濾單元8是按照運送用軌道6格子的尺寸設(shè)計的，可以組合復(fù)數(shù)個自走式風扇過濾單元8沿著格子排列。因此，通過使必要數(shù)量的自走式風扇過濾單元8移動到必要的位置，可以在清潔室內(nèi)的任何區(qū)域形成局部清潔化區(qū)域20。還有，不使用的自走式風扇過濾單元8，使其移動到設(shè)置在清潔室外的外部保存區(qū)域7保存。
使用在自走式風扇過濾單元8的過濾部的過濾器上，對應(yīng)于形成局部清潔化區(qū)域20的清潔度，可使用除去粒子用過濾器的紙濾器或氈紙濾器。還有，根據(jù)需要單獨設(shè)置除去化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)過濾器或者是和粒子過濾器組合亦可。
還有，通過使風扇部的運轉(zhuǎn)、停止及風量調(diào)整等以單元為單位獨立進行，可以統(tǒng)一局部清潔化區(qū)域20內(nèi)的空氣流，達成更高的清潔度成為可能。還有，通過停止不用的單元，省能源就成為可能。
再有，通過在局部清潔化區(qū)域20的周圍配置自走式隔板單元9，可以遮斷局部清潔化區(qū)域20和其他區(qū)域之間的空氣流。由此，在可以防止局部清潔化區(qū)域20的來自外部的污染的同時，在局部清潔化區(qū)域20內(nèi)進行維修時產(chǎn)生污染物的情況下也能夠防止向外部污染。
作為自走式隔板單元9，如可以使用空氣簾單元21或卷簾單元22。空氣簾單元21，是在運送體上安裝了向著活動板3噴出任意風量的清潔空氣的風扇的單元，每個單元可以單獨調(diào)整。
卷簾單元22是安裝了可以收納由氯乙烯、聚對苯二甲酸乙二脂或氟化樹脂等形成的防靜電膜的簾式的運送體單元，分單元抽出卷簾，向著活動板3可以展開放至任何位置。還有，卷簾端部11可以固定到活動板3上。
接下來，說明本實施方式的局部清潔化系統(tǒng)的使用方法。圖2，是表示由自走式風扇過濾單元8或自走式隔板單元9形成的局部清潔化區(qū)域20從清潔室上方看的平面配置圖。
如圖2所示，半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備14設(shè)置的區(qū)域上部的運送用軌道6各個格子上，配置了20個自走式風扇過濾單元8，在半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備14的周圍形成了局部清潔化區(qū)域20。
自走式風扇過濾單元8的過濾部上使用了氈紙過濾器，局部清潔化區(qū)域20的內(nèi)部設(shè)定為等級1(粒徑0.1μm以上的異物每0.028m31個以下)的清潔度。因此，例如即便是維修半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備14空間內(nèi)，空間內(nèi)也可以防止由于環(huán)境的污染。
還有，以圍繞局部清潔化區(qū)域20的形式配置了16個自走式隔板單元9，局部清潔化區(qū)域20，從其他的區(qū)域分割出來。由此，防止了從外界向局部清潔化區(qū)域20的內(nèi)部侵入污染物質(zhì)的同時，也能夠防止維修作業(yè)時發(fā)生的污染物質(zhì)向外部擴散。
還有，例舉了將半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備14整體收納在局部清潔化區(qū)域20內(nèi)，但是，根據(jù)需要只局部清潔化半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備14的進行維修的一部分區(qū)域也可。
還有，局部清潔化區(qū)域20內(nèi)的清潔度，對應(yīng)于內(nèi)部進行的作業(yè)設(shè)定必要的清潔度即可。清潔度的控制，可以由局部清潔化區(qū)域20上配置的自走式風扇過濾單元8的數(shù)量和用于過濾部的過濾器種類及提供的清潔空氣的流量等進行。還有，為防止向外部的污染物質(zhì)的擴散只配置隔板單元9亦可。
再有，通過將維修時用的備件、工具、材料等裝于通用運送單元用運送用軌道6運送，可以減少清潔室內(nèi)的人員走動，所以，清潔室內(nèi)及局部清潔化區(qū)域內(nèi)的污染可以進一步降低。
通過以上的說明，根據(jù)本實施方式的局部清潔化系統(tǒng)，因為可以簡便短時間使局部清潔化區(qū)域內(nèi)的任何區(qū)域具有必要的清潔度的局部清潔化區(qū)域的同時，可以分割局部清潔化區(qū)域和其他區(qū)域，所以，迅速進行制造設(shè)備的維修成為可能，可以提高半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的工作率。還有，可以防止維修時制造設(shè)備的污染及污染周圍環(huán)境，可以提高半導(dǎo)體裝置制造工序的成品率。
(第2實施方式)以下，參照

第2實施方式。圖3，是表示從包括本發(fā)明的局部清潔化系統(tǒng)的清潔室運出設(shè)備時的狀態(tài)從上方看的平面圖。且，圖3中與圖2同一構(gòu)成要素標以同一符號省略其說明。
如圖3所示從運出的半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備14到運入運出口17為止在運出通道16的上部無間隔地配置了自走式風扇過濾單元8，運出運入口17附近及運出通路16區(qū)域的清潔度與其他區(qū)域比較清潔度高。由此，在運出作業(yè)時可以防止半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的污染。
還有，配置了自走式風扇過濾單元8，在局部清潔化區(qū)域的周圍配置了自走式隔板單元9，將局部清潔化區(qū)域與其他區(qū)域分割。由此，可以防止運出作業(yè)時產(chǎn)生的污染物質(zhì)在清潔室內(nèi)的擴散。再有，由運出運入口17附近配置的自走式隔板單元9防止了從清潔室外向清潔室內(nèi)的污染物質(zhì)的侵入。
且，本實施方式中說明了設(shè)備的運出情況，設(shè)備運入的情況也一樣。
(第3實施方式)以下參照

本發(fā)明的第3實施方式。圖4，是表示包括本發(fā)明的清潔室監(jiān)視系統(tǒng)的清潔室剖面構(gòu)成。且，圖4中與圖1同一的構(gòu)成要素標以同一符號省略說明。
在如圖4所示的運送用軌道6上，配置了自走式監(jiān)視單元24，可以對清潔室內(nèi)的狀況進行監(jiān)視。自走式監(jiān)視單元24，例如，是氣體檢測裝置12或視認用攝像裝置13等安裝在運送體上的即可。
自走式監(jiān)視單元24，是按照運送用軌道6的格子尺寸設(shè)計的，沿著運送用軌道按照外部的指示可以自由地移動。還有，自走式監(jiān)視單元所攝取的清潔室內(nèi)的數(shù)據(jù)常時由無線通信傳送到外部。
還有，與第1實施方式和第2實施方式相同，通過自走式風扇過濾單元8及自走式隔板單元9、自走式監(jiān)視單元24的并用，形成局部清潔化區(qū)域20，從清潔室外監(jiān)視形成的局部清潔化區(qū)域20的狀況成為可能。
根據(jù)本實施方式的清潔室監(jiān)視系統(tǒng)，由自走式監(jiān)視單元24可以常時從外部監(jiān)視清潔室內(nèi)的任何位置的狀態(tài)。還有，使用運送用軌道6從清潔室的上部進行監(jiān)視，人員無法進入的半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的背面也能夠監(jiān)視到，防止了人員移動所伴隨的污染物質(zhì)的發(fā)生。
-產(chǎn)業(yè)上利用的可能性-本發(fā)明的清潔室、局部清潔化系統(tǒng)、及其使用方法和清潔室安全系統(tǒng)，能夠在清潔室內(nèi)簡便短時間地構(gòu)筑成必要區(qū)域中的必要清潔度的局部清潔化區(qū)域，所以，通過使用它可能有效地進行半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的日常維修及運出運入等的同時，也防止了清潔室內(nèi)的污染。再有，沒有必要使清潔室整體高度清潔，制造設(shè)備的省能源可以實現(xiàn)，在制造半導(dǎo)體裝置的制造工廠清潔室、局部清潔化系統(tǒng)、及其使用方法和清潔室安全系統(tǒng)等是有用的。
權(quán)利要求
1.一種清潔室，其特征為在內(nèi)部設(shè)置了半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備，在天花板下配置了格子狀運送用軌道。
2.一種局部清潔化系統(tǒng)，其特征為包括在清潔室內(nèi)天花板下配置了格子狀運送用軌道，可沿著上述運送用軌道運送的自走式風扇過濾單元；且通過將上述自走式風扇過濾單元，使用上述運送用軌道在上述清潔室內(nèi)所規(guī)定的區(qū)域移動，可在上述清潔室內(nèi)的上述所規(guī)定區(qū)域形成與除去該所規(guī)定區(qū)域以外的區(qū)域相比清潔度高的局部清潔化區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的局部清潔化系統(tǒng)，其特征為上述自走式風扇過濾單元，至少具有粒子除去用過濾器或化學(xué)過濾器的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的局部清潔化系統(tǒng)，其特征為還包括可沿著上述運送用軌道運送且形成遮斷空氣流的隔板的自走式隔板單元，且通過將上述自走式隔板單元配置在上述局部清潔化區(qū)域的周圍，遮斷上述局部清潔化區(qū)域和除去該局部清潔化區(qū)域以外的區(qū)域之間的空氣流。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的局部清潔化系統(tǒng)，其特征為上述自走式隔板單元，是噴出空氣形成空氣簾的空氣簾單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的局部清潔化系統(tǒng)，其特征為上述自走式隔板單元，是安裝了可收納的卷簾式卷簾單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的局部清潔化系統(tǒng)，其特征為在上述清潔室外設(shè)置收納上述自走式風扇過濾單元及上述自走式隔板單元的收納區(qū)域。
8.一種局部清潔化系統(tǒng)的使用方法，其特征為在設(shè)置了半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的清潔室內(nèi)，具有天花板下配置了格子狀運送用軌道和可沿著上述運送用軌道運送的自走式風扇過濾單元，通過將上述自走式風扇過濾單元，使用上述運送用軌道在上述清潔室內(nèi)的上述所規(guī)定區(qū)域移動，當設(shè)置了可在上述清潔室內(nèi)的上述所規(guī)定區(qū)域形成與除去該所規(guī)定區(qū)域以外的區(qū)域相比清潔度高的局部清潔化區(qū)域的情況下，包括在設(shè)置了上述清潔室內(nèi)的上述半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的區(qū)域形成上述局部清潔化區(qū)域的工序，以及在上述局部清潔化區(qū)域中進行上述半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的維修的工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的局部清潔化系統(tǒng)的使用方法，其特征為還包括將維修上述半導(dǎo)體裝置制造設(shè)備工序中使用的部件、工具及備件，用上述運送用軌道向上述局部清潔化區(qū)域運送的工序。
10.一種局部清潔化系統(tǒng)的使用方法，其特征為在設(shè)置了半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的清潔室內(nèi)，具有在該清潔室的天花板下配置的運送用軌道和可沿著該運送用軌道運送的自走式風扇過濾單元，通過將上述自走式風扇過濾單元，使用上述運送用軌道在上述清潔室內(nèi)的上述所規(guī)定區(qū)域移動，當設(shè)置了可在上述清潔室內(nèi)的上述所規(guī)定區(qū)域形成與除去該所規(guī)定區(qū)域以外的區(qū)域相比清潔度高的局部清潔化區(qū)域的情況下，包括設(shè)置在上述清潔室內(nèi)的運入運出口附近區(qū)域及成為運入運出通道的區(qū)域形成上述局部清潔化區(qū)域的工序，以及沿著上述局部清潔化區(qū)域的上述運入運出通道進行運入運出上述半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的工序。
11.一種局部清潔化系統(tǒng)的使用方法，其特征為在設(shè)置了半導(dǎo)體裝置的制造設(shè)備的清潔室內(nèi)，具有在該天花板下配置了格子狀運送用軌道和沿著運送用軌道運送可能的自走式風扇過濾單元，通過將上述自走式風扇過濾單元，使用上述運送用軌道在上述清潔室內(nèi)的上述所規(guī)定區(qū)域移動，當設(shè)置了可在上述清潔室內(nèi)的上述所規(guī)定區(qū)域形成與除該所規(guī)定區(qū)域以外的區(qū)域相比清潔度高的局部清潔化區(qū)域的情況下，包括設(shè)置在上述清潔室內(nèi)的制造上述半導(dǎo)體裝置的區(qū)域形成上述局部清潔化區(qū)域的工序，以及在上述局部清潔化區(qū)域，制造半導(dǎo)體裝置的工序。
12.一種清潔室安全系統(tǒng)，其特征為包括在清潔室中的天花板下配置格子狀運送用軌道，安裝了氣體檢驗裝置或視認用攝像裝置且可沿著上述運送用軌道運送的上述自走式監(jiān)視單元，以及設(shè)置在上述清潔室外部，進行上述自走式監(jiān)視單元的移動及監(jiān)視的自走式監(jiān)視單元控制裝置。
全文摘要
一種清潔室、局部清潔系統(tǒng)、其使用方法及清潔室安全系統(tǒng)，實現(xiàn)簡便地短時間地能夠構(gòu)筑在清潔室內(nèi)區(qū)域具有必要的清潔度的局部清潔化區(qū)域。本發(fā)明的局部清潔化系統(tǒng)，包括在清潔室內(nèi)天花板下配置了格子狀運送用軌道和沿著運送用軌道運送可能的自走式風扇過濾單元。通過將自走式風扇過濾單元，使用運送用軌道在清潔室內(nèi)所規(guī)定的區(qū)域移動，可在清潔室內(nèi)所規(guī)定區(qū)域形成與除該所規(guī)定區(qū)域以外的區(qū)域清潔度高的局部清潔化區(qū)域。
文檔編號F24F7/06GK1712831SQ200510076480
公開日2005年12月28日 申請日期2005年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月16日
發(fā)明者波岡義哲, 青木則茂, 宮田毅 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社