專利名稱：空心單元陣列結(jié)構(gòu)與生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及由多個(gè)精細(xì)組分形成的高精度空心單元陣列結(jié)構(gòu)，以及生產(chǎn)這樣的高精度空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法和設(shè)備。更特別地，本發(fā)明的技術(shù)可應(yīng)用于微型塑料透鏡的生產(chǎn)，該塑料微型透鏡用于復(fù)印機(jī)、傳真機(jī)、固態(tài)掃描型打印機(jī)等的光學(xué)掃描系統(tǒng)，或具有為光透射設(shè)計(jì)的內(nèi)置微型透鏡的光學(xué)波導(dǎo)管，本發(fā)明的技術(shù)還可應(yīng)用于數(shù)字?jǐn)z像機(jī)透鏡的生產(chǎn)、用于投影機(jī)屏幕、觸摸板、電子攝影過(guò)程的感光器、PLD等的光學(xué)纖維板的生產(chǎn)。 特定地，本發(fā)明涉及適合用于電泳顯示器的高精度空心單元陣列結(jié)構(gòu)，該電泳顯示器由具有合適設(shè)計(jì)的形狀、大小和寬高比的單元形成，每個(gè)單元都含有溶劑，該溶劑具有分散在其中的帶電荷顏料粒子(或彩色粒子)。本發(fā)明特別涉及生產(chǎn)適合用于電泳顯示器的這種高精度空心單元陣列結(jié)構(gòu)的新穎且有用的方法。
背景技術(shù)：
一般存在用于生產(chǎn)由多個(gè)精細(xì)子件形成的高精度空心單元陣列結(jié)構(gòu)的兩種相關(guān)技術(shù)，該兩種技術(shù)為(1)光刻法和( 壓印過(guò)程。然而，在通過(guò)光刻法生產(chǎn)蜂窩結(jié)構(gòu)中，比較難以以相對(duì)低的成本穩(wěn)定生產(chǎn)具有5或更大高寬比的蜂窩結(jié)構(gòu)。在通過(guò)壓印過(guò)程生產(chǎn)蜂窩結(jié)構(gòu)中，難以使全部蜂窩墻壁較薄(例如，在5或更大高寬比情況下厚度為10 μ m或更小)。 圖20A到圖20D圖解根據(jù)相關(guān)技術(shù)生產(chǎn)精細(xì)蜂窩結(jié)構(gòu)(一側(cè)開(kāi)口)的方法的步驟。圖20A 圖解在具有多個(gè)凹陷53的第一襯底52上應(yīng)用含水凝膠溶液51，并減少獲得產(chǎn)物(即，用凝膠溶液51覆蓋的第一襯底5 上的環(huán)境壓力的步驟。圖20B圖解由于通過(guò)凝膠膜M在第一襯底52的多個(gè)凹陷53中保持氣體壓力，而使凝膠膜M沿豎直方向擴(kuò)張的步驟，并且圖 20C圖解在減少的壓力下干燥和冷卻圖20B的最終產(chǎn)物，由此獲得蜂窩結(jié)構(gòu)55的步驟。圖 20D圖解通過(guò)將被置于室溫(例如大約20°C )的蜂窩結(jié)構(gòu)55放置到在80%到90%濕度的情況下被加熱到30°C的溫度(高于室溫)的加熱和加濕容器56中，從而在面對(duì)第二襯底 57的薄頂膜(即凝膠膜)中形成開(kāi)口的步驟。由于蜂窩結(jié)構(gòu)55的溫度低于加熱和加濕容器56內(nèi)部的溫度，因此在蜂窩結(jié)構(gòu)55的表面(即薄頂膜)上形成冷凝物。圖20E圖解由于蜂窩結(jié)構(gòu)58薄頂膜的表面張力所導(dǎo)致的自發(fā)收縮，而在該薄頂膜中形成開(kāi)口的步驟。由于在蜂窩結(jié)構(gòu)55的薄頂膜上形成冷凝物并且薄頂膜的硬度降低，因此表面張力所引起的凝膠膜的自發(fā)收縮會(huì)導(dǎo)致在蜂窩結(jié)構(gòu)陽(yáng)的薄頂膜中形成開(kāi)口。蜂窩結(jié)構(gòu)陽(yáng)的薄頂膜在其每個(gè)單元的中心周圍特別薄，并因此開(kāi)口最初形成在每個(gè)單元的中心周圍?？刂评淠龝r(shí)間以便獲得對(duì)應(yīng)每個(gè)單元的期望開(kāi)口形狀。蜂窩結(jié)構(gòu)55從加熱和加濕容器56去除，并且之后被干燥以便終止開(kāi)口的形成。在頂膜具有0.05 μ m厚度的情況下，該開(kāi)口在20s中形成。日本公開(kāi)專利申請(qǐng)公布No.8_112873(在下文中也稱為“專利文檔1”)披露通過(guò)起泡形成空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的例子。該技術(shù)意圖提供展現(xiàn)優(yōu)秀輕質(zhì)性質(zhì)、絕緣性質(zhì)和耐壓強(qiáng)度的泡沫。公布的技術(shù)包括在具有格構(gòu)型水平區(qū)段的熱塑樹(shù)脂構(gòu)件單元的正方形空心中均勻形成具有20倍的高膨脹率的熱塑樹(shù)脂泡沫，由此提供片狀泡沫。日本公開(kāi)專利申請(qǐng)公布No. 10-80964(在下文中也稱為“專利文檔2”)披露生產(chǎn)蜂窩結(jié)構(gòu)的技術(shù)；特定地，生產(chǎn)隨時(shí)間變化具有穩(wěn)定質(zhì)量的空心單元陣列結(jié)構(gòu)的技術(shù)。該技術(shù)提供由多面體柱狀單元形成的蜂窩結(jié)構(gòu)，所述多面體柱狀單元在樹(shù)脂構(gòu)件中密集并三維排列且在多面體柱狀單元的單元壁之間沒(méi)有接合。通過(guò)在樹(shù)脂構(gòu)件中系統(tǒng)并三維地設(shè)置起泡劑，并導(dǎo)致起泡劑在樹(shù)脂構(gòu)件中生成氣泡來(lái)獲得所述單元。然而，該技術(shù)包括延伸多面體柱狀單元的單元壁， 以便多面體柱狀單元的核心部分隨著多面體柱狀單元延伸而逐漸變薄。因此，多面體柱狀單元的單元壁可能不會(huì)穩(wěn)定地保持在預(yù)定厚度。即，在該技術(shù)的起泡步驟中，導(dǎo)致被單獨(dú)地形成并系統(tǒng)地設(shè)置在樹(shù)脂構(gòu)件的凹陷中的空間中的起泡劑同時(shí)地生成氣泡是重要的。如果被單獨(dú)地形成并系統(tǒng)地設(shè)置在樹(shù)脂構(gòu)件的凹陷中的空間中的起泡劑在樹(shù)脂構(gòu)件的凹陷中相繼地產(chǎn)生氣泡，那么單個(gè)氣泡會(huì)形成球形。在上面專利文檔1和2中，采用熱起泡法。然而，通過(guò)該方法，如果在整個(gè)樹(shù)脂構(gòu)件上溫度不均勻，那么起泡的時(shí)間隨樹(shù)脂構(gòu)件的不同部分變化。結(jié)果，不可獲得完整蜂窩結(jié)構(gòu)。日本公開(kāi)專利申請(qǐng)公布No. 56-34780(在下文中也稱為“專利文檔3”)披露利用壓板的開(kāi)口操作的拉力來(lái)生產(chǎn)空心結(jié)構(gòu)的技術(shù)。然而，由于該技術(shù)，同樣重要但困難的是， 生產(chǎn)具有均勻粘性的蜂窩結(jié)構(gòu)。另外，日本公開(kāi)專利申請(qǐng)公布No. 2007-98930(在下文中也稱為“專利文檔4”)披露生產(chǎn)具有薄單元壁和長(zhǎng)方形單元的精細(xì)蜂窩結(jié)構(gòu)的技術(shù)。該技術(shù)包括在預(yù)定條件下在具有多個(gè)帶有空間的分離凹陷的第一襯底上放置具有塑性變形性質(zhì)的第一材料的第一步驟，以及通過(guò)在空間中引起一定氣體壓力從而延伸具有塑性變形性質(zhì)的第一材料，以使得在預(yù)定方向上形成長(zhǎng)方形空心單元的第二步驟。本發(fā)明的實(shí)施例考慮到上面和其它問(wèn)題設(shè)計(jì)。即，如果需要形成精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)(即蜂窩結(jié)構(gòu))的這種薄單元壁和單元用作圖像顯示器設(shè)備(例如電泳顯示器)的像素單元，那么該精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)需要具有均勻薄單元壁和單元，注射材料被注入所述單元以便充當(dāng)顯示器。然而，在該技術(shù)中，精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)中開(kāi)口的大小基于在第一襯底中精細(xì)凹陷所形成的開(kāi)口而被確定。因此，如果第一襯底中精細(xì)凹陷所形成的開(kāi)口的大小是小的，那么注射材料可能不能被容易地注入到精細(xì)單元陣列結(jié)構(gòu)的精細(xì)單元的開(kāi)口中。相反，如果第一襯底中精細(xì)凹陷所形成的開(kāi)口的大小是大的，那么形成精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的材料會(huì)意外地被注入到第一襯底中凹陷形成的第一開(kāi)口中，同時(shí)由形成精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的材料覆蓋第一襯底。結(jié)果，可能難以在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的凹陷中形成均勻單元空間。如果凹陷的空心大小多樣或第一材料意外地被注入到第一襯底中精細(xì)凹陷的開(kāi)口中，那么精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)中氣體的膨脹量會(huì)改變。結(jié)果，由于單元高度和單元壁厚度的改變，因此不可獲得具有均勻單元壁和單元的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)。如果空心單元陣列結(jié)構(gòu)在上和下表面均包括開(kāi)口，那么上面問(wèn)題可通過(guò)形成比空心單元陣列結(jié)構(gòu)側(cè)面的開(kāi)口更大的第一襯底側(cè)面的開(kāi)口來(lái)解決。然而，似乎難以使相鄰眾多分離的空心膨脹形成空心單元陣列結(jié)構(gòu)，然后去除在空心單元陣列結(jié)構(gòu)的單元壁之上形成的薄頂膜，并立即凝固空心單元陣列結(jié)構(gòu)的單元壁同時(shí)維持空心單元陣列結(jié)構(gòu)的完整形狀。使用上面的技術(shù)，去除空心單元陣列結(jié)構(gòu)的單元之上的薄頂膜可能需要使用溶劑蒸汽來(lái)熔化薄頂膜的額外步驟，這導(dǎo)致增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一般目標(biāo)是提供新穎且有用的方法，該方法能夠在空心單元陣列結(jié)構(gòu)的典型生產(chǎn)過(guò)程中迅速且穩(wěn)定生產(chǎn)在上和下表面具有開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)。 該方法一般包括第一步驟，該步驟使能夠在預(yù)定條件下塑性變形的可變形材料在第一襯底上成層的，該第一襯底在其上表面中具有多個(gè)互相分離的凹陷，以使可變形材料在對(duì)應(yīng)凹陷的每個(gè)中形成互相隔離的空間；第二步驟，該步驟通過(guò)引起空間具有一定氣體壓力同時(shí)延伸可變形材料使多個(gè)凹陷的每個(gè)中的空間膨脹，以使多個(gè)空心單元(注射材料在稍后過(guò)程中注入所述空心單元)對(duì)應(yīng)多個(gè)凹陷在預(yù)定方向上同時(shí)形成；以及第三步驟，該步驟選擇性凝固除單元壁的頂表面之外的多個(gè)空心單元的單元壁。根據(jù)一種實(shí)施例，提供生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法，包括第一步驟，該步驟使能夠在預(yù)定條件下塑性變形的可變形材料在第一襯底上成層，該第一襯底在其表面中具有多個(gè)互相分離的凹陷，以使可變形材料在對(duì)應(yīng)凹陷中形成互相隔離的空間；第二步驟，該步驟通過(guò)引起空間具有一定氣體壓力同時(shí)在第一襯底上延伸可變形材料使多個(gè)凹陷中的空間膨脹，以使多個(gè)空心單元對(duì)應(yīng)多個(gè)凹陷在預(yù)定方向上同時(shí)形成；以及第三步驟，該步驟通過(guò)選擇性應(yīng)用紫外線到多個(gè)空心單元的部分，從而選擇性凝固所述部分。根據(jù)另一實(shí)施例，提供生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法，包括第一步驟，該步驟使能夠通過(guò)應(yīng)用紫外線固化的可變形材料在第一襯底上成層，該第一襯底具有多個(gè)互相分離的凹陷，以使可變形材料在對(duì)應(yīng)凹陷中形成互相隔離的空間；第二步驟，該步驟使具有預(yù)定成形的光屏蔽樣式的第二襯底借由在多個(gè)凹陷中形成互相隔離空間的可變形材料在具有多個(gè)凹陷的第一襯底上成層，并通過(guò)引起空間具有一定氣體壓力同時(shí)延伸可變形材料使多個(gè)凹陷中的空間膨脹，以使多個(gè)空心單元對(duì)應(yīng)多個(gè)凹陷在預(yù)定方向上同時(shí)形成；以及第三步驟，該步驟通過(guò)經(jīng)由在第二襯底上形成的所述預(yù)定成形的光屏蔽樣式來(lái)選擇性應(yīng)用紫外線到多個(gè)空心單元的部分，從而選擇性凝固所述部分。根據(jù)另一實(shí)施例，提供生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的設(shè)備，包括涂覆裝置，其經(jīng)配置使得能夠在預(yù)定條件下塑性變形的可變形材料在第一襯底上成層，該第一襯底在其表面中具有多個(gè)互相分離的凹陷，以使可變形材料在對(duì)應(yīng)凹陷中形成互相隔離的空間；壓力控制裝置，其經(jīng)配置通過(guò)引起空間的氣體壓力同時(shí)在第一襯底上延伸可變形材料使多個(gè)凹陷中的空間膨脹，以使多個(gè)空心單元對(duì)應(yīng)多個(gè)凹陷在預(yù)定方向上同時(shí)形成；以及凝固裝置，其經(jīng)配置通過(guò)選擇性應(yīng)用紫外線到多個(gè)空心單元的部分，從而選擇性凝固所述部分，其中紫外線透射樣式在第一襯底的第一部分上形成，并且光屏蔽樣式在第一襯底的第二部分和第一襯底的多個(gè)凹陷的全部表面上形成。本發(fā)明的其它目標(biāo)、特征和優(yōu)點(diǎn)在連同附圖閱讀時(shí)從下面詳細(xì)描述變得更明顯。


圖IA到圖ID是圖解根據(jù)第一實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖2A到圖2D是圖解根據(jù)第二實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖3A到圖3D是圖解根據(jù)第三實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖4A到圖4D是圖解根據(jù)第四實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖5A到圖5D是圖解根據(jù)第五實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖6A到圖6D是圖解根據(jù)第六實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖7A是圖解精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的透視圖，并且圖7B是對(duì)應(yīng)剖面圖；圖8A到圖8E是圖解根據(jù)第七實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖9是圖解光屏蔽樣式的詳細(xì)構(gòu)造的圖示；圖IOA到圖IOE是圖解根據(jù)第八實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖11是圖解由UV射線透射材料形成的相關(guān)技術(shù)襯底的例子的透視圖；圖12是圖解在其部分表面上具有UV射線透射樣式的襯底的透視圖；圖13是圖解在其全部表面上具有UV射線透射樣式的襯底的透視圖；圖14是圖解精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的構(gòu)造的剖面圖；圖15A到圖15F是圖解根據(jù)第九實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖16是圖解根據(jù)第十和第十一實(shí)施例的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)中所形成的凹陷和空間的構(gòu)造的剖面圖；圖17A到圖17E是圖解根據(jù)第十二實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示；圖18是圖解根據(jù)第十三實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法步驟的部分的圖示；圖19是圖解蜂窩結(jié)構(gòu)的相應(yīng)部分的尺寸的視圖；以及圖20A到圖20E是圖解用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的相關(guān)技術(shù)方法的各步驟的圖
7J\ ο
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例參考附圖在下面描述。注意，在下面實(shí)施例中描述的元素、類型、結(jié)合以及元素的相對(duì)設(shè)置僅是示例性的并且不意圖限制于此，除非另外說(shuō)明?？稍跈?quán)利要求中描述的本發(fā)明的范疇內(nèi)做出各種修改或變更。圖IA到ID是圖解根據(jù)第一實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。圖IA圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)狹縫涂覆或旋涂在具有多個(gè)凹陷的第一襯底4之上施加由未固化的可UV固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3，并且減少獲得的產(chǎn)物(即涂覆有材料3的第一襯底4)上的環(huán)境壓力。圖IB圖解一個(gè)步驟，其中導(dǎo)致保持在第一襯底4的凹陷5和可UV固化的樹(shù)脂膜 3的對(duì)應(yīng)部分之間的氣體膨脹，以使得在可UV固化的樹(shù)脂膜的所述對(duì)應(yīng)部分沿豎直方向延伸同時(shí)控制/牽制彼此，從而獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)。
圖IC圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)允許UV射線標(biāo)繪裝置2選擇性應(yīng)用UV射線到可UV 固化的樹(shù)脂3的單元壁，從而對(duì)應(yīng)沿豎直方向從第一襯底延伸的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的單元壁，來(lái)選擇性固化可UV固化的樹(shù)脂3。注意到，UV射線標(biāo)繪裝置2可以是經(jīng)光柵光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用UV射線的掃描系統(tǒng)，或經(jīng)掩模應(yīng)用UV射線的UV曝光系統(tǒng)。圖ID圖解導(dǎo)致開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的頂部部分?？招膯卧嚵薪Y(jié)構(gòu)6 的單元的頂部部分保持未被固化并導(dǎo)致開(kāi)口。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。通過(guò)該方法，相對(duì)容易控制開(kāi)口的大小。因此，例如電泳分散體的注射材料可容易地被安全注入到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6中單元的空心部分內(nèi)。圖2A到圖2D是圖解根據(jù)第二實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。圖2A圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)狹縫涂覆或旋涂在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上施加由未固化的可UV固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3，在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上施加的材料3上放置具有光屏蔽樣式8的紫外線透射玻璃作為第二襯底7，使第二襯底7上的光屏蔽樣式8與第一襯底4中的多個(gè)凹陷5對(duì)準(zhǔn)，其中由未固化的可UV固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3夾在第一襯底4和第二襯底7之間，以及減少獲得的產(chǎn)物(即夾在第一和第二襯底之間的材料幻上的環(huán)境壓力。在該步驟中，由未固化的可 UV固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3可被施加到紫外線透射玻璃(即第二襯底7)，且然后第一襯底4可以借由材料3被放置在第二襯底7上。在第二實(shí)施例中，聚氨酯丙烯酸酯(由Arakawa Chemical hdustries有限公司制造的)用作可UV固化的樹(shù)脂，Irgacure 500用作引發(fā)劑，并且NovecFC-4430用作表面活性劑。圖2B圖解一個(gè)步驟，其中導(dǎo)致保持在凹陷5和可UV固化的樹(shù)脂膜的對(duì)應(yīng)部分之間的氣體膨脹，以使得可UV固化的樹(shù)脂膜的對(duì)應(yīng)部分沿豎直方向延伸同時(shí)控制彼此，從而獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖2C圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)允許未示出的UV射線標(biāo)繪裝置經(jīng)由具有光屏蔽樣式8的第二襯底7選擇性應(yīng)用UV射線10到可UV固化的樹(shù)脂3的單元壁，從而對(duì)應(yīng)沿豎直方向從第一襯底4延伸的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的單元壁，來(lái)選擇性固化可UV固化樹(shù)脂。圖2D圖解導(dǎo)致開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的頂部部分。精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的單元的頂部部分保持未固化并導(dǎo)致開(kāi)口。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。應(yīng)用UV射線10到可UV固化的樹(shù)脂若干秒，足以形成具有 50 μ m高度、150 μ m間距和5 μ m單元壁厚度的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。盡管形成精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6的時(shí)間可隨著減壓容器1的減壓速率而變化，不過(guò)可以通過(guò)執(zhí)行包括減壓步驟、固化步驟和恢復(fù)普通壓力步驟的過(guò)程，在10秒內(nèi)形成在上和下表面具有開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。通過(guò)該方法，相對(duì)容易控制開(kāi)口的大小。因此，例如電泳分散體的注射材料可以容易地被安全注入到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6中單元的空心部分內(nèi)。圖3A到圖3D是圖解根據(jù)第三實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。圖3A圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)狹縫涂覆或旋涂在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上施加通過(guò)在溶劑中溶解樹(shù)脂而獲得的樹(shù)脂溶液或通過(guò)使樹(shù)脂在溶劑中分散而獲得的樹(shù)脂分散體而組成的材料3，在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上施加的材料3上放置具有溶劑可傳播樣式(精細(xì)多孔樣式)11的紫外線透射玻璃作為第二襯底7，使第二襯底7上的溶劑可傳播樣式11與第一襯底4中的多個(gè)凹陷5對(duì)準(zhǔn)，其中由樹(shù)脂溶液或樹(shù)脂分散體組成的材料3被夾在第一襯底4和第二襯底7之間，以及減少獲得的產(chǎn)物(即夾在第一和第二襯底4和7之間的由樹(shù)脂溶液或樹(shù)脂分散體組成的材料幻上的環(huán)境壓力。在該步驟中，由樹(shù)脂溶液或樹(shù)脂分散體組成的材料3可被應(yīng)用到紫外線透射玻璃(即第二襯底7)，然后第一襯底4可借由材料3而被放置在第二襯底7上。在第三實(shí)施例中，水分散聚氨酯樹(shù)脂用作由樹(shù)脂溶液或樹(shù)脂分散體組成的材料3 (在下文中也稱為“樹(shù)脂膜” 3)。圖;3B圖解一個(gè)步驟，其中導(dǎo)致保持在凹陷5和樹(shù)脂膜3的對(duì)應(yīng)部分之間的氣體膨脹，以使得樹(shù)脂膜3的對(duì)應(yīng)部分沿豎直方向延伸從而形成單元壁同時(shí)控制彼此，從而獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖3C圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)允許樹(shù)脂膜3使得其中所含有的水經(jīng)由具有溶劑可傳播樣式11 (即精細(xì)多孔樣式)的第二襯底7蒸發(fā)，而選擇性固化沿豎直方向從第一襯底 4延伸的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的單元壁。圖3D圖解導(dǎo)致開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的頂部部分。精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的單元的頂部部分保持未被固化并因此導(dǎo)致開(kāi)口。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。由于樹(shù)脂膜的固化緩慢，因此可獲得在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。通過(guò)該方法，相對(duì)容易控制開(kāi)口的大小。因此，例如電泳分散體的注射材料可容易地被安全注入到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)中單元的相應(yīng)空心部分中。注意到，溶劑可傳播樣式(精細(xì)多孔樣式)11可以通過(guò)在用于過(guò)濾的微孔片上印刷能夠部分傳播水的樹(shù)脂樣式而被形成。圖4A到圖4D是圖解根據(jù)第四實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。圖4A圖解一個(gè)步驟，其中在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上在加熱情況下施加在預(yù)定溫度粘度會(huì)降低的樹(shù)脂組成的材料3 (即在第一襯底4之上施加被加熱的樹(shù)脂)，在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上借由在預(yù)定溫度粘度會(huì)降低的樹(shù)脂組成的材料3放置具有樣式化加熱材料13 (在下文中稱為“加熱樣式13”)的第二襯底7，使第二襯底7上的加熱樣式13與第一襯底4中的多個(gè)凹陷5對(duì)準(zhǔn)，其中由在預(yù)定溫度粘度會(huì)降低的樹(shù)脂組成的材料3被夾在第一襯底4和第二襯底7之間，以及減少獲得的產(chǎn)物(即夾在第一襯底4和第二襯底7之間的由在預(yù)定溫度粘度會(huì)降低的樹(shù)脂組成的材料幻上的環(huán)境壓力。在該步驟中，由在預(yù)定溫度粘度會(huì)降低的樹(shù)脂組成的材料3可被施加到第二襯底7，然后第一襯底 4可借由材料3被放置在第二襯底7上。在第四實(shí)施例中，低密度聚乙烯樹(shù)脂用作由在預(yù)定溫度粘度會(huì)降低的樹(shù)脂組成的材料3 (在下文中也稱為“樹(shù)脂膜” 3)。圖4B圖解一個(gè)步驟，其中導(dǎo)致保持在凹陷5和樹(shù)脂膜3的對(duì)應(yīng)部分之間的氣體膨脹，以使得樹(shù)脂膜3的對(duì)應(yīng)部分沿豎直方向延伸從而形成單元壁同時(shí)控制彼此，由此獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖4C圖解一個(gè)步驟，其中至少在降低精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9頂部部分的粘度且同時(shí)防止該頂部部分由于冷卻凝固的溫度選擇性加熱該頂部部分，以及通過(guò)冷卻來(lái)初始凝固沿豎直方向從第一襯底4延伸的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的單元壁。
圖4D圖解一個(gè)步驟，其中從部分凝固的精細(xì)空心單元結(jié)構(gòu)9分離第二襯底7，其中頂部部分被熔化。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。 通過(guò)該方法，例如電泳分散體的注射材料可以容易地被安全注入到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu) 6的空心部分中。注意到，第二襯底7的加熱樣式13可以通過(guò)能夠在用于過(guò)濾的微孔片上印刷樹(shù)脂樣式而被形成。圖5A到圖5D是圖解根據(jù)第五實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。圖5A圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)狹縫涂覆或旋涂在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上施加由未固化的可UV固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3，在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上的材料3上放置具有防水表面樣式14的紫外線透射玻璃作為第二襯底7，使第二襯底7上的防水表面樣式14與第一襯底4中的多個(gè)凹陷5對(duì)準(zhǔn)，其中由未固化的可UV 固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3被夾在第一襯底4和第二襯底7之間，以及減少獲得的產(chǎn)物上的環(huán)境壓力。在該步驟中，由未固化的可UV固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3可被施加到第二襯底7，然后第一襯底4可借由材料3被放置在第二襯底7上。在第五實(shí)施例中，聚乙二醇二丙烯酸酯PEG 400DA(由Daicel Chemical hdustries有限公司制造)用作可UV固化的樹(shù)脂，Irgacure 500用作引發(fā)劑，并且Novec FC-4430用作表面活性劑。圖5B圖解一個(gè)步驟，其中導(dǎo)致保持在凹陷5和可UV固化的樹(shù)脂膜的對(duì)應(yīng)部分之間的氣體膨脹，以使得可UV固化的樹(shù)脂膜的對(duì)應(yīng)部分沿豎直方向延伸從而相對(duì)于第一襯底表面形成單元壁且同時(shí)控制彼此，由此獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖5C圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)經(jīng)由具有防水表面樣式14的第二襯底7應(yīng)用UV射線10到可UV固化的樹(shù)脂的單元壁，從而選擇性固化沿豎直方向從第一襯底4延伸的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的單元壁。注意到，第二襯底7應(yīng)用了防水表面樣式14的部分會(huì)排斥可UV固化的樹(shù)脂，這有助于選擇性固化沿豎直方向延伸的可UV固化的樹(shù)脂的單元壁。圖5D圖解一個(gè)步驟，其中從(圖5C的)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9去除第二襯底 7。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。應(yīng)用UV射線10 到可UV固化的樹(shù)脂若干秒足以形成具有50 μ m高度、150 μ m間距和5 μ m單元壁厚度的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。盡管形成精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6的時(shí)間可隨著減壓容器1的減壓速率而變化，但可能通過(guò)執(zhí)行包括減壓步驟、固化步驟和恢復(fù)普通壓力步驟的過(guò)程，在10 秒內(nèi)形成在上和下表面具有開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。通過(guò)該方法，相對(duì)容易地控制開(kāi)口的大小。因此，例如電泳分散體的注射材料可以容易地被安全注入到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6中單元的空心部分中。圖6A到圖6D是圖解根據(jù)第六實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。圖6A圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)狹縫涂覆或旋涂在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上施加由未固化的可UV固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3，在具有多個(gè)凹陷5的第一襯底4之上的材料3上放置具有疏脂表面樣式15的紫外線透射玻璃作為第二襯底7，使第二襯底7上的疏脂表面樣式15與第一襯底4中的多個(gè)凹陷5對(duì)準(zhǔn)，其中由未固化的可UV 固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3被夾在第一襯底4和第二襯底7之間，以及減少獲得的產(chǎn)物(即夾在第一襯底4和第二襯底7之間的由未固化的可UV固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料幻上的環(huán)境壓力。在該步驟中，由可UV固化的樹(shù)脂和表面活性劑組成的材料3可被施加到第二襯底7，然后第一襯底4可借由材料3被放置在第二襯底7上。在第六實(shí)施例中，環(huán)氧丙烯酸酯AQ 9(由Arakawa Chemical hdustries有限公司制造)用作可UV固化的樹(shù)脂，Irgacure 500用作引發(fā)劑，并且Novec FC-4430用作表面活性劑。圖6B圖解一個(gè)步驟，其中導(dǎo)致保持在凹陷5和可UV固化的樹(shù)脂膜的對(duì)應(yīng)部分之間的氣體膨脹，以使得可UV固化的樹(shù)脂膜的對(duì)應(yīng)部分沿豎直方向延伸從而相對(duì)于第一襯底4表面形成單元壁同時(shí)控制彼此，由此獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖6C圖解一個(gè)步驟，其中通過(guò)經(jīng)由具有疏脂表面樣式15的第二襯底7應(yīng)用UV射線10到可UV固化的樹(shù)脂的單元壁，從而選擇性固化沿豎直方向從第一襯底4延伸的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的單元壁。注意到，第二襯底7應(yīng)用了疏脂表面樣式15的部分會(huì)排斥可UV固化的樹(shù)脂，這有助于選擇性固化在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的第一襯底表面上沿豎直方向延伸的可UV固化樹(shù)脂的單元壁。圖6D圖解一個(gè)步驟，其中從(圖6C的)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9去除第二襯底 7。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。應(yīng)用UV射線10 到可UV固化樹(shù)脂若干秒足以形成具有50 μ m高度、150 μ m間距和5 μ m單元壁厚度的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。盡管形成精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6的時(shí)間可隨著減壓容器1的減壓速率而變化，但可能通過(guò)執(zhí)行包括減壓步驟、固化步驟和恢復(fù)普通壓力步驟的過(guò)程，在10 秒內(nèi)形成在上和下表面具有開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。通過(guò)該方法，相對(duì)容易地控制開(kāi)口的大小。因此，例如電泳分散體的注射材料可以容易地被安全注入到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6中單元的空心部分中。圖7A是圖解精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6的一個(gè)例子的透視圖，并且圖7B是對(duì)應(yīng)剖面圖。圖8A到圖8D是圖解根據(jù)第七實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。根據(jù)第七實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法包括一個(gè)步驟，其中在具有多個(gè)凹陷的第一襯底4上應(yīng)用可UV固化材料3且所述多個(gè)凹陷具有光屏蔽樣式8，并且當(dāng)由于環(huán)境壓力減少而導(dǎo)致材料3膨脹變形時(shí)從第一襯底4側(cè)向可UV固化材料3應(yīng)用UV射線 10。注意到，光屏蔽樣式8經(jīng)配置僅允許全內(nèi)反射光(total internal reflection light) 穿過(guò)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。S卩，由可UV固化材料3在支撐可UV固化材料3的第二襯底7上形成膜。注意到，可UV固化材料3是與在第二、第五和第六實(shí)施例中使用的可UV固化材料3相同的材料。同樣注意到，第一襯底4由UV射線透射材料制成，并具有多個(gè)具有光屏蔽樣式8的凹陷。第一襯底4的材料的特定例子包括石英玻璃和硅樹(shù)脂。光屏蔽樣式 8可以由可截?cái)郩V射線的任何材料制成。在第七實(shí)施例中，碳或銅用作光屏蔽樣式8的材料。處理光屏蔽樣式的方法是已知方法，包括例如施加用于光屏蔽樣式的材料(碳或銅)、 電鍍被施加的材料以及執(zhí)行氣相沉積。注意到，壓力控制設(shè)備包括減壓容器1和減壓裝置 (未示出)，并用來(lái)控制減壓容器1內(nèi)部的壓力。同樣注意到，UV輻射設(shè)備(未示出)用來(lái)輻射UV射線。圖8A圖解一個(gè)步驟，其中在第一襯底4上緊密附加由可UV固化材料3和第二襯底7組成的膜，并將獲得的產(chǎn)物放置在減壓容器1中。
圖8B圖解一個(gè)步驟，其中減少減壓容器1的壓力，從而導(dǎo)致膜的材料3相對(duì)膨脹， 以便獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖8C圖解一個(gè)步驟，其中從第一襯底4的下側(cè)(即從膜相反的相反側(cè))輻射UV 射線從而固化膜的材料3，以便獲得部分(選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖8D圖解一個(gè)步驟，其中在已經(jīng)從減壓容器1取出第一襯底4、第二襯底7和部分 (選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9之后，從部分(選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9去除第二襯底7。注意到，精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的未固化部分與第二襯底7 被同時(shí)去除，并且精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的固化部分保留在第一襯底4上。圖8E圖解一個(gè)步驟，其中從第一襯底4去除最終的空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。注意到， 圖8D的步驟和圖8E的步驟可以以任何順序執(zhí)行。即，圖8D的步驟和圖8E的步驟可以以顛倒順序執(zhí)行。由于光屏蔽單元8對(duì)應(yīng)凹陷的位置，因此除其頂膜之外的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9能夠在不調(diào)整凹陷相對(duì)于光屏蔽樣式8的位置的情況下被固化，如第二到第六實(shí)施例所述。即，可獲得在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。圖9是圖解光屏蔽樣式的詳細(xì)構(gòu)造的圖示。在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9中的全內(nèi)反射光角度θ 1通過(guò)下面方程表示sin θ 1 = Na/Nb。在該方程中，Na表示空間的折射率， 并且Nb表示精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的折射率。光屏蔽樣式8通過(guò)下面方程表示tan θ 2 =Β/Α。由于光屏蔽樣式8以Β/Α的光屏蔽比率來(lái)屏蔽UV射線，導(dǎo)致θ 1 < θ 2從而在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9中傳播全內(nèi)反射光，因此UV射線可以有效次穿過(guò)除精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的頂膜(即上單元壁)之外的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9( S卩，精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9可以被選擇性固化)。在實(shí)施例的上面描述中，UV射線10可以經(jīng)由具有光屏蔽樣式8 的第二襯底7被施加到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9，如在圖2C中圖解，或者可以從第一襯底4 的下側(cè)(即與膜相反的相反側(cè))被施加，以使得材料3被選擇性固化。然而，可以基于光屏蔽樣式8的位置來(lái)可選地改變施加UV射線的方向。圖IOA到圖10Ε、圖11、圖12、圖13、圖14和圖19是圖解根據(jù)第八實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。最終構(gòu)成精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的膜由可 UV固化樹(shù)脂3和支撐可UV固化樹(shù)脂3的第二襯底7形成(見(jiàn)于圖10Α)。如在圖IOA中圖解，第一襯底4經(jīng)配置包括具有凹陷5的平坦表面部分，其相似于在圖11中圖解的相關(guān)技術(shù)襯底構(gòu)造。如在圖12中圖解，第一襯底4由UV射線透射材料制成，并且其部分表面及其多個(gè)凹陷5包括光屏蔽樣式8。第一襯底4的材料的特定例子包括石英玻璃和硅樹(shù)脂。光屏蔽樣式8可以由能夠截?cái)郩V射線的任何材料制成。在第八實(shí)施例中，碳用作光屏蔽樣式 8的材料。處理光屏蔽樣式的方法是已知方法，包括例如施加用于光屏蔽樣式的材料(碳)、 電鍍被施加的材料以及執(zhí)行氣相沉積。圖13圖解根據(jù)第八實(shí)施例的第一襯底4。如在圖13中圖解，第一襯底4在其全部表面上包括UV射線透射樣式并在其凹陷中包括光屏蔽樣式。壓力控制設(shè)備包括減壓容器 1(見(jiàn)于圖10Α)和減壓裝置(未示出)，并用來(lái)控制減壓容器1內(nèi)部的壓力。同樣注意到， UV輻射設(shè)備(未示出)用來(lái)輻射UV射線。如在圖14中圖解，空心單元陣列結(jié)構(gòu)9是由上單元壁(即頂膜)和側(cè)單元壁(即空心單元陣列結(jié)構(gòu)6)組成的連續(xù)體。在圖IOE中圖解的空心單元陣列結(jié)構(gòu)6是具有通過(guò)遵循圖IOA到圖IOD的步驟生產(chǎn)的上和下開(kāi)口的蜂窩結(jié)構(gòu)。圖19圖解具有上和下開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)6的透視圖，所述上和下開(kāi)口具有對(duì)應(yīng)尺寸。接下來(lái)，在下面描述用于生產(chǎn)具有上和下開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)6的步驟。圖IOA圖解一個(gè)步驟，其中在第一襯底4上緊密附加由可UV固化材料3和第二襯底7組成的膜，并將獲得的產(chǎn)物放置在減壓容器1中。圖IOB圖解一個(gè)步驟，其中減少減壓容器1的壓力，從而在凹陷5中獲得相對(duì)較大的壓力，這導(dǎo)致膜的可UV固化材料3膨脹，以便獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖IOC圖解一個(gè)步驟，其中從第一襯底4的下側(cè)(即與膜相反的相反側(cè))輻射UV 射線從而固化膜的可UV固化材料3，以便獲得部分(選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖IOD圖解一個(gè)步驟，其中在已經(jīng)從減壓容器1取出第一襯底4和第二襯底7以及部分(選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9之后，從部分(選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9去除第二襯底7。注意到，精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的未固化部分與第二襯底7被同時(shí)去除，并且精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的固化部分保留在第一襯底4上。圖 IOE圖解一個(gè)步驟，其中從第一襯底4去除最終的空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。注意到，圖8D的步驟和圖8E的步驟可以以任何順序執(zhí)行。S卩，圖8D的步驟和圖8E的步驟可以以顛倒順序執(zhí)行。通過(guò)該方法，可獲得下面優(yōu)點(diǎn)。1)由于側(cè)單元壁的表面的位置經(jīng)受近似匹配UV射線透射樣式的位置的膨脹，因此所述側(cè)單元壁能夠在沒(méi)有特定對(duì)準(zhǔn)的情況下被選擇性固化，并且上單元壁(即頂膜)保持未固化。2)由于側(cè)單元壁被選擇性固化并且上單元壁保持未固化，因此能夠從上單元壁容易地去除側(cè)單元壁，由此容易地獲得具有上和下開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)。注意到，由于空心單元陣列結(jié)構(gòu)的不需要的殘余部分與第二襯底7 —起被去除，因此去除的殘余部分不散開(kāi)，并且從上單元壁去除的側(cè)單元壁部分是平滑的。3)由于上和下開(kāi)口在空心單元陣列結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)過(guò)程期間被形成，因此提供上和下開(kāi)口的額外步驟是不必需的。因此，能夠以相對(duì)低的成本來(lái)生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。圖15A到圖15E、圖11、圖12、圖13和圖14是圖解根據(jù)第九實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。膜由可UV固化樹(shù)脂3和支撐可UV固化樹(shù)脂3的第二襯底7形成(見(jiàn)于圖15B)。如在圖15A中圖解，第一襯底4經(jīng)配置包括具有凹陷5的平坦表面部分，其相似于在圖11中圖解的相關(guān)技術(shù)襯底構(gòu)造。如在圖12中圖解，第一襯底4 由UV射線和氣體透射材料制成，并且其部分表面及其多個(gè)凹陷5包括光屏蔽樣式8。第一襯底4的材料的特定例子包括硅樹(shù)脂。光屏蔽樣式8可以由能夠截?cái)郩V射線但能夠傳播氣體的任何材料制成。這樣的材料的示例包括碳和銅。在第九實(shí)施例中，碳顆粒用作光屏蔽樣式8的材料。光屏蔽樣式8通過(guò)應(yīng)用碳顆粒而被形成。圖13圖解根據(jù)第九實(shí)施例的第一襯底4 (即與第八實(shí)施例相同)。如在圖13中圖解，第一襯底4包括在其整個(gè)表面之上形成的UV射線透射樣式和在其凹陷中形成的光屏蔽樣式。注意到，壓力控制設(shè)備包括壓力施加容器11(見(jiàn)于圖15A)和壓力施加裝置(未示出)，并且該壓力控制設(shè)備控制壓力施加容器1內(nèi)部的壓力。同樣注意到，UV輻射設(shè)備(未示出)用來(lái)輻射UV射線。如在圖14中圖解，空心單元陣列結(jié)構(gòu)9是由上單元壁(頂膜)和側(cè)單元壁(空心單元陣列結(jié)構(gòu)6)組成的連續(xù)體。接下來(lái)，在下面描述用于生產(chǎn)具有上和下開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)6的步驟。圖15A圖解一個(gè)步驟，其中注射0. 1到0. 5Mpa的高壓氣體到放置了具有凹陷5的第一襯底4的壓力施加容器11中，以便第一襯底4的凹陷5被注射的氣體填充。圖15B圖解一個(gè)步驟，其中從壓力施加容器11去除第一襯底4，將第一襯底置于大氣壓，并在第一襯底4上緊密附加由可UV固化材料3和第二襯底7組成的膜。圖15C圖解一個(gè)步驟，其中導(dǎo)致膜的可UV固化材料3由于第一襯底4的凹陷5和大氣壓之間的壓差而膨脹，以便獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖15D圖解一個(gè)步驟，其中從第一襯底4的下側(cè)(即與膜相反的相反側(cè))輻射UV 射線從而固化膜的可UV固化材料3，以便獲得部分(選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9。圖15E圖解一個(gè)步驟，其中從部分(選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9去除第二襯底7，從而獲得最終的空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。注意到，精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的未固化部分與第二襯底7被同時(shí)去除，并且精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的固化部分保留在第一襯底4上(同樣見(jiàn)于圖15D)。圖15F圖解一個(gè)步驟，其中從第一襯底4去除最終的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。注意到圖15E的步驟和圖15F的步驟可以以任何順序執(zhí)行。即，圖15E的步驟和圖15F的步驟可以以顛倒順序執(zhí)行。通過(guò)該方法，能夠獲得相似于根據(jù)第八實(shí)施例的方法的優(yōu)點(diǎn)。注意到由于UV射線選擇性地且直接地應(yīng)用到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9而不會(huì)受到第八實(shí)施例中所用的減壓容器1的干擾，因此在根據(jù)第九實(shí)施例的方法中獲得的輻射效率會(huì)高于在根據(jù)第八實(shí)施例的方法中獲得的輻射效率。圖12、圖13和圖16是圖解根據(jù)第十實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。根據(jù)第十實(shí)施例的空心單元陣列結(jié)構(gòu)9經(jīng)配置使得經(jīng)由第一襯底4的表面上的UV射線透射樣式透射的UV射線可靠地穿過(guò)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9，且不允許UV射線泄漏到與空心單元陣列結(jié)構(gòu)9相鄰的空間(見(jiàn)圖9)。為了不允許UV射線泄漏到與空心單元陣列結(jié)構(gòu)9相鄰的空間，空心單元陣列結(jié)構(gòu)9和與空心單元陣列結(jié)構(gòu)9相鄰的空間的折射率的差異被用于UV射線的應(yīng)用。以如下角度來(lái)應(yīng)用UV射線，所述角度是UV射線完全反射離開(kāi)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9和與空心單元陣列結(jié)構(gòu)9相鄰的空間之間界面所處的角度。 第一襯底4的光屏蔽樣式8的形狀和尺寸因此被定義如下。根據(jù)第十實(shí)施例的光屏蔽樣式 8的具體構(gòu)造參考圖9被描述。光屏蔽樣式8經(jīng)配置滿足通過(guò)tan θ 2 < Β/Α表示的關(guān)系。在下面給出對(duì)于計(jì)算關(guān)系tan θ 2 < Β/Α的描述。在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9中的全內(nèi)反射光角度θ 1通過(guò)下面方程表示sin θ 1 =Na/Nb。在該方程中，Na表示空間中的折射率，并且Nb表示精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9中的折射率。光屏蔽樣式的構(gòu)造(形狀)通過(guò)下面方程表示tan θ 2 = Β/Α。由于光屏蔽樣式 8以Β/Α的光屏蔽比率來(lái)屏蔽UV射線從而滿足通過(guò)Θ1< θ 2表示的關(guān)系，因此在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9中僅傳輸全內(nèi)反射光。因此UV射線可以有效地穿過(guò)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的側(cè)單元壁而不允許UV射線穿過(guò)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的上單元壁(即頂膜)(即，精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9可以被UV射線選擇性固化)。注意到光屏蔽樣式8的材料包括碳顆粒和具有相似于第一襯底4的折射系數(shù)的粘合劑。如下所述獲得全內(nèi)反射光角度。-空間(空氣)的折射率Na= 1-精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)(丙烯酸可UV固化樹(shù)脂)的折射率Nb= 1. 49上面的值被應(yīng)用到下面的方程sin θ 1 = Na/Nb = 1/1. 49 = 0. 671θ 1 = 42°由于存在通過(guò)θ 1 < θ 2表示的關(guān)系，因此θ 2大于42°。如果A是10 μ m(見(jiàn)圖9)，B = A*tan θ 2 = 9μπι。因此，基于tan0 2 <Β/Α的關(guān)系，B是9μπι或更長(zhǎng)。通過(guò)該方法，由于UV射線以入射角經(jīng)由第一襯底4的UV射線透射樣式被應(yīng)用到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9，其中UV射線在所述入射角被全部反射離開(kāi)在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的側(cè)單元壁和空間之間的界面，因此UV射線選擇性穿過(guò)側(cè)單元壁的內(nèi)部部分，并且不穿過(guò)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的其它部分。因此，側(cè)單元壁的內(nèi)部部分被選擇性固化，并且其它部分，具體的是上單元壁(即頂膜)保持未固化，由此獲得具有上和下開(kāi)口末端的蜂窩結(jié)構(gòu)(即空心單元陣列結(jié)構(gòu)6)。圖12、圖13和圖16也是圖解根據(jù)第十一實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。根據(jù)第十一實(shí)施例的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9經(jīng)配置以使經(jīng)由第一襯底4的表面上的UV射線透射樣式透射的UV射線比第十實(shí)施例的更有效地穿過(guò)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9，且不允許UV射線泄漏到與精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9相鄰的空間(見(jiàn)于圖9)。 為使UV射線更有效地穿過(guò)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9且不允許UV射線泄漏到與精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9相鄰的空間，UV射線以其完全反射離開(kāi)第一襯底4和光屏蔽樣式8之間界面的入射角應(yīng)用。根據(jù)第十一實(shí)施例的光屏蔽樣式8的詳細(xì)配置相似于第十實(shí)施例的光屏蔽樣式； 然而，在第十一實(shí)施例中，碳顆粒用作光屏蔽樣式8的材料。硅橡膠用作第一襯底4的材料。 全內(nèi)反射光角度如下獲得。由于碳顆粒用于光屏蔽樣式8，因此第一襯底4和光屏蔽樣式8 之間的界面包括硅橡膠和空氣。因此，-空氣中的折射率Na:1-精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)(硅樹(shù)脂)中的折射率Nb= 1. 4上面的值應(yīng)用到下面方程sin θ 2 = Na/Nb = 1/1. 4 = 0. 714Θ2 = 45·6°由于θ 1 = 42°并且θ 2 = 45.6°，因此滿足通過(guò)θ 1 < θ 2表示的關(guān)系。相似于第十實(shí)施例，光屏蔽樣式8的構(gòu)造(形狀)通過(guò)下面關(guān)系表示tan θ 2 < B/ Α。在第十實(shí)施例中，B計(jì)算為9 μ m,并且如果B是9 μ m或更長(zhǎng)，那么UV射線的透射效率會(huì)降低。在第十一實(shí)施例中，在第一襯底中光的全內(nèi)反射的入射角為Θ2 = 45.6°。因此，即使B是9μπι或更長(zhǎng)，UV射線仍在內(nèi)部全部被反射回。因此，反射的UV射線可到達(dá)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9而不降低UV射線的透射效率。由于第一襯底4的材料(硅樹(shù)脂)的折射率(1. 4)小于精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9 的折射率(1.49)，因此第一襯底4的全內(nèi)反射角為Θ2 = 45.6°。并且精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的全內(nèi)反射角為θ 1 = 42°，從而導(dǎo)致θ 1 < θ 2，UV射線可在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的全內(nèi)反射角區(qū)域內(nèi)應(yīng)用。圖17Α到圖17Ε是圖解根據(jù)第十二實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法的各步驟的圖示。根據(jù)第十二實(shí)施例的空心單元陣列結(jié)構(gòu)的構(gòu)造與第八和第九實(shí)施例相同。接下來(lái)，隨著對(duì)于第十二實(shí)施例的描述參考圖17Α到圖17Ε描述生產(chǎn)步驟。圖17Α圖解一個(gè)步驟，其中以與第八實(shí)施例相同的方式，在第一襯底4上緊密附加由可UV固化材料3和第二襯底7組成的膜，并將獲得的產(chǎn)物放置在減壓容器1中。圖17Β圖解一個(gè)步驟，其中逐漸減少減壓容器1的壓力(0. OOlMPa/s)，從而在凹陷 5中相應(yīng)產(chǎn)生較大壓力并導(dǎo)致膜的可UV固化材料3膨脹，以便獲得精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu) 9。同時(shí)，從第一襯底4的下側(cè)(即從膜相反的相反側(cè))輻射UV射線從而固化膜的可UV固化材料3。圖17C圖解一個(gè)步驟，其中使精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9膨脹到預(yù)定尺寸并選擇性輻射UV射線從而固化膜的材料3，由此獲得部分(選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu) 9。圖17D圖解一個(gè)步驟，其中以與第八實(shí)施例相同的方式，從部分(選擇性)固化的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9去除第二襯底7。圖17E圖解一個(gè)步驟，其中以與第八實(shí)施例相同的方式從第一襯底4去除最終的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)6。通過(guò)第十二實(shí)施例的該方法，可獲得相似于根據(jù)第八實(shí)施例的方法的優(yōu)點(diǎn)。其它優(yōu)點(diǎn)如下。在第八實(shí)施例中，在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9膨脹到預(yù)定尺寸之后，膨脹的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9通過(guò)UV射線的應(yīng)用而被固化；然而，通過(guò)該方法，在固化精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的同時(shí)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9會(huì)變形。相反，在第十二實(shí)施例的方法中，由于精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9以重復(fù)方式逐漸膨脹并固化，因此精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9可以在不變形的情況下固化。圖18是圖解根據(jù)第十三實(shí)施例用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法步驟的部分的圖示。第十三實(shí)施例的辦法基本相同于第八和第九實(shí)施例的方法，除了在圖18中圖解的UV 輻射步驟。UV輻射設(shè)備12 (見(jiàn)于圖18)是用來(lái)輻射UV射線的光源設(shè)備。準(zhǔn)直儀透鏡13是用來(lái)使UV射線平行對(duì)準(zhǔn)的光學(xué)設(shè)備。接下來(lái)，UV輻射步驟在下面描述。第十三實(shí)施例的 UV輻射步驟相似于第八實(shí)施例，除了準(zhǔn)直儀透鏡13的使用。通過(guò)準(zhǔn)直儀透鏡13，平行UV 射線應(yīng)用到第一襯底4。通過(guò)該方法，可獲得相似于根據(jù)第八實(shí)施例的方法的優(yōu)點(diǎn)。另一優(yōu)點(diǎn)如下。由于平行UV射線應(yīng)用到第一襯底4，因此UV射線可較少地被屏蔽樣式8屏蔽。 因此，UV射線在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9中更可靠透射。如在一個(gè)上面實(shí)施例所述，用于生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法包括第一步驟，其中使得能夠在預(yù)定條件下塑性變形的可變形材料在第一襯底上成層，該第一襯底在其表面
16中具有多個(gè)互相分離的凹陷，以使可變形材料在多個(gè)凹陷中的每個(gè)凹陷內(nèi)形成隔離空間； 第二步驟，其中通過(guò)引起空間中的氣體壓力同時(shí)延伸可變形材料使多個(gè)凹陷中的每個(gè)凹陷內(nèi)的空間膨脹，以使多個(gè)空心單元對(duì)應(yīng)多個(gè)凹陷在預(yù)定方向上同時(shí)形成；以及第三步驟，其中選擇性凝固多個(gè)空心單元的預(yù)定部分。通過(guò)該方法，可獲得在上和下表面具有開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)。因此，可以低成本穩(wěn)定生產(chǎn)適合用填充物注射的空心單元陣列結(jié)構(gòu)而沒(méi)有后處理，例如從獲得的精細(xì)空心單元結(jié)構(gòu)去除頂膜。由于空心單元在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口，因此空心單元可以用與形成空心單元的材料不同的材料密封。更特定地，空心單元可以用具有低電阻的透明材料密封從而形成適合用于電泳顯示器的開(kāi)口表面的密封表面。另外，空心單元陣列結(jié)構(gòu)的開(kāi)口表面可以被連接到透明電極板。進(jìn)一步地，在上面實(shí)施例中，由于能夠通過(guò)應(yīng)用UV射線固化的可變形材料被延伸，且其中可變形材料被夾在第一襯底和具有預(yù)定成形的光屏蔽樣式的第二襯底之間，并且UV射線經(jīng)由第二襯底上預(yù)定成形的光屏蔽樣式應(yīng)用到可變形材料，因此可固化空心單元的期望部分。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有開(kāi)口的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)。因此，可以低成本穩(wěn)定生產(chǎn)適合用填充物注射的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)而沒(méi)有后處理，例如從獲得的空心單元結(jié)構(gòu)去除頂膜。由于空心單元在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口，因此空心單元可以用與形成空心單元的材料不同的材料密封。更特定地，空心單元可以用適合用于顯示器的開(kāi)口表面的具有低電阻的透明材料密封，從而直接形成密封表面。另外，空心單元陣列結(jié)構(gòu)的開(kāi)口表面可以被直接連接到透明電極板。進(jìn)一步地，在另一實(shí)施例中，由于能夠通過(guò)干燥固化的可變形材料被延伸，且其中可變形材料被夾在第一襯底和具有預(yù)定成形的多孔樣式的第二襯底之間，并且可變形材料經(jīng)由第二襯底上的多孔樣式被干燥，因此可固化空心單元的期望部分。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)。因此，可以低成本穩(wěn)定生產(chǎn)適合用填充物注射的空心單元陣列結(jié)構(gòu)而沒(méi)有后處理，例如從獲得的空心單元結(jié)構(gòu)去除頂膜。由于空心單元在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口，因此空心單元可以用與形成空心單元的材料不同的材料密封。更特定地，空心單元可以用適合用于顯示器的開(kāi)口表面的、具有低電阻的透明材料密封，從而直接形成密封表面。另外，空心單元陣列結(jié)構(gòu)的開(kāi)口表面可以被直接連接到透明電極板。進(jìn)一步地，在另一實(shí)施例中，由于能夠通過(guò)冷卻被固化的可變形材料被延伸，且其中可變形材料被夾在第一襯底和具有預(yù)定成形的加熱樣式的第二襯底之間，并且可變形材料經(jīng)由第二襯底上的預(yù)定成形的加熱樣式被冷卻，因此可以固化不與預(yù)定成形的加熱樣式接觸的空心單元的期望部分。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)。因此，可以低成本穩(wěn)定生產(chǎn)適合用填充物注射的空心單元陣列結(jié)構(gòu)而沒(méi)有后處理，例如從獲得的空心單元結(jié)構(gòu)去除頂膜。由于空心單元在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口，因此空心單元可以用與形成空心單元的材料不同的材料密封。更特定地，空心單元可以用適合用于顯示器的開(kāi)口表面的、具有低電阻的透明材料密封，從而直接形成密封表面。進(jìn)一步地，在另一實(shí)施例中，由于能夠通過(guò)應(yīng)用UV射線固化的可變形材料被延伸，且其中可變形材料被夾在第一襯底和具有預(yù)定成形的防水表面樣式的第二襯底之間， 并且UV射線經(jīng)由第二襯底上預(yù)定成形的防水表面樣式被應(yīng)用到可變形材料，因此可以固化空心單元的期望部分。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)。因此，可以低成本穩(wěn)定生產(chǎn)適合用填充物注射的精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)而沒(méi)有后處理，例如從獲得的空心單元結(jié)構(gòu)去除頂膜。由于空心單元在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口，因此空心單元可以用與形成空心單元的材料不同的材料密封。更特定地，空心單元可以用適合用于顯示器的開(kāi)口表面的、具有低電阻的透明材料密封，從而直接形成密封表面。進(jìn)一步地，在另一實(shí)施例中，由于能夠通過(guò)應(yīng)用UV射線固化的可變形材料被延伸，且其中可變形材料被夾在第一襯底和具有預(yù)定成形的疏脂表面樣式的第二襯底之間， 并且UV射線經(jīng)由第二襯底上的預(yù)定成形的疏脂表面樣式被應(yīng)用到可變形材料，因此可固化空心單元的期望部分。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)。因此， 可以低成本穩(wěn)定生產(chǎn)適合用填充物注射的空心單元陣列結(jié)構(gòu)而沒(méi)有后處理，例如從獲得的空心單元結(jié)構(gòu)去除頂膜。由于空心單元在上和下表面具有相應(yīng)開(kāi)口，因此空心單元可以用與形成空心單元的材料不同的材料密封。更特定地，空心單元可用適合用于顯示器的開(kāi)口表面的、具有低電阻的透明材料密封，從而直接形成密封表面。進(jìn)一步地，在另一實(shí)施例中，由于能夠通過(guò)應(yīng)用UV射線固化的可變形材料被延伸，且其中可變形材料被夾在第一襯底和具有預(yù)定成形的光屏蔽樣式的第二襯底之間，并且UV射線經(jīng)由對(duì)應(yīng)凹陷位置的在第二襯底上的預(yù)定成形的光屏蔽樣式被應(yīng)用到可變形材料，因此可選擇性熟化/固化除頂部部分之外的空心單元的期望部分。結(jié)果，可獲得在上和下表面具有開(kāi)口的空心單元陣列結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步地，在第三步驟中，由于UV射線經(jīng)由UV射線透射樣式被應(yīng)用，因此蜂窩單元(即空心單元)的側(cè)單元壁被選擇性固化，并且空心單元的上單元壁保持未固化。因此， 可生產(chǎn)在上和下表面具有開(kāi)口(即在上和下表面具有開(kāi)放末端)的空心單元陣列結(jié)構(gòu)(即蜂窩結(jié)構(gòu))。在第三步驟中，由于UV射線以入射角經(jīng)由第一襯底4的UV射線透射樣式被應(yīng)用到精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)，且處于所述入射角所述UV射線全部反射離開(kāi)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的側(cè)單元壁和空間之間的界面，因此UV射線選擇性穿過(guò)側(cè)單元壁的內(nèi)部部分并且不穿過(guò)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的其它部分。因此，側(cè)單元壁的內(nèi)部部分被選擇性固化，并且其它部分特別是上單元壁(即頂膜)保持未固化，由此獲得具有上和下開(kāi)放末端的蜂窩結(jié)構(gòu)(即空心單元陣列結(jié)構(gòu)6)。進(jìn)一步地，如果第三步驟與第二步驟同時(shí)執(zhí)行，那么可有效防止損壞空心單元。因此，可生產(chǎn)在上和下表面具有開(kāi)口(即在上下表面具有開(kāi)放末端)的空心單元陣列結(jié)構(gòu) (即蜂窩結(jié)構(gòu))。進(jìn)一步地，由于UV射線透射部分(UV射線透射樣式)被形成在第一襯底的整個(gè)表面之上，并且光屏蔽樣式被形成在第一襯底的多個(gè)凹陷中的每個(gè)凹陷的整個(gè)表面之上，因此可以可靠控制穿過(guò)第一襯底的UV射線的光路。進(jìn)一步地，由于UV射線透射部分(UV射線透射樣式)被形成在第一襯底的部分表面之上，并且光屏蔽樣式被形成在第一襯底的多個(gè)凹陷中每個(gè)凹陷的部分表面之上，因此可以可靠控制穿過(guò)第一襯底的UV射線的光路，可有效防止損壞空心單元，并且可形成更薄的側(cè)單元壁。在第三步驟中，由于基于第一襯底的UV射線透射樣式和屏蔽樣式來(lái)控制UV射線到第一襯底的入射角，以使得應(yīng)用的UV射線全部反射離開(kāi)多個(gè)空心結(jié)構(gòu)中的側(cè)單元壁和對(duì)應(yīng)空間之間的界面，因此可以可靠控制穿過(guò)第一襯底的UV射線的光路，選擇性固化側(cè)單元壁的內(nèi)部部分，并且其它部分特別是上單元壁(即頂膜)保持未固化，由此獲得具有上和下開(kāi)放末端的蜂窩結(jié)構(gòu)(即空心單元陣列結(jié)構(gòu))。此外，由于準(zhǔn)直儀用來(lái)應(yīng)用UV射線到第一襯底，因此平行射線被應(yīng)用到第一襯底。因此，可有效控制UV射線的入射角，以使得UV射線全部反射離開(kāi)精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的側(cè)單元壁和對(duì)應(yīng)空間之間的界面。進(jìn)一步地，由于屏蔽樣式由吸收UV射線的材料制成，因此可有效屏蔽UV射線，并且可有效防止UV射線的無(wú)規(guī)則反射。因此，可以可靠控制UV射線的光路。此外，由于屏蔽樣式的材料也包括比UV射線透射材料更小的折射率，因此UV射線在第一襯底中內(nèi)部地全反射返回，并且有效利用UV射線，即使光屏蔽樣式的長(zhǎng)度B增加。因此，蜂窩材料可用低能耗有效固化。進(jìn)一步地，由于第一襯底上UV射線透射樣式的材料的折射率低于空心單元結(jié)構(gòu)的材料的折射率，因此UV射線可在精細(xì)空心單元陣列結(jié)構(gòu)9的全內(nèi)反射角區(qū)域內(nèi)被應(yīng)用。由于通過(guò)執(zhí)行用于生產(chǎn)空心單元結(jié)構(gòu)的方法的上述步驟的設(shè)備來(lái)生產(chǎn)空心單元結(jié)構(gòu)，因此相比經(jīng)由二次處理來(lái)生產(chǎn)空心單元結(jié)構(gòu)，能夠以低成本生產(chǎn)具有高準(zhǔn)確性尺寸的空心單元結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步地，從其去除未固化部分的固化部分的表面是平滑的，因此可以生產(chǎn)不粗糙的空心單元結(jié)構(gòu)。本發(fā)明不限于特定披露實(shí)施例，并且可做出變化和修改而不背離本發(fā)明的范疇。本專利申請(qǐng)基于提交于2009年7月10日的日本優(yōu)先權(quán)專利申請(qǐng) No. 2009-163724，以及提交于2010年6月16日的日本優(yōu)先權(quán)專利申請(qǐng)No. 2010-137154，這兩個(gè)申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容包括在此作為參考。
權(quán)利要求
1.一種生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法，包含第一步驟，使得能夠在預(yù)定條件下塑性變形的可變形材料在第一襯底上成層，所述第一襯底在其表面中具有多個(gè)互相分離的凹陷，以使得所述可變形材料在對(duì)應(yīng)凹陷中形成互相隔離的空間；第二步驟，通過(guò)引起所述空間的氣體壓力使所述多個(gè)凹陷中的所述空間擴(kuò)張同時(shí)延伸在所述第一襯底上的所述可變形材料，以使得多個(gè)空心單元對(duì)應(yīng)所述多個(gè)凹陷在預(yù)定方向上同時(shí)形成；以及第三步驟，通過(guò)選擇性應(yīng)用紫外線到所述多個(gè)空心單元的多個(gè)部分，而選擇性凝固所述多個(gè)空心單元的所述部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述第三步驟中，通過(guò)經(jīng)由所述第一襯底的紫外線透射樣式來(lái)選擇性應(yīng)用所述紫外線到所述多個(gè)空心單元的所述部分，從而選擇性凝固所述多個(gè)空心單元的所述部分。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述第三步驟中，通過(guò)經(jīng)由所述第一襯底的紫外線透射樣式以一定角度來(lái)選擇性應(yīng)用所述紫外線到所述多個(gè)空心單元的所述部分，從而選擇性凝固所述多個(gè)空心單元的所述部分，其中所應(yīng)用的紫外線在所述角度處全部反射離開(kāi)所述多個(gè)空心單元中單元壁和對(duì)應(yīng)空間之間的界面。
4.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述第三步驟與所述第二步驟同時(shí)執(zhí)行，從而選擇性凝固所述多個(gè)空心單元的所述部分。
5.一種生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法，包含第一步驟，使得能夠通過(guò)應(yīng)用紫外線固化的可變形材料在第一襯底上成層，所述第一襯底具有多個(gè)互相分離的凹陷，以使所述可變形材料在對(duì)應(yīng)凹陷中形成互相隔離的空間；第二步驟，借由在多個(gè)凹陷中形成所述互相隔離的空間的所述可變形材料，具有預(yù)定成形的光屏蔽樣式的第二襯底在具有所述多個(gè)凹陷的所述第一襯底上成層，并且通過(guò)引起所述空間的氣體壓力使所述多個(gè)凹陷中的所述空間擴(kuò)張同時(shí)延伸所述可變形材料，以使所述多個(gè)空心單元對(duì)應(yīng)所述多個(gè)凹陷在預(yù)定方向上同時(shí)形成；以及第三步驟，通過(guò)經(jīng)由在所述第二襯底上形成的所述預(yù)定成形的光屏蔽樣式來(lái)選擇性應(yīng)用紫外線到所述多個(gè)空心單元的多個(gè)部分，從而選擇性凝固所述多個(gè)空心單元的所述部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述第二襯底包括預(yù)定成形的防水表面樣式。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述第二襯底包括預(yù)定成形的疏脂表面樣式。
8.—種生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的設(shè)備，包含涂覆裝置，所述涂覆裝置經(jīng)配置使得能夠在預(yù)定條件下塑性變形的可變形材料在第一襯底上成層，所述第一襯底在其表面中具有多個(gè)互相分離的凹陷，以使所述可變形材料在對(duì)應(yīng)凹陷中形成互相隔離的空間；壓力控制裝置，所述壓力控制裝置經(jīng)配置通過(guò)引起所述空間的氣體壓力使多個(gè)凹陷中的所述空間擴(kuò)張同時(shí)在所述第一襯底上延伸所述可變形材料，以使多個(gè)空心單元對(duì)應(yīng)所述多個(gè)凹陷在預(yù)定方向上同時(shí)形成；以及凝固裝置，所述凝固裝置經(jīng)配置通過(guò)選擇性應(yīng)用紫外線到所述多個(gè)空心單元的多個(gè)部分，來(lái)選擇性凝固所述多個(gè)空心單元的所述部分，其中紫外線透射樣式被形成在所述第一襯底的第一部分上，并且光屏蔽樣式被形成在所述第一襯底的第二部分上和所述第一襯底的所述多個(gè)凹陷的整個(gè)表面上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中基于所述第一襯底的所述紫外線透射樣式和所述屏蔽樣式來(lái)控制紫外線到所述第一襯底的入射角，以使所應(yīng)用的紫外線全部反射離開(kāi)所述多個(gè)空心單元中單元壁和對(duì)應(yīng)空間之間的界面。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中通過(guò)準(zhǔn)直儀來(lái)控制紫外線到所述第一襯底的入射角，以使所應(yīng)用的紫外線全部反射離開(kāi)所述多個(gè)空心單元中單元壁和對(duì)應(yīng)空間之間的界面。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中所述屏蔽樣式由吸收紫外輻射的材料制成。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中所述屏蔽樣式由吸收紫外輻射的材料制成，并且所述材料包括比所述紫外線透射樣式的材料更小的折射率。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中在所述第一襯底上的所述紫外線透射樣式的材料的折射率小于所述空心單元結(jié)構(gòu)的材料的折射率。
全文摘要
本發(fā)明披露一種生產(chǎn)空心單元陣列結(jié)構(gòu)的方法，包括第一步驟，該步驟使能夠在預(yù)定條件下塑性變形的可變形材料在第一襯底上成層，該第一襯底在其表面中具有多個(gè)互相分離的凹陷，以使可變形材料在相應(yīng)凹陷中形成互相隔離的空間；第二步驟，該步驟通過(guò)導(dǎo)致空間具有一定氣體壓力同時(shí)在第一襯底上延伸可變形材料從而使多個(gè)凹陷中的空間擴(kuò)張，以使多個(gè)空心單元對(duì)應(yīng)多個(gè)凹陷在預(yù)定方向上同時(shí)形成；以及第三步驟，該步驟通過(guò)選擇性應(yīng)用紫外線到多個(gè)空心單元的部分來(lái)選擇性凝固所述部分。
文檔編號(hào)B29D22/00GK102470618SQ20108003081
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月10日
發(fā)明者井上裕貴依, 升澤正弘, 大垣杰, 大島久慶, 妹尾晉哉, 金松俊宏, 青木慎司 申請(qǐng)人:株式會(huì)社理光