用于oht平臺的防掉落卡爪系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體加工技術領域，尤其涉及一種用于OHT平臺的防掉落卡爪系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]隨著自動化技術快速發(fā)展，工廠生產線上使用自動化機器設備代替人力的趨勢越來越明顯。其中搬運系統(tǒng)是最普遍的自動化應用場景，可以解決人體力不足的問題。搬運系統(tǒng)有傳送帶搬運和空中運輸系統(tǒng)等。
[0003]其中，空中運輸系統(tǒng)(OHT；0ver-head-Hoist-Transportat1n),可以將物料(FOUP ；FrontOpeningUnifiedPod)直接傳送到設備。由于，OHT具有更大的空間自由度，能夠應對更復雜的空間操作。
[0004]現(xiàn)有技術中，天車的抓取結構通常由系統(tǒng)控制器、伺服驅動器和伺服電機構成。缺點有:一是需要單獨購買伺服驅動器裝置，然而性能較好的驅動器通常都是國外公司的產品，采購成本很高；二是使用伺服結構實現(xiàn)位置控制，軟件層面結構復雜；三是對抓取裝置的控制策略都是由上層控制器實現(xiàn)，在終端系統(tǒng)的任務管理中占用很大的資源。

【發(fā)明內容】

[0005]針對現(xiàn)有技術存在的缺陷，本發(fā)明提供一種用于OHT平臺的防掉落卡爪系統(tǒng)。
[0006]一種用于OHT平臺的防掉落卡爪系統(tǒng)，包括:
[0007]DSP驅動模塊、電機、卡爪、防掉落手臂及傳感器，所述DSP驅動模塊通過所述電機信號連接于所述防掉落手臂及所述卡爪，所述傳感器用于檢測所述防掉落手臂及所述卡爪的位置信息，并將所述位置信息反饋至所述DSP驅動模塊，所述DSP驅動模塊根據(jù)所述位置信號控制所述卡爪的運動以完成對物料的抓取與釋放，所述DSP驅動模塊還用于根據(jù)所述位置信號控制所述防掉落手臂的開合防止物料掉落。
[0008]優(yōu)選地，所述卡爪包括第一卡爪滑塊、第二卡爪滑塊、雙旋向梯形絲杠、遮擋片及皮帶，所述第一卡爪滑塊和所述第二卡爪滑塊可沿所述雙旋向梯形絲杠滑動，所述遮擋片連接于所述第一卡爪滑塊；
[0009]當所述第一卡爪滑塊開始抓取工作時，所述電機通過所述皮帶帶動所述雙旋向梯形絲杠轉動，所述遮擋片隨所述第一卡爪滑塊沿所述雙旋向梯形絲杠與所述第二卡爪滑塊做相向運動，所述傳感器實時檢測所述遮擋片的位置信息及判斷外圍抓取盤是否已經卡入到所述第一卡爪滑塊的凹槽內，并將檢測的信息反饋至所述DSP驅動模塊；
[0010]當所述第一卡爪滑塊開始釋放工作時，所述電機通過所述皮帶帶動所述雙旋向梯形絲杠轉動，所述遮擋片隨所述第一卡爪滑塊沿所述雙旋向梯形絲杠與所述第二卡爪滑塊做相反運動，所述傳感器檢測到所述遮擋片的位置信息并將所述位置信息反饋至所述DSP驅動模塊，所述DSP驅動模塊控制所述電機停止運轉，釋放完成。
[0011]優(yōu)選地，所述防掉落手臂包括螺旋滑塊、梯形絲杠、連桿機構、固定軸A及固定軸B，所述螺旋滑塊可沿所述梯形絲杠滑動，所述螺旋滑塊的一端固定連接于所述連桿機構，所述固定軸A及固定軸B分別固定設置于所述連桿機構相對兩側上，所述梯形絲杠連接于所述電機；
[0012]當所述電機正轉時，所述電機帶動所述梯形絲杠轉動，所述螺旋滑塊沿所述梯形絲杠向左滑動，在螺旋滑塊的牽引下所述連桿機構發(fā)生形變，所述連桿機構閉合，所述傳感器檢測所述螺旋滑塊的位置信息，并將所述位置信息反饋至所述DSP驅動模塊，所述DSP驅動模塊控制所述電機停止，所述連桿機構完成閉合；
[0013]當所述電機反轉時，所述電機帶動所述梯形絲杠轉動，所述螺旋滑塊沿所述梯形絲杠向右滑動，在螺旋滑塊的牽引下所述連桿機構發(fā)生形變，所述連桿機構打開，所述傳感器檢測所述螺旋滑塊的位置信息，并將所述位置信息反饋至所述DSP驅動模塊，所述DSP驅動模塊控制所述電機停止，所述連桿機構完成打開。
[0014]優(yōu)選地，所述電機包括電機B、電機C及電機D，所述電機B、電機C及電機D的一端分別機械連接于所述DSP驅動模塊，所述電機B和電機C的另一端連接于所述防掉落手臂，所述電機D的另一端機械連接于所述卡爪。
[0015]優(yōu)選地，所述防掉落手臂包括防掉落右手臂及防掉落左手臂，所述電機B的另一端機械連接于所述防掉落左手臂，所述電機C的另一端機械連接于所述防掉落右手臂。
[0016]優(yōu)選地，所述傳感器包括行程傳感器，所述行程傳感器為2個，分別用于探測所述第一卡爪滑塊開始抓取工作時和開始釋放工作時所述遮擋片的位置信息，并分別將探測的信息反饋至所述DSP驅動模塊。
[0017]優(yōu)選地，所述傳感器還包括抓取傳感器，所述抓取傳感器用于判斷所述抓取盤是否已經卡入到所述第一卡爪滑塊的凹槽內，并將判斷的信息反饋至所述DSP驅動模塊。
[0018]優(yōu)選地，所述傳感器還包括限位傳感器，所述限位傳感器為4個，分別用于探測所述電機正轉時和反轉時所述螺旋滑塊的位置信息，并分別將所述位置信息反饋至所述DSP驅動模塊。
[0019]優(yōu)選地，還包括RC控制器，所述RC控制器通過CAN總線信號連接于所述DSP驅動模塊，用于控制所述DSP驅動模塊。
[0020]優(yōu)選地，所述DSP驅動模塊分別通過所述隔離芯片和驅動芯片控制所述電機工作。
[0021]上述用于OHT平臺的防掉落卡爪系統(tǒng)，包括:DSP驅動模塊、電機、卡爪、防掉落手臂及傳感器，所述DSP驅動模塊通過所述電機信號連接于所述防掉落手臂及所述卡爪，所述傳感器用于檢測所述防掉落手臂及所述卡爪的位置信息，并將所述位置信息傳反饋至所述DSP驅動模塊，所述DSP驅動模塊根據(jù)所述位置信號控制所述卡爪的運動以完成對物料的抓取與釋放，所述DSP驅動模塊還用于根據(jù)所述位置信號控制所述防掉落手臂的開合防止物料掉落。本發(fā)明DSP驅動模塊的控制板卡，板卡自帶直流驅動電路，無需外置驅動器，使用普通的直流電機，大大的節(jié)約制造成本。
[0022]另外，本發(fā)明提供的用于OHT平臺的防掉落卡爪系統(tǒng)，使用多個傳感器實現(xiàn)位置控制，結構簡單精確。防掉落手臂可以防止FOUP意外掉落導致FOUP摔壞或者傷及工作人員。
[0023]此外，本發(fā)明提供的DSP驅動模塊的板卡通過CAN總線連接到上層RC控制器，實現(xiàn)用戶界面控制，上層終端系統(tǒng)只需通過CAN總線發(fā)出簡單指令，即可完成從卡爪伸出到抓取結束卡爪收回的整個動作，簡單可靠。
【附圖說明】
[0024]圖1本發(fā)明提供的用于OHT平臺的防掉落卡爪系統(tǒng)的結構示意圖；
[0025]圖2為本發(fā)明提供的卡爪的結構示意圖；
[0026]圖3為圖2的局部放大圖；
[0027]圖4為本發(fā)明提供的防掉落手臂結構示意圖；
[0028]圖5為本發(fā)明另一實施例提供的防掉落卡爪系統(tǒng)的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0029]為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清晰，以下結合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0030]請參閱圖1至圖4，圖1為本發(fā)明提供的用于OHT平臺的防掉落卡爪系統(tǒng)100。圖2為本發(fā)明提供的卡爪的結構示意圖，圖3為圖2的局部放大圖。圖4為本發(fā)明提供的防掉落手臂結構示意圖。防掉落卡爪系統(tǒng)100:包括DSP驅動模塊110、電機120、卡爪130、防掉落手臂140及傳感器150。
[0031]DSP驅動模塊110通過電機120信號連接于防掉落手臂140及卡爪130。傳感器150用于檢測防掉落手臂140及卡爪130的位置信息，并將位置信息反饋至DSP驅動模塊1