物品搬送設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及物品搬送設(shè)備。將高位置用載置部設(shè)置在比低位置用載置部中的載置物品的載置面的高度更高且比載置于低位置用載置部的物品的上端更低的高度。在該低位置用載置部的移動(dòng)軌跡與載置于高位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分且該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分沿移動(dòng)方向并排的狀態(tài)下，設(shè)置低位置用載置部，在該高位置用載置部的移動(dòng)軌跡與載置于低位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分且該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分沿移動(dòng)方向并排的狀態(tài)下，設(shè)置高位置用載置部。
【專利說明】物品搬送設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及物品搬送設(shè)備，其設(shè)有在第一搬送部位與第二搬送部位之間搬送物品的搬送裝置，作為所述第一搬送部位，設(shè)定有低位置第一搬送部位和被設(shè)定于比該低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位，作為所述第二搬送部位，設(shè)定有低位置第二搬送部位和被設(shè)定于比該低位置第二搬送部位更高的位置的高位置第二搬送部位，作為所述搬送裝置，設(shè)有:低位置搬送裝置，使載置物品的低位置用載置部沿水平方向移動(dòng)，在所述低位置第一搬送部位與所述低位置第二搬送部位之間搬送物品；以及高位置搬送裝置，使載置物品的高位置用載置部沿水平方向移動(dòng)，在所述高位置第一搬送部位與所述高位置第二搬送部位之間搬送物品。
【背景技術(shù)】
[0002]在上述那樣的物品搬送設(shè)備中，例如，設(shè)置在第一搬送部位與自身之間可交接(授受)物品的頂部搬送車，利用該頂部搬送車，在低位置第一搬送部位或高位置第一搬送部位與自身之間搬送物品，設(shè)置在第二搬送部位與自身之間可交接物品的塔式起重機(jī)，利用該塔式起重機(jī)，在低位置第二搬送部位或高位置第二搬送部位與自身之間搬送物品。而且，構(gòu)成為:使低位置搬送裝置的低位置用載置部移動(dòng)，在低位置第一搬送部位與低位置第二搬送部位之間搬送物品，使高位置搬送裝置的高位置用載置部移動(dòng)，在高位置第一搬送部位與高位置第二搬送部位之間搬送物品。通過如此地雙路徑設(shè)置在第一搬送部位與第二搬送部位之間搬送物品的路徑，從而高效地搬送物品。
[0003]作為物品搬送設(shè)備的一個(gè)示例，具有以下設(shè)備:高位置用載置部和低位置用載置部中的每一個(gè)以與另一載置部的移動(dòng)軌跡和載置于另一載置部的物品的移動(dòng)軌跡從上下方向看重復(fù)的狀態(tài)設(shè)置，謀求高位置搬送裝置與低位置搬送裝置在水平方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化(例如，參照日本特開2010-137961號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)I))。
[0004]而且，在上述專利文獻(xiàn)I的物品搬送設(shè)備中，構(gòu)成為:將高位置搬送裝置設(shè)在比載置于低位置用載置部的物品的上端更高的高度，在用低位置搬送裝置搬送物品時(shí)，該物品不干涉高位置搬送裝置。
[0005]然而，在上述專利文獻(xiàn)I的物品搬送設(shè)備中，雖然通過將低位置搬送裝置和高位置搬送裝置以從上下方向看重復(fù)的狀態(tài)設(shè)置，從而謀求水平方向的設(shè)置空間的節(jié)省空間化，但是為了在用低位置搬送裝置搬送物品時(shí)避免低位置用載置部或載置于該低位置用載置部的物品與高位置搬送裝置干涉，高位置搬送裝置被設(shè)在比載置于低位置用載置部的物品的上端更高的高度。因此，高位置搬送裝置和低位置搬送裝置以沿上下方向較大地分離的狀態(tài)設(shè)置，為了設(shè)置高位置搬送裝置和低位置搬送裝置，在上下方向上需要大設(shè)置空間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]鑒于上述背景，希望實(shí)現(xiàn)設(shè)置高位置搬送裝置和低位置搬送裝置而使搬送效率提高同時(shí)能夠謀求高位置搬送裝置和低位置搬送裝置的設(shè)置空間的節(jié)省空間化的物品搬送設(shè)備。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的物品搬送設(shè)備具備以下:
搬送裝置，其在第一搬送部位與第二搬送部位之間搬送物品；
在此，作為所述第一搬送部位，設(shè)定有低位置第一搬送部位和被設(shè)定于比該低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位；作為所述第二搬送部位，設(shè)定有低位置第二搬送部位和被設(shè)定于比該低位置第二搬送部位更高的位置的高位置第二搬送部位；作為所述搬送裝置，設(shè)有:低位置搬送裝置，其使載置物品的低位置用載置部沿水平方向移動(dòng)，在所述低位置第一搬送部位與所述低位置第二搬送部位之間搬送物品；以及高位置搬送裝置，其使載置物品的高位置用載置部沿水平方向移動(dòng)，在所述高位置第一搬送部位與所述高位置第二搬送部位之間搬送物品，
所述高位置用載置部被設(shè)置在比所述低位置用載置部中的載置物品的載置面的高度更高且比載置于所述低位置用載置部的物品的上端更低的高度，
所述低位置用載置部中，載置于該低位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡與所述高位置用載置部的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分，并且，該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分以沿所述低位置用載置部的移動(dòng)方向并排的狀態(tài)設(shè)置，
所述高位置用載置部中，該高位置用載置部的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡與載置于所述低位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分，并且，該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分以沿所述高位置用載置部的移動(dòng)方向并排的狀態(tài)設(shè)置。
[0008]S卩，在低位置用載置部的移動(dòng)軌跡具有與載置于高位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡從上下方向看重復(fù)的部分而且高位置用載置部的移動(dòng)軌跡具有與載置于低位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡從上下方向看重復(fù)的部分的狀態(tài)下，設(shè)置低位置用載置部和高位置用載置部。
[0009]因此，在高位置用載置部和載置于該高位置用載置部的物品與低位置用載置部的移動(dòng)軌跡從上下方向看不重復(fù)的狀態(tài)下，當(dāng)使載置物品的低位置用載置部移動(dòng)時(shí)，高位置用載置部或載置于該高位置用載置部的物品不會(huì)成為妨礙，通過使低位置用載置部移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第一搬送部位的位置和對(duì)應(yīng)于低位置第二搬送部位的位置，從而能夠在低位置第一搬送部位與低位置第二搬送部位之間搬送物品。
[0010]另外，在載置于低位置用載置部的物品與高位置用載置部的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡從上下方向看不重復(fù)的狀態(tài)下，當(dāng)使載置物品的高位置用載置部移動(dòng)時(shí)，載置于低位置用載置部的物品不會(huì)成為妨礙，通過使高位置用載置部移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第一搬送部位的位置和對(duì)應(yīng)于高位置第二搬送部位的位置，從而能夠在高位置第一搬送部位與高位置第二搬送部位之間搬送物品。
[0011]作為在第一搬送部位與第二搬送部位之間搬送物品的路徑，設(shè)有使低位置用載置部移動(dòng)而搬送物品的路徑和使高位置用載置部移動(dòng)而搬送物品的路徑這兩條路徑，因此能夠高效地在第一搬送部位與第二搬送部位之間搬送物品。
[0012]而且，通過使低位置用載置部的移動(dòng)軌跡與高位置用載置部的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡從上下方向看一部分重復(fù)，從而能夠謀求低位置搬送裝置與高位置搬送裝置在水平方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。
[0013]另外，由于高位置用載置部被設(shè)置在比低位置用載置部中的載置物品的載置面的高度更高且比載置于低位置用載置部的物品的上端更低的高度，因而能夠謀求低位置搬送裝置與高位置搬送裝置在上下方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。
[0014]這樣，設(shè)置高位置搬送裝置和低位置搬送裝置而使搬送效率提高，同時(shí)能夠謀求高位置搬送裝置和低位置搬送裝置在水平方向和上下方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。
[0015]以下，說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的示例。
[0016]在根據(jù)本發(fā)明的物品搬送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，所述低位置搬送裝置被設(shè)置成使所述低位置用載置部圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如，所述高位置搬送裝置被設(shè)置成使所述高位置用載置部圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如。
[0017]S卩，在使物品被載置于低位置用載置部的狀態(tài)下，通過使低位置用載置部旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而能夠在低位置第一搬送部位與低位置第二搬送部位之間搬送物品，另外，在使物品被載置于高位置用載置部的狀態(tài)下，通過使高位置用載置部旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而能夠在高位置第一搬送部位與高位置第二搬送部位之間搬送物品。
[0018]而且，載置部的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)例如能夠以將載置部連結(jié)至圍繞沿鉛垂方向的旋轉(zhuǎn)軸心旋轉(zhuǎn)自如的連結(jié)部并用電動(dòng)馬達(dá)使該連結(jié)部旋轉(zhuǎn)等簡(jiǎn)單的構(gòu)成來實(shí)現(xiàn)，因而能夠謀求搬送裝置的構(gòu)成的簡(jiǎn)單化。
[0019]在根據(jù)本發(fā)明的物品搬送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，所述低位置用載置部和所述高位置用載置部被設(shè)置成圍繞同一軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如。
[0020]S卩，由于低位置用載置部和高位置用載置部被設(shè)置成圍繞同一軸心旋轉(zhuǎn)自如，因而與圍繞不同軸心旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置這些載置部的情況相比，能夠以軸心不分離的程度謀求在水平方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。
[0021]在根據(jù)本發(fā)明的物品搬送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，所述搬送裝置構(gòu)成為將自如容納多塊基板的容器作為物品來搬送，設(shè)有對(duì)所述基板進(jìn)行處理的基板處理裝置，并設(shè)有基板搬送裝置，其從在載置于所述載置部的狀態(tài)下位于所述第二搬送部位的所述容器取出所述基板，將該基板搬送至所述基板處理裝置。
[0022]S卩，由于高位置用載置部被設(shè)置在比低位置用載置部中的載置物品的載置面的高度更高且比載置于低位置用載置部的物品的上端更低的高度，因而高位置用載置部與低位置用載置部的高度差小。因此，當(dāng)基板搬送裝置在載置于低位置用載置部的容器或載置于高位置用載置部的容器與基板處理裝置之間搬送基板時(shí)，能夠抑制為了將基板取出所需要的基板搬送裝置的升降移動(dòng)量，能夠沿上下方向緊湊地構(gòu)成基板搬送裝置。
[0023]另外，由于能夠在使容器被載置于搬送裝置的載置部的狀態(tài)下由基板搬送裝置取出基板，因而不必將容器搬送至被設(shè)定為從搬送裝置的載置部上取出基板用的基板取出部位等另外的部位，能夠高效地搬送基板。
[0024]在根據(jù)本發(fā)明的物品搬送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，所述低位置第一搬送部位和所述高位置第一搬送部位被設(shè)定在從上下方向看相同的位置。
[0025]S卩，低位置第一搬送部位和高位置第一搬送部位被設(shè)定在從上下方向看相同的位置。因此，在物品的搬送對(duì)象部位為低位置第一搬送部位的情況和物品的搬送對(duì)象部位為高位置第一搬送部位的情況下，由于物品的搬送對(duì)象部位的位置是在水平方向上相同的位置，因而易于進(jìn)行將低位置第一搬送部位或高位置第一搬送部位作為搬送對(duì)象部位的物品的搬送。
[0026]在根據(jù)本發(fā)明的物品搬送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，設(shè)有具有在所述第一搬送部位與自身之間搬送物品的機(jī)構(gòu)并沿水平方向移動(dòng)自如的搬送車，所述搬送車構(gòu)成為:在停止于對(duì)所述低位置第一搬送部位和所述高位置第一搬送部位通用設(shè)定的停止位置的狀態(tài)下，在所述低位置第一搬送部位或所述高位置第一搬送部位與自身之間自如地搬送物
品O
[0027]S卩，低位置第一搬送部位和高位置第一搬送部位被設(shè)定于從上下方向看相同的位置，搬送車不論在低位置第一搬送部位與自身之間搬送物品時(shí)，還是在高位置第一搬送部位與自身之間搬送物品時(shí)，都能夠在停止于通用停止位置的狀態(tài)下搬送物品。因此，例如在由搬送車將容器卸在低位置第一搬送部位之后，不使該搬送車沿水平方向移動(dòng)就能夠從高位置第一搬送部位抬起物品等，能夠由搬送車高效地搬送物品。
[0028]在根據(jù)本發(fā)明的物品搬送設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地，設(shè)有頂部搬送車，其在被配設(shè)于頂部的行駛軌道引導(dǎo)支撐的狀態(tài)下沿所述行駛軌道行駛自如且升降自如地具備支撐物品的支撐體，所述頂部搬送車構(gòu)成為:為了將物品卸于所述載置部，使所述支撐體下降移動(dòng)而將物品搬送至所述第一搬送部位，并且，為了從所述載置部抬起物品，使所述支撐體上升移動(dòng)而從所述第一搬送部位搬送物品。
[0029]S卩，由于高位置用載置部被設(shè)置在比低位置用載置部中的載置物品的載置面的高度更高且比載置于低位置用載置部的物品的上端更低的高度，因而高位置用載置部與低位置用載置部的高度差小。因此，能夠?qū)⒌臀恢糜幂d置部的高度設(shè)置在高位置上，能夠抑制在頂部搬送車與低位置第一搬送部位之間搬送物品時(shí)的升降體的升降量，能夠在頂部搬送車與低位置第一搬送部位之間高效地搬送物品。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1是物品搬送設(shè)備的立體圖。
[0031 ] 圖2是物品搬送設(shè)備的俯視圖。
[0032]圖3是物品搬送設(shè)備的側(cè)視圖。
[0033]圖4是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的立體圖。
[0034]圖5是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的俯視圖。
[0035]圖6是顯示載置于低位置用載置部的容器的移動(dòng)軌跡與高位置用載置部和載置于該載置部的容器的移動(dòng)軌跡的俯視圖。
[0036]圖7是顯示載置于高位置用載置部的容器的移動(dòng)軌跡與低位置用載置部和載置于該載置部的容器的移動(dòng)軌跡的俯視圖。
[0037]圖8是顯示載置部的支撐構(gòu)造的圖。
[0038]圖9是控制框圖。
[0039]圖10是流程圖。
[0040]符號(hào)說明:
I第一搬送部位 IL低位置第一搬送部位 IH高位置第一搬送部位 2第二搬送部位 2L低位置第二搬送部位 2H高位置第二搬送部位 3容器(物品)
4基板 5搬送裝置 5L低位置搬送裝置 5H高位置搬送裝置 6頂部搬送車(搬送車)
7基板處理裝置 8基板搬送裝置 11載置部 IlL低位置用載置部 IlH高位置用載置部 20行駛軌道 21支撐體 P 軸心。
【具體實(shí)施方式】
[0041]以下，基于【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0042]如圖1至圖3所示，在物品搬送設(shè)備上設(shè)有:搬送裝置5，其在第一搬送部位(參照?qǐng)D2和圖3)與第二搬送部位(參照?qǐng)D2和圖3)之間搬送自如地容納多塊基板4的容器3 ;頂部搬送車6，其在第一搬送部位與自身之間搬送容器3 ;基板處理裝置7，其對(duì)基板4進(jìn)行處理；以及基板搬送裝置8，其在位于第二搬送部位2的容器3與基板處理裝置7之間搬送基板4。在本例中，頂部搬送車6具有在第一搬送部位I與自身之間搬送容器3的機(jī)構(gòu)，并且構(gòu)成為沿水平方向移動(dòng)自如。
[0043]而且，物品搬送設(shè)備構(gòu)成為:由頂部搬送車6將容器3搬送至第一搬送部位，由搬送裝置5將容器3從第一搬送部位I搬送至第二搬送部位2，由基板搬送裝置8從位于第二搬送部位2的容器3取出基板4并將該基板4向基板處理裝置7搬送。
[0044]另外，物品搬送設(shè)備構(gòu)成為:由基板搬送裝置8將由基板處理裝置7進(jìn)行的處理完成后的基板4從基板處理裝置7向位于第二搬送部位2的容器3搬送并將該基板4容納于容器3，由搬送裝置5將容器3從第二搬送部位2搬送至第一搬送部位1，由頂部搬送車6從第一搬送部位I搬送容器3。
[0045]物品搬送設(shè)備被設(shè)置于清潔室內(nèi)，作為基板4，用于液晶面板等的、形成為矩形狀的玻璃基板被容納于容器3中。容器3相當(dāng)于由搬送裝置5搬送的物品，在橫側(cè)面上，形成有用于放入取出基板4的開口，被頂部搬送車6的支撐體21支撐的凸緣部被設(shè)于上表面。另外，雖然圖示省略，但基板4以水平姿勢(shì)且在沿上下方向鄰接的基板4彼此之間形成有間隙的狀態(tài)下被容納于容器3。[0046]此外，在基板處理裝置7中，對(duì)基板4進(jìn)行涂布、曝光以及顯影等規(guī)定的處理。
[0047]如圖3所示，設(shè)有頂部搬送車6而由該頂部搬送車6搬送容器3的容器搬送區(qū)域El和設(shè)有基板處理裝置7和基板搬送裝置8而由該基板搬送裝置8搬送基板4的基板搬送區(qū)域E2由分隔壁9分隔。而且，搬送裝置5構(gòu)成為:以向容器搬送區(qū)域El突出自如的狀態(tài)設(shè)于基板搬送區(qū)域E2，在容器搬送區(qū)域El與基板搬送區(qū)域E2之間搬送容器3。
[0048]此外，第一搬送部位I被設(shè)定于容器搬送區(qū)域El，第二搬送部位2被設(shè)定于基板搬送區(qū)域E2。
[0049]如圖4和圖5所示，作為第一搬送部位I，設(shè)定有低位置第一搬送部位IL和被設(shè)定于比該低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位IH ;作為第二搬送部位2，設(shè)定有低位置第二搬送部位2L和被設(shè)定于比該低位置第二搬送部位2L更高的位置的高位置第二搬送部位2H。
[0050]而且，搬送裝置5構(gòu)成為:通過使載置容器3的單一載置部11沿水平方向移動(dòng)，從而在第一搬送部位I與第二搬送部位2之間搬送容器3。單一載置部11由從上下方向看形成為2字狀(成方形的U字狀)的板狀部件構(gòu)成。
[0051]作為搬送裝置5，設(shè)有:低位置搬送裝置5L，使載置容器3的低位置用載置部IlL沿水平方向移動(dòng)，在低位置第一搬送部位IL與所述低位置第二搬送部位2L之間搬送容器3 ;以及高位置搬送裝置5H，使載置容器3的高位置用載置部IlH沿水平方向移動(dòng)，在高位置第一搬送部位IH與高位置第二搬送部位2H之間搬送容器3。
[0052]如圖1和圖3所示，低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H這一對(duì)搬送裝置5的組以沿上下方向并排的狀態(tài)設(shè)置兩組。這些上側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H與下側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H除高度不同外同樣地構(gòu)成。另外，上側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H與下側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H被相同支撐框支撐于上下方向上不同的高度。
[0053]低位置搬送裝置5L設(shè)置成使低位置用載置部IlL圍繞沿鉛垂方向的軸心P旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如。
[0054]如果施加說明，則如圖8所示，低位置連結(jié)部14L圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如地被連結(jié)于低位置電動(dòng)馬達(dá)13L的輸出軸，低位置用載置部IlL懸臂狀地被連結(jié)于該低位置連結(jié)部14L。而且構(gòu)成為:通過用低位置電動(dòng)馬達(dá)13L使低位置連結(jié)部14L圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，從而使低位置用載置部IlL圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而在低位置第一搬送部位IL與低位置第二搬送部位2L之間搬送容器3。
[0055]另外，同樣地，高位置搬送裝置5H也被設(shè)置成使高位置用載置部IlH圍繞沿鉛垂方向的軸心P旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如，構(gòu)成為:通過用高位置電動(dòng)馬達(dá)13H使高位置連結(jié)部14H圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，從而使高位置用載置部IlH圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而在高位置第一搬送部位IH與高位置第二搬送部位2H之間搬送容器3。
[0056]這樣，低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH被設(shè)置成圍繞同一軸心旋轉(zhuǎn)自如。
[0057]低位置電動(dòng)馬達(dá)13L和高位置電動(dòng)馬達(dá)13H在低位置電動(dòng)馬達(dá)13L位于高位置電動(dòng)馬達(dá)13H更上方的狀態(tài)下被支撐框12支撐。
[0058]低位置電動(dòng)馬達(dá)13L以輸出軸向上方突出的姿勢(shì)被設(shè)置，從低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a向上方突出的上突部分14c以一體旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)連結(jié)至該低位置電動(dòng)馬達(dá)13L的輸出軸。
[0059]另外，高位置電動(dòng)馬達(dá)13H以輸出軸向下方突出的姿勢(shì)被設(shè)置，從高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b向下方突出的下突部分14d以一體旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)連結(jié)至該高位置電動(dòng)馬達(dá)13H的輸出軸。
[0060]而且，低位置連結(jié)部14L的下側(cè)連結(jié)部分14b以圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)被連結(jié)至高位置連結(jié)部14H的下突出部分14d，高位置連結(jié)部14H的上側(cè)連結(jié)部分14a以圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)被連結(jié)至低位置連結(jié)部14L的上突出部分14c。
[0061]另外，在低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a與高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b之間，介入有被支撐框12支撐的部件15，低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a以圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)被連結(jié)至部件15的上端部，高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b以圍繞軸心P旋轉(zhuǎn)自如的狀態(tài)被連結(jié)至部件15的下端部。
[0062]這樣，低位置連結(jié)部14L和高位置連結(jié)部14H以沿上下方向被夾持于低位置電動(dòng)馬達(dá)13L與高位置電動(dòng)馬達(dá)13H之間的狀態(tài)設(shè)置。而且，從上起按高位置連結(jié)部14H的上側(cè)連結(jié)部分14a、低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a、高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b、低位置連結(jié)部14L的下側(cè)連結(jié)部分14b的順序排列，使低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a位于高位置連結(jié)部14H的上側(cè)連結(jié)部分14a與下側(cè)連結(jié)部分14b之間，使高位置連結(jié)部14H的下側(cè)連結(jié)部分14b位于低位置連結(jié)部14L的上側(cè)連結(jié)部分14a與下側(cè)連結(jié)部分14b之間。由此，能夠?qū)⒌臀恢眠B結(jié)部14L和高位置連結(jié)部14H中的每一個(gè)以沿上下方向較寬的間隔連結(jié)至支撐框12側(cè)，同時(shí)謀求低位置連結(jié)部14L和高位置連結(jié)部14H在上下方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。
[0063]而且，連結(jié)至低位置連結(jié)部14L的低位置用載置部IIL和連結(jié)至高位置連結(jié)部14H的高位置用載置部IlH在以下狀態(tài)下設(shè)置:高位置用載置部IlH位于比低位置用載置部IlL中的載置容器3的載置面(載置部IlH的上表面)的高度更高且比載置于低位置用載置部IlL的容器3的上端更低的高度。
[0064]接下來，說明低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)以及從上下方向看的位置關(guān)系。此外，將容器搬送區(qū)域El與基板搬送區(qū)域E2并排的方向稱為設(shè)備前后方向(圖2和圖5中由箭頭X所示的方向)且將與設(shè)備前后方向正交的方向稱為設(shè)備左右方向(圖2和圖5中由箭頭Y所示的方向)來說明。在本例中，設(shè)備前后方向和設(shè)備左右方向中的每一個(gè)為平行于水平面的方向。
[0065]如圖5所示，支撐框12被設(shè)置于基板搬送區(qū)域E2，軸心P位于基板搬送區(qū)域E2。
[0066]低位置用載置部IlL構(gòu)成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而向容器搬送區(qū)域El突出移動(dòng)，從而旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置(圖5(a)中由實(shí)線所示的位置)。此時(shí)，低位置用載置部IlL相對(duì)于軸心P位于設(shè)備前后方向的容器搬送區(qū)域El所位于的一側(cè)。
[0067]另外，低位置用載置部IlL構(gòu)成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而向基板搬送區(qū)域E2退出移動(dòng)，從而旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置(圖5(a)中由假想線所示的位置)。此時(shí)，低位置用載置部IlL相對(duì)于軸心P位于設(shè)備左右方向的一側(cè)(頂部搬送車6的行駛方向上游側(cè))。[0068]而且，高位置用載置部IlH構(gòu)成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而向容器搬送區(qū)域El突出移動(dòng)，從而旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置(圖5(b)中由實(shí)線所示的位置)。此時(shí)，高位置用載置部IlH相對(duì)于軸心P位于設(shè)備前后方向的容器搬送區(qū)域El所位于的一側(cè)。
[0069]另外，高位置用載置部IlH構(gòu)成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而向基板搬送區(qū)域E2退出移動(dòng)，從而旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置(圖5(b)中由假想線所示的位置)。此時(shí)，高位置用載置部IlH相對(duì)于軸心P位于設(shè)備左右方向的另一側(cè)(頂部搬送車6的行駛方向下游側(cè))。
[0070]此外，對(duì)應(yīng)于搬送部位(低位置第一搬送部位IL等)的位置是指在容器3位于搬送部位時(shí)載置該容器3的載置部11所存在的位置。另外，低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH中的每一個(gè)的擺動(dòng)角度被設(shè)定為90°。
[0071]順便提及，位于圖3中上側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H的組成為圖5(b)所示的位置關(guān)系，位于圖3中下側(cè)的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H的組成為圖5(a)所示的位置關(guān)系。
[0072]如圖5所示，低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH都被設(shè)定在相對(duì)于軸心P而設(shè)備前后方向的容器搬送區(qū)域El所位于的一側(cè)，低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH被設(shè)定于從上下方向看相同的位置。于是，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用載置部IlL和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用載置部IlH都移動(dòng)至相對(duì)于軸心P而設(shè)備前后方向的容器搬送區(qū)域El所位于的一側(cè)，這些低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH位于從上下方向看相同的位置。
[0073]另外，低位置第二搬送部位2L相對(duì)于軸心P被設(shè)定在設(shè)備左右方向的一側(cè)，高位置第二搬送部位2H相對(duì)于軸心P被設(shè)定在設(shè)備左右方向的另一側(cè)，低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H被設(shè)定在從上下方向看不同的位置。于是，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用載置部IlL相對(duì)于軸心P移動(dòng)到設(shè)備左右方向的一側(cè)，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用載置部IlH相對(duì)于軸心P移動(dòng)到設(shè)備左右方向的另一側(cè)，低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH位于從上下方向看不同的位置。
[0074]而且，如圖5至圖7所示，低位置用載置部IlL設(shè)置成:在使其移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置的狀態(tài)下，與高位置用載置部IlH的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動(dòng)軌跡從上下方向看重復(fù)，在使其移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置的狀態(tài)下，與高位置用載置部IlH的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動(dòng)軌跡從上下方向看不重復(fù)。
[0075]另外，高位置用載置部IlH設(shè)置成:在使其移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置的狀態(tài)下，與低位置用載置部IlL的移動(dòng)軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動(dòng)軌跡從上下方向看重復(fù)，在使其移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置的狀態(tài)下，與低位置用載置部IlL的移動(dòng)軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動(dòng)軌跡從上下方向看不重復(fù)。
[0076]此外，在圖6中，由一點(diǎn)劃線3LT表示載置于低位置用載置部IlL的容器3的移動(dòng)軌跡，由一點(diǎn)劃線IlHT表示高位置用載置部IlH的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動(dòng)軌跡。另外，在圖7中，由一點(diǎn)劃線3HT表示載置于高位置用載置部IlH的容器3的移動(dòng)軌跡，由一點(diǎn)劃線IlLT表示低位置用載置部IlL的移動(dòng)軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動(dòng)軌跡。
[0077]這樣，低位置用載置部IlL中，該低位置用載置部IlL的移動(dòng)軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動(dòng)軌跡與高位置用載置部IlH的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動(dòng)軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分，該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分以沿著低位置用載置部IlL的移動(dòng)方向并排的狀態(tài)設(shè)置。另外，高位置用載置部IlH中，該高位置用載置部IlH的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動(dòng)軌跡與低位置用載置部IlL的移動(dòng)軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動(dòng)軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分，該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分以沿著高位置用載置部IlL的移動(dòng)方向并排的狀態(tài)設(shè)置。
[0078]而且，高位置用載置部IIH和低位置用載置部IlL中的每一個(gè)構(gòu)成為:在另一方的載置部IlLUlH位于不重復(fù)部位的狀態(tài)下，在第一搬送部位I與第二搬送部位2之間自如地搬送容器3。
[0079]S卩，如圖5 (a)所示，在高位置用載置部IIH位于對(duì)應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置的狀態(tài)下，能夠不接觸高位置用載置部IlH或載置于該高位置用載置部IlH的容器3而使低位置用載置部IlL移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置或?qū)?yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置，將容器3搬送至低位置第一搬送部位IL或低位置第二搬送部位2L。
[0080]另外,如圖5(b)所示,在低位置用載置部IlL位于對(duì)應(yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置的狀態(tài)下，能夠不接觸低位置用載置部IlL或載置于該低位置用載置部IlL的容器3而使高位置用載置部IlH移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置或?qū)?yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置，將容器3搬送至高位置第一搬送部位IH或高位置第二搬送部位2H。
[0081]基板搬送裝置8具備在設(shè)備前后方向上設(shè)置于搬送裝置5與基板處理裝置7之間的升降移動(dòng)自如的升降臺(tái)17和沿設(shè)備左右方向自如地移動(dòng)該升降臺(tái)17的移動(dòng)機(jī)械手18而被構(gòu)成。在移動(dòng)機(jī)械手18上，升降移動(dòng)自如、圍繞鉛垂軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如以及沿水平方向退出移動(dòng)自如地具備叉狀的支撐部18a。
[0082]該基板搬送裝置8構(gòu)成為:通過升降臺(tái)17的升降移動(dòng)和移動(dòng)機(jī)械手18沿設(shè)備左右方向的移動(dòng)以及支撐部18a的升降、旋轉(zhuǎn)和退出，從而如以下這樣動(dòng)作。即，基板搬送裝置8構(gòu)成為:從在載置于低位置用載置部IlL的狀態(tài)下位于低位置第二搬送部位2L的容器3取出基板4而將該基板4搬送至基板處理裝置7，從在載置于高位置用載置部IlH的狀態(tài)下位于高位置第二搬送部位2H的容器3取出基板4而將該基板4搬送至基板處理裝置7，并且將由基板處理裝置7結(jié)束處理后的基板4向在載置于高位置用或低位置用載置部11的狀態(tài)下位于第二搬送部位2的容器3搬送而將該基板4容納于容器3。
[0083]基板搬送裝置8構(gòu)成為:在容器3位于四處第二搬送部位2 (兩處低位置第二搬送部位2L和兩處高位置第二搬送部位2H)中任何一處的狀態(tài)下，都從容器3自如地放入取出基板4。而且，能夠?qū)⑺奶幍诙崴筒课?中的、由基板搬送裝置8放入取出基板4的容器3所存在的第二搬送部位2以外的第二搬送部位2用作暫時(shí)保存容器3的緩沖區(qū)。[0084]如圖1至圖3所示，頂部搬送車6構(gòu)成為:在被配設(shè)于頂部的行駛軌道20引導(dǎo)支撐的狀態(tài)下，沿行駛軌道20行駛自如。另外，頂部搬送車6升降自如且圍繞沿上下方向的軸心旋轉(zhuǎn)自如地具備支撐容器3的支撐體21而被構(gòu)成。順便提及，頂部搬送車6在搬送裝置5的附近沿著設(shè)備左右方向而向一個(gè)方向(在圖1中從左上到右下)行駛。另外，頂部搬送車6相當(dāng)于具有在第一搬送部位I與自身之間搬送物品的機(jī)構(gòu)而沿水平方向移動(dòng)自如的搬送車。在本例中，支撐體21構(gòu)成在第一搬送部位I與頂部搬送車6(搬送車)之間搬送物品的機(jī)構(gòu)。
[0085]而且，如圖3所示，頂部搬送車6構(gòu)成為在使支撐體21上升移動(dòng)至上升位置的狀態(tài)下行駛移動(dòng)自如。另外，頂部搬送車6構(gòu)成為:在使支撐體21從上升位置下降移動(dòng)而將容器3卸于載置部11的形態(tài)下將容器3搬送至第一搬送部位I，在使支撐體21上升移動(dòng)至上升位置而將容器3從載置部11上拉起的形態(tài)下從第一搬送部位I搬送容器3。通過這樣，頂部搬送車6進(jìn)行將第一搬送部位I作為搬送對(duì)象部位的容器3的搬送，在第一搬送部位I與自身之間轉(zhuǎn)移(交接)容器3。
[0086]如果施加說明，則頂部搬送車6構(gòu)成為:在停止于第一搬送部位I正上方的停止位置的狀態(tài)下，使支撐容器3的支撐體21下降移動(dòng)，解除支撐體21對(duì)容器3的支撐而將容器3向載置部11卸下，容器3被搬送至第一搬送部位I。
[0087]另外，頂部搬送車6構(gòu)成為:在停止于第一搬送部位I正上方的停止位置的狀態(tài)下，使未支撐容器3的支撐體21下降移動(dòng)，由支撐體21支撐位于第一搬送部位I的容器3，使支撐容器3的支撐體21上升移動(dòng)，由此從第一搬送部位I搬送容器3。
[0088]而且，頂部搬送車6構(gòu)成為:在停止于對(duì)低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH通用設(shè)定的停止位置的狀態(tài)下，在低位置第一搬送部位IL或高位置第一搬送部位IH與自身之間自如搬送(轉(zhuǎn)移自如)容器3。
[0089]順便提及，在使頂部搬送車6停止于停止位置的狀態(tài)下，當(dāng)?shù)臀恢糜幂d置部IlL位于對(duì)應(yīng)于第一搬送部位I的位置時(shí)，在頂部搬送車6與低位置第一搬送部位IL之間搬送容器3 ;當(dāng)高位置用載置部IIH位于對(duì)應(yīng)于第一搬送部位I的位置時(shí)，在頂部搬送車6與高位置第一搬送部位IH之間搬送容器3。
[0090]第一搬送部位I (低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位1H)被設(shè)定在以下部位:在載置于載置部11的狀態(tài)下，位于第一搬送部位I的容器3的上端比行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6的支撐體21的下端更位于下方，并且比被行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6支撐的容器3的下端更位于上方。
[0091]由于能夠?qū)⒌谝话崴筒课籌設(shè)定在接近頂部搬送車6的部位，因而能夠減少在頂部搬送車6將容器3搬送至第一搬送部位I時(shí)的支撐體21的下降量，能夠快速地將容器3搬送至第一搬送部位I。另外，即使容器3存在于第一搬送部位1，也能夠使未支撐容器3的行駛用狀態(tài)的頂部搬送車6自由地行駛移動(dòng)。
[0092]如圖9所示，在物品搬送設(shè)備上，設(shè)有控制搬送裝置5、頂部搬送車6以及基板搬送裝置8的動(dòng)作的搬送控制裝置H。
[0093]搬送控制裝置H構(gòu)成為為了執(zhí)行以下處理而控制頂部搬送車6的動(dòng)作:交接前行駛處理，使頂部搬送車6行駛移動(dòng)至位于第一搬送部位I正上方的停止位置；交接后行駛處理，使頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛移動(dòng)；卸下處理，由頂部搬送車6將容器3搬送至第一搬送部位I ;撈取處理，由頂部搬送車6從第一搬送部位I搬送容器3。
[0094]另外，搬送控制裝置H構(gòu)成為為了執(zhí)行以下處理而控制搬送裝置5的動(dòng)作:退出處理，使載置部11從對(duì)應(yīng)于第一搬送部位I的位置移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于第二搬送部位2的位置；突出處理，使載置部11從對(duì)應(yīng)于第二搬送部位2的位置移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于第一搬送部位I的位置。
[0095]接下來，基于圖10所示的流程圖列舉了以下情況:通過搬送控制裝置H執(zhí)行卸下處理，由頂部搬送車6將容器3搬送至低位置第一搬送部位1L，通過搬送控制裝置H執(zhí)行撈取處理，由頂部搬送車6從高位置第一搬送部位IH搬送容器3 ;說明了在頂部搬送車6與搬送裝置5之間搬送容器3的搬送控制。此外，通常，載置部11移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于第二搬送部位2的位置。
[0096]如果將容器3搬送至低位置第二搬送部位2L的搬入指令被指示，則搬送控制裝置H首先執(zhí)行交接前行駛處理和突出處理。在交接前行駛處理和突出處理中，為了使支撐搬入對(duì)象容器3的頂部搬送車6行駛至第一搬送部位I正上方的停止位置且使低位置用載置部IlL突出移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第一搬送部位LI的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動(dòng)作。此后，搬送控制裝置H在執(zhí)行了卸下處理之后執(zhí)行退出處理。在卸下處理中，為了將容器3卸在低位置用載置部IlL上而使容器3被搬送至低位置第一搬送部位1L，控制頂部搬送車6的動(dòng)作。另外，在退出處理中，為了使低位置用載置部IlL移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置而將容器3搬送至低位置第二搬送部位2L，控制搬送裝置5的動(dòng)作。
[0097]順便提及，在交接前行駛處理和突出處理中，通常，交接前行駛處理一方需要長(zhǎng)的時(shí)間，在頂部搬送車6移動(dòng)至第一搬送部位I正上方的停止位置之前，載置部11已完成向?qū)?yīng)于第一搬送部位I的位置的移動(dòng)。因此，在使頂部搬送車6行駛至第一搬送部位I的正上方之后，不必使卸下處理的開始伺機(jī)直到載置部11突出移動(dòng)至第一搬送部位1，能夠快速地將容器3搬送至第一搬送部位I。
[0098]如上所述，為了在執(zhí)行退出處理而將容器3搬送至低位置第二搬送部位2L之后，如果搬出指令沒有被指示，則執(zhí)行交接后行駛處理而使未支撐容器3的頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛，搬送控制裝置H控制頂部搬送車6的動(dòng)作。
[0099]另外，如果有搬出指令，則搬送控制裝置H執(zhí)行突出處理。在突出處理中，為了使高位置用載置部IlH突出移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置，控制搬送裝置5的動(dòng)作。此后，搬送控制裝置H在執(zhí)行了撈取處理之后執(zhí)行交接后行駛處理和退出處理。在撈取處理中，為了由頂部搬送車6支撐搬出對(duì)象容器3，控制頂部搬送車6的動(dòng)作。另外，在交接后行駛處理和退出處理中，為了使支撐搬出對(duì)象容器3的頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛且使高位置用載置部IlH退出移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動(dòng)作。
[0100]而且，在搬入指令沒有被指示而只有搬出指令被指示的情況下，搬送控制裝置H首先執(zhí)行交接前行駛處理和突出處理。在交接前行駛處理和突出處理中，為了使未支撐容器3的頂部搬送車6行駛至第一搬送部位I正上方的停止位置且使高位置用載置部11突出移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動(dòng)作。此后，搬送控制裝置H在執(zhí)行了撈取處理之后，執(zhí)行交接后行駛處理和退出處理。在撈取處理中，為了由頂部搬送車6支撐搬出對(duì)象容器3，控制頂部搬送車6的動(dòng)作。另外，在交接后行駛處理和退出處理中，為了使支撐搬出對(duì)象容器3的頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛且使高位置用載置部IlH退出移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動(dòng)作。
[0101]這樣，由于低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH被設(shè)定于從上下方向看相同的位置，因而在頂部搬送車6將容器3轉(zhuǎn)交至低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH中的一個(gè)第一搬送部位I之后，該頂部搬送車6不行駛移動(dòng)就能夠從另一第一搬送部位I接收容器3。
[0102]另外，由于高位置用載置部IlH被設(shè)置在比低位置用載置部IlL中的載置容器3的載置面的高度更高且比載置于低位置用載置部IlL的容器3的上端更低的高度，因而能夠謀求低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H在上下方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。另外，通過使低位置用載置部IlL的移動(dòng)軌跡與高位置用載置部IlH的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部的容器3的移動(dòng)軌跡從上下方向看一部分重復(fù)，從而能夠謀求低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H在水平方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化。
[0103]再者，在高位置用載置部IlH位于對(duì)應(yīng)于高位置第二搬送部位2H的位置的狀態(tài)下，即使使低位置用載置部IlL移動(dòng)，被低位置用載置部IlL支撐的容器3也不干涉高位置用載置部IlH或被該高位置用載置部IlH支撐的容器3，能夠在低位置第一搬送部位IL與低位置第二搬送部位2L之間搬送容器3。
[0104]另外，在低位置用載置部IlL位于對(duì)應(yīng)于低位置第二搬送部位2L的位置的狀態(tài)下，即使使高位置用載置部IlH移動(dòng)，高位置用載置部IlH或被該高位置用載置部IlH支撐的容器3也不干涉被低位置用載置部IlL支撐的容器3，能夠在高位置第一搬送部位IH與高位置第二搬送部位2H之間搬送容器3。
[0105]因此，謀求了低位置搬送裝置5L與高位置搬送裝置5H在水平方向和上下方向上的設(shè)置空間的節(jié)省空間化，同時(shí)能夠由低位置搬送裝置5L在低位置第一搬送部位IL與低位置第二搬送部位2L之間搬送容器3，而且能夠由高位置搬送裝置5H在高位置第一搬送部位IH與高位置第二搬送部位2H之間搬送容器3。
[0106][其它實(shí)施方式]
(I)在上述實(shí)施方式中，將低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH設(shè)置成圍繞同一軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如，但是也可以將低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH設(shè)置成圍繞互不相同的軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如。
[0107]另外，雖然構(gòu)成為通過使低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH中的每一個(gè)圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而使其移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于第一搬送部位I的位置和對(duì)應(yīng)于第二搬送部位2的位置，但是也可構(gòu)成為:通過使低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH中的每一個(gè)沿水平方向直線移動(dòng)，使其移動(dòng)至對(duì)應(yīng)于第一搬送部位I的位置和對(duì)應(yīng)于第二搬送部位2的位置。
[0108](2)在上述實(shí)施方式中，頂部搬送車6構(gòu)成為在第一搬送部位I與自身之間搬送物品，但是例如也可構(gòu)成為:升降自如地具備載置部11而在地面上行駛移動(dòng)自如的移動(dòng)平板車等其它形態(tài)的裝置在第一搬送部位I與自身之間搬送物品。
[0109]另外，在上述實(shí)施方式中，構(gòu)成為由基板搬送裝置8對(duì)位于第二搬送部位2的容器3放入取出基板4，但是也可構(gòu)成為:設(shè)置物品搬送裝置，物品搬送裝置在第二搬送部位2與自身之間搬送容器3 (物品)。
[0110](3)在上述實(shí)施方式中，將低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H設(shè)定于從上下方向看不同的位置，但也可以將低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H設(shè)定于從上下方向看相同的位置。
[0111]順便提及，在將低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH設(shè)定于從上下方向看相同的位置且將低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H設(shè)定于從上下方向看相同的位置的情況下，可考慮以由這些載置部11從上下方向看形成圓形移動(dòng)軌跡的方式設(shè)置低位置用載置部IlL和高位置用載置部11H。
[0112](4)在上述實(shí)施方式中，將低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH設(shè)定于從上下方向看相同的位置，但是也可以將低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH設(shè)定于從上下方向看不同的位置。
[0113]順便提及，在將低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH設(shè)定于從上下方向看不同的位置且將低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H設(shè)定于從上下方向看不同的位置的情況下，可考慮以由這些載置部11從上下方向看形成X狀移動(dòng)軌跡的方式設(shè)置低位置用載置部IlL和高位置用載置部11H。
[0114](5)在上述實(shí)施方式中，將容納有多塊基板4的容器3作為物品而搬送，但是也可以將貨板及載置于其的貨物作為物品來搬送或者將紙板箱作為物品來搬送等物品的形態(tài)適當(dāng)變更。
[0115]另外，也可以由搬送裝置5搬送高度不同的多種物品，該情況在將身長(zhǎng)最高的種類的物品載置于低位置用載置部IlL的情況下將高位置用載置部IlH設(shè)定于比該物品的上端更低的高度即可。
[0116](6)在上述實(shí)施方式中，將低位置用載置部IlL在該低位置用載置部IlL的移動(dòng)軌跡與高位置用載置部IlH的移動(dòng)軌跡從上下方向看具有重復(fù)的部分和非重復(fù)的部分的狀態(tài)下設(shè)置，將高位置用載置部IlH在該高位置用載置部IlH的移動(dòng)軌跡與低位置用載置部IlH的移動(dòng)軌跡從上下方向看具有重復(fù)的部分和非重復(fù)的部分的狀態(tài)下設(shè)置，但是也可以在各自的移動(dòng)軌跡從上下方向看不重復(fù)的狀態(tài)下設(shè)置這些低位置用載置部IlL和高位置用載置部11H。
[0117]具體而言，例如，在上述實(shí)施方式中，也可以構(gòu)成為通過將載置部11的俯視形狀形成為梳齒狀等而使對(duì)應(yīng)于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用載置部IlL與對(duì)應(yīng)于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用載置部IlH從上下方向看不重疊，在各自的移動(dòng)軌跡從上下方向看不重復(fù)的狀態(tài)下設(shè)置低位置用載置部IlL和高位置用載置部11H。
[0118](7)在上述實(shí)施方式中，構(gòu)成為由頂部搬送車6構(gòu)成搬送車且通過在使頂部搬送車6停止于第一搬送部位I正上方的狀態(tài)下使支撐體21升降移動(dòng)而在頂部搬送車6與第一搬送部位I之間搬送物品，但是也可構(gòu)成為:通過在使頂部搬送車停止于第一搬送部位I的橫側(cè)方的狀態(tài)下使支撐體水平移動(dòng)和升降移動(dòng)，從而在頂部搬送車與第一搬送部位之間搬送物品。
【權(quán)利要求】
1.一種物品搬送設(shè)備，具備以下: 搬送裝置，其在第一搬送部位與第二搬送部位之間搬送物品； 在此，作為所述第一搬送部位，設(shè)定有低位置第一搬送部位和被設(shè)定于比該低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位； 作為所述第二搬送部位，設(shè)定有低位置第二搬送部位和被設(shè)定于比該低位置第二搬送部位更高的位置的高位置第二搬送部位； 作為所述搬送裝置，設(shè)有:低位置搬送裝置，其使載置物品的低位置用載置部沿水平方向移動(dòng)，在所述低位置第一搬送部位與所述低位置第二搬送部位之間搬送物品；以及高位置搬送裝置，其使載置物品的高位置用載置部沿水平方向移動(dòng)，在所述高位置第一搬送部位與所述高位置第二搬送部位之間搬送物品， 其具有以下特征: 所述高位置用載置部被設(shè)置在比所述低位置用載置部中的載置物品的載置面的高度更高且比載置于所述低位置用載置部的物品的上端更低的高度， 所述低位置用載置部中，載置于該低位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡與所述高位置用載置部的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分，并且，該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分以沿所述低位置用載置部的移動(dòng)方向并排的狀態(tài)設(shè)置， 所述高位置用載置部中，該高位置用載置部的移動(dòng)軌跡和載置于該高位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡與載置于所述低位置用載置部的物品的移動(dòng)軌跡從上下方向看，具有重復(fù)的重復(fù)部分和不重復(fù)的非重復(fù)部分，并且，該重復(fù)部分和該非重復(fù)部分以沿所述高位置用載置部的移動(dòng)方向并排的狀態(tài)設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物品搬送設(shè)備，具有以下特征: 所述低位置搬送裝置被設(shè)置成使所述低位置用載置部圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如， 所述高位置搬送裝置被設(shè)置成使所述高位置用載置部圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的物品搬送設(shè)備，具有以下特征: 所述低位置用載置部和所述高位置用載置部被設(shè)置成圍繞同一軸心旋轉(zhuǎn)移動(dòng)自如。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的物品搬送設(shè)備，具有以下特征: 所述搬送裝置構(gòu)成為將自如容納多炔基板的容器作為物品來搬送， 設(shè)有對(duì)所述基板進(jìn)行處理的基板處理裝置， 設(shè)有基板搬送裝置，其從在載置于所述載置部的狀態(tài)下位于所述第二搬送部位的所述容器取出所述基板，將該基板搬送至所述基板處理裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的物品搬送設(shè)備，具有以下特征: 所述低位置第一搬送部位與所述高位置第一搬送部位被設(shè)定于從上下方向看相同的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的物品搬送設(shè)備，具有以下特征: 設(shè)有搬送車，其具有在 所述第一搬送部位與自身之間搬送物品的機(jī)構(gòu)并沿水平方向移動(dòng)自如，所述搬送車構(gòu)成為:在停止于對(duì)所述低位置第一搬送部位和所述高位置第一搬送部位通用設(shè)定的停止位置的狀態(tài)下，在所述低位置第一搬送部位或所述高位置第一搬送部位與自身之間自如地搬送物品。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的物品搬送設(shè)備，具有以下特征: 設(shè)有頂部搬送車，其在被配設(shè)于頂部的行駛軌道引導(dǎo)支撐的狀態(tài)下沿所述行駛軌道行駛自如且升降自如地具備支撐物品的支撐體， 所述頂部搬送車構(gòu)成為:為了將物品卸于所述載置部，使所述支撐體下降移動(dòng)而將物品搬送至所述第一搬送部位，并且，為了從所述載置部抬起物品，使所述支撐體上升移動(dòng)而從所述第一搬送部位搬 送物品。
【文檔編號(hào)】B65G1/137GK103803232SQ201310543073
【公開日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2013年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月7日
【發(fā)明者】村山繁人 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福