專利名稱：壓電馬達、驅(qū)動裝置、電子部件搬送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機器人手以及機器人的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及壓電馬達、驅(qū)動裝置、電子部件搬送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機器人手以及機器人。
背景技術(shù)：
公知有使由壓電材料形成的振動體振動來驅(qū)動對象物的壓電馬達。該壓電馬達具有的特征是，與利用電磁力來使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)的方式的電磁馬達相比是小型的并且能夠得到大的驅(qū)動力，而且能夠以高分辨本領(lǐng)定位對象物。因此，作為例如照相機的驅(qū)動機構(gòu)等各種裝置的促動器使用。壓電馬達以如下的原理進行動作。首先，將振動體(壓電材料)形成為近似長方體形狀，并在長邊方向的端面預先設置凸部。然后，對振動體施加規(guī)定頻率的電壓，從而同時產(chǎn)生振動體伸縮的方式的振動和振動體彎曲的方式的振動。這樣，振動體的端面開始進行朝一個方向旋轉(zhuǎn)的橢圓運動。因此，若將設置于端面的凸部朝對象物按壓，則利用在凸部與對象物之間作用的摩擦力，能夠使對象物朝恒定方向移動。根據(jù)這樣的動作原理，需要在將設置于振動體的端面的凸部按壓到對象物的狀態(tài)下使用壓電馬達。此外，在驅(qū)動對象物時，為了使振動體不因凸部從對象物受到的反作用力而脫離，需要預先保持振動體。并且，必須以使凸部進行橢圓運動的方式允許振動體的振動。因此，提出了如下的技術(shù)，即、在使凸部突出的狀態(tài)下將振動體收存于收納殼體，在該收納殼體內(nèi)，從彎曲方向經(jīng)由彈性部件而保持振動體的兩側(cè)，并且將收納殼體連同振動體朝向?qū)ο笪锒┝?專利文獻I)。專利文獻1:日本特開平11-346486號公報然而，在所提出的技術(shù)中存在下述問題:難以將振動體所產(chǎn)生的機械能高效地用于對象物的驅(qū)動。這是因為從彎曲方向支承振動體的兩側(cè)，故振動體的振動容易經(jīng)由收納殼體而向外部傳遞，而傳到外部的振動無法用于驅(qū)動對象物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有技術(shù)所具有的上述課題的至少一部分而完成的，其目的在于提供一種能夠高效地驅(qū)動對象物的壓電馬達。為了解決上述課題的至少一部分，本發(fā)明的壓電馬達采用如下的結(jié)構(gòu)。該壓電馬達通過對含有壓電材料的振動體施加電壓而使該振動體產(chǎn)生彎曲振動,并且在上述振動體的端部設置的凸部與對象物接觸，從而使上述對象物移動，該壓電馬達具備:電極，該電極形成于上述振動體的、朝向與設置有上述凸部的端部因上述振動體的彎曲振動而進行移動的彎曲方向交叉的方向的兩個面，并被施加上述電壓；電線，該電線被非導電性材料覆蓋并對上述電極施加電壓；接合部,該接合部將上述電極與上述電線電氣接合；收納殼體,該收納殼體收納上述振動體；以及支承部，該支承部被設置在上述振動體與上述收納殼體之間，并且從與上述振動體的彎曲方向交叉的方向夾持上述振動體的設置有上述電極的兩個面，其中，上述接合部設置于在上述振動體的上述電極與上述收納殼體之間所產(chǎn)生的、上述支承部的厚度量的間隙，上述接合部的從上述電極起算的高度以及上述電線的外徑比上述支承部的厚度小。在這樣的本發(fā)明的壓電馬達中，若在形成于振動體的兩個面的電極接合電線并施加電壓，則振動體進行彎曲振動，所以通過使設置于振動體的端部的凸部與對象物接觸，從而能夠驅(qū)動對象物。而且，該振動體以被支承部從與振動體的彎曲方向交叉的方向夾持振動體的兩側(cè)(設置有電極的兩個面)的狀態(tài)收納于收納殼體。此外，將電極與電線接合的接合部設置于在振動體的電極與收納殼體之間所產(chǎn)生的、支承部的厚度量的間隙，接合部的從電極起算的高度以及電線的外徑比支承部的厚度小。若這樣利用支承部從與彎曲方向交叉的方向夾持振動體的兩側(cè)而不是從振動體的彎曲方向夾持振動體的兩側(cè)，則在振動體進行彎曲振動時，支承部沿剪切方向變形，所以與從彎曲方向進行夾持的情況相比，能夠抑制振動體的振動向收納殼體傳遞。此外，能夠以如下方式支承振動體，即，利用支承部沿剪切方向變形時的剛性承接在驅(qū)動對象物時振動體的凸部所受的反作用力，振動體不會因反作用力而脫離。其結(jié)果是，能夠高效地驅(qū)動對象物。而且，利用支承部夾持與振動體的設置有電極的面相同的面，由此制約對電極的布線，在本發(fā)明的壓電馬達中，利用在振動體的電極與收納殼體之間所產(chǎn)生的、支承部的厚度量的間隙，能夠?qū)﹄姌O進行布線。即，使接合部的從電極起算的高度及電線的外徑比支承部的厚度小，將對電極的布線(接合部、電線)收存于振動體的電極與收納殼體之間的間隙，由此在利用支承部從與振動體的彎曲方向交叉的方向夾持振動體的兩側(cè)(設置有電極的兩個面)的方式中，能夠確保對電極的布線。 在上述本發(fā)明的壓電馬達中，可以在彎曲振動的振幅比振動體的設置有凸部的端部、多個腹部小的多個節(jié)部的一部分的節(jié)部，使支承部夾持振動體，而在支承部不夾持的節(jié)部，使接合部與電極接合。若這樣利用支承部夾持振動體的節(jié)部，則與夾持不同于節(jié)部的部分(設置有凸部的端部、腹部)的情況相比，能夠使振動體的彎曲振動的振幅(凸部的移動量)增大，而不會增大振動體彎曲振動時支承部沿剪切方向變形的變形量，所以在驅(qū)動對象物方面是有利的。此外，若在不被支承部夾持的節(jié)部對電極進行布線(利用接合部接合電線)，則能夠抑制布線妨礙振動體的彎曲振動。并且，能夠抑制由于振動體的彎曲振動的影響而使布線脫離電極的情況，所以能夠很好地確保穩(wěn)定地對振動體施加電壓的布線。此外，在上述本發(fā)明的壓電馬達中，可以利用非導線材料覆蓋與電極相對的收納殼體的內(nèi)表面。這樣，即使在收納殼體產(chǎn)生歪斜等而使收納殼體的內(nèi)表面與電極、接合部發(fā)生了接觸的情況下，也能夠穩(wěn)定地對振動體施加電壓而不會漏電。此外，在上述本發(fā)明的壓電馬達中，在電極具有4個區(qū)域的情況下，將由連結(jié)部連接的第一區(qū)域和第二區(qū)域以含有連結(jié)部的方式一體形成，利用與連結(jié)部交叉的電線連接相對于連結(jié)部而配置于相互不同側(cè)的第三區(qū)域和第四區(qū)域。在利用電線連接(由電線構(gòu)成連結(jié)部)第一區(qū)域和第二區(qū)域的情況下，需要與連接第三領(lǐng)域和第四區(qū)域的電線立體交叉。與此相對，若將連接第一區(qū)域和第二區(qū)域的連結(jié)部與電極一體形成，則不需要使2根電線立體交叉，所以能夠容易地將對電極的布線收存于在振動體的電極與收納殼體間所產(chǎn)生的、支承部的厚度量的間隙。因此，在利用支承部從與振動體的彎曲方向交叉的方向夾持振動體的兩側(cè)(設置有電極的兩個面)的方式中，能夠很好地確保對電極的布線。此外，也可以使用上述本發(fā)明的壓電馬達構(gòu)成驅(qū)動裝置、印刷裝置、機器人手、機器人等。本發(fā)明的壓電馬達是小型的且能夠?qū)崿F(xiàn)高驅(qū)動精度。因此，若使用本發(fā)明的壓電馬達構(gòu)成驅(qū)動裝置、印刷裝置、機器人手、機器人等，則能夠得到小型且高性能的驅(qū)動裝置、印刷裝置、機器人手、機器人等。此外，可以使用本發(fā)明的壓電馬達構(gòu)成以下的電子部件檢查裝置。即，在將把持的電子部件裝配于檢查插座來檢查上述電子部件的電特性的電子部件檢查裝置中，可以使用上述本發(fā)明的任意一個的壓電馬達來進行電子部件相對于檢查插座的對位。如上所述，本發(fā)明的壓電馬達是小型的且能夠?qū)崿F(xiàn)高驅(qū)動精度，所以能夠?qū)﹄娮硬考M行高精度地對位，而且能夠?qū)崿F(xiàn)小型的電子部件檢查裝置?；蛘?，能夠以如下的方式應用本發(fā)明的電子部件檢查裝置。即，電子部件檢查裝置的特征在于，將所把持的電子部件裝配于檢查插座來檢查上述電子部件的電特性，并且上述電子部件檢查裝置具備進行上述電子部件相對于上述檢查插座的對位的壓電馬達，上述壓電馬達具備:振動體，該振動體含有壓電材料而形成，并且在被施加電壓時進行彎曲振動；凸部，該凸部設置于上述振動體的端部；電極，該電極形成于上述振動體的朝向與設置有上述凸部的端部因上述振動體的彎曲振動而移動的彎曲方向交叉的方向的兩個面，并被施加上述電壓；電線，該電線被非導電性材料覆蓋并對上述電極施加電壓；接合部，該將上述電極與上述電線電氣接合；收納殼體，該收納殼體收納上述振動體；以及支承部，該支承部被設置在上述振動體與上述收納殼體之間，并從與上述振動體的彎曲方向交叉的方向夾持上述振動體的設置有上述電極的兩個面，其中，上述接合部設置于在上述振動體的上述電極與上述收納殼體之間所產(chǎn)生的、上述支承部的厚度量的間隙，上述接合部的從上述電極起算的高度以及上述電線的外徑比上述支承部的厚度小。而且，上述本發(fā)明的電子部件檢查裝置能夠以如下的方式進行應用，即，該電子部件檢查裝置的特征在于具備:檢查插座，該檢查插座供電子部件裝配，用于檢查上述電子部件的電特性；把持裝置，該把持裝置把持上述電子部件；移動裝置，該移動裝置使上述把持裝置在相互正交的第一軸和第二軸、以及與上述第一軸和上述第二軸正交的第三軸合計三個軸向上移動；拍攝裝置，該拍攝裝置從上述檢查插座觀察設置于上述第一軸上或者上述第二軸上，針對裝配于上述檢查插座的上述電子部件，作為上述電子部件的姿勢而檢測上述第一軸和上述第二軸的方向上的位置以及繞上述第三軸的角度；上游側(cè)工作臺，該上游側(cè)工作臺將上述電子部件從上述檢查插座搬送到連結(jié)上述拍攝裝置的上述第一軸或者上述第二軸上的規(guī)定位置；下游側(cè)工作臺，該下游側(cè)工作臺從經(jīng)由上述檢查插座觀察時與設置有上述拍攝裝置的一側(cè)相反的一側(cè)的規(guī)定位置開始搬送上述電子部件；以及控制裝置，該控制裝置控制上述移動裝置的動作，其中上述控制裝置具備:第一控制部，該第一控制部將把持有上述上游側(cè)工作臺搬送來的上述電子部件的上述把持裝置移動到上述拍攝裝置上；第二控制部，該第二控制部通過使上述把持裝置移動而將已被上述拍攝裝置確認姿勢的上述電子部件裝配于上述檢查插座；以及第三控制部，該第三控制部通過使上述把持裝置移動，將經(jīng)上述檢查插座被檢查出上述電特性的上述電子部件，從上述檢查插座載置于上述下游側(cè)工作臺，上述把持裝置具有根據(jù)由上述拍攝裝置檢測出的上述電子部件的姿勢，使上述電子部件在上述第一軸向上移動的第一壓電馬達、使上述電子部件在上述第二軸向上移動的第二壓電馬達、以及使上述電子部件繞上述第三軸旋轉(zhuǎn)的第三壓電馬達，上述第一壓電馬達至第三壓電馬達是權(quán)利要求廣4中的任意一項所述的壓電馬達。這樣的結(jié)構(gòu)的電子部件檢查裝置能夠在使用設置于把持裝置的第一 第三壓電馬達調(diào)整電子部件的姿勢之后，將電子部件安裝于檢查插座。這里，本發(fā)明的壓電馬達是小型的且能夠高精度地驅(qū)動對象物，所以作為設置于把持裝置的第一 第三壓電馬達特別出色。而且，也可以使用本發(fā)明的壓電馬達構(gòu)成以下的電子部件搬送裝置。即，在對所把持的電子部件進行輸送的電子部件搬送裝置中，可以使用上述本發(fā)明的任意一個的壓電馬達進行電子部件的對位。如上所述，本發(fā)明的壓電馬達是小型的且能夠?qū)崿F(xiàn)高驅(qū)動精度，所以能夠?qū)﹄娮硬考呔鹊剡M行對位，而且能夠?qū)崿F(xiàn)小型的電子部件搬送裝置?；蛘?，本發(fā)明的電子部件搬送裝置能夠以如下的方式進行應用，S卩，該電子部件搬送裝置的特征在于，上述電子部件搬送裝置搬送所把持的電子部件，并具備進行上述電子部件的對位的壓電馬達，上述壓電馬達具備:振動體，該振動體含有壓電材料而形成并在被施加電壓時進行彎曲振動；凸部，該凸部設置于上述振動體的端部；電極，該電極形成于上述振動體的、朝向與設置有上述凸部的端部因上述振動體的彎曲振動而移動的彎曲方向交叉的方向的兩個面，并被施加上述電壓；電線，該電線被非導電性材料覆蓋并對上述電極施加電壓；接合部，該接合部將上述電極與上述電線電接合；收納殼體，該收納殼體收納上述振動體；以及支承部，該支承部設置在上述振動體與上述收納殼體之間，并且從與上述振動體的彎曲方向交叉的方向夾持上述振動體的設置有上述電極的兩個面，上述接合部設置于在上述振動體的上述電極與上述收納殼體之間所產(chǎn)生的、上述支承部的厚度量的間隙，上述接合部的從上述電極起算的高度以及上述電線的外徑比上述支承部的厚度小。而且，上述本發(fā)明的電子部件搬送裝置能夠以如下的方式進行應用，即，該電子部件搬送裝置的特征在于，具備:把持裝置，該把持裝置把持電子部件；移動裝置，該移動裝置使上述把持裝置在相互正交的第一軸和第二軸、以及與上述第一軸和上述第二軸正交的第三軸合計三個軸向上移動；控制裝置，該控制裝置控制上述移動裝置的動作，上述把持裝置具有:使上述電子部件在上述第一軸向上移動的第一壓電馬達、使上述電子部件在上述第二軸向上移動的第二壓電馬達以及使上述電子部件繞上述第三軸旋轉(zhuǎn)的第三壓電馬達，上述第一壓電馬達至第三壓電馬達是權(quán)利要求廣4中的任意一項所述的壓電馬達。


圖1是表示本實施例的壓電馬達的簡要結(jié)構(gòu)的說明圖。圖2是表示本實施例的主體部的構(gòu)造的分解組裝圖。圖3是表不用于對設置有表面電極以及背面電極的本實施例的振動體施加電壓的布線的說明圖。圖4是表示壓電馬達的動作原理的說明圖。圖5是截取主體部在X-Z平面的剖面來表示在本實施例的振動體的表面電極以及背面電極進行布線的樣子的說明圖。圖6是表示振動體的節(jié)部的說明圖。圖7是表示對設置于變形例的振動體的表面電極以及表面電極布線的說明圖。圖8是例示組裝本實施例的壓電馬達而構(gòu)成的電子部件檢查裝置的立體圖。圖9是內(nèi)置于把持裝置的微調(diào)機構(gòu)的說明圖。圖10是例示組裝有本實施例的壓電馬達的印刷裝置的立體圖。圖11是例示組裝有本實施例的壓電馬達的機器人手的說明圖。圖12是例示具備機器人手的機器人的說明圖。圖13是表示在與實施例不同的方式中利用支承部件夾持振動體的節(jié)部的例子的說明圖。
具體實施例方式以下，為了闡明上述本申請發(fā)明的內(nèi)容，按照如下的順序?qū)嵤├M行說明。A.裝置構(gòu)成B.壓電馬達的動作原理C.對表面電極以及背面電極的布線的確保D.變形例E.應用例A.裝置構(gòu)成圖1是表示本實施例的壓電馬達10的簡要結(jié)構(gòu)的說明圖。圖1 (a)表示本實施例的壓電馬達10的整體圖，圖1 (b)表示分解組裝圖。如圖1 (a)所示,本實施例的壓電馬達10大體上包括主體部100和基臺部200。主體部100被安裝于基臺部200內(nèi)，能夠在該狀態(tài)下朝一個方向移動。另外，在本說明書中，將主體部100的移動方向稱為X方向。此夕卜，如圖中所示，將與X方向正交的方向分別稱為Y方向、Z方向。主體部100以及基臺部200分別是將多個部件組合而構(gòu)成的。例如基臺部200是利用固定螺釘240將第一側(cè)壁塊210以及第二側(cè)壁塊220緊固在呈近似矩形形狀的基板230的上表面的兩側(cè)而構(gòu)成的(參照圖1 (b))。在組裝壓電馬達10時，使用固定螺釘240，從主體部100的上方將第一側(cè)壁塊210以及第二側(cè)壁塊220安裝于基板230。此外,在第一側(cè)壁塊210形成有前方外殼212、中央外殼214、后方外殼216這樣3個凹部。而且，在將第一側(cè)壁塊210安裝于基板230時，以在前方外殼212收納有前方側(cè)壓彈簧212s、在后方外殼216收納有后方側(cè)壓彈簧216s的狀態(tài)進行安裝。其結(jié)果是，主體部100成為被前方側(cè)壓彈簧212s以及后方側(cè)壓彈簧216s按壓到第二側(cè)壁塊220的狀態(tài)。此夕卜，在主體部100的側(cè)面的、面向第二側(cè)壁塊220的一側(cè)，安裝有前側(cè)滾子102r以及后側(cè)滾子106r。而且，在主體部100的側(cè)面設置有加壓彈簧222s。該加壓彈簧222s在前側(cè)滾子102r的后側(cè)的位置沿X方向按壓主體部100。此外，在主體部100的與設置有前側(cè)滾子102r以及后側(cè)滾子106r側(cè)相反的一側(cè)的側(cè)面，朝向Z方向(附圖上的上方)設置有按壓滾子104r。在安裝好第一側(cè)壁塊210的狀態(tài)下，該按壓滾子104r被收納于第一側(cè)壁塊210的中央外殼214。此外，在主體部100的設置有按壓滾子104r的部分的里面?zhèn)扰c基板230之間設置有按壓彈簧232s。因此，按壓滾子104r成為相對于中央外殼214的內(nèi)表面而被朝Z方向(附圖上的上方)按壓的狀態(tài)。圖2是表示本實施例的主體部100的構(gòu)造的分解組裝圖。主體部100大體上形成為在振動體殼體120內(nèi)收納有振動部110的構(gòu)造。振動部110構(gòu)成為包括:由壓電材料形成為長方體形狀的振動體112、安裝于振動體112的長邊方向(X方向)的端面的陶瓷制的驅(qū)動凸部114以及將振動體112的朝向Z方向一方的面分成4份而設置的4塊表面電極116等。此外，雖然在圖2中沒有不出，但在與設置有4塊表面電極116側(cè)相反側(cè)的面,設置有幾乎覆蓋整個面的背面電極，該背面電極接地。如后所述，振動體112具有通過被施加電壓而振動的性質(zhì)。另外，本實施例的驅(qū)動凸部114相當于本發(fā)明的“凸部”，本實施例的表面電極116以及背面電極相當于本發(fā)明的“電極”。振動體112以被樹脂制的支承部件130從設置有表面電極116以及背面電極的兩個面(圖2中朝向Z方向的兩個面)夾住的狀態(tài)被收納于振動體殼體120。而且，從表面電極116側(cè)的支承部件130的上面層疊蓋板140、碟形彈簧142、按壓板144，利用固定螺釘146將按壓板144緊固于振動體殼體120。因此，振動部110構(gòu)成為:經(jīng)由蓋板140及支承部件130而被碟形彈簧142的彈簧力按壓，并且由于樹脂制的支承部件130剪切變形，而使振動體112以能夠在振動體殼體120內(nèi)振動的狀態(tài)被收納。另外，本實施例的振動體殼體120以及蓋板140相當于本發(fā)明的“收納殼體”，本實施例的支承部件130相當于本發(fā)明的“支承部”。圖3是表不用于對設置有表面電極116以及背面電極的振動體112施加電壓的配線的說明圖。如圖所示，在振動體112的朝向Z方向的兩個面(支承部件130接觸的兩個面)的一方的面設置有4塊表面電極116，將相互位于對角線的位置的2個表面電極116作為一組(表面電極116a以及表面電極116d的組、表面電極116b以及表面電極116c的組)，各組的表面電極116彼此通過電極間電線300a、300b連接。在上下方向(Z方向)立體交叉的電極間電線300a、300b被絕緣材料覆蓋，通過焊錫302而與表面電極116接合。此外，在表面電極116的各組中,遠離驅(qū)動凸部114側(cè)的表面電極116 (表面電極116c和表面電極116d)通過外部電線304a、304b而與未圖示的外部電源連接。該外部電線304a、304b與電極間電線300a、300b相同，采用被絕緣材料覆蓋的電線，并通過焊錫302與表面電極116接
八
口 ο此外，如上所述，在振動體112的與設置有4塊表面電極116側(cè)相反的一側(cè)的面上設置有幾乎覆蓋整個面的背面電極，該背面電極通過焊錫302接合有用于接地的接地電線306。另外，本實施例的電極間電線300、外部電線304以及接地電線306相當于本發(fā)明的“電線”，本實施例的焊錫302相當于本發(fā)明的“接合部”。B.壓電馬達的動作原理圖4是表示壓電馬達10的動作原理的說明圖。在對振動部110的表面電極116以恒定周期施加電壓時，壓電馬達10由于振動部110的驅(qū)動凸部114進行橢圓運動而動作。振動部110的驅(qū)動凸部114進行橢圓運動的理由如下。首先，眾所周知，振動體112具有若被施加正電壓則伸長的性質(zhì)。
因此，如圖4 (a)所示，若反復進行對4個表面電極116的全部施加正電壓后解除施加電壓的動作，則振動體112反復進行在長邊方向(X方向)伸縮的動作。這樣，將振動體112在長邊方向(X方向)反復伸縮的動作稱為“伸縮振動”。此外，若使施加正電壓的頻率變化，則在成為某個確定的頻率時伸縮量突然變大，產(chǎn)生一種共振現(xiàn)象。由于伸縮振動而產(chǎn)生共振的頻率(共振頻率)由振動體112的物性和振動體112的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)決定。此外，如圖4 (b)或者圖4 (C)所示，將相互位于對角線位置的2個表面電極116作為一組(表面電極116a以及表面電極116d的組、或者表面電極116b以及表面電極116c的組)，以恒定周期施加正電壓。這樣，振動體112的長邊方向(X方向)的頭端部(安裝有驅(qū)動凸部114的部分)反復做出在圖上的左右方向(Y方向)擺頭的動作。例如，如圖4 (b)所示，每當對表面電極116a以及表面電極116d的組施加正電壓時，振動體112反復進行長邊方向的頭端部朝右方向移動的動作。此外，如圖4 (c)所示，每當對表面電極116b以及表面電極116c的組施加正電壓時，振動體112反復進行長邊方向的頭端部朝左方向移動的動作。將這樣的振動體112的動作稱為“彎曲振動”。這樣的彎曲振動具有由振動體112的物性和振動體112的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)決定的共振頻率。因此，如果對相互位于對角線位置的2個表面電極116以該共振頻率施加正電壓，則振動體112朝右方向或者左方向(Y方向)大幅度擺頭地振動。這里，圖4 (a)所示的伸縮振動的共振頻率、以及圖4 (b)或者圖4 (C)所示的彎曲振動的共振頻率都由振動體112的物性和振動體112的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)決定。因此，若適當選擇振動體112的尺寸(寬度W、長度L、厚度T)，則能夠使2個共振頻率一致。而且，若以共振頻率對上述的振動體112施加圖4 (b)或者圖4 (c)所示的彎曲振動的方式的電壓，則在產(chǎn)生圖4 (b)或者圖4 (c)所示的彎曲振動的同時，也會由于共振而引起圖4 (a)的伸縮振動。其結(jié)果是，在以圖4 (b)所示的方式對表面電極116a以及表面電極116d的組施加電壓的情況下，振動體112的頭端部(安裝有驅(qū)動凸部114的部分)進行在附圖上順時針描繪橢圓的動作(橢圓運動)。此外，在以圖4 (c)所不的方式對表面電極116b以及表面電極116c的組施加電壓的情況下，振動體112的頭端部進行在附圖上繞逆時針的橢圓運動。壓電馬達10利用這樣的橢圓運動驅(qū)動對象物。即，使振動體112的驅(qū)動凸部114以按壓到對象物的狀態(tài)產(chǎn)生橢圓運動。這樣，驅(qū)動凸部114反復進行以下動作，S卩:在振動體112伸長時以按壓到對象物的狀態(tài)從左向右(或者從右向左)移動，之后在振動體112收縮時以從對象物離開的狀態(tài)恢復到原來的位置。其結(jié)果是，對象物由于從驅(qū)動凸部114受到的摩擦力而朝一個方向被驅(qū)動。此外，對象物受到的驅(qū)動力等于在其與驅(qū)動凸部114之間所產(chǎn)生的摩擦力，所以驅(qū)動力的大小由驅(qū)動凸部114與對象物之間的摩擦系數(shù)和驅(qū)動凸部114被對象物按壓的力來決定。根據(jù)以上說明的壓電馬達10的動作原理可知，需要在將驅(qū)動凸部114按壓到對象物的狀態(tài)下使用壓電馬達10。因此，在本實施例的壓電馬達10中，具備驅(qū)動凸部114的主體部100相對于基臺部200能夠移動，利用設置在主體部100與基臺部200之間的加壓彈簧222s，將從主體部100突出的驅(qū)動凸部114按壓于對象物(參照圖1)。此外，若驅(qū)動對象物，則驅(qū)動凸部114從對象物受到反作用力。而且，該反作用力傳遞至主體部100。如上所述，主體部100必須相對于基臺部200能夠移動，但如果主體部100由于在驅(qū)動時受到的反作用力而朝正交于移動方向的方向脫離，則無法向?qū)ο笪飩鬟f足夠的驅(qū)動力。此外，若主體部100脫離，則驅(qū)動凸部114的移動量減少，所以對象物的驅(qū)動量變少。而且，主體部100的脫離量通常不是穩(wěn)定的，所以導致對象物的驅(qū)動量不穩(wěn)定。因此，如圖1所示，在本實施例的壓電馬達10中，從正交于主體部100的移動方向的方向，利用前方側(cè)壓彈簧212s以及后方側(cè)壓彈簧216s將主體部100按壓于第二側(cè)壁塊220。而且，必須在以驅(qū)動凸部114進行橢圓運動的方式允許振動體112的振動(伸縮振動以及彎曲振動)的狀態(tài)下，將振動體112收納到振動體殼體120內(nèi)。因此，如圖2所示，在本實施例的壓電馬達10中，在從與振動體112的彎曲方向(Y方向:設置有驅(qū)動凸部114的端部移動的方向)交叉的方向(Z方向:振動部110的設置有表面電極116以及背面電極的兩個面所朝向的方向)利用支承部件130進行夾持的狀態(tài)下，將振動體112收納于振動體殼體120。在通過施加電壓來使振動體112振動時，支承部件130朝剪切方向變形而允許振動體112的振動，所以能夠產(chǎn)生上述的驅(qū)動凸部114的橢圓運動。此外，利用支承部件130從與彎曲方向交叉的方向夾持振動體112，由此與從振動體112的彎曲方向夾持振動體112的情況相比,能夠抑制彎曲振動傳遞到振動體殼體120所產(chǎn)生的能量的損失，能夠高效地驅(qū)動對象物。這樣的支承部件130由聚酰亞胺等樹脂材料形成，支承部件130的厚度越大，則越容易朝剪切方向變形(剪切變形)，被允許的振動體112的振幅(振動的自由度)越大。這樣，驅(qū)動凸部114的移動量增加，對象物的驅(qū)動量、驅(qū)動速度提高，所以在驅(qū)動對象物方面向有利的方向發(fā)揮作用。其中，支承部件130利用在朝剪切方向變形時的剛性來承接驅(qū)動凸部114從對象物受到的反作用力，若支承部件130變厚則容易發(fā)生剪切變形，相反，承接來自對象物的反作用力的剛性降低，導致對象物的驅(qū)動減少。這樣，需要將支承部件130預先設定為適當?shù)暮穸?，以使得通過剪切變形而允許振動體112的振動，并且具備承接驅(qū)動凸部114從對象物受到的反作用力的適當?shù)膭傂?。在本實施例的壓電馬達中，利用1.0mm厚的支承部件130從兩側(cè)夾持振動體112 (寬度:7.5mm、長度:30.0mm、厚度:3.0mm)。這里，如上所述，在被支承部件130夾持的振動體112的兩個面(朝向與振動體112的彎曲方向交叉的方向的兩個面)設置有表面電極116、背面電極，利用焊錫302將用于對振動體112施加電壓的各種電線(電極間電線300a、300b、外部電線304a、304b、接地電線306)與上述電極接合。然而，這樣在利用支承部件130夾持振動體112的與設置有表面電極116以及背面電極的面相同的面的情況下，對表面電極116以及背面電極的布線的確保被制約。因此，在本實施例的壓電馬達10中，以如下方式確保對振動體112的表面電極116a以及背面電極的布線。C.對表面電極以及背面電極的布線的確保圖5截取主體部100在X-Z平面的剖面來表示在振動體112的表面電極116以及背面電極115進行布線的樣子的說明圖。如圖所示，在振動體112的表面電極116與蓋板140之間產(chǎn)生支承部件130的厚度量的空間(間隙)。如上所述，考慮用于允許振動體112的振動的剪切變形的容易度和承接驅(qū)動凸部114從對象物受到的反作用力的適當?shù)膭傂?，來設定支承部件130的厚度，在本實施例的壓電馬達10中，使用1.0mm厚的支承部件130。然后，利用該支承部件130的厚度量的間隙，進行對表面電極116的布線。S卩，如圖3所示，在設置于振動體112的4塊表面電極116中，利用電極間電線300a、300b將相互位于對角線位置的2個表面電極116 (表面電極116a以及表面電極116d的組、表面電極116b以及表面電極116c的組)連接，上述電極間電線300a、300b在上下方向(Z方向)立體交叉，并通過焊錫302而與表面電極116接合。此外,在表面電極116 (表面電極116c以及表面電極116d)通過焊錫302接合有外部電線304a、304b。上述電極間電線300a、300b以及外部電線304a、304b采用的是外徑比支承部件130的厚度小的電線(例如，外徑為0.27mm)。此外，使各種電線與表面電極116接合的焊錫302的厚度(從表面電極116起算的高度)形成為比支承部件130的厚度小。因此，能夠?qū)Ρ砻骐姌O116的布線(焊錫302、電極間電線300a、300b、外部電線304a、304b)收存于支承部件130的厚度量的間隙。此外，同樣，在振動體殼體120的底面與振動體112的背面電極115之間也產(chǎn)生支持部件130的厚度量的間隙。如上所述，在振動體112的與設置有4塊表面電極116側(cè)相反的一側(cè)的面設置有幾乎覆蓋整個面的背面電極115，在背面電極115通過焊錫302接合有接地電線306。與外部電線304a、304b相同，該接地電線306也采用外徑比支承部件130的厚度小的電線。此外，使接地電線306與背面電極115接合的焊錫302的厚度(從背面電極115起算的高度)形成為比支承部件130的厚度小，所以能夠?qū)Ρ趁骐姌O115的布線(焊錫302、接地電線306)收存于支承部件130的厚度量的間隙。如上所述，在本實施例的壓電馬達10中，將對表面電極116的布線(焊錫302、電極間電線300a、300b、外部電線304a、304b)以及對背面電極115的布線(焊錫302、接地電線306)收存于由支承部件130的厚度所產(chǎn)生的間隙，所以在利用支承部件130從與振動體112的彎曲方向交叉的方向夾持振動體112的兩側(cè)(設置有表面電極116以及背面電極115的兩個面)的方式中，能夠確保對表面電極116以及背面電極115的布線。此外，如圖5所示，在蓋板140的與表面電極116相對的內(nèi)表面、以及振動體殼體120的與背面電極115相對的內(nèi)表面貼付有由絕緣材料形成的絕緣片132。因此，即使在蓋板140、振動體殼體120暫時產(chǎn)生歪斜而使蓋板140的內(nèi)表面與表面電極116的焊錫302接觸，或振動體殼體120的內(nèi)表面與背面電極115的焊錫302接觸，也不會發(fā)生漏電，能夠穩(wěn)定地對振動體112施加電壓。并且，在本實施例的壓電馬達10中，利用支承部件130夾持振動體112的比設置有驅(qū)動凸部114的端部的彎曲振動的振幅小的部分(節(jié)部)，在與被該支持部件130夾持的節(jié)部不同的節(jié)部對各電極(表面電極116以及背面電極115)進行布線。由此，能夠確保更穩(wěn)定的布線。以下，對這一點進行補充說明。圖6是表示振動體112的節(jié)部的說明圖。如以上使用圖4所說明的那樣，在振動體112中，將4個表面電極116的相互位于對角線位置的2個表面電極116作為一組(表面電極116a以及表面電極116d的組、表面電極116b以及表面電極116c的組),若以獲得周期施加正電壓，則振動體112以驅(qū)動凸部114在附圖上向左右方向(Y方向)擺頭的方式反復進行彎曲振動。在圖6中，用虛線表示沒有對振動體112施加正電壓的狀態(tài)，用實線表示對振動體112的表面電極116a以及表面電極116d的組施加正電壓而使驅(qū)動凸部114朝右方向移動的狀態(tài)。這樣彎曲振動的振動體112并非整體一樣地振動(在Y方向移動),而是如圖6所示，具有以與設置有驅(qū)動凸部114的頭端部相同的振幅振動的部分亦即腹部117 (117a、117b)、以及彎曲振動的振幅比頭端部、腹部117小的部分亦即節(jié)部118。本實施例的振動體112具有:位于振動體112的長邊方向(X方向)的中央的中央節(jié)部118b、位于靠近驅(qū)動凸部114側(cè)的前節(jié)部118a以及位于遠離驅(qū)動凸部114側(cè)的后節(jié)部118c這樣3個節(jié)部118。上述3個節(jié)部118中的前節(jié)部118a以及后節(jié)部118c成為支承部件130夾持振動體112的部分(參照圖5)。若這樣利用支承部件130夾持振動體112的節(jié)部118，則與夾持不同于節(jié)部118的部分(腹部117等)的情況相比，在振動體112進行彎曲振動時不會增大支承部件130朝剪切方向變形的變形量，而能夠使振動體112的彎曲振動的振幅(驅(qū)動凸部114的移動量)增大，所以在驅(qū)動對象物方面是有利的。此外，沒有被支承部件130夾持的中央節(jié)部118b面對上述支承部件130的厚度量的間隙(參照圖5)。而且，在本實施例的壓電馬達10中，在該中央節(jié)部118b進行對表面電極116的布線(電極間電線300a、300b以及外部電線304a、304b通過焊錫302的接合)、以及對背面電極115的布線(接地電線306通過焊錫302的接合)。若這樣在該節(jié)部118進行對各電極的布線，則能夠抑制布線妨礙振動體112彎曲振動。此外，能夠抑制由于振動體112的彎曲振動的影響而使布線從電極脫離的情況，所以在確保穩(wěn)定地對振動體112施加電壓的布線方面來看比較優(yōu)選。D.變形例以下，對上述本實施例的壓電馬達10的變形例進行說明。另外，在對變形例進行說明時，對與上述的實施例相同的構(gòu)成部分標注與之前說明的實施例相同的符號并省略其詳細的說明。圖7是表不變形例的設置于振動體112的表面電極116以及對表面電極116的布線的說明圖。首先，圖7 (a)表示利用焊錫302將電極間電線300、外部電線304與表面電極116接合之前的狀態(tài)。在變形例的振動體112中，與上述實施例相同，表面電極116也由4個區(qū)域構(gòu)成。其中，表面電極116b以及表面電極116c由在形成表面電極116時一體形成的連結(jié)部116e預先連接。如圖7(b)所示，在這樣的變形例的振動體112中，當在表面電極116布線時，只要利用電極間電線300a將表面電極116a與表面電極116d連接即可，由于表面電極116b與表面電極116c由連結(jié)部116e預先連接，所以不需要像上述實施例那樣利用電極間電線300b(參照圖3)進行連接。因此，與上述實施例相比，能夠簡化對表面電極116的布線操作。另夕卜，變形例的表面電極116b以及表面電極116c相當于本發(fā)明的“第一區(qū)域”以及“第二區(qū)域”，變形例的116a以及表面電極116d相當于本發(fā)明的“第三區(qū)域”以及“第四區(qū)域”。此外，在上述實施例的振動體112中，2根電極間電線300a、300b在上下方向(Z方向)立體交叉(參照圖5)，與此相對，在變形例的振動體112中，代替電極間電線300b而在形成表面電極116時一體形成連結(jié)部116e，不需要使2根電極間電線300a、300b立體交叉，所以能夠容易地將表面電極的布線(焊錫302、電極間電線300a、外部電線304a、304b)收存于在振動體112的表面電極116與蓋板140之間所產(chǎn)生的支承部件130的厚度量的間隙。因此，特別是在利用支承部件130從與振動體112的彎曲方向交叉的方向夾持振動體112的兩個面(設置有表面電極116以及背面電極115的兩個面)的方式下，可以很好地確保對表面電極116的布線。E.應用例
上述的本實施例的壓電馬達10或者變形例的壓電馬達10是小型的且能夠高精度地驅(qū)動對象物，因此能夠作為以下的裝置的驅(qū)動裝置而適當?shù)匕惭b。圖8是例示組裝本實施例的壓電馬達10而構(gòu)成的電子部件檢查裝置600的立體圖。圖示的電子部件檢查裝置600大體上具備基臺610和直立設置于基臺610的側(cè)面的支承臺630。在基臺610的上表面設置有對檢查對象的電子部件I進行載置并輸送的上游側(cè)工作臺612u、和對檢查完畢的電子部件I進行載置并輸送的下游側(cè)工作臺612d。此外，在上流側(cè)工作臺612u與下游側(cè)工作臺612d之間設置有用于確認電子部件I的姿勢的拍攝裝置614、和為了檢查電特性而放置電子部件I的檢查臺616。另外，作為電子部件I的代表性的部件，可以舉出“半導體”、“CLD、OLED等顯示器件”、“水晶器件”、“各種傳感器”、“噴墨頭”、“各種MEMS器件”等。此外，本實施例的檢查臺616與本發(fā)明的“檢查插座”對應。此外，在支承臺630上設置有能夠在與基臺610的上游側(cè)工作臺612u以及下游側(cè)工作臺612d平行的方向(Y方向)移動的Y工作臺632，從Y工作臺632在朝向基臺610的方向(X方向)延伸配置有臂部634。此外，在臂部634的側(cè)面設置有能夠在X方向移動的X工作臺636。而且，在X工作臺636設置有拍攝照相機638和內(nèi)置有能在上下方向(Z方向)移動的Z工作臺的把持裝置650。此外，在把持裝置650的前端設置有把持電子部件I的把持部652。而且，在基臺610的前面?zhèn)仍O置有控制電子部件檢查裝置600的整體動作的控制裝置618。另外，在本實施例中，設置于支承臺630的Y工作臺632、臂部634、X工作臺636、把持裝置650與本發(fā)明的“電子部件搬送裝置”對應。此外，X工作臺636、Y工作臺632以及內(nèi)置于把持裝置650的Z工作臺與本發(fā)明的“移動裝置”對應。而且，本實施例的控制裝置618與本發(fā)明的“第一控制部”、“第二控制部”、“第三控制部”對應。具有以上結(jié)構(gòu)的電子部件檢查裝置600以如下方式進行電子部件I的檢查。首先，將檢查對象即電子部件I放置于上游側(cè)工作臺612u并移動到檢查臺616附近。接下來，移動Y工作臺632以及X工作臺636，使把持裝置650移動到載置于上游側(cè)工作臺612u的電子部件I的正上方的位置。此時，能夠使用拍攝照相機638確認電子部件I的位置。然后，若使用內(nèi)置于把持裝置650內(nèi)的Z工作`臺使把持裝置650下降來利用把持部652把持電子部件1，則使把持裝置650直接地移動到拍攝裝置614上，從而使用拍攝裝置614確認電子部件I的姿勢。接著，使用內(nèi)置于把持裝置650的微調(diào)機構(gòu)調(diào)整電子部件I的姿勢。然后，在使把持裝置650移動到檢查臺616上之后，移動內(nèi)置于把持裝置650的Z工作臺來將電子部件I放置到檢查臺616上。使用把持裝置650內(nèi)的微調(diào)機構(gòu)調(diào)整電子部件I的姿勢，所以能夠?qū)㈦娮硬考蘒放到檢查臺616的正確位置。然后，如果使用檢查臺616檢查完電子部件I的電特性，再次從檢查臺616提起電子部件I，之后移動Y工作臺632以及X工作臺636，使把持裝置650移動到下游側(cè)工作臺612d上，并將電子部件I放置于下游側(cè)工作臺612d。之后，移動下游側(cè)工作臺612d，將檢查完的電子部件I輸送到規(guī)定位置。圖9是內(nèi)置于把持裝置650的微調(diào)機構(gòu)的說明圖。如圖所示，在把持裝置650內(nèi)設置有與把持部652連接的旋轉(zhuǎn)軸654、能夠旋轉(zhuǎn)地安裝有旋轉(zhuǎn)軸654的微調(diào)板656等。此夕卜，微調(diào)板656能夠被未圖的引導機構(gòu)引導而在X方向以及Y方向移動。這里，如圖9中標注斜線所示那樣，朝向旋轉(zhuǎn)軸654的端面搭載有旋轉(zhuǎn)方向用的壓電馬達10 Θ，壓電馬達 ο Θ的驅(qū)動凸部(圖示省略)被按壓于旋轉(zhuǎn)軸654的端面。因此，使壓電馬達100動作，從而能夠使旋轉(zhuǎn)軸654 (以及把持部652)沿Θ方向高精度地僅旋轉(zhuǎn)任意的角度。此外，朝向微調(diào)板656設置有X方向用的壓電馬達IOx和Y方向用的壓電馬達10y，各自的驅(qū)動凸部(圖示省略)被按壓于微調(diào)板656的表面。因此，使壓電馬達IOx動作，從而能夠使微調(diào)板656 (以及把持部652)在X方向高精度地僅移動任意的距離，同樣地，使壓電馬達IOy動作，從而能夠使微調(diào)板656 (以及把持部652)在Y方向高精度地僅移動任意的距離。因此，通過使壓電馬達10 Θ、壓電馬達10x、壓電馬達IOy動作，圖8的電子部件檢查裝置600能夠?qū)τ砂殉植?52把持的電子部件I的姿勢進行微調(diào)。另外，在本實施例中，壓電馬達10x、壓電馬達IOy分別與本發(fā)明的“第一壓電馬達”、“第二壓電馬達”對應，壓電馬達10 Θ與本發(fā)明的“第三壓電馬達”對應。此外，由旋轉(zhuǎn)軸654、微調(diào)板656、壓電馬達10 Θ、壓電馬達10x、壓電馬達IOy構(gòu)成的微調(diào)機構(gòu)與本發(fā)明的“驅(qū)動裝置”對應。圖10是例示組裝有本實施例的壓電馬達10的印刷裝置700的立體圖。圖示的印刷裝置700是在印刷介質(zhì)2的表面噴射墨水來印刷圖像的所謂的噴墨打印機。印刷裝置700形成為近似箱形的外觀形狀，在前表面的大致中央設置有排紙托盤701、排出口 702、多個操作按鈕705。此外，在背面?zhèn)仍O置有供給托盤703。若在供給托盤703放置印刷介質(zhì)2并對操作按鈕705進行操作，則印刷介質(zhì)2從供給托盤703被吸入，在印刷裝置700的內(nèi)部將圖像印刷到印刷介質(zhì)2的表面之后，從排出口 702排出。在印刷裝置700的內(nèi)部設置有在印刷介質(zhì)2上沿主掃描方向往復移動的滑架720、和對滑架720在主掃描方向的移動進行引導的導軌710。此外，圖示的滑架720構(gòu)成為包括:在印刷介質(zhì)2上噴射墨水的噴射頭722、用于在主掃描方向驅(qū)動滑架720的驅(qū)動部724等。在噴射頭722的底面?zhèn)?朝向印刷介質(zhì)2 —側(cè))設置有多個噴射噴嘴，能夠從噴射噴嘴向印刷介質(zhì)2噴射墨水。此外，在驅(qū)動部724搭載有壓電馬達10m、10s。壓電馬達IOm的驅(qū)動凸部(圖示省略)被按壓于導軌710。因此，通過使壓電馬達IOm動作，從而能夠使滑架720在主掃描方向移動。此外，壓電馬達IOs的驅(qū)動凸部114被按壓于噴射頭722。因此，通過使壓電馬達IOs動作，從而能夠使噴射頭722的底面?zhèn)冉咏∷⒔橘|(zhì)2或遠離印刷介質(zhì)2。此外，在使用所謂的卷筒紙作為印刷介質(zhì)2的印刷裝置700中，需要將印刷有畫像的卷筒紙切斷的機構(gòu)。在這樣的情況下，若在滑架720上安裝刀具并使其在主掃描方向移動，則能夠切斷卷筒紙。圖11是例示組裝有本實施例的壓電馬達10的機器人手800的說明圖。圖示的機器人手800從基臺802直立設置有多根指部803，經(jīng)由手腕804而與臂810連接。這里，指部803的指根的部分能夠在基臺802內(nèi)移動，在該指部803的指根的部分以按壓驅(qū)動凸部114的狀態(tài)搭載有壓電馬達IOf。因此，通過使壓電馬達IOf動作，從而能夠使指部803移動來把持對象物。此外，在手腕804的部分以將驅(qū)動凸部114按壓于手腕804的端面的狀態(tài)搭載有壓電馬達10r。因此，通過使壓電馬達IOr動作，從而能夠使基臺802整體旋轉(zhuǎn)。圖12是例示具備機器人手800的機器人850的說明圖。如圖所示，機器人850具備:多條臂810和將這些臂810之間以能夠彎曲的狀態(tài)連接的關(guān)節(jié)部820。此外，機器人手800與臂810的前端連接。而且，在關(guān)節(jié)部820中內(nèi)置有作為用于使關(guān)節(jié)部820彎曲的促動器的壓電馬達10j。因此，使壓電馬達IOj動作，由此能夠使每個關(guān)節(jié)部820僅彎曲任意的角度。以上，對本發(fā)明的壓電馬達、搭載有壓電馬達的各種裝置進行了說明，但本發(fā)明不限于上述的實施例、變形例、應用例，能夠在不脫離其宗旨的范圍以各種方式實施。
例如，在上述實施例中，在振動體112的3個節(jié)部118中的、前節(jié)部118a以及后節(jié)部118c利用支承部件130夾持振動體112，在中央節(jié)部118b進行對表面電極116的布線以及對背面電極115的布線(參照圖5以及圖6)。然而，可以在3個節(jié)部118中的一部分的節(jié)部118利用支承部材130夾持振動體112，而在不被支承部件130夾持的任意的節(jié)部118進行對電極的配線，不限于上述實施例的方式。例如，如圖13所示，可以在中央節(jié)部118b利用支承部件130夾持振動體112，而在前節(jié)部118a以及后節(jié)部118c進行對表面電極116的布線(電極間電線300a、300b以及外部電線304a、304b通過焊錫302的接合)以及對背面電極115的布線(接地電線306通過焊錫302的接合)。在該情況下，也能與上述實施例相同，獲得使振動體112的驅(qū)動凸部114的移動量增大而不增大支承部件130的變形量、抑制布線由于振動體112的彎曲振動的影響而脫離電極的效果。此外，也可以在前節(jié)部118a或者后節(jié)部118c的任一方夾持振動體112，而在中央節(jié)部118b進行對表面電極116的布線以及對背面電極115的布線。符號說明10…壓電馬達；100…主體部；110…振動部；112…振動體；114…驅(qū)動凸部；115…背面電極；116…表面電極；120…振動體殼體；130…支承部件；132…絕緣片；140…蓋板；142…碟形彈簧；144…按壓板；146…固定螺釘;200…基臺部;210…第一側(cè)壁塊；220…第二側(cè)壁塊；230…基板；240…固定螺釘;300…電極間電線;302…焊錫;304…外部電線；306…接地電線；600…電子部件檢查裝置；610…基臺;612d…下游側(cè)工作臺;612u…上游側(cè)工作臺；614…拍攝裝置；616…檢查臺；618…控制部；630…支承臺；634…臂部；638…拍攝照相機；650…把持裝置；652…把持部；654…旋轉(zhuǎn)軸；656…微調(diào)板；700…印刷裝置；701…排紙托盤;702…排出口 ;703…供給托盤;705…操作按鈕；710…導軌；720…滑架；722…噴射頭；724…驅(qū)動 部;800…機器人手;802…基臺;803…指部;804…手腕;810…臂;820…關(guān)節(jié)部;850…機器人。
權(quán)利要求
1.一種壓電馬達，其特征在于， 通過對含有壓電材料的振動體施加電壓而使該振動體產(chǎn)生彎曲振動，并且使在所述振動體的端部設置的凸部與對象物接觸，從而使所述對象物移動， 該壓電馬達具備: 電極，該電極形成于所述振動體的、朝向與設置有所述凸部的端部因所述振動體的彎曲振動而進行移動的彎曲方向交叉的方向的兩個面，并且被施加所述電壓； 電線，該電線被非導電性材料覆蓋并對所述電極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合； 收納殼體，該收納殼體收納所述振動體；以及 支承部，該支承部設置在所述振動體與所述收納殼體之間，并且從與所述振動體的彎曲方向交叉的方向夾持所述振動體的設置有所述電極的兩個面，其中， 所述接合部設置于在所述振動體的所述電極與所述收納殼體之間所產(chǎn)生的、所述支承部的厚度量的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電馬達，其特征在于， 所述振動體具有:多個腹部，所述多個腹部的所述彎曲振動的振幅與設置有所述凸部的端部的所述彎曲振動的振幅相同；多個節(jié)部，所述多個節(jié)部的所述彎曲振動的振幅比所述腹部的所述彎曲振動的振幅小， 所述支承部通過 所述多個節(jié)部中的一部分節(jié)部與所述振動體接觸， 所述接合部通過所述支承部不接觸的任意的所述節(jié)部與所述電極接合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電馬達，其特征在于， 所述收納殼體的與所述電極相對的內(nèi)表面被非導電性材料覆蓋。
4.權(quán)利要求廣3中的任意一項所述的壓電馬達，其特征在于， 所述電極具有: 第一區(qū)域和第二區(qū)域，所述第一區(qū)域和第二區(qū)域經(jīng)由連結(jié)部而相互連接并與所述連結(jié)部一體形成； 第三區(qū)域和第四區(qū)域，所述第三區(qū)域和第四區(qū)域與所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域電隔絕地形成，并且相對于所述連結(jié)部配置在相互不同的一側(cè)，其中 所述第三區(qū)域和所述第四區(qū)域通過與所述連結(jié)部交叉的所述電線而相互連接。
5.一種驅(qū)動裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求廣4中的任意一項所述的壓電馬達。
6.一種印刷裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求廣4中的任意一項所述的壓電馬達。
7.一種機器人手，其特征在于， 具備權(quán)利要求廣4中的任意一項所述的壓電馬達。
8.—種機器人,其特征在于， 具備權(quán)利要求Γ4中的任意一項所述的壓電馬達、或者權(quán)利要求7所述的機器人手。
9.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 所述電子部件檢查裝置將所把持的電子部件裝配于檢查插座來檢查所述電子部件的電特性，并且 所述電子部件檢查裝置使用權(quán)利要求廣4中的任意一項所述的壓電馬達進行所述電子部件相對于所述檢查插座的對位。
10.一種電子部件檢查裝置，其特征在于， 所述電子部件檢查裝置將所把持的電子部件裝配于檢查插座來檢查所述電子部件的電特性，并且 所述電子部件檢查裝置具備進行所述電子部件相對于所述檢查插座的對位的壓電馬達，其中 所述壓電馬達具備: 振動體，該振動體含有壓電材料而形成，并且在被施加電壓時進行彎曲振動； 凸部，該凸部設置于所述振動體的端部； 電極，該電極形成于所述振動體的、朝向與設置有所述凸部的端部因所述振動體的彎曲振動而進行移動的彎曲方向交叉的方向的兩個面，并被施加所述電壓； 電線，該電線被非導電性材料覆蓋并對所述電極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合； 收納殼體，該收納殼體收納所述振動體；以及 支承部，該支承部設置在所述振動體與所述收納殼體之間，并且從與所述振動體的彎曲方向交叉的方向夾持所述振動體的設置有所述電極的兩個面，其中 所述接合部設置于在所述振動體的所述電極與所述收納殼體之間所產(chǎn)生的、所述支承部的厚度量的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小。
11.一種電子部件檢查裝置，其特征在于，具備: 檢查插座，該檢查插座供電子部件裝配，用于檢查所述電子部件的電特性； 把持裝置，該把持裝置把持所述電子部件； 移動裝置，該移動裝置使所述把持裝置在相互正交的第一軸和第二軸、以及與所述第一軸和所述第二軸正交的第三軸合計三個軸向上移動； 拍攝裝置，該拍攝裝置從所述檢查插座觀察設置于所述第一軸上或者所述第二軸上，針對裝配于所述檢查插座的所述電子部件，作為所述電子部件的姿勢而檢測所述第一軸和所述第二軸的方向上的位置以及繞所述第三軸的角度； 上游側(cè)工作臺，該上游側(cè)工作臺將所述電子部件從所述檢查插座搬送到連結(jié)所述拍攝裝置的所述第一軸或者所述第二軸上的規(guī)定位置； 下游側(cè)工作臺，該下游側(cè)工作臺從經(jīng)由所述檢查插座觀察時與設置有所述拍攝裝置的一側(cè)相反的一側(cè)的規(guī)定位置開始搬送所述電子部件；以及控制裝置，該控制裝置控制所述移動裝置的動作，其中所述控制裝置具備: 第一控制部，該第一控制部將把持有所述上游側(cè)工作臺搬送來的所述電子部件的所述把持裝置移動到所述拍攝裝置上； 第二控制部，該第二控制部通過使所述把持裝置移動而將已被所述拍攝裝置確認姿勢的所述電子部件裝配于所述檢查插座；以及第三控制部，該第三控制部通過使所述把持裝置移動，將經(jīng)所述檢查插座被檢查出所述電特性的所述電子部件，從所述檢查插座載置于所述下游側(cè)工作臺， 所述把持裝置具有根據(jù)由所述拍攝裝置檢測出的所述電子部件的姿勢，使所述電子部件在所述第一軸向上移動的第一壓電馬達、使所述電子部件在所述第二軸向上移動的第二壓電馬達、以及使所述電子部件繞所述第三軸旋轉(zhuǎn)的第三壓電馬達， 所述第一壓電馬達至第三壓電馬達是權(quán)利要求廣4中的任意一項所述的壓電馬達。
12.一種電子部件搬送裝置，其特征在于， 所述電子部件搬送裝置搬送所把持的電子部件， 并且使用權(quán)利要求廣4中的任意一項所述的壓電馬達進行所述電子部件的對位。
13.一種電子部件搬送裝置，其特征在于， 所述電子部件搬送裝置搬送所把持的電子部件，并具備進行所述電子部件的對位的壓電馬達， 所述壓電馬達具備: 振動體，該振動體含有壓電材料而形成并在被施加電壓時進行彎曲振動； 凸部，該凸部設置于所述振動體的端部； 電極，該電極形成于所述振動體的、朝向與設置有所述凸部的端部因所述振動體的彎曲振動而移動的彎曲方向交叉的方向的兩個面，并被施加所述電壓； 電線，該電線被非導電性材料 覆蓋并對所述電極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合； 收納殼體，該收納殼體收納所述振動體；以及 支承部，該支承部設置在所述振動體與所述收納殼體之間，并且從與所述振動體的彎曲方向交叉的方向夾持所述振動體的設置有所述電極的兩個面， 所述接合部設置于在所述振動體的所述電極與所述收納殼體之間所產(chǎn)生的、所述支承部的厚度量的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小。
14.一種電子部件搬送裝置，其特征在于，具備: 把持裝置，該把持裝置把持電子部件； 移動裝置，該移動裝置使所述把持裝置在相互正交的第一軸和第二軸、以及與所述第一軸和所述第二軸正交的第三軸合計三個軸向上移動； 控制裝置，該控制裝置控制所述移動裝置的動作， 所述把持裝置具有:使所述電子部件在所述第一軸向上移動的第一壓電馬達、使所述電子部件在所述第二軸向上移動的第二壓電馬達以及使所述電子部件繞所述第三軸旋轉(zhuǎn)的第三壓電馬達， 所述第一壓電馬達至第三壓電馬達是權(quán)利要求廣4中的任意一項所述的壓電馬達。
15.一種壓電馬達，其特征在于，具備: 壓電元件； 電極，該電極配置于所述壓電元件的一方的面并對所述壓電元件施加電壓； 電線，該電線對所述電極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合；收納殼體，該收納殼體收納所述壓電元件；以及 支承部，該支承部設置在所述壓電元件與所述收納殼體之間，并支承所述壓電元件的所述一方的面， 所述接合部設置在所述電極與所述收納殼體的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小， 所述壓電元件的所述一方的面包含所述壓電元件進行彎曲振動的方向。
16.—種機器人手,其特征在于,具備: 指部; 連結(jié)所述指部的關(guān)節(jié)部； 配置于所述關(guān)節(jié)部的壓電元件； 電極，該電極配置于所述壓電元件的一方的面并對所述壓電元件施加電壓； 電線，該電線對所述電 極施加電壓； 接合部，該接合部將所述電極與所述電線電接合； 收納殼體，該收納殼體收納所述壓電元件；以及 支承部，該支承部設置于所述壓電元件與所述收納殼體之間，并支承所述壓電元件的所述一方的面， 所述接合部設置于所述電極與所述收納殼體的間隙， 所述接合部的從所述電極起算的高度以及所述電線的外徑比所述支承部的厚度小， 所述壓電元件的所述一方的面包含所述壓電元件進行彎曲振動的方向。
17.—種機器人,其特征在于， 具備權(quán)利要求16所述的機器人手。
18.一種電子部件搬送裝置，其特征在于， 具備權(quán)利要求15所述的壓電馬達。
全文摘要
本發(fā)明提供壓電馬達、驅(qū)動裝置、電子部件搬送裝置、電子部件檢查裝置、印刷裝置、機器人手以及機器人。壓電馬達具備壓電元件、設置于壓電元件的電極、與電極連接的電線、將電極與電線接合的接合部、收納壓電元件的收納殼體以及設置于壓電元件與上述收納殼體之間的支承部，接合部以及電線設置于電極與收納殼體之間的間隙。
文檔編號B65G47/74GK103151955SQ20121051374
公開日2013年6月12日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月6日
發(fā)明者水島信幸 申請人:精工愛普生株式會社