專利名稱：輸送控制裝置以及輸送控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及當(dāng)在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)被輸送物的輸送路徑時(shí)，控制 在這些輸送路徑上輸送被輸送物的輸送裝置的輸送控制裝置以及輸送控制方 法。
背景技術(shù)：
目前，存在具有多個(gè)處理裝置的處理設(shè)備。在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè) 被輸送物的輸送路徑。并且，處理設(shè)備還具有在這些輸送路徑上輸送被輸送物 的輸送裝置。并且，在該處理設(shè)備中，對(duì)一個(gè)輸送裝置對(duì)應(yīng)著多個(gè)被輸送物。
在這樣的處理設(shè)備中，為了實(shí)現(xiàn)高效率的處理，關(guān)于將哪個(gè)被輸送物輸送 到哪個(gè)處理裝置，需要適當(dāng)?shù)乜刂戚斔脱b置。
在現(xiàn)有的輸送控制方法中，按照根據(jù)被輸送物向輸送裝置的到達(dá)順序、到 達(dá)時(shí)刻、輸送時(shí)間、以及等待時(shí)間等預(yù)定的順序、或者按照根據(jù)負(fù)荷狀況等預(yù) 先安排的順序，輸送裝置輸送被輸送物。
此外，.在現(xiàn)有的輸送控制方法中，將被輸送物裝載在裝載箱中集中起來一 次輸送多個(gè)^^輸送物。
例如，在日本特開平9-30617號(hào)公報(bào)中，記載了以下的輸送系統(tǒng)與被輸 送物的輸送同步地從控制裝置向下一個(gè)控制裝置輸出輸送指示數(shù)據(jù)，由此，使 輸送設(shè)備迅速地輸送被輸送物。作為在自動(dòng)倉庫內(nèi)輸送被輸送物的輸送裝置， 該輸送系統(tǒng)具備堆垛起重機(jī)、有軌臺(tái)車、接收用輸送器、以及出入庫用輸送 器。起重機(jī)控制裝置控制起重機(jī)，臺(tái)車控制裝置控制有軌臺(tái)車，輸送器控制裝 置控制各輸送器。通過同一通信線路連接著各個(gè)控制裝置和生成指示輸送作業(yè) 的數(shù)據(jù)(輸送指示數(shù)據(jù))的在庫管理計(jì)算機(jī)。
從在庫管理計(jì)算機(jī)輸出的輸送指示數(shù)據(jù)，經(jīng)由通信線路依次從控制裝置向 控制裝置輸出，各個(gè)控制裝置按照輸送指示數(shù)據(jù)控制輸送裝置來進(jìn)行輸送作 業(yè)。

發(fā)明內(nèi)容
在上述現(xiàn)有的輸送控制方法中，因?yàn)樵谘b載箱中裝載多個(gè)被輸送物集中起 來一次輸送多個(gè)被輸送物，所以在被輸送物的更換較少的工序中輸送效率會(huì)提 高。但是，在被輸送物的更換較多的工序中，輸送效率會(huì)降低。在被輸送物的
更換較多的工序中，不是在裝載箱中裝載多個(gè)^L輸送物來進(jìn)行輸送，而是通過 一^^一個(gè)輸送被輸送物的所謂的單片輸送方法進(jìn)行輸送，這種輸送方法會(huì)使輸 送效率提高。
但是，在一片 一片地輸送被輸送物的單片輸送線中，運(yùn)算處理數(shù)據(jù)量巨大， 所以由于運(yùn)算處理所需要的時(shí)間的原因難以縮短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間(tacUime)。此 外，作為運(yùn)算處理裝置，需要大型的裝置。
例如，在液晶面板制造工廠中，生產(chǎn)管理系統(tǒng)管理全部的工序順序。但是， 當(dāng) 一片 一片進(jìn)行輸送來處理基板時(shí)，生產(chǎn)管理系統(tǒng)和單片輸送控制系統(tǒng)的通信 量增大，生產(chǎn)管理系統(tǒng)管理全部的工序處理的順序就變得困難。
因此，本發(fā)明的目的在于提供即使在所謂的單片輸送線中，也不增大運(yùn) 算處理數(shù)據(jù)量，作為運(yùn)算處理裝置不需要大型的裝置，并且運(yùn)算處理所需要的 時(shí)間也不會(huì)變長的輸送控制裝置以及輸送控制方法。
本發(fā)明的輸送控制裝置，是在一種在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)被輸送物 的輸送路徑，具有多個(gè)沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送裝置，并且使多 個(gè)被輸送物與一個(gè)所述輸送裝置對(duì)應(yīng)的處理設(shè)備中，對(duì)所述輸送裝置進(jìn)行控制 的裝置。輸送控制裝置具備控制所述各個(gè)輸送裝置的控制單元。所述控制單元 從上位系統(tǒng)接收工序流程，才艮據(jù)該工序流程生成生產(chǎn)批量信息，將該生產(chǎn)批量 信息以及處理內(nèi)容分配給所述各個(gè)處理裝置，并且判定有無空閑的處理裝置以 及生產(chǎn)批量的完成，根據(jù)該判斷結(jié)果決定將所述各個(gè)被輸送物中的哪個(gè)被輸送 物輸送到哪個(gè)所述處理裝置，根據(jù)該決定控制所述輸送裝置。
本發(fā)明的輸送控制方法，是在一種在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)被輸送物 的輸送路徑，具有多個(gè)沿著所述輸送路徑輸送#:輸送物的輸送裝置，并且對(duì)一 個(gè)所述輸送裝置對(duì)應(yīng)了多個(gè)被輸送物的處理設(shè)備中，對(duì)所述輸送裝置進(jìn)行控制 的方法。根據(jù)所述輸送控制方法，從上位系統(tǒng)取得工序流程，根據(jù)該工序流程 生成生產(chǎn)批量信息，將該生產(chǎn)批量信息以及處理內(nèi)容分配給所述各個(gè)處理裝置，并且判定有無空閑的處理裝置以及生產(chǎn)批量的完成，才艮據(jù)該判斷結(jié)果決定 將所述各個(gè)被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè)所述處理裝置，根據(jù)該決定 控制所述輸送裝置。
根據(jù)本發(fā)明的輸送控制裝置，控制單元，從上位系統(tǒng)接收流程工序，決定 應(yīng)該將各被輸送物中的哪個(gè)^^輸送物輸送到哪個(gè)處理裝置。因此，控制單元， 即使關(guān)于被輸送物的每一個(gè)沒有從上位系統(tǒng)取得指示，也可以按照工序順序單 獨(dú)地處理被輸送物，所以輸送效率提高。
根據(jù)本發(fā)明的輸送控制方法，控制單元從上位系統(tǒng)接收工序流程，決定應(yīng) 該將各被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè)處理裝置。因此，即使關(guān)于被輸 送物的每一個(gè)沒有從上位系統(tǒng)取得指示，也可以按照工序順序處理被輸送物， 所以輸送效率提高。


圖1是表示本發(fā)明的輸送控制裝置的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖2是表示應(yīng)用了所述輸送控制裝置的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)的(a)平面圖以 及(b)側(cè)面圖。其中，F(xiàn)CV表示帶有分支功能的傳輸器，縱向CV表示帶有 縱向輸送功能的傳輸器。
圖3是表示執(zhí)行本發(fā)明的輸送控制方法的一實(shí)施方式的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu) 的方框圖。
圖4是表示所迷輸送控制裝置的輸送控制系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖。
圖5 (a)是表示所述輸送控制裝置的輸送控制系統(tǒng)的工序信息的生成動(dòng) 作的流程圖，(b)是表示生產(chǎn)批量完成信息的項(xiàng)目例子的表，(c)是表示生產(chǎn) 批量信息的項(xiàng)目例子的表，(d)是表示輸送指示信息的項(xiàng)目例子的表。
圖6 (a)是表示所述輸送控制裝置的輸送控制系統(tǒng)的分類信息的生成動(dòng) 作的流程圖，(b)是表示分類信息的項(xiàng)目例子的表。
圖7 (a)是表示所述輸送控制裝置從生產(chǎn)管理系統(tǒng)接收的工序流程的例子 的方框圖，(b)是表示與(a)對(duì)應(yīng)的輸送物(基板)的流動(dòng)的例子的流動(dòng)圖。
圖8 (a)是表示所述輸送控制裝置從生產(chǎn)管理系統(tǒng)接收的分類條件的例 子的方框圖，(b)是表示與(a)對(duì)應(yīng)的輸送物(基板)的流動(dòng)的流動(dòng)圖。
符號(hào)說明
1生產(chǎn)管理系統(tǒng)(上位系統(tǒng))；2輸送控制系統(tǒng)(控制單元)；3-l n設(shè)備
5控制板；101 104處理裝置(工序A~D); 106、 107輸送裝置
具體實(shí)施例方式
以下，根據(jù)

本發(fā)明的一實(shí)施方式。
(輸送控制裝置的結(jié)構(gòu))
圖1是表示本實(shí)施方式的輸送控制裝置的結(jié)構(gòu)的方框圖。
如圖1所示，本實(shí)施方式的輸送控制裝置具有從生產(chǎn)管理系統(tǒng)(上位系統(tǒng)) 1接收指示的輸送控制系統(tǒng)(控制單元)2。輸送控制系統(tǒng)2控制多個(gè)設(shè)備控
制板3-l、 3-2、......、 3-n,經(jīng)由設(shè)備控制板3-l、 3-2、......、 3-n控制多個(gè)
處理裝置以及輸送裝置的動(dòng)作。多個(gè)處理裝置以及輸送裝置構(gòu)成了處理設(shè)備。
圖2是表示應(yīng)用了本實(shí)施方式的輸送控制裝置的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)的(a) 平面圖以及(b)側(cè)面圖。
在應(yīng)用了本實(shí)施方式的輸送控制裝置的處理設(shè)備中，如圖2(a)所示， 從成為出入口 105的端口 A E，放入被輸送物。通過輸送器(輸送裝置)106、 107在多個(gè)處理裝置(工序裝置)101~104之間輸送被輸送物。
如圖2所示，輸送器107由帶有分支功能的輸送器(以下成為分支輸送器 FCV)、以及帶有縱向輸送(升降)功能的輸送器(以下稱為縱向輸送輸送器 縱向CV)所組成。分支輸送器(FCV)水平地輸送被輸送物，并且在處理裝 置101 104之間進(jìn)行被輸送物的收發(fā)。
在該處理設(shè)備中，在上下方向上裝載配置有工序A的處理裝置101和工 序D的處理裝置104。此外，在上下方向上裝載配置有工序B的處理裝置102 和工序C的處理裝置103。與分支輸送器(FCV)相向地配置這些各個(gè)處理裝 置101-104。并且，在輸送線的起始端以及終端設(shè)置了緩沖器108。此外，在 處理裝置101和處理裝置104之間設(shè)置了緩沖器109。并且，在處理裝置102 和處理裝置103之間設(shè)置了緩沖器110。與縱向輸送輸送器(縱向CV)相向 地配置了這些緩沖器108、 109、 110。在這些緩沖器108、 109、 IIO中臨時(shí)滯 留從某個(gè)處理裝置輸送到下一個(gè)處理裝置之前期間的被輸送物。
在該處理設(shè)備中，通過本實(shí)施方式的輸送控制裝置控制輸送器106、 107, 由此將各個(gè)被輸送物輸送到各個(gè)處理裝置101 104以及各個(gè)緩沖器108-110 的任意場(chǎng)所，由各個(gè)處理裝置101-104對(duì)各個(gè)被輸送物執(zhí)行規(guī)定處理(檢查)。圖3是表示執(zhí)行本實(shí)施方式的輸送控制方法的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)的方框圖。
如圖3所示，在處理設(shè)備中，在多個(gè)處理裝置101 104之間存在多個(gè)被輸 送物的輸送路徑。處理設(shè)備具有沿輸送路徑輸送被輸送物的多個(gè)輸送裝置。此 外，對(duì)于一個(gè)輸送裝置對(duì)應(yīng)了多個(gè)被輸送物。
在這樣的處理設(shè)備中，按照從上位系統(tǒng)取得的處理裝置101 104(工序 A D)之間的輸送信息，在處理裝置101 104之間依次輸送輸送線內(nèi)的被輸送 物(例如，F(xiàn)PD、用于半導(dǎo)體的玻璃基板等)。本實(shí)施方式的輸送控制方法改 善這樣的處理設(shè)備的輸送效率。
在該處理設(shè)備中，被投入到出入口 105的^皮輸送物依次被輸送到各個(gè)處理 裝置101 104,執(zhí)行規(guī)定的處理，然后再次返回到出入口 105。在該處理設(shè)備 中，對(duì)于被輸送物，有可能根據(jù)在各個(gè)處理裝置的處理結(jié)果(例如;f全查結(jié)果)， 變更下一個(gè)輸送目的地處理裝置(工序)。此外，在該處理設(shè)備中，因?yàn)橛袝r(shí) 將被輸送物多次輸送給同 一處理裝置(例如檢查裝置)，所以在各個(gè)處理裝置 之間的輸送路徑中存在多個(gè)分支、匯合。
本實(shí)施方式的輸送控制方法特別適合于一片一片地輸送被輸送物的單片 輸送線。在單片輸送線中，同時(shí)進(jìn)行輸送控制的被輸送物的數(shù)量巨大，通過現(xiàn) 有的輸送控制方法控制極為困難。
(輸送控制裝置的動(dòng)作(輸送控制方法))
圖4是表示本實(shí)施方式的輸送控制裝置的輸送控制系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖。
在該輸送控制裝置中，輸送控制系統(tǒng)2執(zhí)行圖4所示的處理。
在步驟stl中，收納了多個(gè)被輸送物的裝載箱到達(dá)工序(處理設(shè)備)。在
步驟st2,從生產(chǎn)管理系統(tǒng)(上位系統(tǒng))l接收工序流程，處理進(jìn)入到步驟St3
以及步驟st4。
在步驟st3中，展開工序流程使其成為工序信息，將工序信息分配給各個(gè) 處理裝置(工序裝置)。在工序信息數(shù)據(jù)庫中積存工序信息。
另一方面，在步驟st4中，從生產(chǎn)管理系統(tǒng)(上位系統(tǒng))l接收分類信息， 處理進(jìn)入到步驟st5以及步驟st6。
在步驟st5中，將分類信息展開，對(duì)各個(gè)裝載箱分配分類信息。在分類信 息數(shù)據(jù)庫中積存分類信息。
7根據(jù)在步驟st3積存的工序信息，生成裝載箱內(nèi)的各個(gè)被 輸送物(例如基板)的工序流程，處理進(jìn)入到步驟st7。在步驟st7中，按照工 序流程，輸送被輸送物(基板)，處理進(jìn)入到步驟st8。
在步驟st8中，對(duì)應(yīng)工序處理結(jié)果，根據(jù)工序流程決定下一輸送目的地， 處理進(jìn)入到步驟st9。在步驟st9，判斷直到步驟st8所進(jìn)行的處理是否為最終 處理，如果是最終處理，則處理進(jìn)入步驟st10，如果不是最終處理，則處理返 回到步驟st7。
在步驟stl0中，根據(jù)在步驟st5中積存的分類信息，按照分類條件將被輸 送物(基板)輸送到分類用裝載箱。
圖5 (a)是表示本實(shí)施方式的輸送控制裝置的輸送控制系統(tǒng)中的工序信 息的生成動(dòng)作的流程圖。
如圖5 (a)所示，在生成工序信息時(shí)，當(dāng)在步驟stll中輸送控制系統(tǒng)2 接收到工序流程時(shí)，處理進(jìn)入到步驟stl2以及步驟stl3。在此，在圖7(a) 中表示了 一個(gè)方框圖，該方框圖表示輸送控制系統(tǒng)從生產(chǎn)管理系統(tǒng)接收的工序 流程的一例。如圖7(a)所示，工序流程例如由"生產(chǎn)批量信息"、"品種代 碼"、"批量ID"、"當(dāng)前工序代碼"、"分類代碼"、"下一工序代碼"、"下一工 序制法ID"組成。圖7 (b)表示與圖7 (a)對(duì)應(yīng)的被輸送物(基板)的流動(dòng) 的例子。
在步驟stl2中，生成生產(chǎn)批量信息，處理進(jìn)入到步驟stl4。在步驟stl4 中，判定是否接收到生產(chǎn)批量完成信息，如果接收到生產(chǎn)批量完成信息，則處 理進(jìn)入步驟stl5。如果沒有接收到生產(chǎn)批量完成信息，則處理停留在步驟stl4。 如圖5(b)所示，生產(chǎn)批量完成信息例如由"管理ID"、"品種代碼"、"批量 ID"、"工序代碼"、"分類代碼"組成。
在步驟stl5中，附加批量末端標(biāo)記，處理進(jìn)入步-驟st19。
另一方面，在步驟stl3中，生成不同輸送線的生產(chǎn)批量信息，處理進(jìn)入 步驟stl6。如圖5(c)所示，生產(chǎn)批量信息例如由"管理ID"、"品種代碼"、 "批量ID"、"工序代碼"、"分類代碼"、"處理片數(shù)"、"完成片數(shù)"、"損壞片 數(shù)"、"處理狀態(tài)"組成。
在步驟stl6中，判斷是否具有空閑的處理裝置，如果具有空閑的處理裝 置，則處理進(jìn)入步驟st17。如果沒有空閑的處理裝置，則處理停留在步驟st16。在步驟stl7中，對(duì)輸送線的處理裝置分配生產(chǎn)批量信息，處理進(jìn)入步驟st18。 在步驟stl8中，對(duì)處理裝置分配制法ID (處理內(nèi)容)，處理進(jìn)入步驟st19。
在步驟stl9，生成輸送指示信息，處理進(jìn)入步驟st20。如圖5(d)所示， 輸送指示信息例如由"輸送ID"、"基板ID"、"批量末端標(biāo)記"、"開始(From) 位置"、"結(jié)束(To)位置"、"最終輸送目的地"、"處理狀態(tài)，，組成。
在步驟st20中，判斷可否進(jìn)行向下一工序的輸送，如果可以輸送，則處 理進(jìn)入步驟st21。如果不可進(jìn)行輸送，處理停留在步驟st20。在步驟st21中， 指示輸送被輸送物，處理進(jìn)入步驟st22。在步驟st22中，判定是否為批量末端， 如果為批量末端，則結(jié)束批量。如果不是批量末端，則處理返回到步驟st19。
圖6 (a)是表示本實(shí)施方式的輸送控制裝置的輸送控制系統(tǒng)中的分類信 息的生成動(dòng)作的流程圖。
如圖6 (a)所示，在生成分類信息時(shí)，當(dāng)在步驟st21中輸送控制系統(tǒng)2 接收到分類條件時(shí)，處理進(jìn)入步驟st32。在此，圖8表示一方框圖，該方框圖 表示輸送控制系統(tǒng)從生產(chǎn)管理系統(tǒng)接收的分類條件的一例。如圖8 (a)所示， 分類條件例如由"管理ID"、"品種代碼"、"批量ID"、"代表工序代碼"、"代 表分類代碼"、"優(yōu)先度"、"基板信息"、"輸送基板片數(shù)"、"處理狀態(tài)"組成。 在圖7 (b)中表示與圖7 (a)對(duì)應(yīng)的輸送物(基板)的流動(dòng)的例子。
在步驟st32中，生成分類信息，處理進(jìn)入到步驟st33。如圖6(b)所示， 分類信息例如由"管理ID"、"品種代碼"、"批量ID"、"代表工序代碼"、"代 表分類代碼"、"優(yōu)先度"、"基板信息"、"送出基板片數(shù)"、"處理狀態(tài)"組成。
在步驟st33中，判斷是否存在空閑端口，如果有空閑的端口，則處理進(jìn) 入到步驟st34。如果沒有空閑的端口，處理停留在步驟st33。
在步驟st34,判定生產(chǎn)批量是否已開始，如果已經(jīng)開始，則處理進(jìn)入步驟 st35。如果沒有開始，則處理停留在步驟st34。
在步驟st35中，判定生產(chǎn)批量是否已完成，如果已經(jīng)完成，則處理進(jìn)入 步驟st36。如果沒有完成，則處理停留在步驟st35。
在步驟st36,判斷是否存在優(yōu)先度高的分類條件，如果存在優(yōu)先度高的分 類條件，則處理進(jìn)入步驟st37。如果不存在優(yōu)先度高的分類條件，則處理停留 在步驟st36。
在步驟st37中，對(duì)端口分配分類信息，處理結(jié)束。
權(quán)利要求
1.一種輸送控制裝置，其是在處理設(shè)備中對(duì)所述輸送裝置進(jìn)行控制的輸送控制裝置，該處理設(shè)備在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)被輸送物的輸送路徑，具有多個(gè)沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送裝置，并且使多個(gè)被輸送物與一個(gè)所述輸送裝置對(duì)應(yīng)，該輸送控制裝置具備控制所述各個(gè)輸送裝置的控制單元，所述控制單元，從上位系統(tǒng)接收工序流程，根據(jù)該工序流程生成生產(chǎn)批量信息，將該生產(chǎn)批量信息以及處理內(nèi)容分配給所述各個(gè)處理裝置，并且判定有無空閑的處理裝置以及生產(chǎn)批量的完成，根據(jù)該判斷結(jié)果決定將所述各個(gè)被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè)所述處理裝置，根據(jù)該決定控制所述輸送裝置。
2. —種輸送控制方法，其是在處理設(shè)備中對(duì)所述輸送裝置進(jìn)行控制的輸 送控制方法，該處理設(shè)備在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)被輸送物的輸送路徑， 具有多個(gè)沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送裝置，并且對(duì)一個(gè)所述輸送裝 置對(duì)應(yīng)了多個(gè)被輸送物，該輸送控制方法，從上位系統(tǒng)取得工序流程，才艮據(jù)該工序流程生成生產(chǎn)批量信息，將該生產(chǎn)批量信息以及處理內(nèi)容分配給所述各個(gè)處理裝置，并且判定有無 空閑的處理裝置以及生產(chǎn)批量的完成，根據(jù)該判斷結(jié)果決定將所述各個(gè)被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè) 所述處理裝置，根據(jù)該決定控制所述輸送裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種輸送控制裝置以及輸送控制方法，即使在被輸送物的輸送目的地的負(fù)荷高的情況下，也可以實(shí)現(xiàn)縮短整個(gè)處理裝置的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，此外，即使是單片輸送線也不會(huì)增大需要進(jìn)行運(yùn)算處理的數(shù)據(jù)量，無需大型運(yùn)算處理裝置，運(yùn)算處理時(shí)間不會(huì)變長。輸送控制裝置具備控制處理設(shè)備的各個(gè)輸送裝置的控制單元(2)。控制單元(2)從上位系統(tǒng)(1)接收工序流程，根據(jù)該工序流程生成生產(chǎn)批量信息，將該生產(chǎn)批量信息以及處理內(nèi)容分配給所述處理設(shè)備的所述各個(gè)處理裝置，并且判定有無空閑的處理裝置以及生產(chǎn)批量的完成，根據(jù)該判斷結(jié)果決定將各個(gè)被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè)所述處理裝置，根據(jù)該決定控制所述輸送裝置(3-1、3-2、.....、3-n)。
文檔編號(hào)B65G43/10GK101685305SQ20091016351
公開日2010年3月31日 申請(qǐng)日期2009年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月29日
發(fā)明者大塚泰靖, 志田倫教, 長谷川文夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Ihi;Ihi愛斯久布股份有限公司