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具有軌道異物清除裝置的載具及其軌道異物清除裝置的制作方法

文檔序號(hào):4296752閱讀:330來源:國(guó)知局
專利名稱:具有軌道異物清除裝置的載具及其軌道異物清除裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明是有關(guān)于一種異物清除裝置,特別是有關(guān)于一種沿一立體軌道移 動(dòng)而清除異物的具有軌道異物清除裝置的載具及其軌道異物清除裝置。
背景技術(shù)
傳統(tǒng)無塵室倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)之中,用以搬移玻璃基板及自動(dòng)取放卡匣的移載機(jī)(Crane) 8,沿著一立體軌道9的正面而進(jìn)行高速平行移動(dòng),以進(jìn)行取放卡匣 及搬移玻璃基板的作業(yè),如圖1所示,其中由于移載機(jī)8于走行時(shí)的精密度 相當(dāng)高,若移載機(jī)8走行于立體軌道9時(shí),立體軌道9上的任何軌道異物均 可能降低其走行精度的精密度,以及造成移載機(jī)8與立體軌道9的磨損,而 間接產(chǎn)生微粒子(Particle)污染。目前用以因應(yīng)此問題的設(shè)計(jì),是于移載機(jī)8 的前端設(shè)有一前檔板81配合一單面刷片82,來執(zhí)行立體軌道9異物的清除。 然而,由于上述的前檔板81與立體軌道9的正面間尚有一段距離,使得 前檔板81僅能排除大體積的異物,而對(duì)于微小體積的異物(如lmm以下的 碎基板)僅由單面刷片82予以排除,但是,由于單面刷片82以線接觸的方 式沿立體軌道9的正面行進(jìn),與立體軌道9的正面的接觸面積有限,無法有 效全面清除立體軌道9上的所有異物,而存在上述的問題。因此,若能開發(fā) 一種軌道異物清除裝置,加大與立體軌道的正面的接觸面積,而且有效清除 立體軌道上的所有大小的異物,即成為亟待解決之一重要課題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明之一目的在于,提供一種具有軌道異物清除裝置的載具及其軌道 異物清除裝置,能夠加大清除裝置與立體軌道接觸的表面積,以求有效全面清除立體軌道上的所有異物。本發(fā)明的另一目在于,提供一種具有軌道異物清除裝置的載具及其軌道 異物清除裝置,能夠降低無塵室倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)中間接產(chǎn)生的微粒子污染。根據(jù)上述的目的,本發(fā)明提供一種軌道異物清除裝置,包括有一本體、 一刷具、至少一連動(dòng)組件及多個(gè)從動(dòng)輪組,其中刷具樞設(shè)于本體上,且其刷 頭面對(duì)一立體軌道的方向,而此等從動(dòng)輪組分別設(shè)于本體的二對(duì)應(yīng)側(cè),以沿 立體軌道的側(cè)面滾動(dòng),連動(dòng)組件設(shè)于本體中同時(shí)連接從動(dòng)輪組及刷具的一端, 當(dāng)本體被一載具帶動(dòng)而驅(qū)使其從動(dòng)輪組沿立體軌道的二對(duì)應(yīng)側(cè)滾動(dòng)時(shí),從動(dòng) 輪組經(jīng)連動(dòng)組件而帶動(dòng)刷具轉(zhuǎn)動(dòng)。本發(fā)明提供一種具有軌道異物清除裝置的載具,此載具具有一可供承載 物體并沿一立體軌道運(yùn)動(dòng)的機(jī)具,載具的前方可供連接上述的軌道異物清除 裝置,如此,當(dāng)載具帶動(dòng)軌道異物清除裝置前進(jìn)時(shí),其從動(dòng)輪組沿該立體軌 道滾動(dòng),并經(jīng)連動(dòng)組件而帶動(dòng)該刷具轉(zhuǎn)動(dòng),以清除立體軌道上的異物。本發(fā)明的上述軌道異物清除裝置及載具,利用可自轉(zhuǎn)的刷頭加大了與立 體軌道正面接觸的表面積,可有效全面清除立體軌道上的所有異物。并且, 利用扇體及集塵室的設(shè)計(jì)便可降低間接產(chǎn)生微粒子的污染。并且,本發(fā)明能 夠在載具帶動(dòng)軌道異物清除裝置前進(jìn)時(shí),利用從動(dòng)輪組帶動(dòng)刷具和扇體工作, 因此,本發(fā)明完全不需消耗額外電源,便可達(dá)成上述的各目的,既方便又經(jīng) 濟(jì),相當(dāng)具有環(huán)保的概念。


為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂,所 附圖式的詳細(xì)說明如下圖1為現(xiàn)有清除軌道異物工具的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明具有軌道異物清除裝置的載具依據(jù)一實(shí)施例的外觀立體圖。圖3為本發(fā)明圖2中軌道異物清除裝置所示的A-A'線剖面示意圖。圖4為本發(fā)明軌道異物清除裝置的另一實(shí)施例的透視示意圖。圖5為本發(fā)明圖2中軌道異物清除裝置所示的B-B'線剖面示意圖。 圖號(hào)說明1:軌道異物清除裝置401:輪體100:本體402:第一傳動(dòng)軸10:罩體403:第一轉(zhuǎn)體20:承載部400,:另一從動(dòng)輪組21:清除室401,:另一輪體211:支撐輪402,:另一第三傳動(dòng)軸212:第一單向閉門403,:另一第三轉(zhuǎn)體213:開口501:第一齒輪組件214:黏性膜502:第二齒輪組件22:集氣室600:橫軸221:第二單向閉門601:第三齒輪組件23:集塵室602:第四齒輪組件200:刷具700:風(fēng)扇組201:刷頭701:扇體202:第二傳動(dòng)軸702:第四傳動(dòng)軸203:第二轉(zhuǎn)體703:第四轉(zhuǎn)體300:連動(dòng)組件800:載具300':另一連動(dòng)組件900:立體軌道400:從動(dòng)輪組具體實(shí)施方式
以下將以圖標(biāo)及詳細(xì)說明清楚說明本發(fā)明的精神,如熟悉此技術(shù)的人員 在了解本發(fā)明的實(shí)施例后,當(dāng)可由本發(fā)明所教示的技術(shù),加以改變及修飾,其并不脫離本發(fā)明的精神與范圍。本發(fā)明提供一種軌道異物清除裝置,圖2為具有軌道異物清除裝置1的載具800依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的外觀立體圖,軌道異物清除裝置1連接于載 具800的一側(cè),在本實(shí)施例中,軌道異物清除裝置1設(shè)置于載具800的前側(cè), 載具800例如是無塵室倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)中用以搬移玻璃基板及自動(dòng)取放卡匣的移載 機(jī)(Crane),但不限定,凡無塵室中任何沿軌道移動(dòng)的載具皆可運(yùn)用本發(fā)明的 軌道異物清除裝置1。軌道異物清除裝置1至少包括本體100及多個(gè)從動(dòng)輪組 400(在本實(shí)施例中僅繪示一個(gè)),各從動(dòng)輪組400分別設(shè)置于本體100的兩對(duì) 應(yīng)側(cè),用以分別沿至少具三側(cè)面的一立體軌道900的二對(duì)應(yīng)側(cè)滾動(dòng),以幫助 清除載具800前方的異物。圖3繪示本發(fā)明圖2中軌道異物清除裝置1所示的A-A'線剖面示意圖。 此軌道異物清除裝置1更包括刷具200及至少一連動(dòng)組件300,其中刷具200 樞設(shè)于本體100上,且其刷頭201朝向立體軌道900,并可自由轉(zhuǎn)動(dòng),刷頭 201例如是一圓形刷頭,但不限定,較佳具有一直徑或尺寸實(shí)質(zhì)上與立體軌道 的寬度相同或相近。連動(dòng)組件300于本體100中同時(shí)連接至少一從動(dòng)輪組400 及刷具200,當(dāng)本體100在載具800的帶動(dòng)下,驅(qū)使此等從動(dòng)輪組400沿立體 軌道900的二對(duì)應(yīng)側(cè)滾動(dòng)時(shí),至少一從動(dòng)輪組400經(jīng)連動(dòng)組件300而帶動(dòng)刷 具200于此立體軌道900的表面轉(zhuǎn)動(dòng),以轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)方式,排除此立體軌道 900的表面上的異物。其中上述眾多每一從動(dòng)輪組400均包括一輪體401及一第一傳動(dòng)軸402, 此輪體401固定地設(shè)于該第一傳動(dòng)軸402的一端。于本發(fā)明的第一實(shí)施例中, 與連動(dòng)組件300相配合的從動(dòng)輪組400更包括第一轉(zhuǎn)體403,此第一轉(zhuǎn)體403 固定于第一傳動(dòng)軸402相對(duì)于輪體401的另一端;而上述的刷具200除上述 的刷頭201夕卜,更包括一第二傳動(dòng)軸202及一第二轉(zhuǎn)體203,其中刷頭201固 定地設(shè)于第二傳動(dòng)軸202的一端,而第二轉(zhuǎn)體203固定地設(shè)于該第二傳動(dòng)軸 202相對(duì)于刷頭201的另一端;連動(dòng)組件300可以為例如是皮帶、鏈條或棘帶 等的傳動(dòng)帶,套設(shè)于此第一轉(zhuǎn)體403及第二轉(zhuǎn)體203上。接著,請(qǐng)參閱圖4,圖4為本發(fā)明軌道異物清除裝置1的另一實(shí)施例的透 視示意圖。另一實(shí)施例中,與連動(dòng)組件300相配合的從動(dòng)輪組400,還包括第 一齒輪組件501,第一齒輪組件501固定于第一傳動(dòng)軸402相對(duì)于輪體401的 另一端,而刷具200還包括一第二齒輪組件502,第二齒輪組件502固定地設(shè) 于第二傳動(dòng)軸202相對(duì)于刷頭201的另一端而連動(dòng)組件300包括與第一、 二傳動(dòng)軸402、 202相互垂直的橫軸600,以及橫軸600上的第三齒輪組件601 及第四齒輪組件602,而第一傳動(dòng)軸402上的第一齒輪組件501及第二傳動(dòng)軸 202上的第二齒輪組件502分別與橫軸600上的第三齒輪組件601及第四齒輪 組件602相嚙合,當(dāng)800載具沿立體軌道900移動(dòng)時(shí),本體100在載具800 的帶動(dòng)下,從動(dòng)輪組400的輪體401沿立體軌道900的二對(duì)應(yīng)側(cè)滾動(dòng),此時(shí), 第一齒輪組件501通過第一傳動(dòng)軸402而與輪體401 —起轉(zhuǎn)動(dòng),當(dāng)?shù)谝积X輪 組件501開始轉(zhuǎn)動(dòng),第三齒輪組件601便連動(dòng)第四齒輪組件602及第二齒輪 組件502對(duì)應(yīng)地轉(zhuǎn)動(dòng),進(jìn)而帶動(dòng)第二傳動(dòng)軸202與刷頭201 —起轉(zhuǎn)動(dòng)。其中 上述的各齒輪組件501, 502, 601, 602可分別為一錐形齒輪或斜齒輪。由于本發(fā)明的另一目的是在降低無塵室中間接產(chǎn)生微粒子的污染,因此, 接續(xù)請(qǐng)參閱圖5所示,圖5繪示本發(fā)明圖2中軌道異物清除裝置1所示的B-B' 線剖面示意圖??衫蒙鲜龅挠^念以另一連動(dòng)組件300'帶動(dòng)至少一風(fēng)扇組 700的作動(dòng),在本實(shí)施例中,除了帶動(dòng)刷具200的從動(dòng)輪組400,可由復(fù)數(shù)從 動(dòng)輪組400中的另一從動(dòng)輪組400'來進(jìn)行帶動(dòng)風(fēng)扇組700,另一從動(dòng)輪組 400,可以通過第三轉(zhuǎn)體403'固定于第三傳動(dòng)軸402,相對(duì)于輪體401'的另 一端,風(fēng)扇組700包括扇體701、第四傳動(dòng)軸702及第四轉(zhuǎn)體703,此扇體701 固定地設(shè)于第四傳動(dòng)軸702的一端,而第四轉(zhuǎn)體703可以固定地設(shè)于第四傳 動(dòng)軸702的任意處;而連動(dòng)組件300'為一傳動(dòng)帶,套設(shè)于第三轉(zhuǎn)體403'及 第四轉(zhuǎn)體703上。于上述的實(shí)施例中,任一從動(dòng)輪組400、 400'的傳動(dòng)軸402、 402'可以 不止設(shè)有一轉(zhuǎn)體403、 403,,而由傳動(dòng)軸402、 402'上的其它轉(zhuǎn)體而帶動(dòng)上 述的扇體701或刷頭201轉(zhuǎn)動(dòng)。再次參閱第3、 5圖所示,本體IOO由罩體10及承載部20所組成,承載 部20設(shè)于罩體10中,用以承載上述的組件,并由下至上的方式,區(qū)隔出一 清除室21、 一集氣室22及一集塵室23,而其中清除室21鄰近立體軌道900, 至少容納上述的刷頭201及至少一支撐輪211,各支撐輪211可幫助該軌道異 物清除裝置1于立體軌道900上移動(dòng)的流暢性。集氣室22例如是設(shè)置于清除 室21的上方,具有至少一第一單向閉門212,各第一單向閉門212僅朝集氣 室22開啟,并于開啟時(shí)連通清除室21,用以收集清除室21的氣體。集塵室 23例如是設(shè)置于集氣室22的上方,具有至少一第二單向閉門221,各第二單 向閉門221僅朝該集塵室23開啟,并于開啟時(shí)面對(duì)其中一扇體701而連通集 氣室22,由于扇體701具有多個(gè)僅朝集塵室23輸送氣體的扇葉,如此,當(dāng)扇 體701朝一方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),僅輸送氣體至集塵室23,以供扇體701轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)收集 清除室21氣體中的顆粒。上述軌道異物清除裝置1的本體100可活動(dòng)地移除或連接至載具800的 一側(cè),此載具800例如是一可供承載玻璃基板或自動(dòng)取放卡匣的機(jī)具,當(dāng)載 具800帶動(dòng)本體100前進(jìn),本體100便驅(qū)使所有從動(dòng)輪組400的輪體401沿 立體軌道900的兩對(duì)應(yīng)面滾動(dòng),帶動(dòng)連動(dòng)組件300、 300',并帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的扇 體701及刷頭201轉(zhuǎn)動(dòng),此時(shí),由于刷頭201轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),除了于清除室21中排 出較大異物外,也于清除室21中產(chǎn)生第一氣流,而揚(yáng)起細(xì)小的顆粒,而第一 氣流將使得各第一單向閉門212開啟,送入具細(xì)小顆粒的第一氣流至集氣室 22中。同一時(shí)間下,扇體701朝一方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),便產(chǎn)生第二氣流,而第二氣 流將使得各第二單向閉門221開啟,輸送細(xì)小顆粒至集塵室23,當(dāng)各第二單 向閉門221關(guān)閉后,第二氣流的細(xì)小顆粒便沉淀于集塵室23中。其中為使清除室21中剩余的細(xì)小顆粒不致外逸,上述的罩體10于清除 室21設(shè)有一可供刷頭201伸出的開口 213,而罩體10于清除室21具開口 213 (標(biāo)示于圖3)的一內(nèi)面,披覆有一黏性膜214,如此,當(dāng)刷頭201停止轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí), 清除室21中的揚(yáng)塵將于沉淀后被黏固于黏性膜214上。或者于上述各支撐輪 211上設(shè)有一層黏性膜214,用以沾黏立體軌道900上的細(xì)小顆粒。為避免扇體701朝另一方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),將集氣室22的細(xì)小顆粒會(huì)送至清除 室21中,在此從動(dòng)輪組400、 400,的第一、三轉(zhuǎn)體403、 403,較佳為單向 齒輪,僅朝單一方向轉(zhuǎn)動(dòng), 一旦本體100朝反方向移動(dòng)時(shí),第一、三轉(zhuǎn)體403、 403,便產(chǎn)生空轉(zhuǎn),其扇體701及刷頭201便不會(huì)被帶動(dòng)。本發(fā)明的軌道異物清除裝置1利用可自轉(zhuǎn)的刷頭201加大與立體軌道900 正面接觸的表面積,可有效全面清除立體軌道900上的所有異物,加上扇體 701及集塵室23的設(shè)計(jì)便可降低間接產(chǎn)生微粒子的污染,因此,本發(fā)明完全 不需消耗額外電源,便可達(dá)成上述的各目的,既方便又經(jīng)濟(jì),相當(dāng)具有環(huán)保 的概念。而且本發(fā)明所揭露如上的各實(shí)施例中,并非用以限定本發(fā)明,任何熟習(xí)此 技藝者,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾。
權(quán)利要求
1. 一種軌道異物清除裝置,其特征在于,該裝置包括一本體;一刷具,其樞設(shè)于該本體上;復(fù)數(shù)個(gè)從動(dòng)輪組,分別設(shè)于該本體的兩對(duì)應(yīng)側(cè),用以沿一立體軌道的兩對(duì)應(yīng)面滾動(dòng);以及至少一連動(dòng)組件,其連接至少一從動(dòng)輪組及該刷具;當(dāng)該些從動(dòng)輪組沿該立體軌道滾動(dòng)時(shí),帶動(dòng)該至少一連動(dòng)組件,進(jìn)而連動(dòng)該刷具轉(zhuǎn)動(dòng)。
2. 如權(quán)利要求1所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,該從動(dòng)輪組包括一第一傳動(dòng)軸;一輪體,固定于該第一傳動(dòng)軸上;以及 一第一轉(zhuǎn)體,固定于該第一傳動(dòng)軸上。
3. 如權(quán)利要求2所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,該刷具包括 一第二傳動(dòng)軸;一刷頭,固定于該第二傳動(dòng)軸上;以及 一第二轉(zhuǎn)體,固定于該第二傳動(dòng)軸上。
4. 如權(quán)利要求3所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,該連動(dòng)組件 為一傳動(dòng)帶,該傳動(dòng)帶套設(shè)于該第一轉(zhuǎn)體及該第二轉(zhuǎn)體上。如^又利要求1所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,至少一所 述從動(dòng)輪組包括 一第三傳動(dòng)軸;一輪體,固定于該第三傳動(dòng)軸上;以及 一第三轉(zhuǎn)體,固定于該第三傳動(dòng)軸上;其中,該裝置還包括一風(fēng)扇組和一另一連動(dòng)組件,該風(fēng)扇組包括
5.<image>image see original document page 3</image>一第四傳動(dòng)軸;一扇體,固定于該第四傳動(dòng)軸上; 一第四轉(zhuǎn)體,固定于該第四傳動(dòng)軸上;該另一連動(dòng)組件為一傳動(dòng)帶,套設(shè)于該第三轉(zhuǎn)體及該第四轉(zhuǎn)體上。
6. 如權(quán)利要求4所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,該本體包括: 一罩體;以及一承載部,設(shè)于該罩體中,包括 一清除室,容納該刷頭;一集氣室,設(shè)于該清除室的一側(cè),具有至少一第一單向閉門用以連通 該清除室與該集氣室;以及一集塵室,設(shè)于該集氣室的一側(cè),具有至少一第二單向閉門,用以連 通該集氣室與該集塵室。
7. 如權(quán)利要求5所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,該本體包括一罩體;以及一承載部,設(shè)于該罩體中,包括-一清除室,容納該刷具;一集氣室,容納該風(fēng)扇組,設(shè)于該清除室的一側(cè),具有至少一第一單 向閉門用以連通該清除室與該集氣室;以及一集塵室,設(shè)于該集氣室的一側(cè),具有至少一第二單向閉門,用以連 通該集氣室與該集塵室。
8. 如權(quán)利要求7所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,該扇體具有復(fù)數(shù)個(gè)僅朝該集塵室輸送氣體的扇葉。
9. 如權(quán)利要求5所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,該第一、三 轉(zhuǎn)體為一單向齒輪僅朝單一方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
10. 如權(quán)利要求6所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,該罩體于 該清除室設(shè)有一可供該刷頭伸出的開口 。
11. 如權(quán)利要求6或7所述的軌道異物清除裝置,其特征在于,該罩體披覆有一黏性膜。
12. —種具有軌道異物清除裝置的載具,其特征在于,該載具包括 一機(jī)具,其一側(cè)可供承載物體,并沿一立體軌道運(yùn)動(dòng);以及 一如權(quán)利要求l一ll中任一項(xiàng)所述的軌道異物清除裝置,結(jié)合于該機(jī)具
全文摘要
一種具有軌道異物清除裝置的載具,用以沿一立體軌道移動(dòng)并清除軌道異物,此軌道異物清除裝置安裝于載具的前方,包括有本體、刷具、連動(dòng)組件及從動(dòng)輪組,其中刷具樞設(shè)于本體上面對(duì)立體軌道的方向,而從動(dòng)輪組分別設(shè)于本體的一側(cè),用以沿立體軌道的一側(cè)面滾動(dòng),連動(dòng)組件于本體中同時(shí)連接從動(dòng)輪組及刷具的一端,如此,當(dāng)本體被載具帶動(dòng)而驅(qū)使其從動(dòng)輪組沿該立體軌道滾動(dòng)時(shí),從動(dòng)輪組經(jīng)連動(dòng)組件而帶動(dòng)該刷具轉(zhuǎn)動(dòng),以同時(shí)清除軌道上的異物。
文檔編號(hào)B65G1/04GK101269740SQ200810092878
公開日2008年9月24日 申請(qǐng)日期2008年5月7日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月7日
發(fā)明者彭紹興, 曾彥源, 林高平 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司
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