硅片勻膠烘干操作臺(tái)的制作方法
【專利摘要】硅片勻膠烘干操作臺(tái)，包括操作臺(tái)本體、勻膠機(jī)和烘干裝置，在所述操作臺(tái)本體桌面上設(shè)置有通孔，所述勻膠機(jī)的托盤固定在所述通孔中；所述烘干裝置包括加熱絲、開關(guān)和烘干板，所述開關(guān)設(shè)置在操作臺(tái)本體的桌面一側(cè)，所述加熱絲位于烘干板下方，所述烘干板上表面等間距設(shè)置有若干凸筋。本發(fā)明設(shè)計(jì)合理，操作方便，不需要操作人員頻繁起身。
【專利說明】硅片勻膠烘干操作臺(tái)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種硅片勻膠烘干操作臺(tái)。

【背景技術(shù)】
[0002]在硅片制作工藝中，勻膠是利用高速旋轉(zhuǎn)的離心力將光刻膠涂平，勻膠后會(huì)高溫處理，蒸發(fā)掉其中水分，定型。目前，硅片利用勻膠機(jī)處理后，需要把勻膠后的硅片放到烘干箱內(nèi)烘干，由于勻膠機(jī)一次只能處理一片硅片，處理完后操作人員需要將單片硅片放入烘干箱內(nèi)，需要頻繁起身，操作不方便。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)在硅片勻膠烘干操作不方便的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種操作方便，操作人員不需要頻繁起身的硅片勻膠烘干操作臺(tái)。
[0004]為了解決上述問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:一種硅片勻膠烘干操作臺(tái)，其特征在于:包括操作臺(tái)本體、勻膠機(jī)和烘干裝置，在所述操作臺(tái)本體桌面上設(shè)置有通孔，所述勻膠機(jī)的托盤固定在所述通孔中；所述烘干裝置包括加熱絲、開關(guān)和烘干板，所述開關(guān)設(shè)置在操作臺(tái)本體的桌面一側(cè)，所述加熱絲位于烘干板下方，所述烘干板上表面等間距設(shè)置有若干凸筋。
[0005]進(jìn)一步的，在所述操作臺(tái)本體上設(shè)置有棚罩，棚罩的頂端呈三角形。
[0006]優(yōu)選的，所述勻膠機(jī)開關(guān)為腳踏式開關(guān)。
[0007]本發(fā)明的有益效果是:它將勻膠機(jī)和烘干裝置巧妙的設(shè)計(jì)在操作臺(tái)上，實(shí)現(xiàn)了勻膠和烘干在同一操作臺(tái)操作；烘干板上等間距設(shè)置的凸筋方便硅片的取放；勻膠機(jī)采用腳踏式開關(guān)，設(shè)計(jì)合理，操作方便；三角形棚罩可防止蒸汽凝結(jié)后落到硅片上。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的說明:
[0009]圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為本發(fā)明的烘干板側(cè)視圖。
[0011]圖中，1本體、12棚罩、2勻膠機(jī)、21腳踏式開關(guān)、3烘干裝置、31開關(guān)、32烘干板、321凸筋。

【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)說明:
[0013]如圖1和圖2所示，本發(fā)明的具體實(shí)施包括操作臺(tái)本體1、勻膠機(jī)2和烘干裝置3。
[0014]在所述操作臺(tái)本體1的桌面上設(shè)置有通孔，所述勻膠機(jī)2的托盤固定在所述通孔中，勻膠機(jī)2的托盤上端與桌面平齊，勻膠機(jī)2的機(jī)體固定在操作臺(tái)本體1的桌面的下方，優(yōu)選的，所述勻膠機(jī)2的開關(guān)為腳踏式開關(guān)21。所述烘干裝置3包括加熱絲、開關(guān)31和烘干板32，所述開關(guān)31設(shè)置在操作臺(tái)本體I的桌面一側(cè)。所述加熱絲位于烘干板32下方，力口熱絲與電熱爐中的加熱絲相同，加熱絲對(duì)烘干板加熱，實(shí)現(xiàn)對(duì)烘干板32上的硅片烘干。所述烘干板32上表面等間距設(shè)置有若干凸筋321，烘干板32優(yōu)選為鋁板，其上面的凸筋321可以橫向設(shè)置，也可以縱向設(shè)置，圖1和圖2中為縱向設(shè)置。在圖1中，勻膠機(jī)2設(shè)置了兩臺(tái)，它們用一個(gè)腳踏式開關(guān)21控制，當(dāng)然，勻膠機(jī)2也可以設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)。
[0015]為了防止灰塵落入勻膠的硅片上，在所述操作臺(tái)本體I上設(shè)置有棚罩12。為了防止在烘干過程中蒸汽在棚罩12上凝結(jié)后滴落到硅片上，棚罩12的頂端為三角形結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，與常見的三角形房頂相同，這樣凝結(jié)的水珠會(huì)沿著房頂落到一側(cè)。棚罩12優(yōu)選的采用透明玻璃制成。
[0016]使用時(shí)，工作人員坐在操作臺(tái)本體I前方，踩下腳踏式開關(guān)21，開始勻膠，勻膠完成后直接將硅片按順序放在烘干板21上開始烘干。
[0017]以上所述只是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也被視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片勻膠烘干操作臺(tái)，其特征在于:包括操作臺(tái)本體、勻膠機(jī)和烘干裝置，在所述操作臺(tái)本體桌面上設(shè)置有通孔，所述勻膠機(jī)的托盤固定在所述通孔中；所述烘干裝置包括加熱絲、開關(guān)和烘干板，所述開關(guān)設(shè)置在操作臺(tái)本體的桌面一側(cè)，所述加熱絲位于烘干板下方，所述烘干板上表面等間距設(shè)置有若干凸筋。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片勻膠烘干操作臺(tái)，其特征在于:在所述操作臺(tái)本體上設(shè)置有棚罩，棚罩的頂端呈三角形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片勻膠烘干操作臺(tái)，其特征在于:所述勻膠機(jī)開關(guān)為腳踏式開關(guān)。
【文檔編號(hào)】B05C11/02GK104353591SQ201410612630
【公開日】2015年2月18日 申請(qǐng)日期:2014年11月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月4日
【發(fā)明者】李佳珊 申請(qǐng)人:李佳珊