高硬度拋光液的制作方法
【專利摘要】一種高硬度拋光液，其溶劑親水的去離子水，且還含有：10%烷基醇酰胺磷酸酯；5~10%的活性劑；固體含量30~35%的SiO2膠體粒子，且所述SiO2膠體粒子的直徑為50nm；且pH值為2.5，其可溶性好，拋光效率高，適用于高硬度的LED襯底或硅片的加工。
【專利說明】高硬度拋光液
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明有關(guān)于LED、電子行業(yè)，特別是對(duì)其中高硬度的襯板拋光的拋光液。
【背景技術(shù)】
[0002]作為電子行業(yè)的一個(gè)重要分支，LED產(chǎn)業(yè)近年來得到了飛速的發(fā)展。LED能使發(fā)光效率提高近10倍，壽命是傳統(tǒng)燈具的20倍以上，兼有綠色、環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)。由于其高效、環(huán)保的產(chǎn)品得到了市場(chǎng)的廣泛認(rèn)可和追捧。
[0003]其中作為L(zhǎng)ED產(chǎn)品的核心和附加值最大的部分，徹底材料對(duì)LED光源的穩(wěn)定性和壽命起到重要的決定作用。也是我國(guó)在LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要方向。目前能用于商品化的襯底只有兩種，即藍(lán)寶石和碳化硅襯底。
[0004]藍(lán)寶石，Sapphire，是剛玉寶石中除紅色的紅寶石之外，其它顏色剛玉寶石的通稱，主要成分是氧化鋁(Al2O3X目前全球80%LED企業(yè)采用藍(lán)寶石襯底，具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，強(qiáng)度高、硬度大、耐沖刷，可在接近200(TC高溫的惡劣條件下工作。但在加工過程中需要對(duì)其進(jìn)行減薄和拋光。較為常見的工藝對(duì)硅等半導(dǎo)體材料較為流行和有效，但藍(lán)寶石的硬度極高，普通磨料難以對(duì)其進(jìn)行加工。在對(duì)藍(lán)寶石襯底表面進(jìn)行減薄和粗磨后，表面不可避免的有一些或大或小的劃痕。
[0005]因此，需要一種拋光液用于對(duì)高硬質(zhì)基材進(jìn)行蝕刻、拋光，在提高拋光速率的同時(shí)保證表面平整度以滿足工業(yè)上對(duì)藍(lán)寶石拋光速率和平整度的要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種高硬度拋光液，其溶劑親水的去離子水，且還含有:
10%烷基醇酰胺磷酸酯；
5~10%的活性劑；
固體含量30-35%的SiO2膠體粒子，且所述SiO2膠體粒子的直徑為50nm ;且 pH值為2.5。
[0007]本發(fā)明采用是一種SiO2膠體粒子的拋光劑，能夠?qū)⑤^為硬的電子工業(yè)中的基板或LED襯底進(jìn)行有效的研磨、去污和拋光。
【具體實(shí)施方式】
[0008]本發(fā)明提供一種高硬度拋光液，其溶劑親水的去離子水，且還含有:
10%烷基醇酰胺磷酸酯；
5~10%的活性劑；
固體含量30-35%的SiO2膠體粒子，且所述SiO2膠體粒子的直徑為50nm ;且 pH值為2.5。
[0009]本發(fā)明采用以高純度硅粉為原料，SiO2膠體粒子，經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。對(duì)電子行業(yè)中的半導(dǎo)體硅片或LED行業(yè)中的藍(lán)寶石襯底進(jìn)行有效的研磨、去污和拋光。
[0010]作為本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施例,所述拋光液中Cu和Fe的總含量小于50ppm。這樣的純度能夠有效的防止重金屬對(duì)基片或襯底的污染，保證設(shè)計(jì)線路的完整和抗干擾。[0011]同時(shí)，作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，本拋光劑是酸性工作環(huán)境，且是通過HCl調(diào)整所述拋光液的PH值。其對(duì)半導(dǎo)體及其所覆金屬有良好的去除功能，同時(shí)采用氧化硅作為進(jìn)行拋光，能夠達(dá)到光亮、平整的技術(shù)要求。
[0012]作為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述拋光液被用于拋光LED的藍(lán)寶石襯底或半導(dǎo)體硅片。
[0013]作為本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例，所述拋光液中還具有1%的水溶性苯駢三氮唑。
[0014]應(yīng)了解本發(fā)明所要保護(hù)的范圍不限于非限制性實(shí)施方案，應(yīng)了解非限制性實(shí)施方案僅僅作為實(shí)例進(jìn)行說明。本申請(qǐng)所要要求的實(shí)質(zhì)的保護(hù)范圍更體現(xiàn)于獨(dú)立權(quán)利要求提供的范圍，以及其從屬權(quán)利要求。
【權(quán)利要求】
1.一種高硬度拋光液，其溶劑親水的去離子水，且還含有: 10%烷基醇酰胺磷酸酯； 5~10%的活性劑； 固體含量30-35%的SiO2膠體粒子，且所述SiO2膠體粒子的直徑為50nm ;且 pH值為2.5。
2.如權(quán)利要求1所述的拋光液，其特征在于:所述拋光液中Cu和Fe的總含量小于50ppmo
3.如權(quán)利要求1所述的拋光液，其特征在于:通過HCl調(diào)整所述拋光液的pH值。
4.如權(quán)利要求1所述的拋光液，其特征在于:所述拋光液被用于拋光LED的藍(lán)寶石襯底或半導(dǎo)體硅片。
5.如權(quán)利要求1所述的拋光液 ，其特征在于:所述拋光液中還具有1%的水溶性苯駢三氮唑。
【文檔編號(hào)】C09G1/02GK103614080SQ201310538565
【公開日】2014年3月5日 申請(qǐng)日期:2013年11月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月5日
【發(fā)明者】夏澤軍 申請(qǐng)人:昆山宏凌電子有限公司