專利名稱：擴散源噴涂機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴散源噴涂機。
背景技術(shù)：
在晶體硅太陽電池制造過程中，通過擴散工藝形成PN結(jié)是非常關(guān)鍵的步驟。擴 散工藝包括鏈式擴散或管式擴散，鏈式擴散具有工藝簡單高效的優(yōu)點。由于業(yè)界通常使用 P型摻雜的硅片制造晶體硅太陽電池，在鏈式擴散設(shè)備中進行擴散制結(jié)時，通常先通過擴散 源噴涂機在硅片表面噴涂磷酸水溶液?，F(xiàn)有技術(shù)中，擴散源噴涂機采用滾軸傳動，在滾軸上 套裝有一定數(shù)量的用于支撐硅片的滾輪環(huán)，滾輪環(huán)采用橡膠材料制成，滾軸轉(zhuǎn)動時，滾輪環(huán) 通過與硅片之間的摩擦力驅(qū)動硅片向前勻速運動，同時硅片上方的噴頭將磷酸水溶液均勻 噴涂在硅片上。在具體生產(chǎn)過程中，前后兩塊硅片之間難免會存在間隙，會有少量的磷酸噴 到滾軸上的橡膠滾輪環(huán)上，隨后傳動來的硅片的背面會粘附有少量磷酸；硅片經(jīng)過后續(xù)的 PECVD (等離子體增強化學(xué)氣相沉積)鍍氮化硅膜工序后，硅片背面粘附有磷酸的部位會產(chǎn) 生白斑，導(dǎo)致硅片因外觀不合格而降級，造成大量返工，嚴重影響生產(chǎn)，增加了硅片的生產(chǎn) 成本。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種擴散源噴涂機，所 述噴涂機的滾輪環(huán)不易粘附磷酸，可以有效克服硅片背面產(chǎn)生白斑的問題，并提高硅片外 觀合格率。按照本實用新型提供的技術(shù)方案，擴散源噴涂機，包括滾軸，滾軸上套裝有用于支 撐和傳送硅片的滾輪環(huán)，所述滾輪環(huán)采用氟素塑料制成。優(yōu)選地，所述氟素塑料包括聚四氟乙烯和聚偏氟乙烯。優(yōu)選地，所述擴散源為磷酸水溶液。優(yōu)選地，所述滾輪環(huán)依靠自身彈性箍緊在滾軸上。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，優(yōu)點在于滾輪環(huán)采用氟素塑料制成，磷酸不易粘附 在滾輪環(huán)上，硅片背面不易粘附上磷酸，硅片經(jīng)PECVD鍍氮化硅膜工序后，不會在背面產(chǎn)生 白斑，解決了硅片因外觀不合格而導(dǎo)致的降級現(xiàn)象，提高了所產(chǎn)出太陽電池的成品率。
圖1為擴散源噴涂機的滾軸結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合具體附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。本實用新型的擴散源噴涂機用于在硅片進鏈式擴散爐前向硅片上噴涂擴散源，如 圖1所示擴散源噴涂機采用滾軸1傳動，滾軸1上套裝有一定數(shù)量的用于支撐和傳送硅片3的滾輪環(huán)2，滾軸1轉(zhuǎn)動時，滾輪環(huán)2通過與硅片3之間的摩擦力驅(qū)動硅片3向前勻速運 動，同時硅片3上方的噴頭噴出的磷酸水溶液均勻分布在硅片3上。 本實用新型中的滾輪環(huán)2采用氟素塑料制成，滾輪環(huán)2依靠自身彈性箍緊在滾軸 1上。所述氟素塑料為聚四氟乙烯或聚偏氟乙烯等。當少量的磷酸從前后兩塊硅片3之間 的間隙噴到滾輪環(huán)2上時，磷酸不易吸附在滾輪環(huán)2上，隨后傳動來的硅片3的背面基本不 會粘附磷酸 ’硅片3經(jīng)過后續(xù)的PECVD鍍氮化硅膜工序后，不會在背面產(chǎn)生白斑，解決了硅 片3因外觀不合格而導(dǎo)致的降級現(xiàn)象，降低了生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求1.擴散源噴涂機，包括滾軸(1)，滾軸(1)上套裝有用于支撐和傳送硅片(3)的滾輪環(huán) (2)，其特征在于所述滾輪環(huán)(2)采用氟素塑料制成。
2.如權(quán)利要求1所述的擴散源噴涂機，其特征在于所述擴散源為磷酸水溶液。
3.如權(quán)利要求1所述的擴散源噴涂機，其特征在于所述滾輪環(huán)(2)依靠自身彈性箍緊 在滾軸(1)上。
專利摘要本實用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴散源噴涂機。按照本實用新型提供的技術(shù)方案，擴散源噴涂機包括滾軸，滾軸上套裝有用于支撐和傳送硅片的滾輪環(huán)，所述滾輪環(huán)采用氟素塑料制成。本實用新型中的滾輪環(huán)采用氟素塑料制成，磷酸不易粘附在滾輪環(huán)上，硅片背面不易粘附上磷酸，硅片經(jīng)PECVD鍍氮化硅膜工序后，不會在背面產(chǎn)生白斑，解決了硅片因外觀不合格而導(dǎo)致的降級現(xiàn)象，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號B05D7/24GK201921782SQ20112000252
公開日2011年8月10日 申請日期2011年1月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月6日
發(fā)明者左凱峰, 陳彥博, 高琦 申請人:無錫尚德太陽能電力有限公司