專利名稱:一種氧化鋁拋光液配置裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型屬于拋光液加工裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種氧化鋁拋光液配置裝置，其特征在于：所述研缽固定于所述固定架上，所述研磨輥的下端設(shè)置于研缽內(nèi)并且其上端與第一電機相連，所述進液管的一端穿過所述罐體設(shè)置于研缽的上方，所述第二電機固定于罐體的底部，所述攪拌軸設(shè)置于罐體內(nèi)部，所述攪拌軸的一端與所述第二電機相連并且其另一端與攪拌葉相連，所述攪拌葉位于固定架下方，所述排液管的一端與罐體的底部連通并且其另一端與集液罐連通，所述排液管上固定有過濾器、第一閥門，所述緩沖罐位于集液罐上方，所述第一連接管的一端與集液罐上端相連并且其另一端與緩沖罐下端相連，所述第二連接管的一端與抽氣泵相連并且其另一端與緩沖罐的上端相連。
【專利說明】
一種氧化鋁拋光液配置裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型屬于拋光液加工裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種氧化鋁拋光液配置裝置。【背景技術(shù)】
[0002]拋光液是一種不含任何硫、磷、氯添加劑的水溶性拋光劑，拋光液具有良好的去油污、防銹、清洗和增光性能，并能使金屬制品超過原有的光澤。拋光液性能穩(wěn)定、無毒，對環(huán)境無污染等作用，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體加工過程中。氧化鋁拋光液是一種常用的拋光液，現(xiàn)有的氧化鋁拋光液配置裝置只起到混合溶劑和氧化鋁的作用，無法對氧化鋁進行研磨，功能較為單一。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型針對上述技術(shù)問題，提供了一種具有混合功能和研磨功能的氧化鋁拋光液配置裝置。
[0004]本實用新型所采用的技術(shù)方案為:一種氧化鋁拋光液配置裝置，其特征在于:包括罐體、第一電機、固定架、研缽、研磨輥、第二電機、攪拌軸、進液管、排液管、集液罐、緩沖罐、 抽氣栗、第一連接管、第二連接管，所述罐體的頂部設(shè)置有開啟蓋，所述第一電機固定于所述開啟蓋上方，所述固定架固定于所述罐體上部，所述研缽固定于所述固定架上，所述研磨輥的下端設(shè)置于研缽內(nèi)并且其上端與第一電機相連，所述進液管的一端穿過所述罐體設(shè)置于所述研缽的上方，所述第二電機固定于所述罐體的底部，所述攪拌軸設(shè)置于所述罐體內(nèi)部，所述攪拌軸的一端與所述第二電機相連并且其另一端與攪拌葉相連，所述攪拌葉位于固定架下方，所述排液管的一端與罐體的底部連通并且其另一端與集液罐連通，所述排液管上固定有過濾器、第一閥門，所述緩沖罐位于所述集液罐上方，所述第一連接管的一端與集液罐上端相連并且其另一端與緩沖罐下端相連，所述第一連接管上固定有第二閥門，所述第二連接管的一端與抽氣栗相連并且其另一端與緩沖罐的上端相連，所述第二連接管上固定有第三閥門。
[0005]所述第一閥門、第二閥門、第三閥門均為逆止閥。
[0006]所述第一電機、第二電機均為伺服電機。
[0007]所述研磨輥的下端與研磨圈相連，所述研磨圈貼合研缽內(nèi)部設(shè)置。
[0008]本實用新型的有益效果為:1、本實用新型中將氧化鋁放置于研缽中，通過研磨輥進行研磨，研磨完畢后，進液管進溶劑，溶劑將氧化鋁沖洗入罐體內(nèi)，通過第二電機帶動罐體旋轉(zhuǎn)進行混合，具有混合功能和研磨功能，功能更為全面。[〇〇〇9] 2、罐體的頂部設(shè)置有開啟蓋，加料方便。
[0010]3、攪拌葉的設(shè)置，增大攪拌力度，混合更加均勻。
[0011]4、過濾器用于濾除大顆粒懸浮物，得到的產(chǎn)品更加均一。[〇〇12 ]5、通過充氣栗進行抽氣，減小集液罐內(nèi)的壓力，加快過濾速度。
[0013]6、緩沖罐的設(shè)置，防止溶液抽入抽氣栗中，使用更加安全。
[0014]7、研磨圈的設(shè)置，加大與研缽的接觸面積，提高研磨速度?！靖綀D說明】
[0〇15]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖?！揪唧w實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明:圖中，1-罐體，2-第一電機，3-固定架， 4-研缽，5-研磨輥，6-第二電機，7-攪拌軸，8-進液管，9-排液管，10-集液罐，11-緩沖罐，12-抽氣栗，13-第一連接管，14-第二連接管，15-開啟蓋，16-攪拌葉，17-過濾器，18-第一閥門， 19-第二閥門，20-第三閥門，21-研磨圈。實施例
[0017]如圖1所示，一種氧化鋁拋光液配置裝置，包括罐體1、第一電機2、固定架3、研缽4、 研磨輥5、第二電機6、攪拌軸7、進液管8、排液管9、集液罐10、緩沖罐11、抽氣栗12、第一連接管13、第二連接管14,罐體1的頂部設(shè)置有開啟蓋15,第一電機2固定于開啟蓋15上方，固定架3固定于罐體1上部，研缽4固定于固定架3上，研磨輥5的下端設(shè)置于研缽4內(nèi)并且其上端與第一電機2相連，進液管8的一端穿過罐體1設(shè)置于研缽4的上方，第二電機6固定于罐體1 的底部，攪拌軸7設(shè)置于罐體1內(nèi)部，攪拌軸7的一端與第二電機6相連并且其另一端與攪拌葉16相連，攪拌葉16位于固定架3下方，排液管9的一端與罐體1的底部連通并且其另一端與集液罐10連通，排液管9上固定有過濾器17、第一閥門18,緩沖罐11位于集液罐10上方，第一連接管13的一端與集液罐10上端相連并且其另一端與緩沖罐11下端相連，第一連接管13上固定有第二閥門19,第二連接管14的一端與抽氣栗12相連并且其另一端與緩沖罐11的上端相連，第二連接管14上固定有第三閥門20。[〇〇18] 第一閥門18、第二閥門19、第三閥門20均為逆止閥。[0〇19]第一電機2、第二電機6均為伺服電機。
[0020]研磨輥5的下端與研磨圈21相連，研磨圈21貼合研缽4內(nèi)部設(shè)置。
[0021]以上對本實用新型的1個實施例進行了詳細說明，但所述內(nèi)容僅為本實用新型的較佳實施例，不能被認為用于限定本實用新型的實施范圍。凡依本實用新型申請范圍所作的均等變化與改進等，均應(yīng)仍歸屬于本實用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種氧化鋁拋光液配置裝置，其特征在于:包括罐體、第一電機、固定架、研缽、研磨 輥、第二電機、攪拌軸、進液管、排液管、集液罐、緩沖罐、抽氣栗、第一連接管、第二連接管， 所述罐體的頂部設(shè)置有開啟蓋，所述第一電機固定于所述開啟蓋上方，所述固定架固定于 所述罐體上部，所述研缽固定于所述固定架上，所述研磨輥的下端設(shè)置于研缽內(nèi)并且其上 端與第一電機相連，所述進液管的一端穿過所述罐體設(shè)置于所述研缽的上方，所述第二電 機固定于所述罐體的底部，所述攪拌軸設(shè)置于所述罐體內(nèi)部，所述攪拌軸的一端與所述第 二電機相連并且其另一端與攪拌葉相連，所述攪拌葉位于固定架下方，所述排液管的一端 與罐體的底部連通并且其另一端與集液罐連通，所述排液管上固定有過濾器、第一閥門，所 述緩沖罐位于所述集液罐上方，所述第一連接管的一端與集液罐上端相連并且其另一端與 緩沖罐下端相連，所述第一連接管上固定有第二閥門，所述第二連接管的一端與抽氣栗相 連并且其另一端與緩沖罐的上端相連，所述第二連接管上固定有第三閥門。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氧化鋁拋光液配置裝置，其特征在于:所述第一閥門、第 二閥門、第三閥門均為逆止閥。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氧化鋁拋光液配置裝置，其特征在于:所述第一電機、第 二電機均為伺服電機。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氧化鋁拋光液配置裝置，其特征在于:所述研磨輥的下端 與研磨圈相連，所述研磨圈貼合研缽內(nèi)部設(shè)置。
【文檔編號】C09G1/02GK205710554SQ201620309073
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年4月14日
【發(fā)明人】不公告發(fā)明人
【申請人】天津西美科技有限公司