專利名稱：負(fù)性感光樹脂組合物和使用該組合物的顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種負(fù)性感光樹脂組合物，進(jìn)一步具體地涉及一種負(fù)性感光樹脂組合物，其具有高感光度、高分辨率、高耐熱性和基于曝光后烘干(PEB)的寬處理邊緣、顯像等，和被優(yōu)選用于制造LCD(液晶顯示器)面板的液晶顯示表面，此外用于制造有機(jī)EL顯示器的電極絕緣材料等。此外，本發(fā)明涉及一種含有該負(fù)性感光樹脂組合物的硬化基質(zhì)作為結(jié)構(gòu)材料的顯示器。
背景技術(shù)：
為了制造LCD面板的液晶顯示表面，迄今為止各種正性感光或負(fù)性感光樹脂組合物(光刻膠)被用作抗蝕刻、抗離子注入或抗電鍍材料等，用于形成顯示電極、電線、薄膜半導(dǎo)體、彩色濾光片等。此外，通過這些輻射敏感樹脂組合物的圖像(pattern wise)光硬化獲得的硬化基質(zhì)被用于液晶顯示器的結(jié)構(gòu)材料。這些輻射敏感樹脂組合物的用途不只限于液晶顯示器，為了相似的目的還被應(yīng)用到顯示器如EL顯示器。近年來，用于LCD面板制備的大尺寸的母體玻璃一直被改進(jìn)，同時(shí)還需要在顯示表面上的圖形高度微型化。另一方面，為了響應(yīng)微型化、高密度和設(shè)備的高驅(qū)動(dòng)速度，顯示的多功能化和低成本的需要，在液晶顯示設(shè)備中，需要集成技術(shù)(在面板上的系統(tǒng))以在同一基質(zhì)上形成液晶屏幕和周圍的電路。而且，為了適應(yīng)這些需要，使用低溫多晶硅而不是無定性硅作為半導(dǎo)體材料的TFT液晶面板被人們所關(guān)注。于是，在使用低溫多晶硅的LCD面板中，如上面提到的，也需要制備大尺寸的LCD面板。
然而，在采用低溫多晶硅做大尺寸LCD面板時(shí)，據(jù)說在離子注入時(shí)在抗蝕劑上的負(fù)荷變重，換句話說，基質(zhì)溫度的升高變大。據(jù)說在離子注入時(shí)通常施加到抗蝕劑表面上的溫度為300℃或更高。因?yàn)槠駷橹箲?yīng)用過的光刻膠對(duì)這樣的溫度沒有抵抗力，必須通過降低離子注入溫度來降低該反應(yīng)條件。為了進(jìn)一步加強(qiáng)離子反應(yīng)條件，需要更耐熱的光刻膠，另外需要加熱時(shí)圖形幾乎不變形。以這樣的方式，通過增加光刻膠的耐熱性，離子反應(yīng)條件能被加強(qiáng)，并且具有更高性能的TFT元件的實(shí)現(xiàn)成為可能。因?yàn)樵诟吣芟碌碾x子注入成為可能，所以生產(chǎn)流程時(shí)間能被縮短。因此認(rèn)為有高耐熱性、高感光度、高分辨率和良好的圖形形狀的光刻膠變得越來越必需。
然而迄今為止，通常被用作光刻膠的環(huán)化的聚異戊二烯或酚醛清漆類的光刻膠材料，有最多約150℃的耐熱性上限，當(dāng)超過該限制溫度時(shí)，發(fā)生圖形下垂(pattern lappet)或該圖形線寬的改變。因此這些光刻膠材料不應(yīng)被應(yīng)用于需要高溫耐熱性的方法中。從這一觀點(diǎn)出發(fā)，進(jìn)行了將感光性賦予被認(rèn)為是耐熱的環(huán)狀烯烴樹脂的試驗(yàn)。例如，人們一直推薦一種負(fù)性感光光刻膠，它是由通過降冰片稀衍生物的開環(huán)聚合制備的聚合物，與芳族雙偶氮化合物(bisazide compoud)配制而成(日本第111240/1985號(hào)發(fā)明專利公開)；一種負(fù)性感光光刻膠，它是由通過降冰片稀衍生物的開環(huán)聚合制備的聚合物，同感光聚合引發(fā)劑、光敏劑和共聚單體配制而成(日本第23618/1986號(hào)發(fā)明專利公開)，等等。而且人們一直推薦負(fù)性感光光刻膠，如酚醛清漆型熱固性樹脂(日本第178951/1993號(hào)發(fā)明專利公開)和含有環(huán)狀烯烴樹脂和芳族雙偶氮化合物(日本第92668/1995號(hào)發(fā)明專利公開)。在任一種情況下，耐熱性都被改進(jìn)了，然而這并不夠。因此一直需要進(jìn)一步的改進(jìn)。
另一方面，作為減少酚醛清漆樹脂低分子量組份比例的方法，分餾處理方法是有代表性的一種。報(bào)道了使用通過分餾方法處理過的酚醛清漆樹脂的負(fù)性感光光刻膠，該技術(shù)通過將雙偶氮化合物加到具有特殊重均分子量和分散性的酚醛清漆樹脂中，來獲得具有優(yōu)良的耐干蝕刻和分辨率的負(fù)性感光抗蝕劑(日本第86831/1982號(hào)發(fā)明專利公開)；還報(bào)道了一種抗蝕劑，其特征在于堿溶性樹脂是具有窄分子量分布的氫化酚醛樹脂(日本第44061/1996號(hào)發(fā)明專利公開)等。在方法依賴性方面，這些不是特別完善，一直需要進(jìn)一步的改進(jìn)。此外，在日本第292191/2000號(hào)發(fā)明專利公開中，已報(bào)道了使用通過薄膜蒸餾方法處理過的酚醛清漆樹脂的正性感光光刻膠作為堿溶性樹脂，然而沒有公開負(fù)性感光抗蝕劑。
如上所述，在迄今為止公開過的負(fù)性感光光刻膠中，當(dāng)超過200℃的溫度被施加到已有圖形的光刻膠上時(shí)，因?yàn)槿鄙倌蜔嵝园l(fā)生圖形下垂或該圖形線寬的改變。
考慮到這些情況，本發(fā)明的目的是提供一種沒有上述問題的負(fù)性感光樹脂組合物，這意味著，它具有高耐熱性、高感光度和高分辨率，能形成具有良好形狀的圖形，此外在尺寸準(zhǔn)確性方面幾乎沒有方法依賴性。
本發(fā)明的發(fā)明者發(fā)現(xiàn)一種負(fù)性感光樹脂組合物，和迄今為止已公開的負(fù)性感光樹脂組合物相比，其具有更高感光度和更寬的圖像處理邊緣，特別是具有高的耐熱性；該負(fù)性感光樹脂組合物中包括一種堿溶性酚醛清漆樹脂、一種交聯(lián)劑和一種酸產(chǎn)生劑；可以通過使用具有特定分子量分布的酚醛清漆樹脂來獲得該負(fù)性感光樹脂組合物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種負(fù)性感光樹脂組合物，其包括一種堿溶性酚醛清漆樹脂、一種交聯(lián)劑和一種光致酸產(chǎn)生劑，其中上述的堿溶性酚醛清漆樹脂是通過分餾處理的，通過聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)物測量，具有1,000～10,000的重均分子量，且在樹脂中分子量為500以下包括500的部分為該抗蝕劑組合物的5重量％或更少。
本發(fā)明還涉及一種含有上述負(fù)性感光樹脂組合物的硬化物質(zhì)作為結(jié)構(gòu)材料的顯示設(shè)備。
本發(fā)明的詳細(xì)描述在下文中，將進(jìn)一步詳細(xì)描述本發(fā)明。
用在本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物中的堿溶性酚醛清漆樹脂，可通過將酚類的一種或它們的混合物，和醛如福爾馬林的縮聚獲得。
作為這里使用的酚，可以舉例說明，例如，苯酚、對(duì)甲苯酚、間甲苯酚、鄰甲苯酚、2，3-二甲基苯酚、2，4-二甲基苯酚、2，5-二甲基苯酚、2，6-二甲基苯酚、3，4-二甲基苯酚、3，5-二甲基苯酚、2，3，4-三甲基苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、3，4，5-三甲基苯酚、2，4，5-三甲基苯酚、亞甲基雙酚、亞甲基-雙-對(duì)甲苯酚、間苯二酚、鄰苯二酚、2-甲基間苯二酚、4-甲基間苯二酚、鄰-氯苯酚、間-氯苯酚、對(duì)-氯苯酚、2，3-二氯苯酚、間-甲氧基苯酚、對(duì)-甲氧基苯酚、對(duì)-丁氧基苯酚、鄰-乙氧基苯酚、間-乙氧基苯酚、對(duì)-乙氧基苯酚、2，3-二乙基苯酚、2，5-二乙基苯酚、對(duì)異丙基苯酚、α-萘酚、β-萘酚等等。這些可以單獨(dú)使用或者它們的兩種或多種混合使用。
除福爾馬林外的醛，可以舉例說明多聚甲醛、乙醛、苯甲醛、羥基苯甲醛、氯代乙醛等。這些可以單獨(dú)使用或它們的兩種或多種混合使用。
用在本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物中的堿溶性酚醛清漆樹脂的重均分子量，通過聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)物測得，優(yōu)選為1,000～10,000，更優(yōu)選為2,000～6,000；而且在樹脂中，分子量為500以下包括500的組份的重量比占該組合物的總重量的5重量％或更少，優(yōu)選3％或更少。
具有上述分子量的堿溶性酚醛清漆樹脂是通過對(duì)酚醛清漆樹脂的分餾處理而獲得的，該酚醛清漆樹脂通過迄今為止已應(yīng)用過的方法合成。堿溶性酚醛清漆樹脂的分餾處理方法可以在任何一種公知方法中進(jìn)行，包括具有代表性方法的酚醛清漆樹脂液-液分餾，該方法使用對(duì)該樹脂的組份具有不同溶解性的兩種不同的溶劑；通過離心分離除去低分子量組份的方法；通過薄膜蒸餾方法進(jìn)行的分餾處理，等。在它們中優(yōu)選薄膜蒸餾方法。
用在本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物中的交聯(lián)劑包括低分子量交聯(lián)劑，例如，蜜胺、苯并胍胺、脲或異氰酸酯化合物或含多官能環(huán)氧基的化合物，和高分子量的交聯(lián)劑，例如，烷氧基烷基化氨基樹脂，如作為優(yōu)選交聯(lián)劑的烷氧基烷基化蜜胺樹脂或烷氧基烷基化脲樹脂。
上述提到的蜜胺化合物包括例如，蜜胺、甲氧基甲基化蜜胺、乙氧基甲基化蜜胺、丙氧基甲基化蜜胺、丁氧基甲基化蜜胺、六甲醇蜜胺等。苯并胍胺化合物包括，例如，苯并胍胺、甲基化苯并胍胺等；脲化合物包括，例如，脲、單甲醇化脲、二甲醇化脲、烷氧基亞甲基脲、N-烷氧基亞甲基脲、亞乙基脲、亞乙基脲羧酸、四(甲氧基甲基)甘脲(glycol uryl)等；和異氰酸酯化合物包括，例如，六亞甲基二異氰酸酯、1，4-環(huán)己基二異氰酸酯、二甲苯二異氰酸酯、雙異氰酸酯甲基環(huán)己烷、雙異氰酸酯甲基苯、亞乙基二異氰酸酯等。
優(yōu)選在一個(gè)分子中包含一種或多種苯環(huán)或雜環(huán)以及兩個(gè)或多個(gè)環(huán)氧基的含多官能環(huán)氧基的化合物。作為含多官能環(huán)氧基的化合物，例如提出雙酚丙酮縮水甘油醚、苯酚酚醛清漆環(huán)氧樹脂、甲酚酚醛清漆環(huán)氧樹脂、異氰脲酸三縮水甘油酯、間-二甲苯二胺四縮水甘油酯、1，3-雙(氨基乙基)環(huán)己烷四縮水甘油酯、四苯基縮水甘油醚乙烷、三苯基縮水甘油醚乙烷、雙酚六氟丙酮二縮水甘油醚、4，4’-雙(2，3-環(huán)氧丙氧基)-辛氟二苯、對(duì)-氨基苯酚三縮水甘油酯、甲基二甲苯二胺(methaxylenediamine)四縮水甘油酯等。
而且，烷氧基烷基化蜜胺樹脂或烷氧基烷基化脲樹脂的實(shí)例包括甲氧基甲基化蜜胺樹脂、乙氧基甲基化蜜胺樹脂、丙氧基甲基化蜜胺樹脂、丁氧基甲基化蜜胺樹脂、甲氧基甲基化脲樹脂、乙氧基甲基化脲樹脂、丙氧基甲基化脲樹脂、丁氧基甲基化脲樹脂等。
這些交聯(lián)劑可以單獨(dú)使用，或它們的兩種或多種混合使用，且它們通常以每100重量份堿溶性樹脂2～50重量份的量加入，優(yōu)選5～30重量份。
任何一種通過輻射的光線產(chǎn)生酸的化合物都能被用作光致酸產(chǎn)生劑，并用于本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物。作為光致酸產(chǎn)生劑，例如提出迄今為止已經(jīng)用作化學(xué)增強(qiáng)抗蝕劑的光致酸產(chǎn)生劑。作為光致酸產(chǎn)生劑，舉例說明，有鎓鹽如碘鎓鹽、硫鎓鹽、重氮鹽、銨鹽、吡啶鎓鹽等；含鹵素的化合物如含有鹵代烷基的烴化合物、含有鹵代烷基的雜環(huán)化合物(鹵代甲基三嗪衍生物等)等；疊氮酮化合物如1，3-二酮-2-疊氮化合物、疊氮苯醌化合物、疊氮萘醌化合物等；砜化合物如β-酮砜、β-磺?；康龋换撬峄衔锶缤榛撬狨?、鹵代烷基磺酸酯、芳基磺酸酯、亞氨基磺酸酯等；等等。
這些光致酸產(chǎn)生劑可以單獨(dú)使用或它們的兩種或多種混合使用，且它們通常以每100重量份堿溶性樹脂，0.1～10重量份的量加入，優(yōu)選0.5～5.0重量份。
而且，優(yōu)選將作為添加劑的堿性化合物加入到本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物中。該堿性化合物用于控制曝光時(shí)由酸產(chǎn)生劑產(chǎn)生的酸在抗蝕劑層中的分散，從而改進(jìn)分辨率或曝光范圍。這樣的堿化合物包括N-烷基取代的季胺氫氧化物，伯、仲或叔脂肪胺，芳族胺，雜環(huán)胺，含有烷基、芳香基等的氮化合物，含有酰氨基或亞氨基的化合物，等等。
在本發(fā)明中，作為溶解堿溶性酚醛清漆樹脂、交聯(lián)劑、光致酸產(chǎn)生劑等的溶劑，舉例說明，有亞乙基縮水甘油單烷基醚如亞乙基縮水甘油單甲基醚、亞乙基縮水甘油單乙基醚等；亞乙基縮水甘油單烷基醚醋酸酯如亞乙基縮水甘油單甲基醚醋酸酯、亞乙基縮水甘油單乙基醚醋酸酯等；亞丙基縮水甘油單烷基醚如亞丙基縮水甘油單甲基醚、亞丙基縮水甘油單乙基醚等；亞丙基縮水甘油單烷基醚醋酸酯如亞丙基縮水甘油單甲基醚醋酸酯(PGMEA)、亞丙基縮水甘油單乙基醚醋酸酯等；乳酯如乳酸甲酯、乳酸乙酯等；芳族烴如甲苯、二甲苯等；酮如甲乙酮、2-庚酮、環(huán)己酮等；胺如N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等；內(nèi)酯如γ-丁內(nèi)酯等；等等。這些溶劑可以被單獨(dú)使用，或它們的兩個(gè)或多個(gè)混合使用。
如果需要，染料、粘合助劑、表面活性劑等可以加入到本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物中。染料的實(shí)例包括甲基紫、龍膽紫、孔雀綠等；粘合助劑的實(shí)例包括六甲基二硅氮烷、氯代甲基硅烷等；和表面活性劑的實(shí)例包括非離子表面活性劑如聚乙二醇和它的衍生物，例如聚丙二醇或聚氧化乙烯月桂醚等；含氟表面活性劑如Fluorad(商品名；Sumitomo 3M Co.，Ltd.生產(chǎn))，Megafac(商品名；Dai-nippon Ink&C hemicals，Inc.生產(chǎn))和有機(jī)硅氧烷表面活性劑如KP341(商品名；Shin-Etsu Chemical Co.，Ltd.生產(chǎn))。
本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物能優(yōu)選被用作LCD面板的結(jié)構(gòu)材料如隔板等，或用于有機(jī)EL顯示的電極絕緣材料等。迄今為止二氧化硅或塑料粒子被用作隔板。然而當(dāng)隔板出現(xiàn)點(diǎn)，它可能導(dǎo)致圖形的變形等，因此是非理想的。在面板中可以不是通過撒這些粒子，而是通過在沒有點(diǎn)的表面上放置柱形物類似的方法來形成隔板(后隔板)。本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物能優(yōu)選被用作這樣的后隔板。而且，在有機(jī)EL顯示中，實(shí)行RGB有機(jī)EL基質(zhì)用于區(qū)分三種顏色的獨(dú)立發(fā)光系統(tǒng)或電極結(jié)構(gòu)的應(yīng)用，且在這種情況下，具有耐熱性的本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物能優(yōu)選地用作陰極絕緣材料。
本發(fā)明的最佳方式下文中，用實(shí)施例具體描述本發(fā)明，然而本發(fā)明不應(yīng)限于這些實(shí)施例。
合成實(shí)施例1將60g間甲苯酚、45g對(duì)甲苯酚、16g的2，5-二甲苯酚，90g的37重量％的福爾馬林水溶液和1g乙二酸加到1升帶有攪拌器、冷凝器和溫度劑的可分離燒瓶，該混合物在100℃下反應(yīng)5小時(shí)。之后，在1小時(shí)內(nèi)加熱到180℃的同時(shí)，通過蒸餾除去水和未反應(yīng)的單體。而且當(dāng)加熱到200℃時(shí)，壓力被降到100mmHg，以盡可能除去水、未反應(yīng)的單體、甲醛和乙二酸，然后溫度被冷卻到室溫以回收酚醛清漆樹脂。通過GPC(凝膠滲透譜圖)用聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)物測量，所得的酚醛清漆樹脂的重均分子量為7,200。分子量500或以下的部分的比例為酚醛清漆樹脂總重量的10.3％。
合成實(shí)施例2以如合成實(shí)施例1的同樣的方法獲得酚醛清漆樹脂，除了使用70g間甲苯酚和60g對(duì)甲苯酚作為反應(yīng)單體。將這樣獲得的400g酚醛清漆樹脂溶解在600gPGMEA中，然后將純水加入到該溶液中，接著攪拌15分鐘。在室溫下靜止該溶液30分鐘后，取出PGMEA樹脂溶液層，加到薄膜蒸餾設(shè)備(Hitachi Ltd.生產(chǎn))中。在連續(xù)滴加PGMEA溶液的同時(shí)，在260℃15mmHg的真空下，通過薄膜蒸餾回收酚醛清漆樹脂B。樹脂B的Mw為4800。分子量500或以下的部分的比例為酚醛清漆樹脂總重量的2.11％。
實(shí)施例1(1)在合成實(shí)施例2中獲得的堿溶性酚醛清漆樹脂B100重量份(2)六甲氧基甲基化蜜胺樹脂 10重量份(3)2(4’-甲氧基萘基)-4，6-三(三氯甲基)三嗪1.5重量份和(4)四丁基銨氫氧化物 0.5重量份被溶解在亞丙基縮水甘油單甲基醚醋酸酯(PGMEA)中，用由Teflon制備的0.2μm膜過濾器過濾，于是制得負(fù)性感光樹脂組合物。
該組合物旋涂到4-英寸硅晶片，在100℃下電熱板上烘烤90秒，以形成1.5μm厚的抗蝕劑層。通過GCA Co.生產(chǎn)(DSW6400，NA＝0.42)的g-線分步照相機(jī)曝光該抗蝕劑層，曝光后烘干(PEB)在120℃下進(jìn)行90秒，在2.38重量％的四甲基銨氫氧化物的水溶液中顯影60秒，以形成抗蝕圖形。通過掃描電子顯微鏡(SEM)觀察得到的抗蝕圖形，得到3μm圖形的優(yōu)化曝光能(Eo)。結(jié)果顯示在表-1中。
對(duì)比實(shí)施例1負(fù)性感光樹脂組合物的制備和它的抗蝕圖形的形成以與實(shí)施例1相同的方式進(jìn)行，除了使用在合成實(shí)施例-1中得到的堿溶性酚醛清漆樹脂A，而不是堿溶性酚醛清漆樹脂B。之后，如實(shí)施例-1，得到3μm圖形的優(yōu)化曝光能(Eo)。結(jié)果見表-1。
表-1感光度

從表-1，證明本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物有高出25％的感光度。
實(shí)施例2采用如實(shí)施例-1同樣的的方法，除了將PEB溫度設(shè)置在120℃和140℃，以形成抗蝕圖形。通過SEM觀察在每一溫度下形成的抗蝕劑的線寬，并且根據(jù)公式從得到的數(shù)值中獲得輻射敏感樹脂組合物的PEB溫度依賴性，(在140℃PEB溫度上的線寬-在120℃PEB溫度上的線寬)。結(jié)果見表-2。
對(duì)比實(shí)施例2通過如實(shí)施例2的同樣的方式獲得輻射敏感樹脂組合物的PEB溫度依賴性，除了使用在對(duì)比實(shí)施例-1中使用的負(fù)性感光樹脂組合物作為負(fù)性感光樹脂組合物。結(jié)果見表-2。
表-2 PEB溫度依賴性

如表-2所示，根據(jù)在本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物中的PEB溫度依賴性的線寬的偏差，和迄今為止公開的負(fù)性感光樹脂組合物相比，不到后者的一半。通過這一結(jié)果，在本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物中的圖像處理被證明更寬。
實(shí)施例3采用如實(shí)施例-1的同樣的方法，除了PEB溫度設(shè)置在130℃，并且形成了抗蝕圖形。形成的圖形在100、130、140、200和300℃下熱處理3分鐘，圖形形成3μm的線，通過SEM觀察它的底線寬。結(jié)果見表-3。
對(duì)比實(shí)施例3采用如實(shí)施例-3的同樣的方法，得到抗蝕圖形，除去使用在對(duì)比實(shí)施例-1中使用的負(fù)性感光樹脂組合物作為負(fù)性感光樹脂組合物。形成的圖形在100、130、140、200和300℃下熱處理3分鐘，圖形形成3μm的線，通過SEM觀察它的底線寬。結(jié)果見表-3。
表-3熱處理后的圖形形狀和線寬

如表-3所示，在本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物中，甚至在300℃下，都沒有觀察到線-圖形-形狀的大的改變。另一方面，迄今為止公開的負(fù)性感光樹脂組合物，在130℃下線圖形開始變形，在200℃下一個(gè)圖形和另外一個(gè)圖形被疊在一起，沒有觀察到線寬。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)如上述所述，通過本發(fā)明，能獲得具有優(yōu)良耐熱性、高感光度、高分辨率和良好的形狀的圖形，此外能獲得幾乎沒有尺寸準(zhǔn)確度的方法依賴性的負(fù)性感光樹脂組合物。本發(fā)明的負(fù)性感光樹脂組合物不但能被進(jìn)一步用于顯示器生產(chǎn)中的抗蝕劑、抗離子注入劑和抗電鍍劑，而且還優(yōu)選用于LCD面板的結(jié)構(gòu)材料，如隔板，和用于有機(jī)EL顯示器的電極絕緣材料等。
工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明優(yōu)選用于LCD(液晶顯示器)的液晶顯示表面的制造，或液晶顯示器的結(jié)構(gòu)材料，進(jìn)一步是有機(jī)EL顯示器的電極絕緣材料等。
權(quán)利要求
1.一種負(fù)性感光樹脂組合物，包括一種堿溶性酚醛清漆樹脂、一種交聯(lián)劑和一種光致酸產(chǎn)生劑，其中所述的堿溶性酚醛清漆樹脂是一種通過分餾處理過的堿溶性酚醛清漆樹脂，其通過苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)物測得的重均分子量為1,000～10,000，且分子量為500以下包括500的組份在該抗蝕劑組合物總重量中的重量比例為5重量％或更低。
2.一種顯示器，含有根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)性感光樹脂組合物的硬化基質(zhì)作為結(jié)構(gòu)材料。
全文摘要
一種負(fù)性感光樹脂組合物，包括一種堿溶性酚醛清漆樹脂、一種交聯(lián)劑和一種通過光產(chǎn)生酸的光致酸產(chǎn)生劑，所述酚醛清漆樹脂經(jīng)過分離處理，于是根據(jù)聚苯乙烯標(biāo)準(zhǔn)有1,000～10,000的重均分子量，并相對(duì)于該總樹脂量，含有5重量％或更少的分子量小于500的部分。該負(fù)性感光樹脂組合物顯示出寬的圖像處理邊緣，在耐熱性、感光度、分辨率和形狀方面優(yōu)良，于是適合用作LCD面板結(jié)構(gòu)材料，如抗蝕劑、抗離子注入劑、抗電鍍劑或隔板，和用于有機(jī)EL顯示器的電極分隔材料。
文檔編號(hào)C08K5/00GK1459050SQ02800711
公開日2003年11月26日 申請(qǐng)日期2002年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2001年3月19日
發(fā)明者小林聰 申請(qǐng)人:克拉瑞特國際有限公司