一種碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及熱處理工藝技術，尤其涉及一種碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具。
【背景技術】
[0002]紅外焦平面探測技術具有光譜響應波段寬、可獲得更多地面目標信息、能晝夜工作等顯著優(yōu)點，廣泛應用于預警探測、毀傷效果評估、氣象預報、地熱分布調(diào)查、火山活動探測、太空天文探測等軍事和民事領域中。碲鎘汞材料是高性能紅外焦平面探測器的核心材料，制備這種材料的技術方法很多，有液相外延法、分子束外延法、金屬有機化學氣相沉積法等，其中液相外延法是一種非常成熟的工業(yè)化應用的技術，也是大多數(shù)先進國家都采用的制備方法。使用液相外延法制備的碲鎘汞外延材料內(nèi)位錯及缺陷數(shù)量較多，通常需經(jīng)過熱處理工藝消除碲鎘汞外延材料體內(nèi)位錯及缺陷。由于紅外焦平面探測器應用時所需的分辨率越來越大，使得碲鎘汞外延材料尺寸也需要不斷增大。原始的熱處理方式在進行大尺寸碲鎘汞外延材料熱處理時會由于材料尺寸的增加而導致材料因自重增加而發(fā)生材料彎曲形變，最終影響紅外焦平面探測器芯片的互連效果，使得互連失效。此外，碲鎘汞外延材料在封接過程中會不斷與石英管壁碰撞，由于碲鎘汞外延材料為軟脆材料，碰撞過程中容易產(chǎn)生裂片，導致材料損失，影響紅外焦平面探測器芯片的使用。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是，提供一種碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，能夠解決碲鎘汞外延材料在熱處理過程中的彎曲變形的問題。
[0004]本實用新型采用的技術方案是，一種碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，所述石英夾具為等邊三棱柱結(jié)構且內(nèi)部中空，所述石英夾具的三側(cè)壁厚度均勻。
[0005]進一步的，所述石英夾具的內(nèi)壁尺寸根據(jù)碲鎘汞外延材料片的尺寸進行設計;所述石英夾具的外壁尺寸根據(jù)石英管的內(nèi)徑尺寸進行設計;在熱處理過程中，將所述碲鎘汞外延材料片放到石英夾具上，再將所述石英夾具放入石英管中。
[0006]進一步的，所述石英夾具的內(nèi)壁尺寸根據(jù)碲鎘汞外延材料片的尺寸進行設計具體是指:所述碲鎘汞外延材料片的一面與所述石英夾具的任一內(nèi)壁貼合，所述碲鎘汞外延材料片的另一面的兩邊緣處分別與所述石英夾具的另外兩個內(nèi)壁相接觸。
[0007]進一步的，所述石英夾具的外壁尺寸根據(jù)石英管的內(nèi)徑尺寸進行設計具體是指:所述石英夾具能夠放入所述石英管中，且所述石英夾具的三條側(cè)棱均與所述石英管的內(nèi)壁相接觸。
[0008]采用上述技術方案，本實用新型至少具有下列優(yōu)點:
[0009]本實用新型所述的碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，將碲鎘汞外延材料固定在石英夾具中，可以防止在熱處理過程中碲鎘汞外延材料因自重原因而發(fā)生彎曲變形。本實用新型中石英夾具被固定在石英管的內(nèi)腔中，可以防止在熱處理過程中碲鎘汞外延材料與石英管壁間的碰撞，從而消除鎘汞外延材料在熱處理過程中產(chǎn)生的裂片。本實用新型大大降低了大尺寸碲鎘汞外延材料在熱處理過程中的變形問題，同時也降低了碲鎘汞外延材料的裂片幾率，提高了熱處理工藝的成品率。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型實施例的石英夾具的立體結(jié)構示意圖；
[0011 ]圖2為本實用新型實施例的石英夾具的橫截面結(jié)構示意圖。
【具體實施方式】
[0012]為更進一步闡述本實用新型為達成預定目的所采取的技術手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對本實用新型進行詳細說明如后。
[0013]本實用新型實施例的一種碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，如圖1所示，石英夾具I為等邊三棱柱結(jié)構且內(nèi)部中空，石英夾具I的三側(cè)壁厚度均勻。
[0014]具體的，如圖2所示，在熱處理過程中，將一塊長方形薄片狀的碲鎘汞外延材料片2放到石英夾具I上，再將石英夾具I放入石英管3中。
[0015]進一步的，石英夾具I的內(nèi)壁尺寸根據(jù)碲鎘汞外延材料片2的尺寸進行設計，具體是指:碲鎘汞外延材料片2的一面與石英夾具I的任一內(nèi)壁貼合，碲鎘汞外延材料片2的另一面的兩邊緣處分別與石英夾具I的另外兩個內(nèi)壁相接觸。
[0016]石英夾具I的外壁尺寸根據(jù)石英管3的內(nèi)徑尺寸進行設計，具體是指:石英夾具I能夠放入石英管3中，且石英夾具I的三條側(cè)棱均與石英管3的內(nèi)壁接觸。
[0017]本實用新型所述的碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，將碲鎘汞外延材料固定在石英夾具內(nèi)，可以防止在熱處理過程中碲鎘汞外延材料因為自重原因而發(fā)生彎曲變形。本實用新型中石英夾具被固定在石英管的內(nèi)腔中，可以防止在熱處理過程中碲鎘汞外延材料與石英管壁間的碰撞，從而消除鎘汞外延材料在熱處理過程中產(chǎn)生的裂片。本實用新型大大降低了大尺寸碲鎘汞外延材料在熱處理過程中的變形問題，同時也降低了碲鎘汞外延材料的裂片幾率，提高了熱處理工藝的成品率。
[0018]通過【具體實施方式】的說明，應當可對本實用新型為達成預定目的所采取的技術手段及功效得以更加深入且具體的了解，然而所附圖示僅是提供參考與說明之用，并非用來對本實用新型加以限制。
【主權項】
1.一種碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，其特征在于，所述石英夾具為等邊三棱柱結(jié)構且內(nèi)部中空，所述石英夾具的三側(cè)壁厚度均勻。2.根據(jù)權利要求1所述的碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，其特征在于，所述石英夾具的內(nèi)壁尺寸根據(jù)碲鎘汞外延材料片的尺寸進行設計;所述石英夾具的外壁尺寸根據(jù)石英管的內(nèi)徑尺寸進行設計;在熱處理過程中，將所述碲鎘汞外延材料片放到石英夾具上，再將所述石英夾具放入石英管中。3.根據(jù)權利要求2所述的碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，其特征在于，所述石英夾具的內(nèi)壁尺寸根據(jù)碲鎘汞外延材料片的尺寸進行設計具體是指:所述碲鎘汞外延材料片的一面與所述石英夾具的任一內(nèi)壁貼合，所述碲鎘汞外延材料片的另一面的兩邊緣處分別與所述石英夾具的另外兩個內(nèi)壁相接觸。4.根據(jù)權利要求2所述的碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，其特征在于，所述石英夾具的外壁尺寸根據(jù)石英管的內(nèi)徑尺寸進行設計具體是指:所述石英夾具能夠放入所述石英管中，且所述石英夾具的三條側(cè)棱均與所述石英管的內(nèi)壁相接觸。
【專利摘要】本實用新型提出了一種碲鎘汞外延材料熱處理用石英夾具，所述石英夾具為等邊三棱柱結(jié)構且內(nèi)部中空，所述石英夾具的三側(cè)壁厚度均勻。在熱處理過程中，將碲鎘汞外延材料片放到石英夾具上，再將所述石英夾具放入石英管中。所述石英夾具的內(nèi)壁尺寸根據(jù)碲鎘汞外延材料片的尺寸進行設計；所述石英夾具的外壁尺寸根據(jù)石英管的內(nèi)徑尺寸進行設計。所述石英夾具，能夠解決碲鎘汞外延材料在熱處理過程中的彎曲變形問題，能夠有效的避免碲鎘汞外延材料在熱處理過程中與石英管壁間的碰撞，消除鎘汞外延材料在熱處理過程中產(chǎn)生的裂片。
【IPC分類】C30B33/02
【公開號】CN205368544
【申請?zhí)枴緾N201521075087
【發(fā)明人】寧提, 趙東生
【申請人】中國電子科技集團公司第十一研究所
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2015年12月22日