噴淋裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及濕蝕刻設(shè)備，尤其涉及一種用于濕蝕刻設(shè)備中的噴淋裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]噴淋式蝕刻機主要應(yīng)用于TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay,薄膜場效應(yīng)晶體管_液晶顯示器面板)的薄化，通過減小玻璃厚度，從而達到使最終產(chǎn)品更輕更薄、顯示色彩更加炫麗、觸控操作更加靈敏的作用，因而噴淋式蝕刻機是TFT-1XD面板制造過程的關(guān)鍵設(shè)備之一。
[0003]隨著電子行業(yè)的升溫和目前國內(nèi)外手機、平板電腦、照相機、攝像機等電子產(chǎn)品的產(chǎn)量的增加，市場對TFT-1XD面板的需求與日劇增，TFT-1XD面板制造企業(yè)對液晶面板薄化工序設(shè)備的需求將越來越多，因此，液晶面板薄化成套設(shè)備的市場前景非常廣闊。目前，國內(nèi)沒有掌握液晶面板薄化核心技術(shù)，不能生產(chǎn)液晶面板薄化成套設(shè)備，全球僅有美國、日本、韓國等少數(shù)國家能生產(chǎn)此類設(shè)備，國內(nèi)所有同類設(shè)備均從韓國和日本進口。
[0004]如圖1所示，傳統(tǒng)濕法蝕刻機臺的噴淋裝置一般包括數(shù)根噴淋管100、及設(shè)于每根噴淋管100上的數(shù)個噴頭200。噴淋模式一般采用一體化設(shè)計，無法獨立控制蝕刻的區(qū)域，整體均一1性受PVD (Physical Vapor Deposit1n，物理氣相沉積)膜質(zhì)及自身機臺設(shè)計影響，可調(diào)整性差；其中噴淋的流量、壓力、角度均采用一體化的設(shè)計，故噴淋制程無法針對PVD成膜的膜質(zhì)(凹形，凸形，波浪形)進行調(diào)整，因此，有必要提供一種噴淋裝置，以解決上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種噴淋裝置，可實現(xiàn)對數(shù)個噴淋單元的噴淋制程分別進行獨立控制。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種噴淋裝置，包括數(shù)個噴淋單元，每個噴淋單元包括數(shù)根噴淋管、及分別安裝于每根噴淋管外表面的數(shù)個噴嘴，從而使得所述數(shù)個噴淋單元可以分別進行獨立控制。
[0007]所述數(shù)個噴淋單元呈矩陣分布。
[0008]所述噴淋單元的數(shù)量為4個。
[0009]該4個噴淋單元呈“田”字形分布。
[0010]所述數(shù)個噴淋單元中的噴淋流量和噴淋壓力分別獨立進行控制。
[0011]每個噴嘴的噴淋角度可以獨立進行控制。
[0012]所述噴嘴可拆卸地安裝于噴淋管上。
[0013]所述噴淋裝置用于濕蝕刻制程。
[0014]所述噴淋裝置用于TFT-1XD面板的濕蝕刻制程。
[0015]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明的噴淋裝置，通過設(shè)置數(shù)個噴淋單元，且所述數(shù)個噴淋單元的噴淋流量和噴淋壓力分別獨立進行控制，并且該噴淋裝置中每個噴嘴可以獨立進行控制，從而實現(xiàn)對所述數(shù)個噴淋單元的噴淋制程分別進行獨立控制，可保證大尺寸基板進行噴淋制程時的均勻性。
【附圖說明】
[0016]為了能更進一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
[0017]附圖中，
[0018]圖1為現(xiàn)有濕蝕刻設(shè)備中的噴淋裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為本發(fā)明的噴淋裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0020]為更進一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進行詳細(xì)描述。
[0021]請參閱圖2，本發(fā)明提供一種噴淋裝置，包括數(shù)個噴淋單元1，每個噴淋單元1包括數(shù)根噴淋管11、及分別安裝于每根噴淋管11外表面的數(shù)個噴嘴12，從而使得所述數(shù)個噴淋單元1可以分別進行獨立控制。
[0022]優(yōu)選的，所述數(shù)個噴淋單元1呈矩陣分布。
[0023]優(yōu)選的，所述噴淋單元1的數(shù)量為4個，該4個噴淋單元1呈“田”字形分布。
[0024]具體的，所述數(shù)個噴淋單元1中的噴淋流量和噴淋壓力分別獨立進行控制。
[0025]優(yōu)選的，所述噴淋裝置中，每個噴嘴12的噴淋角度可以獨立進行控制。
[0026]優(yōu)選的，所述噴嘴12可拆卸地安裝于噴淋管11上。
[0027]具體的，所述噴淋裝置可以用于濕蝕刻制程，尤其是用于TFT-LCD面板的濕蝕刻制程。進一步的，所述噴淋裝置可應(yīng)用于濕蝕刻設(shè)備中，該噴淋裝置用于向待蝕刻的基板噴淋蝕刻液進行蝕刻，相比于現(xiàn)有技術(shù)中只設(shè)置一個整體的噴淋單元的噴淋裝置，本發(fā)明的噴淋裝置，通過設(shè)置數(shù)個噴淋單元，從而可以對對應(yīng)于基板上不同區(qū)域的噴淋單元進行獨立的控制，包括噴淋流量、噴淋壓力和噴淋角度，可以有效預(yù)防對大基板進行蝕刻時造成的不均勻問題，提高大基板蝕刻的均一性。
[0028]進一步的，本發(fā)明的噴淋裝置除了可以對一整塊大基板進行噴淋制程外，還可以對對應(yīng)于數(shù)個噴淋單元排列的數(shù)個待蝕刻基板同時進行噴淋制程，從而可以節(jié)約成本，提高生產(chǎn)效率。
[0029]綜上所述，本發(fā)明提供的一種噴淋裝置，通過設(shè)置數(shù)個噴淋單元，且所述數(shù)個噴淋單元的噴淋流量和噴淋壓力分別獨立進行控制，并且該噴淋裝置中每個噴嘴的噴淋角度可以獨立進行控制，從而實現(xiàn)對所述數(shù)個噴淋單元的噴淋制程分別進行獨立控制，可保證大尺寸基板進行噴淋制程時的均勻性。
[0030]以上所述，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明后附的權(quán)利要求的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種噴淋裝置，其特征在于，包括數(shù)個噴淋單元(1)，每個噴淋單元(1)包括數(shù)根噴淋管(11)、及分別安裝于每根噴淋管(11)外表面的數(shù)個噴嘴(12)，從而使得所述數(shù)個噴淋單元(1)可以分別進行獨立控制。2.如權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述數(shù)個噴淋單元(1)呈矩陣分布。3.如權(quán)利要求2所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋單元(1)的數(shù)量為4個。4.如權(quán)利要求3所述的噴淋裝置，其特征在于，該4個噴淋單元(1)呈“田”字形分布。5.如權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述數(shù)個噴淋單元(1)中的噴淋流量和噴淋壓力分別獨立進行控制。6.如權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，每個噴嘴(12)的噴淋角度可以獨立進行控制。7.如權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴嘴(12)可拆卸地安裝于噴淋管(11)上。8.如權(quán)利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋裝置用于濕蝕刻制程。9.如權(quán)利要求8所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋裝置用于TFT-LCD面板的濕蝕刻制程。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種噴淋裝置，包括數(shù)個噴淋單元(1)，每個噴淋單元(1)包括數(shù)根噴淋管(11)、及分別安裝于每根噴淋管(11)外表面的數(shù)個噴嘴(12)，所述數(shù)個噴淋單元(1)的噴淋流量和噴淋壓力分別獨立進行控制，并且該噴淋裝置中每個噴嘴(12)的噴淋角度可以獨立進行控制，從而使得所述數(shù)個噴淋單元(1)可以分別進行獨立控制，可保證大尺寸基板進行噴淋制程時的均勻性。
【IPC分類】C03C15/00
【公開號】CN105366953
【申請?zhí)枴緾N201510866640
【發(fā)明人】葉江波
【申請人】武漢華星光電技術(shù)有限公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年11月30日