玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及通過(guò)OVD法（外部沉積法）、VAD法（氣相軸向沉積法）、MMD法（多燃 燒器多層沉積法）等使玻璃微粒沉積在起始棒上來(lái)制造玻璃微粒沉積體的玻璃微粒沉積 體制造方法以及對(duì)該玻璃微粒沉積體進(jìn)行加熱從而使其透明化的玻璃母材制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 作為現(xiàn)有的玻璃母材制造方法，已知的是包括以下工序的制造方法：通過(guò)OVD法 或VAD法等制作玻璃微粒沉積體的沉積工序，以及對(duì)該玻璃微粒沉積體進(jìn)行加熱從而制作 透明的玻璃母材的透明化工序。
[0003] 例如，專利文獻(xiàn)1公開了可在預(yù)制件（玻璃母材）形成時(shí)使用的、能使不含鹵化物 的八甲基環(huán)四硅氧烷（OMCTS)等含硅化合物氧化的精密燃燒器。
[0004] 專利文獻(xiàn)2公開了能夠使SiCl4&GeCl4或OMCTS等含硅化合物發(fā)生水解反應(yīng)或 氧化反應(yīng)的線型燃燒器。
[0005] [現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
[0006] [專利文獻(xiàn)]
[0007] 專利文獻(xiàn)1 :日本特表平11-510778號(hào)公報(bào)
[0008] 專利文獻(xiàn)2 :美國(guó)專利6743011號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0010] 然而，在專利文獻(xiàn)1以及專利文獻(xiàn)2中記載的燃燒器中，在燃燒器的火焰內(nèi)將生成 的玻璃微粒沉積在起始棒上從而制造玻璃微粒沉積體時(shí)，在提高玻璃原料收率的方面有改 善的余地。
[0011] 因此，本發(fā)明是鑒于以上問(wèn)題而進(jìn)行的，且其目的在于提供能夠提高玻璃微粒沉 積體的玻璃原料收率的玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方法。
[0012] 問(wèn)題的解決方案
[0013] 作為可以解決上述問(wèn)題的玻璃微粒沉積體的制造方法，本發(fā)明提供這樣的一種玻 璃微粒沉積體的制造方法，其具有如下的沉積工序：在反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置起始棒和玻璃微粒 生成用燃燒器，向所述燃燒器中導(dǎo)入玻璃原料，在所述燃燒器所形成的火焰內(nèi)使玻璃原料 發(fā)生火焰熱分解反應(yīng)以生成玻璃微粒，并且使生成的玻璃微粒沉積在所述起始棒上，從而 制作玻璃微粒沉積體；
[0014] 在所述沉積工序中，每一個(gè)燃燒器至少設(shè)置兩個(gè)從所述燃燒器噴出玻璃原料的 出射口，將所述出射口中至少一個(gè)出射口的面積設(shè)為所述燃燒器的火焰形成部的面積的 2. 25X1(T4以下，將所述玻璃原料以液體狀態(tài)供給至各所述出射口，氣體噴出口的內(nèi)周配置 在自各所述出射口的外周向外側(cè)1.0mm以內(nèi)的位置處，并從所述氣體噴出口噴出氣體。
[0015] 另外，作為可以解決上述課題的玻璃母材的制造方法，本發(fā)明提供這樣一種玻璃 母材的制造方法，其具有如下的透明化工序：通過(guò)上述玻璃微粒沉積體的制造方法而制造 玻璃微粒沉積體，對(duì)該制造的玻璃微粒沉積體進(jìn)行加熱而制造透明的玻璃母材。
[0016] 發(fā)明效果
[0017] 根據(jù)本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方法，可以提高玻 璃微粒沉積體的玻璃原料收率。
[0018] 附圖簡(jiǎn)要說(shuō)明
[0019] 圖1是示出可以實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式的一個(gè)例子所述的玻璃微粒沉積體的制 造方法的制造裝置的構(gòu)成圖。
[0020] 圖2(a)是從燃燒器面一側(cè)觀察在圖1所示的制造裝置中生成玻璃微粒的燃燒器 的一個(gè)例子的平面圖，（b)是（a)的平面圖中的燃燒器面的原料噴口附近的放大圖。
[0021] 圖3是示出向圖2(b)所示的原料噴口供給液體原料，同時(shí)從其外側(cè)供給氣體的狀 態(tài)下的燃燒器的縱斷面的放大圖。
[0022] 圖4是示出本發(fā)明的變形例所述的燃燒器的原料噴口的燃燒器面的放大圖。
[0023] 圖5是在圖1所示的制造裝置中生成玻璃微粒的燃燒器的另外一個(gè)例子的燃燒器 面的平面圖。
[0024] 符號(hào)說(shuō)明
[0025] 1 :制造裝置
[0026] 2 :反應(yīng)容器
[0027] 3 :升降旋轉(zhuǎn)裝置
[0028] 5 :控制部
[0029] 10 :支持棒
[0030] 11 :起始棒
[0031]12 :排氣管
[0032]21 :原料供給裝置
[0033] 22、122:燃燒器
[0034] 23 :液體原料
[0035]24 :原料容器
[0036] 25 :泵
[0037]26 :供給配管
[0038]27 :溫控室
[0039]28 :帶加熱器
[0040] 30 :玻璃微粒
[0041] 31、131:原料噴口
[0042] 31a:液體原料用噴口（玻璃原料的出射口的一個(gè)例子）
[0043] 31b:噴氣口（氣體噴出口的一個(gè)例子）
[0044] 32、132 :密封氣體噴口
[0045]33、133:燃?xì)鈬娍?br>[0046] 35、135:火焰形成部
[0047]M:玻璃微粒沉積體
【具體實(shí)施方式】
[0048](本發(fā)明的實(shí)施方式的說(shuō)明）
[0049] 首先，舉例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的內(nèi)容。
[0050] 本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法的實(shí)施方式的一個(gè)例子具有以下（1)~ (10)中任意一項(xiàng)所述的特征。
[0051] ⑴一種玻璃微粒沉積體的制造方法，具有如下的沉積工序：在反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置 起始棒和玻璃微粒生成用燃燒器，向所述燃燒器中導(dǎo)入玻璃原料，在所述燃燒器所形成的 火焰內(nèi)使玻璃原料發(fā)生火焰熱分解反應(yīng)以生成玻璃微粒，并且使生成的玻璃微粒沉積在所 述起始棒上，從而制作玻璃微粒沉積體；
[0052] 在所述沉積工序中，每一個(gè)燃燒器至少設(shè)置兩個(gè)從所述燃燒器噴出玻璃原料的 出射口，將所述出射口中至少一個(gè)出射口的面積設(shè)為所述燃燒器的火焰形成部的面積的 2. 25X1(T4以下，將所述玻璃原料以液體狀態(tài)供給至各所述出射口，氣體噴出口的內(nèi)周配置 在自各所述出射口的外周向外側(cè)1.0mm以內(nèi)的位置處，并從所述氣體噴出口噴出氣體。
[0053] 根據(jù)具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，可以減少?gòu)牟Ａ⒘Ｉ捎萌?燒器的各出射口噴出的玻璃原料的投入量，并促進(jìn)玻璃原料的反應(yīng)，從而提高玻璃微粒沉 積體的玻璃原料收率。另外，由于以液體狀態(tài)供給玻璃原料，因此不需要準(zhǔn)備用于使沸點(diǎn)溫 度高的玻璃原料氣化的高價(jià)的處理裝置，并可抑制玻璃微粒沉積體的制造成本。另外，由 于是從噴出液體原料的出射口外側(cè)的極其附近處噴出氣體，所以可以高效地將玻璃原料霧 化。
[0054] (2)在具有上述（1)的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序中，優(yōu) 選每一個(gè)上述燃燒器設(shè)置五個(gè)以上的上述出射口。
[0055] 根據(jù)具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，可以進(jìn)一步促進(jìn)玻璃原料的反 應(yīng)，進(jìn)一步提高玻璃原料收率。
[0056] (3)在具有上述⑴或⑵的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序 中，優(yōu)選將上述一個(gè)出射口的面積設(shè)為上述火焰形成部的面積的1. 〇〇X1(T4以下。
[0057] 根據(jù)具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，可以使玻璃原料在火焰內(nèi)擴(kuò) 展，所以可以促進(jìn)玻璃原料的反應(yīng)。
[0058] (4)在具有上述⑴或⑵的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序 中，優(yōu)選將上述一個(gè)出射口的面積設(shè)為上述火焰形成部的面積的2. 50X1CT5以下。
[0059] (5)在具有上述⑴或⑵的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序 中，優(yōu)選將上述一個(gè)出射口的面積設(shè)為上述火焰形成部的面積的4. 00X1(T6以下。
[0060] (6)在具有上述（1)~（5)中任一特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積 工序中，從各上述氣體噴出口噴出包含氧氣的氣體，從而將從各上述出射口噴出的上述玻 璃原料霧化。
[0061 ] 根據(jù)具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，通過(guò)從液體原料的出射口外側(cè) 的極其附近處噴出包含氧氣的氣體，可以促進(jìn)玻璃原料的氧化反應(yīng)。
[0062] (7)在具有上述（6)的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序中，優(yōu) 選從各上述氣體噴出口噴出流速為855m/s以上的氣體，從而將從各上述出射口噴出的上 述玻璃原料霧化。
[0063] 根據(jù)具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，可以減小玻璃原料的噴霧液 徑，并且可以提高霧化的玻璃原料的氣化效率。