本發(fā)明涉及液晶顯示屏技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液。

背景技術(shù)：

TFT液晶顯示屏朝著輕薄化方向不斷發(fā)展，但是由于TFT液晶顯示屏原始基材的問題，通過化學(xué)方法進(jìn)行減薄處理后會(huì)形成若干凹點(diǎn)，大大降低了產(chǎn)品的合格率。雖然通過研磨拋光的方法可以去除部分凹點(diǎn)，但是拋光過程可能導(dǎo)致TFT產(chǎn)品產(chǎn)生Zara和按壓不良的問題。因此，亟需一種基于化學(xué)手段的凹點(diǎn)抑制方法，在保證產(chǎn)品性能的基礎(chǔ)上降低TFT液晶顯示屏基板減薄過程中凹點(diǎn)的發(fā)生率?，F(xiàn)有技術(shù)中有研究者進(jìn)行過諸多嘗試，但目前仍未取得理想的效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供了一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液，以解決現(xiàn)有技術(shù)中TFT液晶顯示屏減薄過程中易產(chǎn)生凹點(diǎn)影響顯示屏質(zhì)量的技術(shù)問題。

本發(fā)明要解決的另一技術(shù)問題是現(xiàn)有技術(shù)中用于緩解凹點(diǎn)的技術(shù)手段易影響屏幕按壓性能。

本發(fā)明要解決的再一技術(shù)問題是現(xiàn)有技術(shù)中用于緩解凹點(diǎn)的化學(xué)方法效果不佳。

為實(shí)現(xiàn)以上技術(shù)目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液，該蝕刻液包括以下質(zhì)量百分比的成分：氫氟酸10％，氟化氫銨8％，硫酸銨8％，甘油6％，醋氟化氨5％，硼酸6％，高氯酸鈉5％，乙二胺四乙酸二鈉2％，鉬酸鉀3％，菊酯2％，高錳酸鉀4％，重鉻酸鉀2％，氯仿2％，水30％。

作為優(yōu)選，該蝕刻液還包括1％(w/w)的四氫呋喃。

作為優(yōu)選，該蝕刻液還包括3％(w/w)的乙酸乙酯。

作為優(yōu)選，該蝕刻液還包括2％(w/w)的氯化鈷。

作為優(yōu)選，該蝕刻液還包括1％(w/w)的硝酸。

作為優(yōu)選，該蝕刻液由以下質(zhì)量百分比的成分組成：氫氟酸10％，氟化氫銨8％，硫酸銨8％，甘油6％，醋氟化氨5％，硼酸6％，高氯酸鈉5％，乙二胺四乙酸二鈉2％，鉬酸鉀3％，菊酯2％，高錳酸鉀4％，重鉻酸鉀2％，氯仿2％，四氫呋喃1％，乙酸乙酯3％，氯化鈷2％，硝酸1％，水30％。

本發(fā)明提供了一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液，該蝕刻液基于化學(xué)手段抑制減薄處理過程中凹點(diǎn)的形成，與研磨拋光法相比，操作時(shí)間較短、工作量較小且有效避免了因研磨拋光而產(chǎn)生的品質(zhì)不良問題。在此技術(shù)思路下，本發(fā)明通過實(shí)驗(yàn)手段設(shè)計(jì)了全新的蝕刻液配方，在降低氟化物用量的基礎(chǔ)上添加了重鉻酸鉀、高錳酸鉀等強(qiáng)氧化劑，使得該蝕刻液的蝕刻速度相對(duì)緩慢，既滿足了預(yù)處理的蝕刻要求又避免了蝕刻速度過快影響基材表層結(jié)構(gòu)的問題。在此基礎(chǔ)上，本發(fā)明通過螯合劑促進(jìn)了多種溶質(zhì)成分在混合體系中的溶解性，為多種溶質(zhì)成分協(xié)同作用奠定了基礎(chǔ)。

在優(yōu)選技術(shù)方案中，本發(fā)明意外的盡管乙酸乙酯、氯化鈷等成分在現(xiàn)有技術(shù)的認(rèn)識(shí)中不具有明確的蝕刻效果，但在本發(fā)明主要技術(shù)方案的基礎(chǔ)上進(jìn)一步添加四氫呋喃、乙酸乙酯、氯化鈷等成分有助于促進(jìn)凹點(diǎn)抑制效果。本發(fā)明蝕刻液用于在TFT液晶顯示屏基板進(jìn)行酸蝕減薄前進(jìn)行蝕刻預(yù)處理，該蝕刻液對(duì)凹點(diǎn)抑制效果突出，顯著提升了產(chǎn)品合格率，同時(shí)成本較低、易于制備，因此具有良好的規(guī)?；瘧?yīng)用前景。

具體實(shí)施方式

以下將對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)描述。為了避免過多不必要的細(xì)節(jié)，在以下實(shí)施例中對(duì)屬于公知的結(jié)構(gòu)或功能將不進(jìn)行詳細(xì)描述。

以下實(shí)施例中所使用的近似性語(yǔ)言可用于定量表述，表明在不改變基本功能的情況下可允許數(shù)量有一定的變動(dòng)。除有定義外，以下實(shí)施例中所用的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)具有與本發(fā)明所屬領(lǐng)域技術(shù)人員普遍理解的相同含義。

實(shí)施例1

一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液，該蝕刻液由以下質(zhì)量百分比的成分組成：氫氟酸10％，氟化氫銨8％，硫酸銨8％，甘油6％，醋氟化氨5％，硼酸6％，高氯酸鈉5％，乙二胺四乙酸二鈉2％，鉬酸鉀3％，菊酯2％，高錳酸鉀4％，重鉻酸鉀2％，氯仿2％，四氫呋喃1％，乙酸乙酯3％，氯化鈷2％，硝酸1％，水30％。

該蝕刻液外觀為無(wú)色或淡黃色透明液體，PH<3(25攝氏度)，粘度：10～13pa.s(25攝氏度)

該蝕刻液是一款應(yīng)用于TFT玻璃減薄前的表面微處理的產(chǎn)品，由于預(yù)處理液具有比普通酸液更強(qiáng)的粘稠性及表面張力，以此填補(bǔ)玻璃表面微裂縫，大大降低了氟離子與微裂縫位置的接觸概率，進(jìn)而起到表面修復(fù)的作用，能有效抑制玻璃表面凹點(diǎn)、劃傷在后蝕刻中放大，大幅度降低拋光率及拋光時(shí)間。不僅節(jié)約了成本而且提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品合格率，為企業(yè)帶了更大的效益。

實(shí)施例2

一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液，該蝕刻液由以下質(zhì)量百分比的成分組成：氫氟酸10％，氟化氫銨8％，硫酸銨8％，甘油6％，醋氟化氨5％，硼酸6％，高氯酸鈉5％，乙二胺四乙酸二鈉2％，鉬酸鉀3％，菊酯2％，高錳酸鉀4％，重鉻酸鉀2％，氯仿2％，水30％，乙酸乙酯3％，草酸銨4％。

實(shí)施例3

一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液，該蝕刻液由以下質(zhì)量百分比的成分組成：氫氟酸10％，氟化氫銨8％，硫酸銨8％，甘油6％，醋氟化氨5％，硼酸6％，高氯酸鈉5％，乙二胺四乙酸二鈉2％，鉬酸鉀3％，菊酯2％，高錳酸鉀4％，重鉻酸鉀2％，氯仿2％，水30％，四氫呋喃1％，硝酸1％，氯化鎂5％。

實(shí)施例4

一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液，該蝕刻液由以下質(zhì)量百分比的成分組成：氫氟酸10％，氟化氫銨8％，硫酸銨8％，甘油6％，醋氟化氨5％，硼酸6％，高氯酸鈉5％，乙二胺四乙酸二鈉2％，鉬酸鉀3％，菊酯2％，高錳酸鉀4％，重鉻酸鉀2％，氯仿2％，水30％，氯化鈷2％，氯化鈉5％。

實(shí)施例5

一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液，該蝕刻液由以下質(zhì)量百分比的成分組成：氫氟酸10％，氟化氫銨8％，硫酸銨8％，甘油6％，醋氟化氨5％，硼酸6％，高氯酸鈉5％，乙二胺四乙酸二鈉2％，鉬酸鉀3％，菊酯2％，高錳酸鉀4％，重鉻酸鉀2％，氯仿2％，水30％，酒精7％。

以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明。凡在本發(fā)明的申請(qǐng)范圍內(nèi)所做的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。