專利名稱：：SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)及氣體收集方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種氣體收集系統(tǒng)和氣體收集方法，特別是一種SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)及氣體收集方法。
背景技術(shù)：
：在生產(chǎn)SiC的同時，伴生大量的副產(chǎn)品一一以co為主要成分的氣體，以下簡稱SiC爐氣。該氣體具有產(chǎn)量大(生產(chǎn)1噸SiC產(chǎn)CO氣體約1.4噸)、純度高(CO含量可達(dá)96%)、氣量穩(wěn)定(隨冶煉時間變化較小)等特點。由于認(rèn)知水平、技術(shù)狀況和投資障礙等多種因素所限，工業(yè)生產(chǎn)中將其作為廢氣燃燒掉，以C02等溫室氣體形態(tài)排入大氣。顯然，燃燒排放該氣體既要付出較大的環(huán)境代價，同時也浪費了可資利用的易得能源。研究表明，經(jīng)簡單凈化工藝處理，便能用來生產(chǎn)甲醇、醋酸等幾乎所有的基礎(chǔ)有機(jī)化學(xué)產(chǎn)品；即使不做任何處理，亦可用作工業(yè)或者民用燃料。比如用來發(fā)電，可使SiC生產(chǎn)能耗降低20y。-25%。按全國目前SiC產(chǎn)能粗略估算，回收利用可新增100多億元的新增效益。而且能夠使SiC企業(yè)的生產(chǎn)環(huán)境得到較大改善，社會效益不可估量。世界范圍內(nèi)有關(guān)SiC合成爐氣體回收利用的報道并不多見。德國ESK公司曾最早報道過SiC爐氣的收集利用技術(shù)。他們釆用一種高分子PE材料做成氣體收集包，將露天冶煉的大型爐罩住進(jìn)行氣體收集。用粉狀材料堆壓密封，收集氣體用于發(fā)電。據(jù)報道可節(jié)電20%左右。繼德國之后，曰本制造了一種自帶動力的鋼制罩體收集SiC爐氣。其特點在于裝置自帶動力，便于在發(fā)生噴爐后及時打開排氣口，防止燒壞收集裝置。該裝置占地面積大，制造費用高，使用時污染較大。國內(nèi)相關(guān)研究報道甚少。90年代初期，有關(guān)企業(yè)發(fā)布了"SiC合成爐爐氣回收"的招商信息，未曾得到巿場回應(yīng)。倪長賀于1998年和2005年申請了"冶煉碳化硅的爐氣回收裝置"專利(專利號98114279.6)和"生產(chǎn)碳化硅時的氣體收集裝置"(專利申請?zhí)?00510046410.0)，兩項專利內(nèi)容比較接近，在合成爐上方及四周設(shè)置一封閉的爐罩進(jìn)行氣體收集，但具體使用安裝較困難。眾多已知技術(shù)中，無論是鋼制罩體還是PE密封包技術(shù)最終未能在SiC工業(yè)生產(chǎn)中定型和推廣應(yīng)用。日本技術(shù)雖然認(rèn)識了傳統(tǒng)冶煉SiC工藝噴炸爐發(fā)生的必然性，釆取自帶動力及時打開收集裝置試圖避免燒壞收集裝置。該收集系統(tǒng)占地面積大，制造費用高，使用不方便。但由于噴爐發(fā)生的隨意性，使得預(yù)防和消除其危害的各種方法亳無規(guī)律可循，難以奏效，所以未見實際使用的成功報道。冶煉碳化硅的傳統(tǒng)方法是Acheson法，已經(jīng)使用了近百年而且現(xiàn)在仍在使用。該方法的最大缺點是溫度場的非均勻性導(dǎo)致經(jīng)常發(fā)生噴爐炸爐事故，使得自上世紀(jì)以來，世界范圍內(nèi)所有的碳化硅合成爐氣體收集技術(shù)的實施受到根本性限制，幾乎無一能夠?qū)崿F(xiàn)產(chǎn)業(yè)化和持續(xù)發(fā)展。中國是全球最大的SiC生產(chǎn)大國。截至目前，沒有一項成熟技術(shù)和相應(yīng)裝備應(yīng)用于SiC爐氣收集的?？梢?，無論是德國、日本還是國內(nèi)，雖經(jīng)多年努力，但均未使SiC冶煉產(chǎn)生的氣體收集技術(shù)得到推廣和持續(xù)應(yīng)用，皆歸因于此。王曉剛發(fā)明了"冶煉碳化硅的多爐芯爐及其生產(chǎn)碳化硅的方法"專利技術(shù)(專利號ZL01132774.X),成功地解決了Acheson法噴爐難題。該專利在國內(nèi)技術(shù)轉(zhuǎn)化先后建成SiC生產(chǎn)線12條。至今運行，取得了良好的經(jīng)濟(jì)和社會效益。其技術(shù)的核心在于，釆用多爐芯爐冶煉SiC，通過多熱源溫度場之間的疊加，降低合成爐內(nèi)的溫度梯度，增加溫度場均勻性，從而改善了爐內(nèi)氣態(tài)物質(zhì)壓力分布的均勻性，避免局部壓力過高穿透料層發(fā)生噴爐事故。該技術(shù)的成功運用，使得SiC爐氣收集技術(shù)的實施成為現(xiàn)實?，F(xiàn)有技術(shù)需要解決氣體安全、有效的回收和收集裝置安裝困難的問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種占用空間小，對生產(chǎn)場地要求較低，安全可靠，可有效回收CO的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)及氣體收集方法。本發(fā)明解決上述技術(shù)問題釆取的技術(shù)方案是一種SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，所述氣體收集系統(tǒng)包括放置在SiC合成爐之上的用于氣體收集的收集裝置，設(shè)置在SiC合成爐兩端的用于移動收集裝置的離合行走機(jī)構(gòu)，設(shè)置在收集裝置上的檢測分析裝置和均衡泄壓裝置，設(shè)置在SiC合成爐爐體四周與收集裝置接觸形成封閉空間的密封連接裝置，密封連接裝置和/或收集裝置上設(shè)置有氣體出口。本發(fā)明所述收集裝置包括收集罩殼，設(shè)置在SiC合成爐兩側(cè)的軌道，設(shè)置在罩殼兩側(cè)下端可在軌道上行駛的車輪，設(shè)置在車輪內(nèi)側(cè)或外側(cè)的與收集罩殼封閉連接的密封裙。該密封裙為柔性復(fù)合物或剛j性金屬材料，密封裙和密封水槽相對應(yīng)可以設(shè)置在車輪內(nèi)側(cè)或車輪外側(cè)。本發(fā)明所述收集罩殼為剛性罩殼、柔性罩殼或剛性與柔性結(jié)合的罩殼。本發(fā)明所述密封連接裝置為設(shè)置在SiC合成爐端部的、使收集裝置移動到SiC合成爐上時形成封閉連接的密封墻體和設(shè)置在密封墻體以外、SiC合成爐周圍用于配合收集裝置隔離外部空氣的水封槽。本發(fā)明所述密封墻體設(shè)置在SiC合成爐一端或兩端，收集裝置和密封墻體之間釆用彈性密封膠墊進(jìn)行密封。本發(fā)明所述離合行走機(jī)構(gòu)為設(shè)置在SiC合成爐爐體兩端方向的輪軸和導(dǎo)向輪以及連接輪軸、導(dǎo)向輪和收集裝置的牽引繩。本發(fā)明所述檢測分析裝置為氣體檢測裝置、與氣體檢測裝置連接的控制器和與控制器連接的充氣風(fēng)機(jī)；所述氣體檢測裝置為氧氣含量檢測裝置和一氧化碳含量檢測裝置。本發(fā)明所述均衡泄壓裝置為安裝在收集裝置內(nèi)表面的用于檢測所收集氣體壓力的壓力檢測裝置，與壓力檢測裝置連接的泄壓閥門和排風(fēng)機(jī)；本發(fā)明的另一目的是提供一種SiC合成爐氣體收集方法，該方法包括以下步驟'1)SiC合成原料混合配制，裝入SiC合成爐；2)將收集裝置平移到SiC合成爐爐體上端，收集裝置和密封連接裝置連接形成封閉空間；3)供電前期，向收集裝置內(nèi)充入惰性氣體，強(qiáng)制排擠收集裝置內(nèi)的空氣；或者在通電后，利用SiC合成爐爐內(nèi)產(chǎn)生的爐氣自然排趕裝置內(nèi)空氣，進(jìn)行空氣置換；當(dāng)收集裝置內(nèi)02濃度小于12.5%時，完成空氣置換；4)對SiC合成爐供電生產(chǎn)碳化硅；5)在碳化硅的生產(chǎn)過程中通過氣體出口對CO氣體進(jìn)行收集；6)對SiC合成爐停止供電；7)對SiC合成爐停爐冷卻，同時延時收集氣體，進(jìn)行爐氣置換，爐氣置換采用冷爐空氣吹掃或熱爐充惰方式進(jìn)行置換，當(dāng)收集裝置內(nèi)CO濃度小于12.5%時，完成爐氣置換；8)將收集裝置移出；9)將碳化硅出爐。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點l)采用與本SiC合成爐氣體收集方法，能夠確保SiC爐氣回收裝置安全可靠地運行。工藝制度如下A供電制度在開始供電前期，結(jié)合氣體置換，釆用半功率供電，使?fàn)t內(nèi)殘留空氣和爐料中的水蒸氣等充分排出。冶煉階段恒定滿功率供電直到冶煉結(jié)束。B空氣置換制度供電前需將收集裝置內(nèi)的空氣置換排出。釆用惰性氣體強(qiáng)制置換和爐氣排擠自然置換兩種方法，均以02極限為依據(jù)決定置換是否完成。若自然置換時間合宜，02含量不超限，可不進(jìn)行強(qiáng)制充惰置換。C壓力檢測爐氣排放制度供電前期(置換階段)結(jié)東后進(jìn)入滿功率冶煉，正常爐氣回收階段。此時自動檢測爐氣壓力，控制風(fēng)機(jī)排氣操作，保持收集裝置內(nèi)氣體壓力恒定(380-500亳米水柱)。2)收集裝置構(gòu)造不同。本裝置釆用金屬和柔性兩種材料制作，以實現(xiàn)獨特的密封結(jié)構(gòu)和水平移動的離合方式，同時滿足露天和室內(nèi)冶煉要求。曰本及國內(nèi)專利介紹用金屬做收集棚殼收集裝置，依靠行車吊動，高度受限制。德國ESK公司采用有機(jī)材料制作收集裝置重量最輕，但是密封方式比較原始,存在二次污染和難以進(jìn)一步應(yīng)用的根本缺陷。3)與爐子結(jié)合分離方式不同。本技術(shù)在地面設(shè)置軌道，水平運動實現(xiàn)裝置與爐體的結(jié)合與分離。軌道在跨越水封溝槽時斷開，以便使密封裙連續(xù)。裝置經(jīng)過軌道斷開處時，經(jīng)過寬度設(shè)計合理的斷口，可平穩(wěn)行走。國內(nèi)外其他技術(shù)是固定安裝形式；倪長賀專利利用車間吊車安裝罩體，屬于垂直安裝方式。受車間高度限制收集罩不能超過行車吊鉤最高高度，因此甚至不能避免小型頂部噴爐所造成的損壞。'4)密封方式不同。本技術(shù)釆用水封與鋼制溝槽(彈性密封膠墊)壓力密封相結(jié)合的密封方式。國內(nèi)外相關(guān)技術(shù)的密封結(jié)構(gòu)全都屬于固定安裝形式，密封結(jié)構(gòu)簡單，密封難度相對較大。本技術(shù)水封結(jié)構(gòu)的不同之處是，在收集裝置底部安裝上柔性或剛性密封裙，通過密封裙伸入水封溝槽中，形成密封界面。該密封結(jié)構(gòu)屬于活動密封形式，使得裝置不受爐子大小、車間高度、室內(nèi)室外等多種因素的限制。我國倪長賀的密封方式是整個罩棚進(jìn)行水封，屬于固定密封形式。這種密封決定了裝置只能以豎直運動的方式與冶煉爐結(jié)合與分離。因此無法克服天車高度對收集裝置的限制，從而難以在大型爐上使用。德國ESK公司釆用廢料(SiC生產(chǎn)時的現(xiàn)有的粉狀爐料)堆壓在收集包的底沿，形似沙丘，將包底邊與爐床底壓緊密封。這種密封方式嘗試于全球工業(yè)水平尚不發(fā)達(dá)的上世紀(jì)中葉，比較原始。生產(chǎn)時雖然回收了SiC爐氣，但在堆沙密封的過程中，粉料裝載轉(zhuǎn)運量很大，由此帶來的揚塵污染對生產(chǎn)環(huán)境危害更大。加之沒有從根本上解決噴爐預(yù)防問題，導(dǎo)致該技術(shù)不能最終定型和推廣。本案與國內(nèi)外SiC爐氣收集系統(tǒng)的主要特性及優(yōu)點列于下表<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。圖l為本發(fā)明收集系統(tǒng)俯視圖。圖2為本發(fā)明檢測分析裝置和均衡泄壓裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明密封結(jié)構(gòu)的安裝示意圖。圖4為本發(fā)明氣體收集方法流程圖。圖5為本發(fā)明離合行走機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。附圖標(biāo)記說明1一離合行走機(jī)構(gòu)「2—收集罩殼；3—爐體；4一鋼絲繩；5—輪軸；6—導(dǎo)向輪；7—泄壓閥門；8—排氣風(fēng)機(jī)；9一壓力檢測裝置;IO—氣體檢測裝置13—充氣風(fēng)機(jī)；16—軌道；19一密封水槽；22—排氣孔；控制器；裝置骨架；密封板；收集裝置內(nèi)部;氣體出口。12—收集裝置;15—車輪；18—密封裙；21—密封墻體;具體實施方式如圖l所示，一種SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，所述氣體收集系統(tǒng)包括放置在SiC合成爐之上的用于氣體收集的收集裝置12，與收集裝置12連接的離合行走機(jī)構(gòu)l，設(shè)置在收集裝置12上的檢測分析裝置和均衡泄壓裝置，設(shè)置在SiC合成爐爐體3四周與收集裝置12接觸形成封閉空間的密封連接裝置。收集裝置12:包括收集罩殼2和密封裙18，SiC合成爐兩側(cè)安裝有軌道16,收集罩殼2兩側(cè)下端安裝車輪15,使收集罩殼2在軌道16上往復(fù)行駛，收集罩殼2下端設(shè)置密封裙18，密封裙18與收集罩殼2緊密連接。如圖5所示，離合行走機(jī)構(gòu)1使收集罩殼2沿軌道16滑動，承擔(dān)收集裝置12與爐體3之間的結(jié)合、分離操作。爐體3兩端分別設(shè)置有輪軸5和導(dǎo)向輪6，輪軸5上纏繞的鋼絲繩4通過導(dǎo)向輪6的方向轉(zhuǎn)換，再連接到收集罩殼2。在裝出爐作業(yè)時，離合行走機(jī)構(gòu)1中左邊的輪軸5作主動輪，順時針方向旋轉(zhuǎn)(右邊輪軸逆時針旋轉(zhuǎn))，收集裝置12向左移動與爐體3分離。冶煉開始前，離合行走機(jī)構(gòu)l右邊的輪軸5作為主動輪，順時針旋轉(zhuǎn)，帶動收集裝置12向右移動到爐體3上與爐體3結(jié)合、密封連接進(jìn)行爐氣收集。檢測分析裝置如圖2所示，包括與收集裝置12連接的用于檢測收集裝置12內(nèi)氣體的氣體檢測裝置IO、與氣體檢測裝置10連接的控制器11、與控制器11連接的充氣風(fēng)機(jī)13;所述氣體檢測裝置IO包括氧氣含量檢測裝置和一氧化碳含量檢測裝置。氧氣含量檢測裝置和一氧化碳含量檢測裝置分別為C0檢測分析儀器和02檢測分析儀器。均衡泄壓裝置如圖2所示，包括安裝在收集裝置12內(nèi)表面的用于檢測所收集氣體壓力的壓力檢測裝置9,壓力檢測裝置9一端連接泄壓閥門7和排氣風(fēng)機(jī)8。壓力檢測裝置9包括壓力傳感器和顯示儀表。在SiC冶煉過程中，CO是連續(xù)生成的。因此收集裝置12內(nèi)氣體只有在一定的排氣速度下才能保持一定壓力，SiC合成爐的產(chǎn)氣量與收集裝置12的排氣量之差恒定時，氣體的壓力才能保持一定。排氣速度小則氣體壓力大，反之則氣體壓力小。研究表明，比較合理的SiC爐氣相對壓力為380-500亳米水柱。為稍大于外界大氣壓的正壓力。較小的氣體壓力，可以減小密封裙承受的張力，同時也可降低其他部位的密封難度。內(nèi)部氣體保持正壓，可阻止外部空氣滲漏"倒流"進(jìn)入，保證了氣體的安全性。密封連接裝置如圖l所示，SiC合成爐設(shè)置密封墻體21,收集罩殼2移動到SiC合成爐爐體3上方時和密封墻體21接觸并封閉連接，除密封墻體n以外SiC合成爐周圍設(shè)置密封水槽19，用于將密封裙18插入密封水槽19中將收集裝置12內(nèi)部氣體與外部空氣隔離。收集裝置12頂部安裝有排氣孔22,排氣孔22連接管道接通排氣風(fēng)機(jī)8，用于壓力增大時泄壓。收集罩殼2和密封墻體21之間釆用彈性密封膠墊進(jìn)行密封。密封水槽19和密封裙18可以相對應(yīng)的設(shè)置在軌道16的內(nèi)側(cè)或外側(cè)，如圖3中所示密封水槽19即是設(shè)置在軌道16外的方案。密封裙18在收集罩殼2移動時提起離開地面，收集罩殼2就位后插入密封水槽19中。另一端，收集罩殼2與密封墻體21的連接。收集罩殼2與密封墻體21通過彈性密封膠墊實現(xiàn)快速密封。密封墻體21和收集罩殼2上設(shè)置有氣體出口23。密封結(jié)構(gòu)收集裝置12位于SiC'合成爐的上方，呈隧道狀將爐體3罩住，其底部與爐床之間密封后進(jìn)行氣體收集。本實施例是將收集裝置12的兩個側(cè)部和一個端部與爐體3釆用水封結(jié)構(gòu)密封。方法是，在爐長方向的兩側(cè)設(shè)置兩道密封水槽19。該密封水槽19與一個爐端外的相同截面密封水槽19連通，形成"U"字形密封水槽19。由安裝在收集裝置12下部的密封裙18插入U形密封水槽19中將收集裝置12內(nèi)部氣體與外部空氣分離開來。在爐體3的另一端設(shè)置獨立密封墻體21。收集裝置12—端與密封墻體21上的鋼制密封槽配合，加彈性密封膠墊，并且使收集裝置12上的密封裙18與之壓緊，從而實現(xiàn)收集裝置12與整個爐體3的密封。'如圖3所示，收集罩殼2為鋼制裝置骨架14，裝置骨架14上安裝密封板17,收集罩殼下端為車輪15，車輪15在軌道16上運動，裝置骨架14外端覆蓋有密封裙18,對收集裝置內(nèi)部20的氣體收集時將密封裙18放入密封水槽19。本實施例收集罩殼2為鋼制框架罩殼。SiC爐氣中氣體的主要成分是CO,同時含有少量的H2和CH,等氣體中各成分含量因煤種而異，其中CO含量約60%~92%，112約10°/。~20%,CHji/5%~15%。三種氣體均為易燃易爆氣體，三者在空氣中的爆炸極限(體積百分比)分別為12.5%~76%、8.27%~68.8%和6.3°/。~12.8%。SiC合成爐在供電前，集氣空間完全被空氣充斥。供電開始后，爐內(nèi)物料溫度逐漸上升，碳質(zhì)原料中的揮發(fā)組份逸出，此時集氣空間氣體有空氣、揮發(fā)組分及少量CO。隨冶煉時間延長，空氣比例下降，合成氣體比例上升，最終前者被后者完全置換。供電結(jié)東后，隨著爐內(nèi)氣體的排出，爐內(nèi)壓力慢慢減小，當(dāng)SiC合成爐內(nèi)壓力降為負(fù)壓后，會有少量空氣混入，最終空氣會占據(jù)爐內(nèi)整個空間。因此在冶煉初期和停止供電后的一段時間是氣體安全收集的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。本技術(shù)在冶煉初期和停止供電后皆釆用氣體置換。供電前置換旨在排除收集裝置12內(nèi)的空氣，供電后置換旨在排除收集裝置12內(nèi)爐氣。氣體收集的工藝過程碳化硅冶煉是間歇性的，裝爐-供電冶煉-停電冷卻-出爐為一個完整周期，如此循環(huán)。在冶煉階段產(chǎn)生CO氣體，并予以收集。本實施例釆用防噴炸爐的多爐芯爐進(jìn)行生產(chǎn)，解決了氣體的有效回收和保證高質(zhì)量產(chǎn)品生產(chǎn)。如圖4所示，SiC合成爐氣體收集的方法，包括以下步驟l)SiC合成原料混合配制，裝入SiC合成爐；2)將收集裝置12平移到爐體3上端，密封裙18深入密封水槽19中，收集罩殼2和密封墻體21密封面封閉連接；3)供電前期，向收集裝置內(nèi)充入惰性氣體，強(qiáng)制排擠收集裝置內(nèi)的空氣；或者在通電后，利用SiC合成爐爐內(nèi)產(chǎn)生的爐氣自然排趕裝置內(nèi)空氣，進(jìn)行空氣置換；當(dāng)收集裝置內(nèi)02濃度小于12.5%時，完成空氣置換；4)對SiC合成爐供電生產(chǎn)碳化硅；5)在碳化硅的生產(chǎn)過程中通過氣體出口23對CO氣體進(jìn)行收集；6)對SiC合成爐停止供電；7)對SiC合成爐停爐冷卻，同時延時收集氣體，進(jìn)行爐氣置換，爐氣置換采用冷爐空氣吹掃或熱爐充惰方式進(jìn)行置換，當(dāng)收集裝置內(nèi)CO濃度小于12.5y。時，完成爐氣置換；熱爐充惰為SiC合成爐未冷卻時即充入惰性氣體進(jìn)行爐氣置換，冷爐空氣吹掃為SiC合成爐冷卻后充入空氣進(jìn)行爐氣置換；..8)將收集裝置12移出；9)將碳化硅出爐。權(quán)利要求1.一種SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于所述氣體收集系統(tǒng)包括放置在SiC合成爐之上的用于氣體收集的收集裝置，設(shè)置在SiC合成爐兩端的用于移動收集裝置的離合行走機(jī)構(gòu)，設(shè)置在收集裝置上的檢測分析裝置和均衡泄壓裝置，設(shè)置在SiC合成爐爐體四周與收集裝置接觸形成封閉空間的密封連接裝置，密封連接裝置和/或收集裝置上設(shè)置有氣體出口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于所述收集裝置包括收集罩殼，設(shè)置在SiC合成爐爐體兩側(cè)的軌道，設(shè)置在收集罩殼兩側(cè)下端在軌道上行駛的車輪，設(shè)置在車輪內(nèi)側(cè)或外側(cè)的與收集罩殼封閉連接的密封裙。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于所述收集罩殼為剛性罩殼、柔性罩殼或剛性與柔性結(jié)合的罩殼。4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于所述密封連接裝置為設(shè)置在SiC合成爐端部的、使收集裝置移動到SiC合成爐上時形成封閉連接的密封墻體，以及設(shè)置在密封墻體以外、SiC合成爐周圍的用于配合收集裝置隔離外部空氣的水封槽。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于所述密封墻體設(shè)置在SiC合成爐爐體一端或兩端，收集裝置和密封墻體之間釆用彈性密封膠墊進(jìn)行密封。'6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于所述離合行走機(jī)構(gòu)為設(shè)置在SiC合成爐爐體兩端方向的輪軸和導(dǎo)向輪以及連接輪軸、導(dǎo)向輪和收集裝置的牽引繩。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)，其特征在于所述檢測分析裝置為氣體檢測裝置、與氣體檢測裝置連接的控制器和與控制器連接的充氣風(fēng)機(jī)；所述氣體檢測裝置為氧氣含量檢測裝置和一氧化碳含量檢測裝置。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SiC合成爐氣體收集.系統(tǒng)，其特征在于所述均衡泄壓裝置為安裝在收集裝置內(nèi)表面的用于檢測收集氣體壓力的壓力檢測裝置，與壓力檢測裝置連接的泄壓閩門和排風(fēng)機(jī)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述收集系統(tǒng)進(jìn)行氣體收集的方法，該方法包括以下步驟1)SiC合成原料混合配制，裝入SiC合成爐；2)將收集裝置平移到SiC合成爐爐體上端，收集裝置和密封連接裝置連接形成封閉空間；3)供電前期，向收集裝置內(nèi)充入惰性氣體，強(qiáng)制排擠收集裝置內(nèi)的空氣；或者在通電后，利用SiC合成爐爐內(nèi)產(chǎn)生的爐氣自然排趕裝置內(nèi)空氣，進(jìn)行空氣置換；當(dāng)收集裝置內(nèi)02濃度小于12.5%時，完成空氣置換；4)對SiC合成爐供電生產(chǎn)碳化硅；5)在碳化硅的生產(chǎn)過程中通過氣體出口對C0氣體進(jìn)行收集；6)對SiC合成爐停止供電；7)對SiC合成爐停爐冷卻，同時延時收集CO氣體，進(jìn)行爐氣置換，爐氣置換釆用冷爐空氣吹掃或熱爐充惰方式進(jìn)行置換，當(dāng)收集裝置內(nèi)CO濃度小于12.5%時，完成爐氣置換；8)將收集裝置移出；9)將碳化硅出.爐。全文摘要本發(fā)明涉及一種SiC合成爐氣體收集系統(tǒng)及氣體收集方法，所述氣體收集系統(tǒng)包括放置在SiC合成爐之上的用于氣體收集的收集裝置，用于移動收集裝置的離合行走機(jī)構(gòu)，設(shè)置在收集裝置上的檢測分析裝置和均衡泄壓裝置，設(shè)置在SiC合成爐爐體四周與收集裝置接觸形成封閉空間的密封連接裝置，密封連接裝置和/或收集裝置上設(shè)置有氣體出口。SiC合成爐氣體收集方法包括以下步驟原料混合，裝爐；收集裝置到位，密封；空氣置換；生產(chǎn)碳化硅；CO氣體收集；停電冷卻；延時收集氣體；爐氣置換；收集裝置移出。采用該系統(tǒng)和方法有利于SiC合成爐氣體的持續(xù)穩(wěn)定回收，該系統(tǒng)占用空間小，對生產(chǎn)場地要求較低，可同時滿足露天和室內(nèi)生產(chǎn)要求。文檔編號C01B31/00GK101251339SQ20081001796公開日2008年8月27日申請日期2008年4月15日優(yōu)先權(quán)日2008年4月15日發(fā)明者王曉剛申請人:陜西西科博爾科技有限責(zé)任公司