可加偏壓式薄膜樣品架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于薄膜材料的制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可加偏壓式薄膜樣品架，能夠方便磁控濺射鍍膜機(jī)樣品架加載正負(fù)偏壓。
【背景技術(shù)】
[0002]在磁控濺射鍍膜過程中，為了提高成膜的均勻性，可以采用使襯底旋轉(zhuǎn)，即襯底放置在旋轉(zhuǎn)盤上，同時(shí)，為了改善成膜的質(zhì)量、提高薄膜沉積速率和增強(qiáng)薄膜與基片的附著力，可以給襯底加偏壓。但是若采用電線直接將直流電極與襯底連接，在旋轉(zhuǎn)過程中齒輪會(huì)將其絞斷，從而不能正常工作。為了解決這一難題，我們可以對原有的樣品支架進(jìn)行改進(jìn)而能夠滿足高質(zhì)量成膜的需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的樣品架不能同時(shí)加偏壓和旋轉(zhuǎn)的不足，本實(shí)用新型提供一種可加偏壓式薄膜樣品架，能夠方便磁控濺射鍍膜機(jī)樣品架加載正負(fù)偏壓。
[0004]本實(shí)用新型的可加偏壓式薄膜樣品架，其特點(diǎn)是，所述的樣品架包括托架、托架底座、金屬軸承、連接桿和真空室底座；其連接關(guān)系是，所述托架固定連接在托架底座上，所述的連接桿設(shè)置在托架底座的下方，連接桿的一端與托架固定連接，另一端與真空室底座固定連接；所述的金屬軸承內(nèi)圈固定在連接桿上，外圈與電纜線連接。
[0005]所述的托架、托架底座、金屬軸承、連接桿、真空室底座為同軸心設(shè)置。
[0006]本實(shí)用新型利用軸承的特性，把金屬軸承的內(nèi)圈固定在托架連接桿上，同時(shí)外圈引出電極，連接桿材料為聚四氟乙烯可將真空室底座與托架底座之間隔開。這樣，解決了旋轉(zhuǎn)托架和電極連接的難題，也實(shí)現(xiàn)了電極和機(jī)殼的絕緣問題。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果是，能夠使托架旋轉(zhuǎn)，同時(shí)又能夠?qū)ν屑苁┘映掷m(xù)偏壓，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型的可加偏壓式薄膜樣品架結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖中.1.托架 2.托架底座 3.金屬軸承 4.連接桿 5.真空室底座。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0011]實(shí)施例1
[0012]圖1為本實(shí)用新型的可加偏壓式薄膜樣品架結(jié)構(gòu)示意圖。在圖1中，本實(shí)用新型的樣品架包括托架1、托架底座2、金屬軸承3、連接桿4和真空室底座5 ;其連接關(guān)系是，所述托架I固定連接在托架底座2上，所述的連接桿4設(shè)置在托架底座2的下方，連接桿4的一端與托架I固定連接，另一端與真空室底座5固定連接；所述的金屬軸承3內(nèi)圈固定在連接桿4上，外圈與電纜線連接。托架I的材料為聚四氟乙烯。這樣，解決了旋轉(zhuǎn)托架I和電極連接的難題，也實(shí)現(xiàn)了電極和機(jī)殼的絕緣問題。
[0013]所述的托架1、托架底座2、金屬軸承3、連接桿4、真空室底座5為同軸心設(shè)置。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.可加偏壓式薄膜樣品架，其特征在于，所述的樣品架包括托架(1)、托架底座(2)、金屬軸承(3)、連接桿(4)和真空室底座(5);其連接關(guān)系是，所述托架(I)固定連接在托架底座(2)上，所述的連接桿(4)設(shè)置在托架底座(2)的下方，連接桿(4)的一端與托架(I)固定連接，另一端與真空室底座(5 )固定連接；所述的金屬軸承(3 )內(nèi)圈固定在連接桿(4 )上、外圈與電纜線連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可加偏壓式薄膜樣品架，其特征在于，所述的托架(1)、托架底座(2)、金屬軸承(3)、連接桿(4)、真空室底座(5)為同軸心設(shè)置。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種可加偏壓式薄膜樣品架，能夠方便磁控濺射鍍膜機(jī)樣品架加載正負(fù)偏壓又可以轉(zhuǎn)動(dòng)樣品。本實(shí)用新型的可加偏壓式薄膜樣品架，包括托架、托架底座、金屬軸承、連接桿和真空室底座。利用軸承的特性，把金屬軸承的內(nèi)圈固定在托架連接桿上，同時(shí)外圈引出電極，通過連接桿將真空室底座與托架底座之間隔開。這樣，解決了旋轉(zhuǎn)托架架和電極連接的難題，也實(shí)現(xiàn)了電極和機(jī)殼的絕緣問題。本實(shí)用新型既能夠使托架旋轉(zhuǎn)，同時(shí)又能夠?qū)ν屑苁┘映掷m(xù)偏壓，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。
【IPC分類】C23C14-50
【公開號】CN204529970
【申請?zhí)枴緾N201520177848
【發(fā)明人】劉艷松, 何智兵, 王濤, 許華, 陳志梅, 李玉紅
【申請人】中國工程物理研究院激光聚變研究中心
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年3月27日