掩模板的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及掩模板制作技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種掩模板。
【背景技術(shù)】
[0002]OLED生產(chǎn)過程中最重要的一環(huán)節(jié)就是將有機(jī)層按照驅(qū)動(dòng)矩陣的要求涂敷到基層上，形成關(guān)鍵的發(fā)光顯示單元。而高精度的涂敷技術(shù)是制約OLED產(chǎn)品化的關(guān)鍵因素。
[0003]目前在OLED生產(chǎn)中，主要采用的蒸鍍工藝，是至關(guān)重要的，即將有機(jī)材料通過真空蒸鍍高精度涂覆到基板上，形成發(fā)光顯示單元，這一過程必須要使用高精度金屬掩膜板。
[0004]蒸鍍工藝中用到的金屬掩膜板有開放式掩模板(Open Mask)和精細(xì)金屬掩模板(Fine Metal Mask)。傳統(tǒng)工藝在制作掩模板時(shí)，主要包括:
[0005]首先，如圖1所示，經(jīng)過光刻刻蝕工藝制作出圖案金屬膜I。
[0006]然后，如圖2所示，用高精度的張網(wǎng)機(jī)設(shè)備將圖案金屬膜I張到精確位置時(shí)再焊接到金屬框架2上。
[0007]但是，傳統(tǒng)工藝在制作掩模板時(shí)，很容易產(chǎn)生張力F不均的情況，或著焊接產(chǎn)生的熱應(yīng)力等問題，這都會(huì)造成圖案金屬膜位置精度不高，影響制得的掩模板的圖形精度。另夕卜，對(duì)于大尺寸掩模板，由于圖案金屬膜的質(zhì)量較大，從而會(huì)在其自身重力作用下產(chǎn)生凹陷下垂，導(dǎo)致圖形扭曲，這對(duì)精度要求較高的蒸鍍過程而言，是極為不利的。鑒于此，業(yè)內(nèi)亟需一種能夠解決此問題的技術(shù)方案。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]本實(shí)用新型的目的在于，提供一種掩模板，提高掩模板的精度。
[0009]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種掩模板，包括:
[0010]框架，所述框架鏤空以形成有支撐條；以及
[0011]圖案金屬膜，所述圖案金屬膜具有開口，所述圖案金屬膜附在所述框架上，所述支撐條與所述開口相對(duì)應(yīng)且暴露出所述開口。
[0012]可選的，對(duì)于所述的掩模板，所述支撐條包括第一支撐條和第二支撐條，所述第一支撐條位于圖案金屬膜中央?yún)^(qū)域下方，所述第二支撐條圍繞所述圖案金屬膜邊緣一周。
[0013]可選的，對(duì)于所述的掩模板，所述第二支撐條圍繞呈矩形。
[0014]可選的，對(duì)于所述的掩模板，所述第一支撐條包括橫向第一支撐條和縱向第一支撐條，所述橫向第一支撐條和縱向第一支撐條交叉相連接。
[0015]可選的，對(duì)于所述的掩模板，所述橫向第一支撐條的兩端連接至呈矩形的第二支撐條的一組對(duì)邊，所述縱向第一支撐條的兩端連接至呈矩形的第二支撐條的另一組對(duì)邊，所述橫向第一支撐條、縱向第一支撐條及第二支撐條連接呈矩形形狀。
[0016]可選的，對(duì)于所述的掩模板，所述第一支撐條和第二支撐條朝向圖案金屬膜的一面共平面。
[0017]可選的，對(duì)于所述的掩模板，所述第一支撐條的厚度小于第二支撐條的厚度。
[0018]可選的，對(duì)于所述的掩模板，所述第一支撐條的厚度為5-80_，所述第二支撐條的厚度為10-100mm。
[0019]可選的，對(duì)于所述的掩模板，所述圖案金屬膜的厚度為20-200 μ m。
[0020]本實(shí)用新型提供的掩模板，所述框架鏤空以形成有支撐條，所述圖案金屬膜附在所述框架上，相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型具有以下一個(gè)或多個(gè)優(yōu)點(diǎn):
[0021](I)避免了焊接工藝對(duì)掩模板造成的形變；
[0022](2)通過支撐條的存在，預(yù)防了由于重力作用所致的掩模板變形；
[0023](3)無(wú)需高精度張網(wǎng)設(shè)備，因此降低了制作成本和難度；
[0024](4)可靈活變更設(shè)計(jì)，不需要額外的光刻掩模板，因此也降低了成本。
【附圖說明】
[0025]圖1-圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的掩模板制造過程中的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中的掩模板的結(jié)構(gòu)示意圖
[0027]圖4-圖9為本實(shí)用新型實(shí)施例中的掩模板在制造過程中的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的掩模板進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型，而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0029]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說僅僅是常規(guī)工作。
[0030]本實(shí)用新型的中心思想是:提供一種掩模板，包括:框架，所述框架鏤空以形成有支撐條；然后將圖案金屬膜附在所述框架上。由此，本實(shí)用新型一方面避免了焊接工藝對(duì)掩模板造成的形變；另一方面由于支撐條的存在，預(yù)防了由于重力作用所致的掩模板變形。從而有效提尚了掩t旲板的精度。
[0031]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實(shí)用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0032]下面對(duì)本實(shí)用新型做詳細(xì)介紹。請(qǐng)參考圖3，本實(shí)用新型的掩模板包括:
[0033]框架11，所述框架11鏤空以形成有支撐條；以及
[0034]圖案金屬膜13，圖案金屬膜13具有開口 131，圖案金屬膜13附在所述框架11上，所述支撐條與開口 131相對(duì)應(yīng)且暴露出開口 131。
[0035]具體的，所述支撐條包括第一支撐條(112、113)和第二支撐條111，所述第一支撐條(112、113)位于圖案金屬膜13中央?yún)^(qū)域下方，第二支撐條111圍繞所述圖案金屬膜13邊緣一周，較佳的，第二支撐條111圍繞呈矩形。
[0036]進(jìn)一步的，第一支撐條包括橫向第一支撐條112和縱向第一支撐條113，橫向第一支撐條112和縱向第一支撐條113交叉相連接。
[0037]橫向第一支撐條112的兩