一種開口型pecvd電極的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及到一種電極，尤其涉及到一種接觸面積大、導(dǎo)電可靠性好的開口型PECVD電極。
【背景技術(shù)】
[0002]目前太陽能電池片制造中PECVD管式鍍膜工序，待處理硅片先插入石墨舟上，如圖1和圖2所示，石墨舟的端部設(shè)有石墨塊，石墨塊中間設(shè)有電極圓孔，用于與電極連接并導(dǎo)入高頻電流，爐管尾部有兩根電極叉，如圖3所示，電極叉采用圓柱狀，可插入中間的石墨塊電極圓孔，鍍膜時將插好待鍍硅片的石墨舟送入爐管內(nèi)，如圖4所示，電極叉對準(zhǔn)石墨舟一側(cè)石墨塊上的電極圓孔內(nèi)并插入連接，通入氨氣硅烷氣體，接入高頻電流，使氣體在硅片表面發(fā)生反應(yīng)形成氮化硅膜，由于目前使用的電極叉為較細的圓柱形電極叉，僅與石墨舟中心石墨塊相接觸，接觸面積較少，生產(chǎn)過程中會發(fā)生電極叉與石墨舟接觸不良的現(xiàn)象，導(dǎo)致色差產(chǎn)生，增加電池片制造過程中的不良率。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型主要解決現(xiàn)有石墨舟圓柱狀電極接觸面小、導(dǎo)電可靠性差的技術(shù)問題；提供了一種接觸面積大、導(dǎo)電可靠性好的開口型PECVD電極。
[0004]為了解決上述存在的技術(shù)問題，本實用新型主要是采用下述技術(shù)方案:
[0005]本實用新型的一種開口型PECVD電極，用于連接石墨舟端部的石墨塊并傳輸高頻電流，所述電極包括一體結(jié)構(gòu)的U型頭部和與頭部相連的尾桿，所述頭部前端設(shè)有卡槽，所述卡槽與所述石墨塊大小相吻合并可包裹石墨塊，采用開口型卡槽式結(jié)構(gòu)的電極來代替原來的圓柱狀電極，使得電極與石墨舟的電連接從單個石墨塊擴大到整排石墨塊，擴大了兩者的接觸面積，提高了電連接的可靠性和電極承載能力，減少了硅片鍍膜工序中的色差現(xiàn)象，提高了硅片制造的質(zhì)量和合格率，而尾桿截面可以是方形、圓形和正多邊形，方便使用者的抓握。
[0006]作為優(yōu)選，所述卡槽截面呈長方型，卡槽中軸線與尾桿垂直，卡槽長度與所述石墨舟端部的排狀石墨塊的總寬度相吻合，卡槽寬度與石墨塊的高度相吻合，卡槽深度與石墨塊的厚度相吻合，卡槽上下側(cè)壁貼合石墨塊上下表面，卡槽底面貼合石墨塊外側(cè)表面，卡槽可三面包裹并卡緊石墨舟端部的整排石墨塊，擴大了電極與石墨塊的接觸面積，提高了兩者連接的可靠性，降低硅片鍍膜過程中的不良率。
[0007]作為優(yōu)選，所述卡槽內(nèi)壁面的頂端呈斜面狀，較大開口的卡槽既方便電板的導(dǎo)入，也保證了電極插入卡槽中的緊固度，減少接觸不良的產(chǎn)生。
[0008]作為優(yōu)選，所述電極的材質(zhì)為高純石墨，電極與石墨舟端部的石墨塊為同一材質(zhì)，兩者形變系數(shù)相同，且熔點高、導(dǎo)電性好，不會污染硅片。
[0009]本實用新型的有益效果是:采用開口型卡槽式結(jié)構(gòu)的電極來代替原來的圓柱狀電極，使得電極與石墨舟的電連接從單個石墨塊擴大到整排石墨塊，擴大了兩者的接觸面積，提高了電連接的可靠性和電極承載能力，減少了硅片鍍膜工序中的色差現(xiàn)象，提高了硅片制造的質(zhì)量和合格率，而高純石墨制成的電極與石墨塊的形變系數(shù)相同，且熔點高、導(dǎo)電性好，不會污染硅片。
【附圖說明】
[0010]圖1是石墨舟結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是圖1中的石墨舟端部石墨塊不意圖。
[0012]圖3是現(xiàn)有電極結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖4是現(xiàn)有電極的使用示意圖。
[0014]圖5是本實用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖6是本實用新型電極的使用示意圖。
[0016]圖中1.石墨舟，11.石墨塊，2.電極，21.頭部，211.卡槽，22.尾桿。
【具體實施方式】
[0017]下面通過實施例，并結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進一步具體的說明。
[0018]實施例:本實施例的一種開口型PECVD電極，用于連接石墨舟I端部的石墨塊11并傳輸高頻電流，如圖5所示，電極2由高純石墨制成，包括一體結(jié)構(gòu)的U型頭部21和與頭部相連的尾桿22，頭部前端設(shè)有卡槽211，卡槽截面呈長方型，卡槽中軸線與尾桿垂直，卡槽長度與石墨舟端部的排狀石墨塊的總寬度相吻合，卡槽寬度與石墨塊的高度相吻合，卡槽深度與石墨塊的厚度相吻合，卡槽內(nèi)壁面的頂端呈斜面狀，卡槽上下側(cè)壁貼合石墨塊上下表面，卡槽底面貼合石墨塊外側(cè)表面，卡槽可三面包裹并卡緊石墨舟端部的整排石墨塊，電極的尾桿截面呈正六邊形結(jié)構(gòu)，方便操作者的抓握。
[0019]使用時，將多片待鍍膜硅片插入石墨舟上的溝棒，然后將石墨舟送入爐管內(nèi)，再將電極的卡槽插入石墨舟端部的石墨塊上，如圖6所示，電極卡槽完全包裹整排石墨塊并保證兩者接觸良好，完成電極與石墨舟的電連接，最后，爐管內(nèi)通入氨氣硅烷氣體，導(dǎo)入高頻電流，使氣體在硅片表面發(fā)生反應(yīng)而形成氮化硅膜。
[0020]在本實用新型的描述中，技術(shù)術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“深”、“淺”、“內(nèi)”、“外”
等表示方向或位置關(guān)系是基于附圖所示的方向或位置關(guān)系，僅是為了便于描述和理解本實用新型的技術(shù)方案，以上說明并非對本實用新型作了限制，本實用新型也不僅限于上述說明的舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實用新型的實質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、增添或替換，都應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種開口型PECVD電極，用于連接石墨舟(I)端部的石墨塊(11)并傳輸高頻電流，其特征在于:所述電極(2)包括一體結(jié)構(gòu)的U型頭部(21)和與頭部相連的尾桿(22)，所述頭部前端設(shè)有卡槽(211)，所述卡槽與所述石墨塊大小相吻合并可包裹石墨塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種開口型PECVD電極，其特征在于:所述卡槽(211)截面呈長方型，卡槽中軸線與尾桿垂直，卡槽長度與所述石墨舟端部的排狀石墨塊(11)的總寬度相吻合，卡槽寬度與石墨塊的高度相吻合，卡槽深度與石墨塊的厚度相吻合，卡槽上下側(cè)壁貼合石墨塊上下表面，卡槽底面貼合石墨塊外側(cè)表面，卡槽三面包裹并卡緊石墨舟端部的整排石墨塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種開口型PECVD電極，其特征在于:所述卡槽(211)內(nèi)壁面的頂端呈斜面狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種開口型PECVD電極，其特征在于:所述電極(2)的材質(zhì)為尚純石墨。
【專利摘要】本實用新型公開了一種開口型PECVD電極，包括一體結(jié)構(gòu)的U型頭部和尾桿，頭部前端設(shè)有卡槽，卡槽與石墨塊大小相吻合并可包裹石墨塊，本實用新型采用開口型卡槽式結(jié)構(gòu)的電極來代替原來的圓柱狀電極，使得電極與石墨舟的電連接從單個石墨塊擴大到整排石墨塊，擴大了兩者的接觸面積，提高了電連接的可靠性和電極承載能力，減少了硅片鍍膜工序中的色差現(xiàn)象，提高了硅片制造的質(zhì)量和合格率。
【IPC分類】C23C16-50
【公開號】CN204356402
【申請?zhí)枴緾N201420770624
【發(fā)明人】史公彬, 金重玄
【申請人】杭州大和熱磁電子有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2014年12月9日