一種真空鍍膜吸塵機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及真空鍍膜除塵技術，具體涉及一種真空鍍膜吸塵機。
【背景技術】
[0002]真空鍍膜是在真空環(huán)境下利用輝光放電將氬氣離子撞擊靶材表面，靶材的原子被彈出而堆積在基板表面形成薄膜層。因該技術成本低、附著性好及鍍膜厚度均勻等特點，越來越多的應用在厚膜晶片電阻器的制造工藝上。因而開發(fā)出高品質的真空鍍膜技術，對企業(yè)未來的發(fā)展具有重要意義。常規(guī)的真空鍍膜技術在基板進入真空濺鍍機前使用氣槍清潔附著在基板表面的異物(粉塵、毛肩等)，以保證產品品質，同時保護真空環(huán)境。
[0003]常規(guī)的真空鍍膜技術在真空濺鍍前使用氣槍清潔基板，雖在一定程度上起到了清潔的作用，但難以保證清潔的干凈度，易出現電阻器側面未完全鍍膜的現象，造成焊錫性不良。同時帶有異物的晶片電阻進入真空腔體內，破壞了腔體的真空環(huán)境。而異物被氣槍吹向空氣中，破壞了工作環(huán)境。使用氣槍清潔基板，需要清潔完一面再清潔另一面，生產效率低。
【實用新型內容】
[0004]針對上述現有技術中的不足，本實用新型主要目的是提供一種真空鍍膜吸塵機，能有效解決現有技術中真空鍛I旲如基板清潔不完全的冋題，不僅利于基板清潔提尚廣品品質，而且利于工作環(huán)境保護，減少工人工作量的同時保護工人身體健康。
[0005]為實現上述目的，本實用新型公開的技術方案是:一種真空鍍膜吸塵機，包括:自動運輸裝置、真空清潔裝置、抽真空裝置，所述自動運輸裝置包括料盤軌道、傳輸皮帶和傳輸馬達，所述傳輸馬達驅動所述傳輸皮帶轉動，所述傳輸皮帶帶動所述料盤軌道移動；所述真空清潔裝置包括供料盤通過的腔體及設于所述腔體兩側的感應器，所述腔體的上端及下端分別設有吸氣孔或吸氣縫；所述抽真空裝置包括真空泵、清潔管道及過濾器，所述真空泵連接所述清潔管道，所述清潔管道連接所述吸氣孔或吸氣縫，所述真空泵與清潔管道之間設置過濾器。
[0006]優(yōu)選的，所述抽真空裝置設有兩個，兩個抽真空裝置分別連接腔體上端的吸氣孔或吸氣縫及腔體下端的吸氣孔或吸氣縫。
[0007]優(yōu)選的，所述感應器設有兩個，其中一個設于所述腔體的進料端的上方，另一個設于所述腔體的出料端的下方。
[0008]優(yōu)選的，所述腔體呈長方體結構。
[0009]優(yōu)選的，所述腔體的上端及下端的吸氣縫的縫隙間距為4_8mm，長度為600-700mmo
[0010]本實用新型中的真空鍍膜吸塵機利用真空泵產生的負壓，吸取附著在基板和料盤表面的異物，以達到清潔的效果。吸取的異物進入清潔管道，最終吸附在過濾器的濾芯上，工人對濾芯作定期清潔，保證過濾器的過濾效果。為降低人力勞動強度，本實用新型設計自動傳輸系統(tǒng)，可以將料盤、基板自動傳輸到真空鍍膜吸塵機進行清潔。同時利用光電感應，真空泵只有當基板或料盤在真空鍍膜吸塵機里面時才開始工作，可以減少能源的浪費。
[0011]本實用新型真空鍍膜吸塵機有如下好處:1.真空鍍膜吸塵機的清潔效果顯著，自投入生產后，無相關品質異常發(fā)生，極大的提高了產品的品質狀況；2.真空鍍膜吸塵機自動傳輸裝置的設計，降低了作業(yè)者的勞動強度；3.真空鍍膜吸塵機加裝濾芯，使吸入的異物吸附在濾芯上，保護了工作環(huán)境。
[0012]本實用新型真空鍍膜吸塵機，能有效解決現有技術中真空鍍膜前基板清潔不完全的問題，不僅利于基板清潔提高產品品質，而且利于工作環(huán)境保護，減少工人工作量的同時保護工人身體健康。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型真空鍍膜吸塵機一較佳實施例的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優(yōu)點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。
[0015]請參考附圖1，本實用新型實施例包括:
[0016]實施例1:一種真空鍍膜吸塵機，包括:自動運輸裝置、真空清潔裝置2、抽真空裝置，自動運輸裝置I包括料盤軌道3、傳輸皮帶I和傳輸馬達，所述傳輸馬達驅動傳輸皮帶I轉動，傳輸皮帶I帶動料盤軌道3移動；真空清潔裝置2包括供待清潔的料盤通過的腔體及設于所述腔體兩側的感應器，所述腔體的上端及下端分別設有吸氣孔；抽真空裝置包括真空泵、清潔管道及過濾器，所述真空泵連接所述清潔管道，所述清潔管道連接所述吸氣孔，所述真空泵與清潔管道之間設置過濾器。
[0017]實施例2:本實施例與實施例1的不同之處在于，本實施例中，抽真空裝置設有兩個，分別是抽真空裝置4、抽真空裝置5。抽真空裝置4包括真空泵40、清潔管道41、過濾器42，真空泵40連接過濾器42，清潔管道41 一端連接過濾器42，另一端連接腔體上端的吸氣孔22 ;真空泵50連接過濾器52，清潔管道51 —端連接過濾器52，另一端連接腔體上端的吸氣孔23。
[0018]實施例3:本實施例與實施例2的不同之處在于，本實施例中，所述感應器設有兩個，感應器20設于所述腔體的進料端的上方，感應器21設于所述腔體的出料端的下方。
[0019]本實施例中，真空清潔裝置2的腔體呈長方體結構。
[0020]實施例4:一種真空鍍膜吸塵機，包括:自動運輸裝置、真空清潔裝置2、抽真空裝置，自動運輸裝置I包括料盤軌道3、傳輸皮帶I和傳輸馬達，所述傳輸馬達驅動傳輸皮帶I轉動，傳輸皮帶I帶動料盤軌道3移動；真空清潔裝置2包括供待清潔的料盤通過的腔體及設于所述腔體兩側的感應器，所述腔體的上端及下端分別設有吸氣縫；抽真空裝置包括真空泵、清潔管道及過濾器，所述真空泵連接所述清潔管道，所述清潔管道連接所述吸氣縫，所述真空泵與清潔管道之間設置過濾器。
[0021]腔體的上端及下端的吸氣縫的縫隙間距為5mm，長度為600mm。
[0022]實施例5:本實施例與實施例4的不同之處在于，本實施例中腔體的上端及下端的吸氣縫的縫隙間距為8mm，長度為700mmo
[0023]實施例6:本實施例與實施例4的不同之處在于，本實施例中腔體的上端及下端的吸氣縫的縫隙間距為4mm，長度為650mmo
[0024]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種真空鍍膜吸塵機，其特征在于，包括:自動運輸裝置、真空清潔裝置、抽真空裝置，所述自動運輸裝置包括料盤軌道、傳輸皮帶和傳輸馬達，所述傳輸馬達驅動所述傳輸皮帶轉動，所述傳輸皮帶帶動所述料盤軌道移動；所述真空清潔裝置包括供待清潔的料盤通過的腔體及設于所述腔體兩側的感應器，所述腔體的上端及下端分別設有吸氣孔或吸氣縫；所述抽真空裝置包括真空泵、清潔管道及過濾器，所述真空泵連接所述清潔管道，所述清潔管道連接所述吸氣孔或吸氣縫，所述真空泵與清潔管道之間設置過濾器。
2.根據權利要求1所述的真空鍍膜吸塵機，其特征在于，所述抽真空裝置設有兩個，兩個抽真空裝置分別連接腔體上端的吸氣孔或吸氣縫及腔體下端的吸氣孔或吸氣縫。
3.根據權利要求2所述的真空鍍膜吸塵機，其特征在于，所述感應器設有兩個，其中一個設于所述腔體的進料端的上方，另一個設于所述腔體的出料端的下方。
4.根據權利要求3所述的真空鍍膜吸塵機，其特征在于，所述腔體呈長方體結構。
5.根據權利要求4所述的真空鍍膜吸塵機，其特征在于，所述腔體的上端及下端的吸氣縫的縫隙間距為4-8mm，長度為600-700mm。
【專利摘要】本實用新型公開了一種真空鍍膜吸塵機，包括：自動運輸裝置、真空清潔裝置、抽真空裝置，自動運輸裝置包括料盤軌道、傳輸皮帶和傳輸馬達，傳輸馬達驅動傳輸皮帶轉動，傳輸皮帶帶動料盤軌道移動；真空清潔裝置包括供料盤通過的腔體及設于所述腔體兩側的感應器，所述腔體的上端及下端分別設有吸氣孔或吸氣縫；所述抽真空裝置包括真空泵、清潔管道及過濾器，所述真空泵連接所述清潔管道，所述清潔管道連接所述吸氣孔或吸氣縫，所述真空泵與清潔管道之間設置過濾器。通過上述方式，本實用新型能有效解決現有技術中真空鍍膜前基板清潔不完全的問題，不僅利于基板清潔提高產品品質，而且利于工作環(huán)境保護，減少工人工作量的同時保護工人身體健康。
【IPC分類】C23C14-00
【公開號】CN204356394
【申請?zhí)枴緾N201420786170
【發(fā)明人】溫美香
【申請人】旺詮科技(昆山)有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2014年12月15日