一種用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型是關(guān)于單晶硅技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶 棒尺寸檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 在太陽能電池組件生產(chǎn)過程中，用單晶硅作為太陽能電池組件的原材料因其具有 光電轉(zhuǎn)換效率高的特點(diǎn)而得到越來越多的應(yīng)用。
[0003] 在生產(chǎn)太陽能電池片時(shí)，首先要將單晶生長爐生長的單晶硅棒切割成一定長度的 短圓棒，然后再把短圓棒經(jīng)過切方、磨削工序后加工成四角為圓弧的方棒，最后再將方棒切 成薄片，這些薄片經(jīng)過后續(xù)處理后就成了太陽能電池片。在晶棒加工流水線車間中，所有工 序全部自動完成，單晶硅棒切磨一體機(jī)是自動完成晶棒切方、磨削工序的集成式加工中心。 由于單晶生長設(shè)備生長出來的同一規(guī)格的單晶棒直徑也各不相同，尤其是晶棒上四條棱線 突起的高度不一，如何自動地、準(zhǔn)確地將尺寸不一的晶棒加工到同一目標(biāo)尺寸是單晶硅棒 切磨一體機(jī)的首要任務(wù)。在加工過程中，如何精確地測量出待加工晶棒的具體尺寸以及確 定加工進(jìn)刀量是最為關(guān)鍵的技術(shù)問題。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004] 本實(shí)用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種用于單晶硅棒切磨 一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置，該裝置能夠準(zhǔn)確的測量出圓晶棒的實(shí)際直徑、方晶棒對邊距 離以及晶棒棱線突起高度，然后根據(jù)測量值計(jì)算出進(jìn)刀量及進(jìn)刀次數(shù)。為解決上述技術(shù)問 題，本實(shí)用新型的解決方案是：
[0005] 提供一種用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置，用于對晶棒的尺寸數(shù)據(jù) 進(jìn)行測量，所述用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置包括驅(qū)動單元、驅(qū)動電機(jī)、聯(lián) 軸器、移動座、支撐臂、傳感器壓蓋、封板、保護(hù)罩、傳感器、探測頭、數(shù)據(jù)處理及控制單元和 電線；
[0006] 所述數(shù)據(jù)處理及控制單元通過電線連接到驅(qū)動電機(jī)的輸入端，驅(qū)動電機(jī)的輸出端 通過聯(lián)軸器與驅(qū)動單元輸入端相連，驅(qū)動單元上設(shè)有滑動平臺；所述移動座安裝在驅(qū)動單 元的滑動平臺上，支撐臂的一端固定在移動座的頭部；所述傳感器通過傳感器壓蓋設(shè)置在 支撐臂的另一端，封板和保護(hù)罩固定安裝在傳感器壓蓋上；所述探測頭依次貫穿通過保護(hù) 罩和封板，并與傳感器一端相連，傳感器另一端通過電線與數(shù)據(jù)處理及控制單元相連；數(shù)據(jù) 處理及控制單元采用可編程邏輯控制器，用于控制驅(qū)動電機(jī)的啟停以及將探測頭移動的距 離轉(zhuǎn)化為被測單晶棒的尺寸。
[0007] 作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述驅(qū)動單元采用日本THK精密直線滾動導(dǎo)軌智能組合單 元，型號為KR45型。
[0008] 作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述驅(qū)動電機(jī)采用伺服電機(jī)。
[0009] 作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述傳感器采用直動單方向式傳感器，其行程3mm、精度 0? 001mm〇
[0010] 作為進(jìn)一步的改進(jìn)，所述用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置還包括底 座，驅(qū)動單元安裝在底座的上平面。
[0011] 作為進(jìn)一步的改進(jìn)，晶棒尺寸檢測裝置檢測出晶棒尺寸后，可確定加工刀具首次 進(jìn)刀量和進(jìn)刀次數(shù)；首次進(jìn)刀量Si和進(jìn)刀次數(shù)n滿足公式：
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置，用于對晶棒的尺寸數(shù)據(jù)進(jìn)行測 量，其特征在于，所述用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置包括驅(qū)動單元、驅(qū)動電 機(jī)、聯(lián)軸器、移動座、支撐臂、傳感器壓蓋、封板、保護(hù)罩、傳感器、探測頭、數(shù)據(jù)處理及控制單 元和電線； 所述數(shù)據(jù)處理及控制單元通過電線連接到驅(qū)動電機(jī)的輸入端，驅(qū)動電機(jī)的輸出端通過 聯(lián)軸器與驅(qū)動單元輸入端相連，驅(qū)動單元上設(shè)有滑動平臺；所述移動座安裝在驅(qū)動單元的 滑動平臺上，支撐臂的一端固定在移動座的頭部；所述傳感器通過傳感器壓蓋設(shè)置在支撐 臂的另一端，封板和保護(hù)罩固定安裝在傳感器壓蓋上；所述探測頭依次貫穿通過保護(hù)罩和 封板，并與傳感器一端相連，傳感器另一端通過電線與數(shù)據(jù)處理及控制單元相連；數(shù)據(jù)處理 及控制單元采用可編程邏輯控制器，用于控制驅(qū)動電機(jī)的啟停以及將探測頭移動的距離轉(zhuǎn) 化為被測單晶棒的尺寸。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置，其特征 在于，所述驅(qū)動單元采用日本THK精密直線滾動導(dǎo)軌智能組合單元，型號為KR45型。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置，其特征 在于，所述驅(qū)動電機(jī)采用伺服電機(jī)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置，其特征 在于，所述傳感器采用直動單方向式傳感器，其行程3_、精度0. 001mm。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)所述的一種用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測 裝置，其特征在于，所述用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置還包括底座，驅(qū)動單 元安裝在底座的上平面。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及單晶硅技術(shù)領(lǐng)域，旨在提供一種用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置。該用于單晶硅棒切磨一體機(jī)的晶棒尺寸檢測裝置包括驅(qū)動單元、驅(qū)動電機(jī)、聯(lián)軸器、移動座、支撐臂、傳感器壓蓋、封板、保護(hù)罩、傳感器、探測頭、數(shù)據(jù)處理及控制單元和電線。本實(shí)用新型能夠準(zhǔn)確的測量出圓晶棒的實(shí)際直徑、方晶棒對邊距離以及晶棒棱線突起高度，然后根據(jù)測量值計(jì)算出進(jìn)刀量及進(jìn)刀次數(shù)；還具有結(jié)構(gòu)簡單、檢測精度高、檢測速度快、自動檢測和智能計(jì)算等優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類】G01B21-00, G01B21-02, B28D7-00, B24B49-00
【公開號】CN204295504
【申請?zhí)枴緾N201420705443
【發(fā)明人】朱亮, 葉欣, 石剛, 沈文杰, 孫明, 周建燦, 楊奎
【申請人】浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2014年11月21日