藥液回收設(shè)備及其系統(tǒng)與方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明與一種提供基板進(jìn)行化學(xué)制程的技術(shù)有關(guān)，尤指一種于化學(xué)制程進(jìn)行中，所使用藥液的回收設(shè)備及其系統(tǒng)與方法。
【背景技術(shù)】
[0002]按，現(xiàn)有的砸化銅銦鎵(CIGS)太陽(yáng)能薄膜制程中，都需要形成一緩沖薄膜，如硫化鎘(CdS )、硫化鋅(ZnS )、氫氧化銦(In (OH) 3)、硫化銦(In2S3)、砸化鋅(ZnSe )、氧化鋅(ZnO)、二氧化錫(SnO2),而現(xiàn)行制作緩沖薄膜的制造設(shè)備，都是采用化學(xué)水浴沉積(CBD)方式制造，不過傳統(tǒng)的化學(xué)水浴沉積制程都是采用先加熱化學(xué)藥液，再將藥液噴灑在可撓性基板上以進(jìn)行生成緩沖層的反應(yīng)。由于藥液經(jīng)過加熱后會(huì)使酸堿值產(chǎn)生變化，不易進(jìn)行回收利用，故對(duì)于環(huán)境以及生產(chǎn)成本都是不利，此一問題有待改善。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的主要目的，在于可提供一種藥液回收設(shè)備及其系統(tǒng)與方法，俾借由冷卻方式避免藥液產(chǎn)生非預(yù)期的化學(xué)反應(yīng)，并提升化學(xué)藥液的回收效率，故可有效降低生產(chǎn)成本。
[0004]為了達(dá)成上述的目的，本發(fā)明提供一種藥液回收設(shè)備，用于回收與一基材進(jìn)行化學(xué)制程的藥液，包括一藥液槽、一回收路徑、一回收容器、一冷卻管路、以及一冷卻機(jī)；其中，藥液槽用于容納藥液，且藥液槽具有一開口，開口提供基材與藥液槽內(nèi)的藥液進(jìn)行化學(xué)制程；回收路徑包含藥液集中槽與回流管路，藥液集中槽連通回流管路，藥液集中槽設(shè)于藥液槽旁，用以導(dǎo)引一外流藥液，該外流藥液為由該藥液槽外流的至少部份藥液；回收容器通過回收路徑導(dǎo)引外流藥液進(jìn)入回收容器；冷卻管路熱接觸藥液槽，并提供冷卻流體在冷卻管路中流動(dòng)；冷卻機(jī)與冷卻管路連通，降溫冷卻管路內(nèi)的冷卻流體，并驅(qū)動(dòng)冷卻流體流動(dòng)。
[0005]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該藥液槽的開口周緣外設(shè)有圍繞該開口的溢流槽，該溢流槽連通該回流管路，用以導(dǎo)引所述外流藥液。
[0006]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該冷卻管路貼接于該藥液槽底部。
[0007]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該冷卻管路局部設(shè)于該藥液槽內(nèi)。
[0008]作為優(yōu)選技術(shù)方案，部分該冷卻管路形成于一上蓋與一下座之間。
[0009]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該冷卻管路包含一冷卻盤管，該冷卻盤管設(shè)于該藥液集中槽內(nèi)。
[0010]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該冷卻盤管呈迂回狀而分布于該藥液集中槽內(nèi)。
[0011 ] 作為優(yōu)選技術(shù)方案，該回收容器內(nèi)設(shè)有一二次冷卻模塊。
[0012]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該回收容器內(nèi)設(shè)有一過濾網(wǎng)，用以過濾結(jié)晶物或雜質(zhì)。
[0013]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該回流管路局部設(shè)于該藥液槽內(nèi)。
[0014]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該回流管路連通該藥液槽，用以將回收的藥液輸送至該藥液槽。
[0015]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該回流管路內(nèi)設(shè)有一檢測(cè)單元而檢測(cè)回收的藥液是否符合一默認(rèn)值。
[0016]作為優(yōu)選技術(shù)方案，上述的藥液回收設(shè)備還包括一排棄管路，用于排棄回收的藥液。
[0017]作為優(yōu)選技術(shù)方案，上述的藥液回收設(shè)備還包括一切換閥，用于依據(jù)該檢測(cè)單元的檢測(cè)結(jié)果，決定是否將回收的藥液排入該排棄管路。
[0018]本發(fā)明還提供一種藥液回收系統(tǒng)，用于回收與一基材進(jìn)行化學(xué)制程的藥液，包括一藥液槽、一回收路徑、一回收容器、一冷卻管路、一冷卻機(jī)、一卷入單元、以及一卷出單元；其中，藥液槽用于容納藥液，且藥液槽具有一開口，開口提供基材與藥液槽內(nèi)的藥液進(jìn)行化學(xué)制程；回收路徑包含藥液集中槽與回流管路，藥液集中槽連通回流管路，藥液集中槽設(shè)于藥液槽旁，用以導(dǎo)引藥液由藥液槽外流而出的外流藥液；回收容器通過回收路徑導(dǎo)引外流藥液進(jìn)入回收容器；冷卻管路熱接觸藥液槽，并提供冷卻流體在冷卻管路中流動(dòng)；冷卻機(jī)與冷卻管路連通，降溫冷卻管路內(nèi)的冷卻流體，并驅(qū)動(dòng)冷卻流體流動(dòng)；卷入單元與卷出單元用以卷動(dòng)輸送基板。
[0019]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該回流管路連通該藥液槽，用以將回收的藥液輸送至該藥液槽。
[0020]作為優(yōu)選技術(shù)方案，該藥液槽對(duì)應(yīng)該卷入單元的一側(cè)處上設(shè)有與該回流管路相連通的噴嘴，以對(duì)所述基板噴灑所述藥液。
[0021]本發(fā)明還提供一種藥液回收方法，所述藥液容納于一藥液槽內(nèi)，而回收方法之步驟如下:
a)導(dǎo)引一外流藥液，該外流藥液為由藥液槽外流的至少部份藥液；
b)冷卻外流藥液；以及
c)將冷卻后的外流藥液回收并進(jìn)行化學(xué)制程。
[0022]作為優(yōu)選技術(shù)方案，步驟c)進(jìn)一步對(duì)所述外流藥液進(jìn)行二次冷卻。
[0023]作為優(yōu)選技術(shù)方案，步驟c)進(jìn)一步對(duì)所述外流藥液進(jìn)行過濾。
[0024]作為優(yōu)選技術(shù)方案，步驟c)進(jìn)一步對(duì)所述外流藥液進(jìn)行一預(yù)測(cè)值的檢測(cè)，并依照檢測(cè)的結(jié)果決定是否排出所述外流藥液。
[0025]作為優(yōu)選技術(shù)方案，上述的藥液回收方法還包括步驟d)將符合該默認(rèn)值的所述外流藥液回流至該藥液槽。
[0026]本發(fā)明的藥液回收設(shè)備及方法，其冷卻方式可避免藥液產(chǎn)生非預(yù)期的化學(xué)反應(yīng)，并提升化學(xué)藥液的回收效率，故可有效降低生產(chǎn)成本。
【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1是本發(fā)明藥液回收系統(tǒng)第一實(shí)施例的平面示意圖。
[0028]圖2是本發(fā)明藥液回收設(shè)備第一實(shí)施例的平面示意圖。
[0029]圖3是本發(fā)明的部分冷卻管路的平面示意圖。
[0030]圖4是根據(jù)圖3的4-4斷面剖視圖。
[0031]圖5是本發(fā)明藥液回收系統(tǒng)第二實(shí)施例的平面示意圖。
[0032]圖6是本發(fā)明藥液回收系統(tǒng)第二實(shí)施例的斷面剖視圖。
[0033]圖7是本發(fā)明藥液回收設(shè)備第二實(shí)施例的立體示意圖。
[0034]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
藥液回收設(shè)備I ;
藥液槽10 ；
開口100;
溢流槽101;
回收路徑11 ;
藥液集中槽110 ;
回流管路111;
回收容器12 ；
二次冷卻模塊120 ;
過濾網(wǎng)121 ；
檢測(cè)單元122 ；
排棄管路123 ;
切換閥124 ；
冷卻管路13 ;
上蓋130 ；
下座131 ；
冷卻盤管132 ；
冷卻機(jī)14 ;
卷入單元15 ；
噴嘴150 ;
卷出單元16 ；
基材2;
藥液3 ；
外流藥液3’。
【具體實(shí)施方式】
[0035]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明，以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以更好的理解本發(fā)明并能予以實(shí)施，但所舉實(shí)施例不作為對(duì)本發(fā)明的限定。
[0036]請(qǐng)參閱圖1及圖2，分別為本發(fā)明藥液回收系統(tǒng)第一實(shí)施例的平面示意圖及藥液回收設(shè)備第一實(shí)施例的平面示意圖。本發(fā)明提供一種藥液回收設(shè)備及其系統(tǒng)與方法，該藥液回收設(shè)備I用于回收與一基材2進(jìn)行化學(xué)制程的藥液3，包括一藥液槽10、一回收路徑
11、一回收容器12、一冷卻管路13、以及一冷卻機(jī)14 ;其中:
該藥液槽10用于容納前述與基材2進(jìn)行化學(xué)制程的藥液3。且該藥液槽10具有一開口 100，該開口 100提供基材2通過后，即能與藥液槽10內(nèi)的藥液3進(jìn)行化學(xué)制程。
[0037]該回收路徑11包含藥液集中槽110與回流管路111，該藥液集中槽110連通回流管路111，且該藥液集中槽110設(shè)于上述藥液槽10旁，如藥液槽10外的任一側(cè)或周圍處等，用以導(dǎo)引前述藥液3由藥液槽10外流而出后，外流藥液3’即能通往回流管路111，便于后續(xù)的回收作業(yè)。
[0038]該回收容器12通過上述回收路徑11，以便將外流藥液3’導(dǎo)引進(jìn)入該回收容器12內(nèi)。此外，該回收容器12內(nèi)可進(jìn)一步設(shè)有一二次冷卻模塊120，用以對(duì)被導(dǎo)引進(jìn)入至回收容器12內(nèi)的外流藥液3’提供第二次冷卻效果、或是維持其冷卻溫度。
[0039]該冷卻管路13可熱接觸上述藥液槽10，并提供冷卻流體在該冷卻管路13中流動(dòng)。如圖3及圖4所示，該藥液回收設(shè)備I可進(jìn)一步包含相互組合的一上蓋130與一下座131，其中，部分該冷卻管路13形成于該上蓋13