切割刀片的磨刀定位裝置及其安裝方法【
技術領域：
】[0001]本發(fā)明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種切割刀片的磨刀定位裝置及其安裝方法?！?br>背景技術：
】[0002]在半導體的生產工藝中，需要使用切割機臺(Trimming)通過刀具對晶圓邊緣(waferedge)進行切割而達到所需要的工藝要求，而刀具在切割過程中會不可避免的存在磨損，因此刀具需要周期性的在磨刀板(dressboard)上進行磨刀(dress)。磨刀板(dressboard)通常安裝在磨刀板裝置上，并真空吸附在吸附盤(chucktable)上。[0003]請參考圖1，現(xiàn)有的磨刀板裝置包括磨刀板10、粘合劑11及基板12，其通常通過真空吸附在吸附盤13上。然而，磨刀板10屬于易損件，其需定期進行更換。[0004]但是目前使用的磨刀板沒有定位裝置，在進行更換安裝時容易出現(xiàn)定位不準的現(xiàn)象(如圖2所示)，此外，現(xiàn)有的磨刀板裝置也會存在貼合狀況不佳，導致真空吸附值(Vacuum)不穩(wěn)定的現(xiàn)象(如圖2所示)。[0005]在實際工作過程中，定位不準容易造成磨刀板安裝位置與吸附盤不同心，這不僅影響磨刀板使用年限，還可能會造成刀具磨刀效果差，從而使產品良率降低，甚至使芯片報廢?！?br/>發(fā)明內容】[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種切割刀片的磨刀定位裝置及其安裝方法，以解決現(xiàn)有的磨刀板在安裝時無法準確定位造成安裝位置偏差的問題，提升刀片的磨刀效果。[0007]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種切割刀片的磨刀定位裝置，用于將磨刀板定位安裝在吸附盤上，包括:導向柱、定位底座和多個定位爪，其中，所述定位底座設有多個導向槽，所述導向柱設有通孔，所述通孔內壁為傾斜表面；所述定位爪滑動安裝在所述導向槽內，所述定位爪突起的爪頭部分卡嵌在所述導向柱的內壁上，所述定位爪一端為水平圓角，當所述導向柱下壓時，能夠帶動多個所述定位爪靠攏，使具有水平圓角的一端卡牢磨刀板，進行定位。[0008]進一步的，在所述的切割刀片的磨刀定位裝置中，所述定位爪與定位底座之間由彈性部件連接。[0009]進一步的，在所述的切割刀片的磨刀定位裝置中，所述定位爪與定位底座之間由扭簧連接，所述的扭簧的一端固定在所述定位爪水平支撐桿的側壁，另一端固定在所述定位底座導向槽的側壁。[0010]進一步的，在所述的切割刀片的磨刀定位裝置中，所述定位爪為卡嵌在導向槽中的金屬鑄造件。[0011]進一步的，在所述的切割刀片的磨刀定位裝置中，所述定位爪的水平圓角為平滑過渡，拋光至鏡面，表面硬度為洛式硬度HRC60。[0012]進一步的，在所述的切割刀片的磨刀定位裝置中，所述導向柱，定位底座和吸附盤同軸。[0013]進一步的，在所述的切割刀片的磨刀定位裝置中，所述導向柱為金屬鑄造件，內壁拋光至鏡面。[0014]進一步的，在所述的切割刀片的磨刀定位裝置中，所述定位底座為金屬鑄造件，所述定位底座上設有三個導向槽，所述導向槽邊緣光滑。[0015]進一步的，在所述的切割刀片的磨刀定位裝置中，所述定位爪的個數(shù)為3個，分別安裝在三處所述導向槽內。[0016]在本實施例中，還提出了一種晶圓切割用刀片磨刀定位裝置的使用方法，采用如上文所述的切割刀片的磨刀定位裝置，操作時包含如下步驟:下壓導向柱，所述導向柱向下垂直于吸附盤的作用力推動定位爪靠攏，并夾緊磨刀板，所述吸附盤真空吸附住磨刀板后，磨刀板定位安裝完成，釋放所述導向柱，所述導向柱和定位爪復位。[0017]與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:使用多個定位爪靠攏卡緊定位磨刀板，將磨刀板準確的安裝在吸附盤上，避免現(xiàn)有技術中定位不準確，從而可以延長磨刀板使用壽命，并且可以確保磨刀板與吸附盤良好貼合，保證真空吸附穩(wěn)定，使刀具在磨刀板上進行磨刀時無相對滑動，從而保證刀具的磨刀效果，進而提高并穩(wěn)定產品良率?！靖綀D說明】[0018]圖1為現(xiàn)有技術中磨刀板結構示意圖；[0019]圖2為現(xiàn)有技術中磨刀板結構缺陷示意圖；[0020]圖3為本發(fā)明一實施例中磨刀板定位裝置結構示意圖；[0021]圖4為本發(fā)明一實施例中磨刀板定位裝置安裝示意圖；[0022]圖5為本發(fā)明一實施例中磨刀板定位裝置導向柱和定位底座結構示意圖；[0023]圖6為本發(fā)明一實施例中磨刀板定位裝置定位爪結構示意圖；[0024]圖7為本發(fā)明一實施例中磨刀板定位裝置操作示意圖；[0025]其中，10為磨刀板；11為粘合劑面；12為基板；13為吸附盤；20為導向柱；21為定位爪，211為定位爪爪頭，212為定位爪水平圓角，213為定位爪水平支撐桿；22為定位底座；221為定位底座導向槽；24為安裝彈簧位；13為吸附盤?！揪唧w實施方式】[0026]下面將結合示意圖對本發(fā)明的切割刀片的磨刀定位裝置及其安裝方法進行更詳細的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本發(fā)明的限制。[0027]為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本發(fā)明由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關系統(tǒng)或有關商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規(guī)工作。[0028]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例當前第1頁1 2