或手指142間的寬度相適應(yīng)。 在圖2A中，彎曲節(jié)點(diǎn)150的控制寬度或間距沿著工件124長(zhǎng)度方向提供了足夠的彎曲力控 制，以用來(lái)補(bǔ)償端部節(jié)點(diǎn)150A和150J之間的工件124的應(yīng)力和彎曲度。相比之下，如圖2C 所示，彎曲手指122A-L的端部節(jié)點(diǎn)150A和150L之間的控制寬度比工件124-1的長(zhǎng)度要小， 這限制或減小了工件124-1的相對(duì)端部的有效控制，其會(huì)降低研磨工件124的公差控制。
[0022] 圖2D示出了一用于如圖2A和2C所示的致動(dòng)器模塊140的自適應(yīng)載具結(jié)構(gòu)120-1 的實(shí)施例。該自適應(yīng)載具結(jié)構(gòu)120-1包括具有不同寬度以增加與輸入彎曲節(jié)點(diǎn)150相對(duì)應(yīng) 的控制寬度的彎曲手指122。在所示的實(shí)施例中，該自適應(yīng)載具結(jié)構(gòu)120-1包括與圖2A-2D 類(lèi)似的彎曲手指122A-L。位于載具或彎曲結(jié)構(gòu)120-1相對(duì)的端部的彎曲手指122A-C和 122J-L相比于內(nèi)端的彎曲手指122D-I具有更寬的寬度尺寸。該增加的彎曲手指122A-C和 122J-L的寬度增加了彎曲手指122A-L的控制寬度，以在工件124-1或滑條110的整個(gè)橫向 寬度上提供足夠的彎曲力控制。
[0023] 如圖2E所示，彎曲手指122A-C和122J-L (未示出）的寬度被設(shè)計(jì)成對(duì)齊并連接到 致動(dòng)器模塊140的致動(dòng)器手指142A-C和142J-L(未示出），同時(shí)提供了增加的輸入彎曲節(jié) 點(diǎn)150的控制寬度。彎曲手指122A-C和122J-L的延伸寬度超出相應(yīng)的致動(dòng)器手指142的外 邊緣延伸以遞增輸入彎曲手指122的控制寬度，同時(shí)允許致動(dòng)器手指142A-C和142J-L (未 示出）的指狀突起部分160插入到彎曲手指142A-C和142J-L(未示出）的彎曲手指槽 162A-C和162J-L中。如圖2E所示，上述彎曲手指142A-C與外部致動(dòng)器手指142A-C的突 起部分160的中心軸線偏軸對(duì)齊。
[0024] 圖3A-3B示出了一模塊化載具-彎曲結(jié)構(gòu)120-2的實(shí)施例，該模塊化載具-彎曲 結(jié)構(gòu)120-2包括多個(gè)彎曲手指122以對(duì)工件124施加彎曲力。上述模塊化載具-彎曲結(jié)構(gòu) 120-2包括一彎曲插件180和一載具基座182。如圖所示，該彎曲手指122沿著彎曲插件 180形成。載具基座182包括沿著基座182的前端的相對(duì)兩邊延伸的凸緣部分184,通過(guò)開(kāi) 口 185用于將載具-彎曲結(jié)構(gòu)連接到研磨裝置的臂132上（示意性示出）。彎曲插件180 可插入到一載具基座的插件空腔186中。位于基座182背面的固定開(kāi)口 188被用于將彎曲 插件180固定到載具基座182上。
[0025] 圖4A-4F示出了一個(gè)如圖3A-3C所示的載具-彎曲結(jié)構(gòu)120-2的彎曲插件180的 實(shí)施例。如圖所示，上述插件180包括通過(guò)上彎曲梁200及下彎曲梁202連接的一前端彎 曲部分190和一后端工件部分192。如圖所示，該彎曲部分190包括多個(gè)沿著前端彎曲部分 190的寬度間隔設(shè)置的彎曲手指122。如圖所示，每個(gè)彎曲手指122包括配置成接收每個(gè)致 動(dòng)器元件142的指狀突起部分160的槽162,用于連接致動(dòng)器手指142和彎曲手指122以對(duì) 每個(gè)彎曲手指122施加輸入力。如圖所示，上述槽162包括上輸入表面164和下輸入表面 166通過(guò)致動(dòng)器元件142的雙向動(dòng)作對(duì)每個(gè)彎曲手指122施加雙向力。
[0026] 后端工件部分192包括一垂直支撐結(jié)構(gòu)204和一上部導(dǎo)軌206以及下部導(dǎo)軌208。 工件平臺(tái)126沿著下部導(dǎo)軌208設(shè)置，用來(lái)支撐工件，以便對(duì)著研磨表面128進(jìn)行研磨。通 過(guò)該多個(gè)彎曲手指122及將彎曲手指122連接到位于該后端工件部分上的工件平臺(tái)126的 彎曲梁200、202,彎曲力被施加到工件124上。如圖所示，指狀體210沿著工件部分192的 上部導(dǎo)軌206和下部導(dǎo)軌208伸出，使得工件部分192能夠彎曲以對(duì)支撐在工件平臺(tái)126上 的工件124施加彎曲力。如圖所示，該垂直支撐結(jié)構(gòu)204也包括沿著垂直支撐結(jié)構(gòu)204的 寬度間隔開(kāi)的多個(gè)指狀體212,用來(lái)提供厚度減小的部分。上述指狀體210、212的間隔類(lèi)似 于彎曲手指122和梁200、202之間的間隔。
[0027] 如圖4B所示，彎曲插件180的后端部分192包括多個(gè)沿著垂直結(jié)構(gòu)204間隔設(shè)置 的開(kāi)口 220。開(kāi)口 220被設(shè)置為沿著載具基座182的一個(gè)背面?zhèn)扰c開(kāi)口 188間隔對(duì)齊。如 圖所示的緊固件222被插入到彎曲插件180的開(kāi)口 220和載具基座182的開(kāi)口 188中，以 如圖3A-3B所述的那樣可拆卸的連接彎曲插件和載具基座。如圖4B所示，垂直結(jié)構(gòu)204包 括一橫向銷(xiāo)槽230用于對(duì)齊載具基座182中的插件180。如圖4C所示，銷(xiāo)232延伸地穿過(guò) 如圖3B所示的位于載具基座182的兩側(cè)的開(kāi)口 234(圖3B中僅示出一個(gè)銷(xiāo)開(kāi)口），同時(shí)沿 著插件180上的槽230以相對(duì)于載具基座182合適的高度對(duì)準(zhǔn)插件180。
[0028] 在所示的實(shí)施例中，彎曲插件180包括位于外端部的彎曲手指122A-C以及位于內(nèi) 部的形成了彎曲節(jié)點(diǎn)的手指122D以對(duì)支撐在插件180的工件平臺(tái)126上的工件124(圖 4A-4C中未示出）施加彎曲力。圖4D是如圖4C所示的插件180的彎曲手指122A-C和內(nèi) 部的手指122D的詳細(xì)說(shuō)明。如圖所示，內(nèi)部彎曲手指122D具有與致動(dòng)器手指寬度相對(duì)應(yīng) 的手指寬度，同時(shí)外端彎曲手指122A-C具有相適應(yīng)的比內(nèi)部彎曲手指122D要大的手指寬 度。在所示的實(shí)施例中，彎曲手指122A的寬度比彎曲手指122B-C的寬度要大，同時(shí)彎曲手 指122B-C的寬度比內(nèi)部彎曲手指122D的寬度要大。彎曲手指122A-D之間的間隔214是 一樣的以便與致動(dòng)器手指142的間隔相對(duì)齊。在所示的實(shí)施例中，彎曲插件180包括48個(gè) 位于上述彎曲結(jié)構(gòu)相對(duì)的端部之間的彎曲手指。
[0029] 如前所述，上部和下部彎曲梁200、202將每一個(gè)彎曲手指122連接到插件180的 后端部分192和工件平臺(tái)126上。圖4E是沿著圖4C中的線4E-4E截取的橫截面圖。如圖 所示，手指122A-C和手指122D以不同的梁寬度連接插件180的前端部分190和后端部分 192。如圖所示，在插件180的相對(duì)端部上連接到較寬手指122A-C上的上部梁200A-C以及 下部梁202A-C (未示出）具有一延伸的或者較長(zhǎng)的長(zhǎng)度，該長(zhǎng)度要大于將內(nèi)部手指122D連 接到工件平臺(tái)126或支撐結(jié)構(gòu)204上的上部梁200D和下部梁202D的梁長(zhǎng)度。如圖4C所 示，梁200A-C和202A-C (未示出）的延伸長(zhǎng)度由沿著插件180的后端部分190的上部和下 部切口部分240形成。如前所述，彎曲手指122A-C的寬度比內(nèi)部手指122D的寬度要大。上 部和下部彎曲梁200A-C、202A-C的延伸長(zhǎng)度被用于補(bǔ)償由于彎曲手指122A-C寬度增加帶 來(lái)的彎曲剛度的增加。施加到工件平臺(tái)126上的彎曲力輸入絕對(duì)值是梁200、202的彎曲度 的函數(shù)。上述梁的彎曲力輸入通常與下述施加到彎曲手指122上致動(dòng)器輸入力（致動(dòng)器||5人力）、梁的橫截面面積尺寸（面積橫截面）以及梁的長(zhǎng)度（L)成比例：
[0030]
[0031] 因此，彎曲梁200A-C和202A-C的延伸長(zhǎng)度補(bǔ)償了較寬的梁減小的彎曲力，同時(shí)對(duì) 于相同絕對(duì)值的輸入力提供了額外的行程以在工件124的外端提供足夠的彎曲力。因此， 上述組件使用控制算法156基于預(yù)期的彎曲輪廓、手指122的寬度以及梁200、202的長(zhǎng)度 來(lái)計(jì)算每個(gè)彎曲節(jié)點(diǎn)150的輸入力。
[0032] 圖5示出了如前所述的調(diào)節(jié)不同的工件的研磨設(shè)備以提供相適應(yīng)的控制寬度或 彎曲輪廓的處理步驟。如步驟300所示，一個(gè)彎曲插件或結(jié)構(gòu)被從研磨裝