技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種鍍膜機(jī)及靶材微粒的數(shù)量確定方法，屬于鍍膜設(shè)備領(lǐng)域。所述鍍膜機(jī)包括：腔體和設(shè)置在所述腔體內(nèi)的托盤(pán)，所述托盤(pán)將所述腔體分隔為相互連通的第一子腔和第二子腔；所述第一子腔內(nèi)設(shè)置有靶材和掩膜；所述第二子腔內(nèi)設(shè)置有熒光激發(fā)組件和熒光強(qiáng)度檢測(cè)組件，所述第二子腔的內(nèi)壁上設(shè)置有熒光層。本發(fā)明通過(guò)熒光激發(fā)組件激發(fā)熒光層發(fā)光，再通過(guò)熒光強(qiáng)度檢測(cè)組件檢測(cè)熒光層發(fā)出的光線的強(qiáng)度，這樣在靶材微粒阻擋熒光層發(fā)出的光線時(shí)，可以通過(guò)熒光強(qiáng)度檢測(cè)組件檢測(cè)到的光線強(qiáng)度來(lái)確定靶材微粒的多少。解決了相關(guān)技術(shù)中托盤(pán)和腔體之間的靶材微粒的多少難以及時(shí)獲知的問(wèn)題。達(dá)到了能夠及時(shí)獲知托盤(pán)和腔體之間的靶材微粒的多少的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：毛瑞鋒;金相起
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥京東方顯示技術(shù)有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.11
技術(shù)公布日：2017.09.15