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能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體的制作方法

文檔序號(hào):11901231閱讀:596來源:國知局
能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體。



背景技術(shù):

真空鍍膜是指在真空環(huán)境下,將某種金屬或金屬化合物以氣相的形式沉積到材料表面,形成導(dǎo)電膜。在真空鍍膜過程中,進(jìn)口室與出口室由于經(jīng)常與大氣接觸,在反復(fù)抽真空放大氣的過程中,在抽氣管道端部容易出現(xiàn)結(jié)冰的現(xiàn)象,影響到抽真空的效率,甚至堵塞了抽氣管道。

一般的,在真空鍍膜的進(jìn)口室與出口室布滿類似鍍膜主室的加熱絲,在真空鍍膜過程中,啟動(dòng)加熱絲的加熱功能,使加熱絲自身產(chǎn)生熱量,并將熱量傳遞給與加熱絲接觸的進(jìn)口室與出口室,使進(jìn)口室與出口室的溫度升高,在抽真空放人氣過程所排出的氣體不會(huì)使進(jìn)口室與出口室因溫度低而結(jié)冰,提高了抽真空的效率。

但是,在進(jìn)口室與出口室設(shè)置加熱絲,加熱絲的功率較高,會(huì)造成能源的浪費(fèi);且加熱絲加熱電壓較高,有安全隱患。如果能采取一種不消耗電能的方式則更符合當(dāng)代節(jié)能減排的要求。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型主要解決的技術(shù)問題在于,提供一種采用物理方式避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體,幾乎甚至可以不耗電能,節(jié)約了大量的能源。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體,包括真空腔體本體,真空腔體本體內(nèi)形成真空腔室,真空腔室的頂部固定設(shè)有用于夾持待真空鍍膜樣品的樣品夾具,真空腔室的底部設(shè)有形狀和用于將薄膜材料加熱蒸發(fā)的蒸發(fā)加熱裝置匹配的臺(tái)階,真空腔體本體上還設(shè)有通道,用于對(duì)真空腔室抽真空的抽真空裝置通過通道與真空腔體本體連通,所述通道內(nèi)壁上設(shè)有若干個(gè)和通道連接的彈性材質(zhì)制成的碎冰尖角,碎冰尖角上下間隔設(shè)置,每個(gè)碎冰尖角的規(guī)格相同,碎冰尖角的長(zhǎng)度超過通道高度的一半。在通道內(nèi)壁上下間隔設(shè)置彈性碎冰尖角,這樣在抽真空放大氣的過程中氣流的動(dòng)能將推動(dòng)彈性材質(zhì)的碎冰尖角,相鄰的碎冰尖角就會(huì)互相打擊,這樣在結(jié)冰的萌芽階段就碎冰,這樣無需消耗電量就能碎冰,避免了結(jié)冰的現(xiàn)象。碎冰尖角的設(shè)置根據(jù)進(jìn)口室和出口室設(shè)置不同,在進(jìn)口室考慮到氣流的方向是進(jìn)氣方向,因此最靠外的碎冰尖角設(shè)置在通道內(nèi)壁的上表面,然后依次為設(shè)置在通道內(nèi)壁的下表面上的碎冰尖角、設(shè)置在通道內(nèi)壁的上表面的碎冰尖角,以此類推(因?yàn)殡m為彈性材料,但倒置的碎冰尖角更易被吹動(dòng));而在出口室內(nèi)則最靠里的碎冰尖角設(shè)置在通道內(nèi)壁的上表面,然后依次為設(shè)置在通道內(nèi)壁的下表面上的碎冰尖角、設(shè)置在通道內(nèi)壁的上表面的碎冰尖角(此處的“里”、“外”指相對(duì)于真空腔室而言)。

作為本實(shí)用新型能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體的進(jìn)一步改進(jìn),碎冰尖角固定連接在通道內(nèi)壁上。

作為本實(shí)用新型能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體的進(jìn)一步改進(jìn),碎冰尖角通過彈性材質(zhì)的塑料褶皺與通道連接。這樣是為了保證氣流能夠輕易地吹動(dòng)碎冰尖角,使得相鄰的碎冰尖角之間在抽真空放大氣的過程中互相打擊。

作為本實(shí)用新型能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體的進(jìn)一步改進(jìn),碎冰尖角采用橡膠材質(zhì)制成。當(dāng)然,不限于此種材質(zhì),一般的彈性材質(zhì)尤其是質(zhì)輕的彈性材質(zhì)更適合。

作為本實(shí)用新型能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體的進(jìn)一步改進(jìn),碎冰尖角的中間設(shè)有不貫穿碎冰尖角的孔,孔的形狀為允許容納加熱絲的形狀。這樣的設(shè)置是保險(xiǎn)起見,一般通過前述的碎冰尖角的設(shè)置即能起到防止結(jié)冰的作用,但以防萬一,仍可設(shè)置加熱絲,不過此處將加熱絲設(shè)置在碎冰尖角的中間,直抵結(jié)冰處,有效防止其結(jié)冰。

作為本實(shí)用新型能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體的進(jìn)一步改進(jìn),加熱絲的外表面包覆鐵皮。這樣的設(shè)置是為了使得加熱絲的熱量傳遞更均勻,也防止加熱絲直接與橡膠接觸會(huì)損傷碎冰尖角。

作為本實(shí)用新型能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體的進(jìn)一步改進(jìn),通道內(nèi)設(shè)置無紡布包覆的干燥劑包,干燥劑采用硫酸鈣或氯化鈣。這樣的設(shè)置將放大氣過程中的氣流中的水分預(yù)先除去,即可杜絕結(jié)冰。

本實(shí)用新型采用物理方式利用真空腔體抽真空放大氣時(shí)的氣流動(dòng)能避免進(jìn)口室與出口室的通道結(jié)冰,幾乎甚至可以不耗電能,節(jié)約了大量的能源;彈性材質(zhì)的塑料褶皺的設(shè)置更保證氣流能夠輕易地吹動(dòng)碎冰尖角,使得碎冰過程更易發(fā)生,并且還設(shè)置了干燥劑包,從源頭上避免結(jié)冰。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為圖1中通道的放大示意圖;

圖3為圖2中其中某一個(gè)碎冰尖角部分的放大示意圖。

圖中:1、真空腔體本體 2、真空腔室 3、樣品夾具 4、蒸發(fā)加熱裝置 5、臺(tái)階 6、通道 7、抽真空裝置 8、碎冰尖角 9、塑料褶皺 10、孔 11、干燥劑包。

具體實(shí)施方式

為了對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)特征、目的以及效果有更加清楚地了解,現(xiàn)對(duì)照附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式。

實(shí)施例一:

如圖1至圖3所示,能避免進(jìn)口室與出口室結(jié)冰的光學(xué)用真空腔體,包括真空腔體本體1,真空腔體本體1內(nèi)形成真空腔室2,真空腔室2的頂部固定設(shè)有用于夾持待真空鍍膜樣品的樣品夾具3,真空腔室2的底部設(shè)有形狀和用于將薄膜材料加熱蒸發(fā)的蒸發(fā)加熱裝置4匹配的臺(tái)階5,真空腔體本體1上還設(shè)有通道6,用于對(duì)真空腔室2抽真空的抽真空裝置7通過通道6與真空腔體本體1連通,所述通道6內(nèi)壁上設(shè)有若干個(gè)和通道6連接的彈性材質(zhì)制成的碎冰尖角8,碎冰尖角8上下間隔設(shè)置,每個(gè)碎冰尖角8的規(guī)格相同,碎冰尖角8的長(zhǎng)度超過通道6高度的一半。碎冰尖角8通過彈性材質(zhì)的塑料褶皺9與通道6連接。碎冰尖角8采用橡膠材質(zhì)制成。碎冰尖角8的中間設(shè)有不貫穿碎冰尖角8的孔10,孔10的形狀為允許容納加熱絲的形狀。加熱絲的外表面包覆鐵皮。通道6內(nèi)設(shè)置無紡布包覆的干燥劑包11,干燥劑采用硫酸鈣或氯化鈣。

實(shí)施例二:

與實(shí)施例一的不同在于:碎冰尖角8固定連接在通道6內(nèi)壁上。

以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選技術(shù)方案對(duì)本實(shí)用新型所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明,不能認(rèn)定本實(shí)用新型的具體實(shí)施只局限于這些說明。對(duì)于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下,還可以做出若干簡(jiǎn)單推演或替換,都應(yīng)當(dāng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

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