直流勵磁式類金剛石膜涂層設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種直流勵磁式類金剛石膜涂層設(shè)備，包括涂層室、底座、電池箱、進(jìn)氣口、管道、恒溫控制室，所述涂層室下方設(shè)有一底座，所述底座上安裝有一電池箱，所述涂層室底部裝有一絕緣底板，所述絕緣底板上分布有直流勵磁線圈相連，所述直流勵磁線圈通過聯(lián)接線與電池箱頂部的外接線柱相連；所述涂層室的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口通過管道連接到恒溫控制室，所述的恒溫控制室上部設(shè)有熱電偶。采用本實(shí)用新型的制作類金剛石膜涂層，具有效率高、速度快、質(zhì)量穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】直流勵磁式類金剛石膜涂層設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種類金剛石膜涂層設(shè)備，尤其涉及一種直流勵磁式類金剛石膜涂層設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]類金剛石膜(DLC)是一種非晶碳的亞穩(wěn)定形態(tài)，具有優(yōu)異的機(jī)械性能和良好的生物相容性。類金剛石膜共享了石墨和金剛石的性能，比如:高硬度和彈性模量、化學(xué)惰性、良好的電阻率、紅外透明、高析射率和卓越的平滑性。這些性能在沒有晶界的各向異性無序的薄膜中獲得，使得類金剛石膜與金剛石相比生產(chǎn)成本更便宜，因此很多要求硬度高、耐磨性好的工件或刀具的表面都采用類金剛石膜涂層。
[0003]在制作類金剛石薄膜的過程中，需要將離子沉積或轟擊在工件基體表面上，現(xiàn)有的類金剛石膜涂層設(shè)備在離子沉積或轟擊過程中存在效率低、速度慢、質(zhì)量不穩(wěn)定的缺點(diǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種效率高、速度快、質(zhì)量穩(wěn)定的直流勵磁式類金剛石膜涂層設(shè)備。
[0005]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:直流勵磁式類金剛石膜涂層設(shè)備，包括涂層室、底座、電池箱、進(jìn)氣口、管道、恒溫控制室，所述涂層室下方設(shè)有一底座，所述底座上安裝有一電池箱，所述電池箱頂部設(shè)有外接線柱；所述涂層室的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口通過管道連接到恒溫控制室，所述的恒溫控制室上部設(shè)有熱電偶；所述涂層室底部裝有一絕緣底板，所述絕緣底板上分布有內(nèi)接線柱，所述內(nèi)接線柱上端與直流勵磁線圈相連，所述內(nèi)接線柱下端通過聯(lián)接線與外接線柱相連；所述涂層室上裝有門。
[0006]進(jìn)一步的，所述的電池箱上設(shè)有控制開關(guān)、電壓表、指示燈、遙控接收器。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果有:(1)涂層室內(nèi)設(shè)有多個直流勵磁線圈，所述直流勵磁線圈通過內(nèi)接線柱、聯(lián)接線、外接線柱與電池相連。工作時，控制開關(guān)打開，直流勵磁線圈通電產(chǎn)生磁場，驅(qū)使離子加速沉積到工件表面，不僅效率高、速度快，而且表面厚度更厚、質(zhì)量更好；(2)電池箱上設(shè)有控制開關(guān)和遙控接收器，采用遙控器遠(yuǎn)距離操作，操作方便。電池箱采用充電式蓄電池為電源，電池箱上設(shè)有電壓表、指示燈，充電過程有顯示提醒，安全可靠。(3)用來產(chǎn)生離子的氣體是從涂層室側(cè)部的進(jìn)氣口進(jìn)入涂層室的，氣體在進(jìn)入前，先在恒溫控制室內(nèi)用電阻進(jìn)行加熱，并通過熱電偶測溫控溫，從而保證進(jìn)入涂層室的氣體保持在最佳溫度范圍內(nèi)，這樣有利于提高涂層的效率和質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]附圖中，1:涂層室，2:工件，3:門，4:絕緣底板，5:直流勵磁線圈，6:內(nèi)接線柱，7:底座，8:聯(lián)接線，9:外接線柱，10:電池箱，11:控制開關(guān)，12:電壓表，13:指示燈，14:遙控接收器，15:進(jìn)氣口， 16:管道，17:恒溫控制室，18:熱電偶。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖對【具體實(shí)施方式】加以說明。
[0011]如圖1所示，一種直流勵磁式類金剛石膜涂層設(shè)備，包括涂層室1、底座7、電池箱
10、進(jìn)氣口 15、管道16、恒溫控制室17。涂層室I下方設(shè)有一底座7，底座7上安裝有一電池箱10，電池箱10頂部設(shè)有外接線柱9。所述涂層室I底部裝有一絕緣底板4，所述絕緣底板4上分布有內(nèi)接線柱6，所述內(nèi)接線柱6上端與直流勵磁線圈5相連，所述內(nèi)接線柱6下端通過聯(lián)接線8與外接線柱9相連。工作時，控制開關(guān)打開，直流勵磁線圈通電產(chǎn)生磁場，驅(qū)使離子加速沉積到工件表面，不僅效率高、速度快，而且表面厚度更厚、質(zhì)量更好。
[0012]電池箱10上設(shè)有控制開關(guān)11、電壓表12、指示燈13、遙控接收器14。電壓表12用來顯示充電電壓，指示燈13用來顯示是否有電。電池箱10采用充電式蓄電池為電源，具有充滿提醒及過充電保護(hù)功能，安全可靠。本實(shí)用新型通過電池箱10的遙控接收器14接收信號，啟動直流勵磁線圈，操作方便。涂層室I上設(shè)有可活動開閉的門3，打開門3可以將拿放工件或進(jìn)行檢修。
[0013]涂層室I的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口 15，進(jìn)氣口 15通過管道16連接到恒溫控制室17，恒溫控制室17內(nèi)部設(shè)有加熱電阻，上部設(shè)有熱電偶18。用來產(chǎn)生離子的氣體是從進(jìn)氣口 15進(jìn)入涂層室I的，氣體在進(jìn)入前，先在恒溫控制室17內(nèi)用電阻進(jìn)行加熱，并通過熱電偶18測溫控溫，從而保證進(jìn)入涂層室I的氣體保持在最佳溫度范圍內(nèi)，這樣有利于提高涂層的效率和質(zhì)量。
[0014]應(yīng)當(dāng)指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍，本實(shí)施例中未明確的各組成部分均可用現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。
【權(quán)利要求】
1.直流勵磁式類金剛石膜涂層設(shè)備，其特征在于:包括涂層室、底座、電池箱、進(jìn)氣口、管道、恒溫控制室，所述涂層室下方設(shè)有一底座，所述底座上安裝有一電池箱，所述電池箱頂部設(shè)有外接線柱；所述涂層室的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口通過管道連接到恒溫控制室，所述的恒溫控制室上部設(shè)有熱電偶；所述涂層室底部裝有一絕緣底板，所述絕緣底板上分布有內(nèi)接線柱，所述內(nèi)接線柱上端與直流勵磁線圈相連，所述內(nèi)接線柱下端通過聯(lián)接線與外接線柱相連；所述涂層室上裝有門。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直流勵磁式類金剛石膜涂層設(shè)備，其特征在于:所述的電池箱上設(shè)有控制開關(guān)、電壓表、指示燈、遙控接收器。
【文檔編號】C23C16/27GK203700514SQ201420072460
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2014年2月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月20日
【發(fā)明者】陳遠(yuǎn)達(dá) 申請人:湖南中航超強(qiáng)金剛石膜高科技有限公司