拼版蒸鍍掩模的制造方法及由此所得拼版蒸鍍掩模以及有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種即使在大型化的情況下也能夠滿足高精細(xì)化和輕量化二者的拼版蒸鍍掩模的制造方法。配置于框體內(nèi)的開(kāi)口空間的多個(gè)掩模分別由設(shè)有縫隙的金屬掩模、和位于該金屬掩模的表面且縱橫配置多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部的樹(shù)脂掩模構(gòu)成，在其形成上，在所述框體上安裝了各金屬掩模及用于制作所述樹(shù)脂掩模的樹(shù)脂薄膜材料之后，通過(guò)對(duì)所述樹(shù)脂薄膜材料進(jìn)行加工，縱橫地形成多個(gè)與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部，制造上述構(gòu)成的拼版蒸鍍掩模。
【專利說(shuō)明】拼版蒸鍍掩模的制造方法及由此所得拼版蒸鍍掩模以及有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及拼版蒸鍍掩模的制造方法及由此所得拼版蒸鍍掩模以及有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]目前，在有機(jī)EL元件的制造中，有機(jī)EL元件的有機(jī)層或者陰極電極的形成中，例如使用由在要蒸鍍的區(qū)域?qū)⒍鄠€(gè)微細(xì)縫隙以微小間隔平行排列而成的金屬構(gòu)成的蒸鍍掩模。在使用該蒸鍍掩模的情況下，在要蒸鍍的基板表面載置蒸鍍掩模，使用磁鐵從背面進(jìn)行保持，但由于縫隙的剛性極小，因此，在將蒸鍍掩模保持在基板表面時(shí)，在縫隙容易產(chǎn)生變形，成為高精細(xì)化或者縫隙長(zhǎng)度變大的產(chǎn)品的大型化的障礙。
[0003]關(guān)于用于防止縫隙的變形的蒸鍍掩模進(jìn)行了各種研究，例如，在專利文獻(xiàn)I提出有如下的蒸鍍掩模，即，具備:具備多個(gè)開(kāi)口部的兼具第一金屬掩模的底板；在覆蓋上述開(kāi)口部的區(qū)域具備多個(gè)微細(xì)的縫隙的第二金屬掩模；以在縫隙的長(zhǎng)度方向拉伸第二金屬掩模的狀態(tài)而使其位于底板上的掩模拉伸保持裝置。即，提出有組合兩種金屬掩模的蒸鍍掩模。根據(jù)該蒸鍍掩模，在縫隙不產(chǎn)生失真而能夠確保縫隙精度。
[0004]但是，最近，伴隨使用有機(jī)EL元件的產(chǎn)品的大型化或者基板尺寸的大型化，對(duì)蒸鍍掩模的大型化的要求也變高，由金屬構(gòu)成的蒸鍍掩模的制造所使用的金屬板也大型化。但是，在目前的金屬加工技術(shù)中，難以在大型的金屬板高精度地形成縫隙，即使通過(guò)上述專利文獻(xiàn)I所提出的方法等可防止縫隙部的變形，但是不能夠?qū)崿F(xiàn)縫隙的高精細(xì)化。另外，在作為僅由金屬構(gòu)成的蒸鍍掩模的情況下，伴隨大型化，其重量也增大，包含框體在內(nèi)的總質(zhì)量也增大，給處理帶來(lái)妨礙。
[0005]另外，通常蒸鍍掩模在固定于框體的狀態(tài)使用，但在將蒸鍍掩模大型化的情況下，也會(huì)產(chǎn)生不能高精度地進(jìn)行框體和蒸鍍掩模的對(duì)位的問(wèn)題。特別是在沿框體內(nèi)的縱橫方向進(jìn)行劃分，配置多個(gè)掩模而成的拼版蒸鍍掩模的情況下，若未高精度地進(jìn)行各掩模和框體的對(duì)位，則在各掩模的開(kāi)口圖案產(chǎn)生偏移，因此，對(duì)位的精度問(wèn)題變得顯著。
[0006]另外，關(guān)于拼版蒸鍍掩模，在專利文獻(xiàn)2中提出有作為框體所安裝的蒸鍍掩模，使用在框體開(kāi)口部的長(zhǎng)度方向沿著被分割的多個(gè)條狀的單位掩模(在該單位掩模，沿其長(zhǎng)度方向隔開(kāi)規(guī)定的間隔形成有多個(gè)單位遮蔽圖案)，以對(duì)框架開(kāi)口部的寬度方向上的框架賦予規(guī)定的拉伸力的方式將該多個(gè)單位掩模的各自的兩端部固定安裝的構(gòu)成。根據(jù)該構(gòu)成，即使拼版蒸鍍掩模(框體的開(kāi)口部面積)大型化，也能夠抑制因由掩模的自重等造成的變形引起的各單位遮蔽圖案的錯(cuò)位。
[0007]如專利文獻(xiàn)2那樣地，通過(guò)使用多個(gè)長(zhǎng)方形的單位掩模，確實(shí)可以一定程度地抑制框體開(kāi)口部的一方向(短方向)上的錯(cuò)位，但若未高精度地進(jìn)行分別將該條狀的單位掩模安裝在框體時(shí)的對(duì)位，則另一方向(長(zhǎng)度方向)上的開(kāi)口圖案中偏移的問(wèn)題未解除，另外，由于該長(zhǎng)方形的單位掩模由金屬板構(gòu)成，因此，因由掩模的自重等造成的變形引起的各單位遮蔽圖案的錯(cuò)位的問(wèn)題、及由包含框體在內(nèi)的總質(zhì)量增大造成的處理的困難性的問(wèn)題沒(méi)有得到根本的解除。
[0008]專利文獻(xiàn)1:(日本)特開(kāi)2003 - 332057號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:(日本)特開(kāi)2003 - 217850號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明是鑒于這樣的狀況而設(shè)立的，其主要課題在于提供一種即使在大型化的情況下也能夠滿足高精細(xì)化和輕量化二者的拼版蒸鍍掩模的制造方法，另外，提供這樣得到的拼版蒸鍍掩模以及能夠高精度制造有機(jī)半導(dǎo)體元件的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法。
[0011]為了解決上述課題，本發(fā)明第一方面提供一種拼版蒸鍍掩模的制造方法，該拼版蒸鍍掩模在框體內(nèi)的開(kāi)口空間沿其縱橫方向進(jìn)行劃分，配置多個(gè)掩模而構(gòu)成，其中，所述制造方法具有如下的工序:準(zhǔn)備框體；在所述框體上安裝多個(gè)設(shè)有縫隙的金屬掩模、及位于所述多個(gè)金屬掩模的表面?zhèn)鹊臉?shù)脂薄膜材料；通過(guò)對(duì)所述樹(shù)脂薄膜材料進(jìn)行加工，縱橫地形成多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部，從而制作樹(shù)脂掩模。
[0012]在上述方面中，(I)所述框體具有將其開(kāi)口空間沿縱橫方向劃分成多個(gè)的梁部，并且，作為所述樹(shù)脂薄膜材料，能夠使用多張相對(duì)于所述各金屬掩模分別具有相應(yīng)的尺寸的樹(shù)脂薄膜材料。在該情況下，在將所述多張樹(shù)脂薄膜材料分別相對(duì)于所述框體的梁部安裝前后，能夠在各個(gè)所述樹(shù)脂薄膜材料上的規(guī)定位置分別配置金屬掩模。
[0013]在上述方面中，(2)樹(shù)脂薄膜材料也可以為實(shí)質(zhì)上覆蓋所述框體內(nèi)的開(kāi)口空間的整個(gè)面的一片樹(shù)脂薄膜材料。此時(shí)，所述多個(gè)金屬掩模能夠在將所述樹(shù)脂薄膜材料安裝在所述框體前后，分別配置在所述樹(shù)脂薄膜材料上的規(guī)定位置。
[0014]在上述方面中，(3)作為樹(shù)脂薄膜材料，可以組合多張具有與所述框體內(nèi)的開(kāi)口空間的縱橫方向的任一方向的尺寸對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度且在另一方向具有比開(kāi)口空間的尺寸短的長(zhǎng)度的樹(shù)脂薄膜材料。在該情況下，所述多個(gè)金屬掩模在將所述樹(shù)脂薄膜材料安裝在所述框體前后，能夠分別配置在所述樹(shù)脂薄膜材料上的規(guī)定位置。
[0015]另外，在上述方面中，作為所述多個(gè)金屬掩模，也能夠?qū)⒃摱鄠€(gè)金屬掩模中的幾個(gè)(2個(gè)以上)作為一體形成的金屬掩模集合體部件而形成并且使用多個(gè)這樣的金屬掩模集合體部件。
[0016]另外，在上述方面中，在所述框體內(nèi)配置所述金屬掩模中，其設(shè)計(jì)上的配置位置與實(shí)際的配置位置之間的縫隙的寬度方向上的最大容許誤差為所述開(kāi)口部的間距的0.2倍以內(nèi)，縫隙的長(zhǎng)度方向上的最大容許誤差為5mm以內(nèi)，進(jìn)行配置作業(yè)。
[0017]另外，在上述方面中，在所述框體上，能夠替代安裝各金屬掩模及用于制作所述樹(shù)脂掩模的樹(shù)脂薄膜材料的工序，進(jìn)行安裝用于制作各金屬掩模的金屬板、及安裝用于制作所述樹(shù)脂掩模的樹(shù)脂薄膜材料的工序，在框體上安裝有金屬板及樹(shù)脂薄膜材料的狀態(tài)下，對(duì)該金屬板進(jìn)行加工，設(shè)置僅貫通金屬板的縫隙而作為金屬掩模，然后，對(duì)所述樹(shù)脂薄膜材料進(jìn)行加工，縱橫地形成多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部。
[0018]另外，在上述方面中，在加工樹(shù)脂薄膜材料，縱橫地形成多個(gè)與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部時(shí)，準(zhǔn)備預(yù)先設(shè)有與所述開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的圖案的基準(zhǔn)板，將該基準(zhǔn)板貼合在樹(shù)脂薄膜材料的未設(shè)有金屬掩模的一側(cè)的面，經(jīng)由樹(shù)脂薄膜材料識(shí)別所述基準(zhǔn)板的圖案，同時(shí)，從金屬掩模側(cè)按照基準(zhǔn)板的圖案進(jìn)行激光照射，在樹(shù)脂薄膜材料形成開(kāi)口圖案。
[0019]另外，為了解決上述課題，本發(fā)明提供一種拼版蒸鍍掩模，在框體內(nèi)的開(kāi)口空間沿其縱橫方向進(jìn)行劃分，配置多個(gè)掩模而構(gòu)成，其中，所述各掩模由設(shè)有縫隙的金屬掩模、和位于該金屬掩模的表面且縱橫地配置多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部的樹(shù)脂掩模構(gòu)成。
[0020]另外，為了解決上述課題，本發(fā)明提供一種有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法，使用具有上述特征的制造方法制造的拼版蒸鍍掩模。
[0021]根據(jù)本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模的制造方法，通過(guò)將配置于框體內(nèi)的多個(gè)掩模的各掩模由設(shè)有縫隙的金屬掩模、和位于該金屬掩模的表面且縱橫地配置有多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部的樹(shù)脂掩模構(gòu)成，從而能夠進(jìn)行輕量化，因此，即使在大型化的情況下也能夠?qū)崿F(xiàn)其輕量化。
[0022]另外，由于在框體內(nèi)配置了所述多個(gè)金屬掩模及用于形成所述樹(shù)脂掩模的樹(shù)脂薄膜材料后，加工所述樹(shù)脂薄膜材料，正確地設(shè)置與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部，因此，不要求金屬掩模配置時(shí)的精細(xì)的精度，即使比較粗略地配置，也能夠?qū)崿F(xiàn)掩模的高精細(xì)化。這樣，根據(jù)本發(fā)明，能夠成品率良好且簡(jiǎn)單地制造能夠滿足高精細(xì)化和輕量化二者的拼版蒸鍍掩模。
[0023]另外，根據(jù)本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模，如上所述，由于滿足高精細(xì)化和輕量化二者，因此，能夠高精度地實(shí)施有機(jī)半導(dǎo)體元件等制造中的蒸鍍處理。
[0024]另外，根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法，能夠高精度地制造有機(jī)半導(dǎo)體元件。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1是示意性地表示由本發(fā)明的制造方法所得的拼版蒸鍍掩模的一實(shí)施方式的構(gòu)成的圖；
[0026]圖2是用于說(shuō)明圖1所示的拼版蒸鍍掩模的一實(shí)施方式中的各掩模部分的構(gòu)成的、分解表不掩模部分的金屬掩模和樹(shù)脂掩模的概略放大立體圖，(a)表不金屬掩模，(b)表示樹(shù)脂掩模；
[0027]圖3(a)是使圖2所示的各掩模部分的從金屬掩模側(cè)觀察到的正面圖，(b)是上述掩模部分的概略剖面圖，(C)、(d)分別是其它實(shí)施方式中的掩模部分的一例的從金屬掩模側(cè)觀察到的正面圖；
[0028]圖4是圖3(b)所示的蒸鍍掩模部分的放大剖面圖，是蒸鍍掩模的從金屬掩模側(cè)觀察到的正面圖，(c)是(b)的部分放大剖面圖；
[0029]圖5(a)~(d)是表示由本發(fā)明的制造方法得到的拼版蒸鍍掩模的框體的結(jié)構(gòu)例的不意圖；
[0030]圖6(a)~(d)是示意性地表示本發(fā)明的制造方法的各工序的剖面圖；
[0031]圖7(a)~(f)是分別表示在本發(fā)明的制造方法中使用且得到的金屬掩模和樹(shù)脂薄膜材料的配置例的示意圖；
[0032]圖8是表示陰影和金屬掩模的厚度的關(guān)系的概略剖面圖；
[0033]圖9是表示金屬掩模的縫隙和樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部的關(guān)系的部分概略剖面圖；
[0034]圖10是表示金屬掩模的縫隙和樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部的關(guān)系的部分概略剖面圖。
[0035]標(biāo)記說(shuō)明
[0036]1:拼版蒸鍍掩模
[0037]2:框體
[0038]3:框體內(nèi)的開(kāi)口空間
[0039]100:蒸鍍掩模
[0040]10:金屬掩模
[0041]15:縫隙
[0042]18:橋接器
[0043]20:樹(shù)脂掩模
[0044]25:開(kāi)口部
[0045]200:樹(shù)脂薄膜材料

【具體實(shí)施方式】
[0046]以下，使用附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明。
[0047]首先，在進(jìn)行本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模的制造方法的說(shuō)明之前，對(duì)由該制造方法得的本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。
[0048]本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模是在框體內(nèi)的開(kāi)口空間沿其縱橫方向進(jìn)行劃分，配置多個(gè)(2個(gè)以上)掩模而成的拼版蒸鍍掩模，其特征在于，上述各掩模由設(shè)有縫隙的金屬掩模、和位于該金屬掩模的表面且縱橫地配置多列(2列以上)與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部的樹(shù)脂掩模而構(gòu)成。
[0049]本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模I例如如圖1所示，在框體2內(nèi)的開(kāi)口空間3沿其縱橫方向進(jìn)行劃分，配置多個(gè)掩模100而成。
[0050]在此，在觀察配置于框體2內(nèi)的多個(gè)掩模的各個(gè)掩模100的部分的構(gòu)成時(shí)，如圖2~4所不,米用層疊有設(shè)有縫隙15的金屬掩模10、和位于金屬掩模10的一表面(在圖2(b)所示的情況下，為金屬掩模10的下表面)且縱橫地配置有多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部25的樹(shù)脂掩模20的構(gòu)成。
[0051]在此，在假定蒸鍍掩模整體的厚度相同而將該掩模100的質(zhì)量和僅由以往公知的金屬構(gòu)成的蒸鍍掩模的質(zhì)量進(jìn)行比較時(shí)，與將以往公知的蒸鍍掩模的金屬材料的一部置換成樹(shù)脂材料相應(yīng)地，本發(fā)明的蒸鍍掩模100的質(zhì)量變輕。另外，使用僅由金屬構(gòu)成的蒸鍍掩模，為了實(shí)現(xiàn)輕量化，需要使該蒸鍍掩模的厚度變薄等，但在使蒸鍍掩模的厚度變薄的情況下，在將蒸鍍掩模大型化時(shí)，會(huì)引起蒸鍍掩模的變形及耐久性的降低。另一方面，根據(jù)本發(fā)明的掩模，即使在有大型化時(shí)的變形、及為了滿足耐久性而使蒸鍍掩模整體的厚度變厚的情況下，由于樹(shù)脂掩模20的存在，也能夠?qū)崿F(xiàn)比僅由金屬形成的蒸鍍掩模更輕量化。因此，在將采用上述那樣的構(gòu)成蒸鍍掩模100組合多個(gè)而形成的本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模I中，由使用上述那樣的樹(shù)脂材料所帶來(lái)的重量減輕的效果特別高，即使大型化，也能夠解除因由自重等造成的變形而引起的各單位遮蔽圖案的錯(cuò)位的問(wèn)題、及由包含框體在內(nèi)的總質(zhì)量增大造成的處理的困難性的問(wèn)題。另外，通過(guò)使用樹(shù)脂材料，如后所述，在其制造工序中，在框體上安裝了成為樹(shù)脂掩模的原料的樹(shù)脂薄膜(及金屬掩模)之后，對(duì)該樹(shù)脂薄膜進(jìn)行加工，能夠形成與規(guī)定圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部，因此，也能夠解除將預(yù)先設(shè)有開(kāi)口部的掩模安裝在框體的情況下的開(kāi)口部的錯(cuò)位的問(wèn)題。另外，通過(guò)使用樹(shù)脂薄膜，如后所述，例如準(zhǔn)備預(yù)先設(shè)有要蒸鍍制作的圖案、即與要形成的開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的圖案的基準(zhǔn)板，將該基準(zhǔn)板貼合于樹(shù)脂薄膜材料的狀態(tài)下，一邊觀察基準(zhǔn)板的圖案，一邊通過(guò)激光照射等形成開(kāi)口圖案，在所謂的對(duì)面的狀態(tài)下，能夠在樹(shù)脂薄膜材料形成開(kāi)口部，能夠形成為具有開(kāi)口的尺寸精度及位置精度極高的高精細(xì)的開(kāi)口部的拼版蒸鍍掩模。
[0052]以下，對(duì)構(gòu)成本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模的各個(gè)部件進(jìn)行具體說(shuō)明。
[0053](樹(shù)脂掩模)
[0054]樹(shù)脂掩模20由樹(shù)脂構(gòu)成，如圖2 (b)所示，縱橫地配置有多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部25。另外，如后所述，該開(kāi)口部25的形成是在框體2上接合了金屬掩模10及成為該樹(shù)脂掩模20的原料的樹(shù)脂薄膜材料200后進(jìn)行的。因此，如圖2~圖4所示，樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部25形成在與金屬掩模10的縫隙15重合的位置。另外，在本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)中，要蒸鍍制作的圖案是指，欲使用該蒸鍍掩模制作的圖案，例如，在將該蒸鍍掩模用于有機(jī)EL元件的有機(jī)層的形成的情況下，為該有機(jī)層的形狀。
[0055]樹(shù)脂掩模20可適當(dāng)選擇使用以往公知的樹(shù)脂材料，關(guān)于該材料不作特別限定，但優(yōu)選使用通過(guò)激光加工等可形成高精細(xì)的開(kāi)口部25，由熱導(dǎo)致及經(jīng)時(shí)的尺寸變化率及吸濕率小且輕量的材料。作為這樣的材料，可舉出聚酰亞胺樹(shù)脂、聚酰胺樹(shù)脂、聚酰胺酰亞胺樹(shù)月旨、聚酯樹(shù)脂、聚乙烯樹(shù)脂、聚乙烯醇樹(shù)脂、聚丙烯樹(shù)脂、聚碳酸酯樹(shù)脂、聚苯乙烯樹(shù)脂、聚丙烯腈樹(shù)脂、乙烯醋酸乙烯酯共聚物樹(shù)脂、乙烯乙烯醇共聚物樹(shù)脂、乙烯甲基丙烯酸共聚物樹(shù)月旨、聚氯乙烯樹(shù)脂、聚偏二氯乙烯樹(shù)脂、玻璃紙、離子交聯(lián)聚合物樹(shù)脂等。在上述例示的材料中，優(yōu)選為其熱膨脹系數(shù)為16ppm/°C以下的樹(shù)脂材料，優(yōu)選吸濕率為1.0%以下的樹(shù)脂材料，特別優(yōu)選具備該二者的條件的樹(shù)脂材料。在本發(fā)明中，樹(shù)脂掩模20如上所述地與金屬材料比較，由可形成高精細(xì)的開(kāi)口部25的樹(shù)脂材料構(gòu)成。因此，能夠形成為具有高精細(xì)的開(kāi)口部25的蒸鍍掩模100。
[0056]關(guān)于樹(shù)脂掩模20的厚度也不作特別限定，但在使用本發(fā)明的蒸鍍掩模100進(jìn)行蒸鍍時(shí)，為了防止在要蒸鍍制作的圖案產(chǎn)生不充分的蒸鍍部分、即成為比目的蒸鍍膜厚薄的膜厚的蒸鍍部分、所謂陰影，樹(shù)脂掩模20優(yōu)選盡可能薄。但是，在樹(shù)脂掩模20的厚度不足
3μ m的情況下，容易產(chǎn)生針孔等缺陷，另外，變形等的風(fēng)險(xiǎn)增加。另一方面，若超過(guò)25 μ m則會(huì)產(chǎn)生陰影。若考慮這方面，則樹(shù)脂掩模20的厚度優(yōu)選為3 μ m以上且25 μ m以下。通過(guò)將樹(shù)脂掩模20的厚度設(shè)為該范圍內(nèi)，能夠降低針孔等缺陷及變形等風(fēng)險(xiǎn)，并且能夠有效地防止陰影的發(fā)生。特別是，通過(guò)將樹(shù)脂掩模20的厚度設(shè)為3 μ m以上且10 μ m以下，更優(yōu)選為
4μ m以上且8 μ m以下，能夠更有效地防止形成超過(guò)300ppi的高精細(xì)圖案時(shí)的陰影的影響。另外，在掩模100中，金屬掩模10和樹(shù)脂掩模20既可以直接接合，也可以經(jīng)由粘著劑層接合，但在經(jīng)由粘著劑層接合金屬掩模10和樹(shù)脂掩模20的情況下，考慮上述陰影，樹(shù)脂掩模20和粘著劑層的總計(jì)厚度優(yōu)選為3μπ?以上且25μπ?以下，更優(yōu)選為3μπ?以上且ΙΟμL?，特別優(yōu)選為4μπι以上且8μηι以下的范圍內(nèi)。
[0057]關(guān)于開(kāi)口部25的形狀、大小不作特別限定，只要為與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的形狀、大小即可。另外，如圖3(a)所示，關(guān)于相鄰的開(kāi)口部25的橫向的間距Ρ1、及縱向的間距Ρ2，也能夠?qū)?yīng)于要蒸鍍制作的圖案適當(dāng)設(shè)定。
[0058]關(guān)于設(shè)置開(kāi)口部25的位置、及開(kāi)口部25的數(shù)目也不作特別限定，既可以在與縫隙15重合的位置設(shè)置一個(gè)，也可以在縱向或者橫向設(shè)有多個(gè)。例如，如圖3(c)所示，在縫隙沿縱向延伸的情況下，與該縫隙15重合的開(kāi)口部25可以在橫向上設(shè)有兩個(gè)以上。
[0059]關(guān)于開(kāi)口部25的截面形狀也不作特別限定，形成開(kāi)口部25的樹(shù)脂掩模的相對(duì)端面彼此可以大致平行，但如圖3(b)及圖4所示，開(kāi)口部25優(yōu)選其截面形狀為具有朝向蒸鍍?cè)磾U(kuò)展的形狀。換言之，優(yōu)選具有朝向金屬掩模10側(cè)擴(kuò)展的錐面。通過(guò)將開(kāi)口部25的截面形狀形成為該構(gòu)成，在使用本發(fā)明的蒸鍍掩模進(jìn)行蒸鍍時(shí)，能夠防止在要蒸鍍制作的圖案產(chǎn)生陰影。關(guān)于圖4所示的錐角Θ，可考慮樹(shù)脂掩模20的厚度等適當(dāng)設(shè)定，但連結(jié)樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部的下底前端和同樣在樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部的上底前端的角度(Θ)優(yōu)選在25°~65°的范圍內(nèi)。特別是，在該范圍中，優(yōu)選為比要使用的蒸鍍機(jī)的蒸鍍角度小的角度。另外，在圖3(b)及圖4中，形成開(kāi)口部25的端面25a呈直線形狀，但不限定于此，也可以形成為向外凸出的彎曲形狀、即開(kāi)口部25的整體形狀為碗形。具有這樣的截面形狀的開(kāi)口部25，例如可通過(guò)適當(dāng)調(diào)整開(kāi)口部25形成時(shí)的激光的照射位置、及激光的照射能量，或者使照射位置階段性地變化的多階段的激光照射而形成。
[0060]樹(shù)脂掩模20使用樹(shù)脂材料，因此，不通過(guò)用于現(xiàn)有的金屬加工的加工方法，例如蝕刻及切削等加工方法，就能夠形成開(kāi)口部25。即，關(guān)于開(kāi)口部25的形成方法不作特別限定，能夠使用各種加工方法，例如可形成高精細(xì)的開(kāi)口部25的激光加工方法、及精密沖壓加工、光刻加工等形成開(kāi)口部25。關(guān)于通過(guò)激光加工方法等形成開(kāi)口部25的方法在后面進(jìn)行敘述。
[0061 ] 作為蝕刻加工方法，例如能夠使用將蝕刻材從噴嘴以規(guī)定的噴霧壓力噴霧的噴霧蝕刻法、浸潰于充填有蝕刻材的蝕刻液中的蝕刻法、將蝕刻材料滴下的旋轉(zhuǎn)蝕刻法等濕蝕刻法、及利用氣體、等離子等的干蝕刻法。
[0062](金屬掩模)
[0063]金屬掩模10由金屬構(gòu)成,從該金屬掩模10的正面觀察時(shí),在與開(kāi)口部25重合的位置，換言之可看到配置于樹(shù)脂掩模20的所有的開(kāi)口部25的位置配置有多個(gè)沿縱向或者橫向延伸的縫隙15。另外，在圖2、3中，沿金屬掩模10的縱向延伸的縫隙15在橫向上連續(xù)配置。另外，在圖2、3所示的實(shí)施方式中，以配置有多列沿縱向或者橫向延伸的縫隙15為例對(duì)縫隙15進(jìn)行了說(shuō)明，但縫隙15也可以在縱向或者橫向僅配置一列。
[0064]關(guān)于縫隙15的寬度W不作特別限定，但優(yōu)選為以至少比相鄰的開(kāi)口部25間的間距短的方式設(shè)計(jì)。具體而言，如圖3(a)所示，在縫隙15沿縱向延伸的情況下，縫隙15的橫向的寬度W優(yōu)選為比在橫向相鄰的開(kāi)口部25的間距Pl短。同樣地，雖未作圖示，但在縫隙15沿橫向延伸的情況下，縫隙15的縱向的寬度優(yōu)選為比在縱向相鄰的開(kāi)口部25的間距P2短。另一方面，關(guān)于縫隙15沿縱向延伸的情況下的縱向的長(zhǎng)度L，不作特別限定，按照金屬掩模10的縱長(zhǎng)及設(shè)于樹(shù)脂掩模20的開(kāi)口部25的位置適當(dāng)設(shè)計(jì)即可。
[0065]另外，在縱向、或者橫向上連續(xù)延伸的縫隙15可通過(guò)橋接器18分割成多個(gè)。另外，圖3(d)為蒸鍍掩模100的從金屬掩模10側(cè)觀察到的正面圖，表示在圖3(a)所示的縱向上連續(xù)延伸的一個(gè)縫隙15通過(guò)橋接器18被分割成多個(gè)(縫隙15a、15b)的例子。關(guān)于橋接器18的寬度不作特別限定，優(yōu)選為5μπι~20μπι左右。通過(guò)將橋接器18的寬度設(shè)為該范圍，能夠有效地提高金屬掩模10的剛性。關(guān)于橋接器18的配置位置也不作特別限定，優(yōu)選為以分割后的縫隙與兩個(gè)以上的開(kāi)口部25重合的方式配置橋接器18。
[0066]關(guān)于形成于金屬掩模10的縫隙15的截面形狀也不作特別限定，與上述樹(shù)脂掩模20中的開(kāi)口部25同樣，如圖3(b)所示，優(yōu)選為具有朝向蒸鍍?cè)磾U(kuò)展的的形狀。
[0067]關(guān)于金屬掩模10的材料不作特別限定，能夠在蒸鍍掩模的領(lǐng)域適當(dāng)選擇使用以往公知的材料，例如，能夠列舉出不銹鋼、鐵鎳合金、鋁合金等金屬材料。其中，由于鐵鎳合金即殷鋼由熱引起的變形少，因此可優(yōu)選使用。
[0068]另外，在使用本發(fā)明的蒸鍍掩模100對(duì)基板上進(jìn)行蒸鍍時(shí)，需要在基板后方配置磁鐵等并通過(guò)磁力吸引基板前方的蒸鍍掩模100的情況下，優(yōu)選用磁性體形成金屬掩模10。作為磁性體的金屬掩模10，能夠列舉出純鐵、碳素鋼、W鋼、Cr鋼、Co鋼、KS鋼、MK鋼、NKS鋼、Cunico鋼、Al — Fe合金等。另外，在形成金屬掩模10的材料本身并非磁性體的情況下，可以通過(guò)使上述磁性體的粉末分散在該材料中而對(duì)金屬掩模10賦予磁性。
[0069]關(guān)于金屬掩模10的厚度也不作特別限定，但優(yōu)選為5μπι~100μπι左右。在考慮了防止蒸鍍時(shí)的陰影的情況下，金屬掩模10的厚度優(yōu)選為薄的，但在比5μπι薄的情況下，破裂及變形的風(fēng)險(xiǎn)變高，并且處理可能變得困難。但在本發(fā)明中，金屬掩模10與樹(shù)脂掩模20 一體化，因此，即使在金屬掩模10的厚度為非常薄的5 μ m的情況下，也能夠降低破裂及變形的風(fēng)險(xiǎn)，只要為5μπ?以上就可以使用。另外，在比100μπι厚的情況下，會(huì)產(chǎn)生陰影，因而不優(yōu)選。
[0070]以下，使用圖8(a)~圖8(c)對(duì)陰影的發(fā)生和金屬掩模10的厚度的關(guān)系進(jìn)行具體說(shuō)明。如圖8(a)所示，在金屬掩模10的厚度較薄的情況下，從蒸鍍?cè)闯蛘翦儗?duì)象物釋放的蒸鍍材料不與金屬掩模10的縫隙15的內(nèi)壁面、及金屬掩模10的未設(shè)有樹(shù)脂掩模20的一側(cè)的表面碰撞，而通過(guò)金屬掩模10的縫隙15及樹(shù)脂掩模20的開(kāi)口部25到達(dá)蒸鍍對(duì)象物。由此，可以向蒸鍍對(duì)象物上形成均勻膜厚的蒸鍍圖案。即，能夠防止陰影的發(fā)生。另一方面，如圖8(b)所示，在金屬掩模10的厚度較厚的情況下，例如在金屬掩模10的厚度超過(guò)10ym的情況下，從蒸鍍?cè)瘁尫诺恼翦儾牧系囊徊糠峙c金屬掩模10的縫隙15的內(nèi)壁面及金屬掩模10的未形成樹(shù)脂掩模20的一側(cè)的表面碰撞，不能到達(dá)蒸鍍對(duì)象物。不能到達(dá)蒸鍍對(duì)象物的蒸鍍材越多，在蒸鍍對(duì)象物產(chǎn)生越多比目的蒸鍍膜厚薄的膜厚的未蒸鍍部分，而發(fā)生陰影。
[0071]為了充分防止陰影的發(fā)生，如圖8(c)所示，優(yōu)選將縫隙15的截面形狀形成為具有朝向蒸鍍?cè)磾U(kuò)展的形狀。通過(guò)形成這樣的截面形狀，即使在以防止在蒸鍍掩模100產(chǎn)生的變形、或者提高耐久性為目的，使蒸鍍掩模整體的厚度變厚的情況下，從蒸鍍?cè)瘁尫诺恼翦儾牧弦膊粫?huì)與縫隙15的該表面、及縫隙15的內(nèi)壁面碰撞等，能夠使蒸鍍材料到達(dá)蒸鍍對(duì)象物。更具體地，連結(jié)金屬掩模10的縫隙15的下底前端和同樣地在金屬掩模10的縫隙15的上底前端的直線與金屬掩模10的底面所成的角度優(yōu)選為在25°~65°的范圍內(nèi)。特別是，在該范圍內(nèi)優(yōu)選為比使用的蒸鍍機(jī)的蒸鍍角度小的角度。通過(guò)形成為這樣的截面形狀，即使在以防止在蒸鍍掩模100產(chǎn)生的變形、或者提高耐久性為目的，使金屬掩模10的厚度較厚的情況下，從蒸鍍?cè)瘁尫诺恼翦儾牧弦膊粫?huì)與縫隙15的內(nèi)壁面碰撞，能夠使蒸鍍材料到達(dá)蒸鍍對(duì)象物。由此，能夠更有效地防止陰影發(fā)生。另外，圖8是用于說(shuō)明陰影的發(fā)生和金屬掩模10的縫隙15的關(guān)系的部分概略剖面圖。另外，在圖8(c)所示的方式中，金屬掩模10的縫隙15成為具有朝向蒸鍍?cè)磦?cè)擴(kuò)展的形狀，樹(shù)脂掩模20的開(kāi)口部的相對(duì)的端面大致平行，但為了更有效地防止陰影的發(fā)生，金屬掩模10的縫隙、及樹(shù)脂掩模20的開(kāi)口部25的截面形狀均優(yōu)選為具有朝向蒸鍍?cè)磦?cè)擴(kuò)展的形狀。因此，在本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模的制造方法中，優(yōu)選為以金屬掩模的縫隙、及樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部的截面形狀成為具有朝向蒸鍍?cè)磦?cè)擴(kuò)展的形狀的方式制造金屬掩模10的縫隙15、及樹(shù)脂掩模20的開(kāi)口部25。
[0072]圖9(a)~(d)是表示金屬掩模的縫隙和樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部的關(guān)系的部分概略剖面圖，在圖示的方式中，由金屬掩模的縫隙15和樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部25形成的開(kāi)口整體的截面形狀呈階梯狀。如圖9所示，通過(guò)將開(kāi)口整體的截面形狀形成為具有朝向蒸鍍?cè)磦?cè)擴(kuò)展的階梯狀，從而能夠有效地防止陰影的發(fā)生。
[0073]因此，在本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模的制造方法中，優(yōu)選為以由金屬掩模的縫隙和樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部25形成的開(kāi)口整體的截面形狀為階梯狀的方式進(jìn)行制造。
[0074]金屬掩模的縫隙15及樹(shù)脂掩模20的截面形狀，如圖9(a)所示，相對(duì)的端面可以大致平行，但如圖9(b)、(c)所示，也可以僅金屬掩模的縫隙15、樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部的任一方具有朝向蒸鍍?cè)磦?cè)擴(kuò)展的截面形狀。另外，如上述說(shuō)明地，為了更有效地防止陰影的發(fā)生，金屬掩模的縫隙15、及樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部25如圖4、及圖9(d)所示地優(yōu)選為均具有朝向蒸鍍?cè)磦?cè)擴(kuò)展的截面形狀。
[0075]關(guān)于成為上述階梯狀的剖面中的平坦部(圖9中的標(biāo)記(X))的寬度不作特別限定，但在平坦部(X)的寬度不足Iym的情況下，由于金屬掩模的縫隙的干擾，存在陰影發(fā)生的防止效果降低的傾向。因此，若考慮該方面，平坦部(X)的寬度優(yōu)選為Iym以上。關(guān)于優(yōu)選的上限值不作特別限定，可以考慮樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部的大小及相鄰的開(kāi)口部的間隔等而適當(dāng)設(shè)定，作為一個(gè)例子，為20 μ m左右。
[0076]另外，在上述圖9(a)~(d)中，表示在縫隙沿縱向延伸的情況下，與該縫隙15重合的開(kāi)口部25在橫向設(shè)有一個(gè)的例子，但如圖10所示，在縫隙沿縱向延伸的情況下，與該縫隙15重合的開(kāi)口部25可以在橫向上設(shè)有兩個(gè)以上。在圖10中，金屬掩模的縫隙15及樹(shù)脂掩模的開(kāi)口部25均具有朝向蒸鍍?cè)磦?cè)擴(kuò)展的截面形狀，與該縫隙15重合的開(kāi)口部25在橫向上設(shè)有兩個(gè)以上。
[0077](框體)
[0078]接著，作為用于保持多個(gè)組合上述那樣的金屬掩模10和樹(shù)脂掩模20而構(gòu)成的蒸鍍掩模100的框體2的構(gòu)成，也不作特別限定，例如，在圖1所示的實(shí)施方式中，框體2除了矩形的外框部分2a之外，具有用于將由該外框部分形成的開(kāi)口空間3沿其縱橫方向劃分成多個(gè)的縱向梁部分2b和橫向梁部分2c，但框體2只要至少具有外框部分2a，則關(guān)于縱向梁部分2b、橫向梁部分2c的有無(wú)是任意的。例如，如圖5(a)所示，可以形成為僅由外框部分2a構(gòu)成的框體2的構(gòu)成，如圖5(b)、(C)所示，可以形成為由外框部分2a和縱向梁部分2b或橫向梁部分2c的任一者構(gòu)成的框體2等的構(gòu)成。
[0079]另外，例如如圖5(d)所示，將具有圖1所示的外框部分2a、縱向梁部分2b、橫向梁部分2c的框體2作為主體部，對(duì)此，可以另外準(zhǔn)備多個(gè)能夠分別安裝在與由該縱向梁部分2b及橫向梁部分2c劃分而形成的各掩模對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部的小框部件5。在該情況下，該多個(gè)小框部件5分別如后所述地，在配置有樹(shù)脂薄膜材料200及金屬掩模10的基礎(chǔ)上，能夠在與成為主體部的框體2的各掩模對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部配置小框部件5而進(jìn)行接合。
[0080]如圖5 (b)、(C)所不，即使在作為由外框部分2a和縱向梁部分2b或橫向梁部分2c的任一者構(gòu)成的框體2的情況下，也可以將這些框體2作為主體部，與圖5(d)所示同樣地另外準(zhǔn)備多個(gè)與各掩模對(duì)應(yīng)的小框部件5，并將它們排列接合在成為主體部的框體2。在該情況下，在成為主體部的框體2僅存在縱向梁部分2b或橫向梁部分2c的任一者，但通過(guò)小框部件5而補(bǔ)足未存在于成為主體部的框體2的橫向或縱向的梁。
[0081](本發(fā)明的制造方法)
[0082]本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模的制造方法是一種在框體2內(nèi)的開(kāi)口空間3沿其縱橫方向進(jìn)行劃分，配置多個(gè)掩模100而成的拼版蒸鍍掩模的制造方法，如上所述，在上述各掩模100由設(shè)有縫隙的金屬掩模10、和位于該金屬掩模的表面且縱橫地配置有多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部的樹(shù)脂掩模20構(gòu)成，其中，在上述框體2上安裝了各金屬掩模10及用于制作上述樹(shù)脂掩模的樹(shù)脂薄膜材料200之后，對(duì)上述樹(shù)脂薄膜材料200進(jìn)行加工，縱橫地形成多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部。
[0083]圖6是用于說(shuō)明本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模的制造方法的工序圖。另外，(a)~(d)均為剖面圖，為了使附圖便于理解而夸張表示各部件的壁厚、尺寸。
[0084]如圖6 (a)所示，首先準(zhǔn)備框體2。
[0085]對(duì)該框體2，如圖6 (b)所示，安裝多個(gè)設(shè)有縫隙的金屬掩模10、及位于上述多個(gè)金屬掩模的表面?zhèn)鹊臉?shù)脂薄膜材料200。
[0086]在此，關(guān)于金屬掩模10相對(duì)于框體2的配置中的位置精度，顯然將其精度設(shè)為較高的精度沒(méi)有任何問(wèn)題，但在本發(fā)明的制造方法中，在框體2內(nèi)配置了上述多個(gè)金屬掩模10及用于形成上述樹(shù)脂掩模的樹(shù)脂薄膜材料200之后，對(duì)上述樹(shù)脂薄膜材料200進(jìn)行加工，正確地設(shè)置與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部，因此，不要求配置金屬掩模10時(shí)的特別高的精度，即使比較粗略地配置，也能夠?qū)崿F(xiàn)掩模的高精細(xì)化。例如，在上述框體2內(nèi)配置上述金屬掩模10中，其設(shè)計(jì)上的配置位置和實(shí)際的配置位置之間的縫隙的寬度方向上的最大容許誤差為開(kāi)口部25的間距Pl的0.2倍以內(nèi)，優(yōu)選為0.15倍以內(nèi)，在縫隙的長(zhǎng)度方向上的最大容許誤差即使為5mm以內(nèi)也不會(huì)產(chǎn)生產(chǎn)品成品率的降低，能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)效率的提聞。
[0087]另外，關(guān)于多個(gè)金屬掩模10及樹(shù)脂薄膜材料200相對(duì)框體2的的安裝方法及安裝順序等，不作特別限定，能夠采取各種方式。關(guān)于該方面，以下進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0088]之后，如圖6 (C)所示，在框體2上安裝了全部的多個(gè)金屬掩模、及樹(shù)脂薄膜材料的狀態(tài)下，對(duì)樹(shù)脂薄膜材料200進(jìn)行加工，如圖6(d)所示，通過(guò)在樹(shù)脂薄膜上縱橫地形成多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部，制作樹(shù)脂掩模20，從而制造拼版蒸鍍掩模。作為加工樹(shù)脂薄膜材料200而形成開(kāi)口部的方法，不作特別限定，但例如能夠由以往公知的激光加工方法得到的圖案開(kāi)口而進(jìn)行，從金屬掩模側(cè)照射激光X，在所述樹(shù)脂板上縱橫地形成多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部。另外，在本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)中，蒸鍍制作的圖案是指欲使用該蒸鍍掩模制作的圖案，例如，在將該蒸鍍掩模用于有機(jī)EL元件的有機(jī)層的形成中的情況下，為該有機(jī)層的形狀。
[0089] 另外，在固定位如上所述地在框體2上安裝有全部的多個(gè)金屬掩模及樹(shù)脂薄膜材料的狀態(tài)的狀態(tài)下，在加工樹(shù)脂薄膜材料200而設(shè)置開(kāi)口部時(shí)，準(zhǔn)備預(yù)先設(shè)有要蒸鍍制作的圖案、即與要形成的開(kāi)口部25對(duì)應(yīng)的圖案的基準(zhǔn)板，在將該基準(zhǔn)板貼合在樹(shù)脂薄膜材料200的未設(shè)有金屬掩模10的一側(cè)的面的狀態(tài)下，可以從金屬掩模10側(cè)進(jìn)行與基準(zhǔn)板的圖案對(duì)應(yīng)的激光照射。根據(jù)該方法，一邊觀察與樹(shù)脂薄膜材料200貼合的基準(zhǔn)板的圖案一邊進(jìn)行激光照射，在所謂面對(duì)面的狀態(tài)下，能夠在樹(shù)脂薄膜材料200形成開(kāi)口部25，能夠形成具有開(kāi)口的尺寸精度極高的高精細(xì)的開(kāi)口部25的樹(shù)脂掩模20。另外，該方法由于在固定于框體的狀態(tài)下進(jìn)行開(kāi)口部25的形成，故而能夠形成為不僅尺寸精度優(yōu)異，而且位置精度也優(yōu)異的蒸鍍掩模。
[0090]另外，在使用上述方法的情況下，需要能夠從金屬掩模10側(cè)經(jīng)由樹(shù)脂薄膜材料200由激光照射裝置等識(shí)別基準(zhǔn)板的圖案。作為樹(shù)脂薄膜材料200，在具有一定程度的厚度的情況下，需要使用具有透明性的材料，但如前述，在形成為考慮了陰影的影響的優(yōu)選厚度，例如3 μ m~25 μ m左右的厚度的情況下，即使是著色的樹(shù)脂薄膜材料，也能夠識(shí)別基準(zhǔn)板的圖案。
[0091]關(guān)于樹(shù)脂薄膜200和基準(zhǔn)板的貼合方法也不作特別限定，例如在金屬掩模10為磁性體的情況下，在基準(zhǔn)板的后方配置磁鐵等，能夠通過(guò)吸引樹(shù)脂薄膜材料200和基準(zhǔn)板而進(jìn)行貼合。除此之外，也能夠使用靜電吸附法等進(jìn)行貼合。作為基準(zhǔn)板，例如能夠列舉出具有規(guī)定的圖案的TFT基板、及光掩模等。
[0092](本發(fā)明的制造方法中的任意設(shè)定事項(xiàng):金屬掩模及樹(shù)脂薄膜材料相對(duì)框體的安裝方法及安裝順序)
[0093]如上所述，在本發(fā)明的制造方法中，關(guān)于多個(gè)金屬掩模10及樹(shù)脂薄膜材料200相對(duì)于框體2的安裝方法及安裝順序等，不作特別限定，能夠采取各種方式。
[0094]即，作為金屬掩模10及樹(shù)脂薄膜材料200相對(duì)于框體2的支承方法，可以為㈧將例如在框體2上例如通過(guò)點(diǎn)焊等接合金屬掩模10，例如通過(guò)粘接劑、粘著劑、融著等接合于該金屬掩模10的樹(shù)脂薄膜材料200，相對(duì)于框體2支承的方法(在該情況下，樹(shù)脂薄膜材料與金屬掩模的面積相等或比其稍小)，或者(B)將在框體2上通過(guò)粘接劑、粘著劑，溶著(高頻融著等)等接合樹(shù)脂薄膜材料200,并同樣地通過(guò)粘接劑、粘著劑、溶著(高頻融著等)等接合在該樹(shù)脂薄膜材料上的金屬掩模10，相對(duì)于框體2支承的方法(在該情況下，金屬掩模比樹(shù)脂薄膜材料的面積小，在一個(gè)樹(shù)脂薄膜材料上也可以配置多個(gè)金屬掩模)。另外，在(A)、(B)任一方式中，金屬掩模10或樹(shù)脂薄膜材料200相對(duì)于框體2的接合、和金屬掩模10與樹(shù)脂薄膜材料200的接合的順序，哪個(gè)在先都可以。
[0095]樹(shù)脂薄膜材料可以為對(duì)成為金屬掩模10的原材料的金屬板涂層樹(shù)脂液而得到的樹(shù)脂層。在上述(A)的方式中，對(duì)成為金屬掩模10的原材料的金屬板涂層樹(shù)脂液而形成樹(shù)脂薄膜層，或者，例如也可以利用在金屬板延展時(shí)進(jìn)行樹(shù)脂涂層而制造的樹(shù)脂薄膜被覆金屬板?；蛘撸材軌蛟诮饘侔遒N合樹(shù)脂板而得到帶樹(shù)脂層的金屬板。作為金屬板和樹(shù)脂板的貼合方法，例如可以使用各種粘著劑，或可以使用具有自粘性的樹(shù)脂板。在該情況下，對(duì)在表面覆蓋有樹(shù)脂薄膜材料的金屬板，通過(guò)形成僅貫通該金屬板的縫隙，而形成為接合有樹(shù)脂薄膜材料200的金屬掩模10。該工序不作特別限定，只要能夠?qū)⑺谕目p隙僅形成在金屬掩模，可以為任意的工序，但例如，可采用公知的干式或濕式蝕刻法等。關(guān)于由這樣的金屬板形成金屬縫隙，可以在將樹(shù)脂薄膜被覆金屬板接合在框體2前或者后的任一時(shí)期實(shí)施。
[0096]樹(shù)脂薄膜層在成形后的一定程度的期間，由于溫度或者濕度的影響而引起經(jīng)時(shí)變化，因此，從成品率提升的觀點(diǎn)看，優(yōu)選設(shè)置直至形狀穩(wěn)定的期間、所謂的老化期間。
[0097]另外，在上述(B)的方式中，作為金屬掩模相對(duì)于樹(shù)脂薄膜材料200的配置方法，可采取各種方式。在圖7(a)~(f)中表示這樣的實(shí)施方式的例子。
[0098]圖7 (a)所示的實(shí)施方式表示對(duì)多個(gè)金屬掩模10分別使用一一對(duì)應(yīng)多個(gè)樹(shù)脂薄膜材料200的例子。
[0099]在該實(shí)施方式中，作為所使用的框體2，使用具有先前所示的圖1所圖示的外框部分2a及縱向梁部分2b和橫向梁部分2c的框體，或者，另外準(zhǔn)備多個(gè)在圖5 (d)中所示那樣的小框部件5，在與各掩模對(duì)應(yīng)的各個(gè)開(kāi)口部分別接合配置有一個(gè)金屬掩模10的樹(shù)脂薄膜材料200的框體。另外，各金屬掩模10相對(duì)于各樹(shù)脂薄膜材料200的接合可以在各樹(shù)脂薄膜材料200向框體2的接合之前或之后的任一時(shí)期實(shí)施。
[0100]圖7(b)~(d)所示的實(shí)施方式表示作為上述樹(shù)脂薄膜材料200使用實(shí)質(zhì)上覆蓋上述框體內(nèi)的開(kāi)口空間的整面的一片樹(shù)脂薄膜材料的例子。
[0101]在圖7(b)的實(shí)施方式中,在樹(shù)脂薄膜材料200的縱橫方向上排列有多個(gè)金屬掩模10。
[0102]另外，多個(gè)金屬掩模10未必需要如圖7 (b)所示那樣地分別作為個(gè)別的部件而形成，作為上述多個(gè)金屬掩模，將該多個(gè)中的幾個(gè)(2個(gè)以上)、例如在縱橫的排列中的一列全部或者其一部分作為一體形成的金屬掩模集合體部件而形成，也可以使用多個(gè)這樣的金屬掩模集合體部件。圖7(c)、(d)所示的實(shí)施方式表示這樣的例子，在圖7(c)的實(shí)施方式中，制作一體地形成圖中縱向上的一列全部的多個(gè)金屬掩模而構(gòu)成的金屬掩模集合體部件300，將多個(gè)該金屬掩模集合體部件300配置在圖中橫向。另外，在圖7(d)的實(shí)施方式中，也與圖7(c)同樣地，作為一體地形成圖中縱向上的一列全部的多個(gè)金屬掩模而構(gòu)成的金屬掩模集合體部件301，但該金屬掩模集合體部件301與圖7(c)的金屬掩模集合體部件300不同，不存在將各金屬掩模相互在橫向上劃分的框部分，在該金屬掩模集合體部件301,在圖中縱向上形成的縫隙315遍及其大致全長(zhǎng)而連續(xù)地形成。即使為如圖7(d)所示的方式，作為框體2的形狀使用適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)，即，通過(guò)組合具有圖1所圖示的外框部分2a及縱向梁部分2b和橫向梁部分2c的框體，或者，具有外框部分2a及橫向梁部分2c的框體等使用，而能夠區(qū)劃形成各個(gè)金屬掩模。另外，在圖7(d)所示的實(shí)施方式中，從與框體2的梁部的位置關(guān)系來(lái)看，在樹(shù)脂薄膜材料200相對(duì)于框體2接合之前，需要在樹(shù)脂薄膜材料200配置該金屬掩模集合體部件301。
[0103]圖7(e)、(f)所示的實(shí)施方式表示作為上述樹(shù)脂薄膜材料200，將具有與上述框體2內(nèi)的開(kāi)口空間的縱橫方向的任一方向的尺寸對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度且在另一方向具有比開(kāi)口空間的尺寸短的長(zhǎng)度的樹(shù)脂薄膜材料組合多片(2片以上)的例子。即，為在圖7(e)、(f)所示的實(shí)施方式中，在圖中縱向上，將具有與要予定安裝的框體2內(nèi)的開(kāi)口空間的縱向尺寸對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度且具有比開(kāi)口空間的橫縱方向的尺寸短的長(zhǎng)度的上述樹(shù)脂薄膜材料200組合多片的例子。
[0104]樹(shù)脂薄膜材料的面積越大，由在對(duì)框體2安裝時(shí)所施加的外部應(yīng)力及熱膨脹或者收縮等造成的尺寸變化越產(chǎn)生相對(duì)變大的傾向越大，但通過(guò)如上所述那樣地使樹(shù)脂薄膜材料一定程度短尺寸化，能夠減少這些不良情況。
[0105]在圖7(e)的實(shí)施方式中，在上述那樣的短寬度的樹(shù)脂薄膜材料200的各個(gè)的縱向，一列列地排列有多個(gè)金屬掩模10。另外，多個(gè)金屬掩模10相對(duì)于上述樹(shù)脂薄膜材料200的接合可以在各樹(shù)脂薄膜材料200向框體2接合之前或之后的任一時(shí)期進(jìn)行。
[0106]另外，在圖7(f)的實(shí)施方式中，一列列地排列有具有與上述圖7(d)所示同樣形狀的金屬掩模集合體部件301。作為與這樣的金屬掩模集合體部件301組合的框體2的形狀，與在圖7(d)的實(shí)施方式的說(shuō)明中進(jìn)行的結(jié)構(gòu)相同。另外，在這樣的實(shí)施方式中，與上述同樣地，在樹(shù)脂薄膜材料200相對(duì)于框體2接合之前，需要在樹(shù)脂薄膜材料200配置該金屬掩模集合體部件301。
[0107](本發(fā)明的制造方法中的任意設(shè)定事項(xiàng):減薄工序)
[0108]另外，在本發(fā)明的制造方法中，可以在上述說(shuō)明的工序間或者工序后進(jìn)行減薄工序。該工序?yàn)楸景l(fā)明的制造方法中的任意的工序，為優(yōu)化金屬掩模10的厚度、及樹(shù)脂掩模20的厚度的工序。作為金屬掩模10及樹(shù)脂掩模20的優(yōu)選厚度，只要在上述的優(yōu)選范圍內(nèi)適當(dāng)設(shè)定即可，省略在此的詳細(xì)說(shuō)明。
[0109]例如，作為帶樹(shù)脂薄膜的金屬板，在使用具有一定程度的厚度的材料的情況下，在制造工序中，在搬運(yùn)帶樹(shù)脂薄膜的金屬板及帶樹(shù)脂薄膜的金屬掩模10時(shí)，在搬運(yùn)由上述制造方法制造的拼板蒸鍍掩模I時(shí)能夠賦予優(yōu)異的耐久性及搬運(yùn)性。另一方面，為了防止陰影的發(fā)生等，組裝到由本發(fā)明的制造方法得到的拼板蒸鍍掩模I中的各蒸鍍掩模100的厚度優(yōu)選為最佳的厚度。減薄工序?yàn)樵谥圃旃ば蚱陂g或者工序后滿足耐久性及搬運(yùn)性，同時(shí)將蒸鍍掩模100的厚度最佳化時(shí)有用的工序。
[0110]成為金屬掩模10的金屬板及金屬掩模10的減薄、即金屬掩模的厚度的優(yōu)化可以在上述說(shuō)明的工序期間或者工序之后，通過(guò)使用可蝕刻金屬板或金屬掩模10的蝕刻材料來(lái)蝕刻金屬板的不與樹(shù)脂薄膜200相接側(cè)的面，或者金屬掩模10的不與樹(shù)脂薄膜200或樹(shù)脂掩模20相接側(cè)的面來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0111]關(guān)于成為樹(shù)脂掩模20的樹(shù)脂薄膜200及樹(shù)脂掩模20的減薄、即樹(shù)脂薄膜200、樹(shù)脂掩模20的厚度的優(yōu)化也同樣，在上述說(shuō)明的任何工序期間或者工序后，通過(guò)使用可蝕刻樹(shù)脂薄膜200或樹(shù)脂掩模20的材料的蝕刻材料對(duì)樹(shù)脂薄膜200的不與金屬板及金屬掩模10相接側(cè)的面，或者樹(shù)脂掩模20的不與金屬掩模10相接側(cè)的面進(jìn)行蝕刻來(lái)實(shí)現(xiàn)。另外，也能夠在形成拼版蒸鍍掩模I后，通過(guò)對(duì)金屬掩模10、樹(shù)脂掩模20的雙方進(jìn)行蝕刻加工來(lái)優(yōu)化雙方的厚度。
[0112]在減薄工序中，關(guān)于用于蝕刻樹(shù)脂薄膜200或者樹(shù)脂掩模20的蝕刻材料，只要根據(jù)樹(shù)脂薄膜200及樹(shù)脂掩模20的樹(shù)脂材料適當(dāng)設(shè)定即可，不作特別限定。例如，在作為樹(shù)脂薄膜200及樹(shù)脂掩模20的樹(shù)脂材料使用聚酰亞胺樹(shù)脂的情況下，作為蝕刻材料，能夠使用使氫氧化鈉或氫氧化鉀溶解的堿性水溶液、肼等。蝕刻材料也可以直接使用銷售品，作為聚酰亞胺樹(shù)脂的蝕刻材料，可使用東麗工程(株)制造的TPE3000等。
[0113](有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法)
[0114]本發(fā)明的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法的特征是，使用由上述說(shuō)明的本發(fā)明的制造方法制造的拼板蒸鍍掩模I形成有機(jī)半導(dǎo)體元件。關(guān)于拼板蒸鍍掩模1，能夠直接使用由上述說(shuō)明的本發(fā)明的制造方法制造的拼版蒸鍍掩模1，在此省略詳細(xì)的說(shuō)明。根據(jù)上述說(shuō)明的本發(fā)明的拼版蒸鍍掩模，通過(guò)配置于該拼版蒸鍍掩模I中的各蒸鍍掩模100具有的尺寸精度高的開(kāi)口部25，能夠形成具有高精細(xì)圖案的有機(jī)半導(dǎo)體元件。作為由本發(fā)明的制造方法制造的有機(jī)半導(dǎo)體元件，例如能夠列舉出有機(jī)EL元件的有機(jī)層、發(fā)光層及陰極電極等。特別是，本發(fā)明的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法能夠適用于要求高精細(xì)的圖案精度的有機(jī)EL兀件的R、G、B發(fā)光層的制造中。
[0115] 以上，對(duì)本發(fā)明根據(jù)其實(shí)施方式進(jìn)行了具體說(shuō)明，但本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，在權(quán)利要求書(shū)記載的范圍內(nèi)能夠采取各種方式。
【權(quán)利要求】
1.一種拼版蒸鍍掩模的制造方法，該拼版蒸鍍掩模在框體內(nèi)的開(kāi)口空間沿其縱橫方向進(jìn)行劃分，配置多個(gè)掩模而構(gòu)成，其特征在于，所述制造方法具有如下的工序: 準(zhǔn)備框體的工序； 在所述框體上安裝多個(gè)設(shè)有縫隙的金屬掩模、及位于所述多個(gè)金屬掩模的表面?zhèn)鹊臉?shù)脂薄膜材料的工序； 通過(guò)對(duì)所述樹(shù)脂薄膜材料進(jìn)行加工，縱橫地形成多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部，從而制作樹(shù)脂掩模的工序。
2.如權(quán)利要求1所述的拼版蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于， 在所述框體上安裝所述金屬掩模及所述樹(shù)脂薄膜材料的工序中， (1)所述框體具有將其開(kāi)口空間沿縱橫方向劃分成多個(gè)的梁部，并且，作為所述樹(shù)脂薄膜材料，使用多張相對(duì)于所述各金屬掩模分別具有相應(yīng)的尺寸的樹(shù)脂薄膜材料，在將所述多張樹(shù)脂薄膜材料分別相對(duì)于所述框體的梁部安裝前后，在各個(gè)所述樹(shù)脂薄膜材料上的規(guī)定位置分別配置金屬掩模， (2)所述樹(shù)脂薄膜材料為覆蓋所述框體內(nèi)的開(kāi)口空間的整個(gè)面的一片樹(shù)脂薄膜材料，所述多個(gè)金屬掩模在將所述樹(shù)脂薄膜材料安裝在所述框體前后，分別配置在所述樹(shù)脂薄膜材料上的規(guī)定位置，或者， (3)作為樹(shù)脂薄膜材料，組合多張具有與所述框體內(nèi)的開(kāi)口空間的縱橫方向的任一方向的尺寸對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度且在 另一方向具有比開(kāi)口空間的尺寸短的長(zhǎng)度的樹(shù)脂薄膜材料，所述多個(gè)金屬掩模在將所述樹(shù)脂薄膜材料安裝在所述框體前后，分別配置在所述樹(shù)脂薄膜材料上的規(guī)定位置。
3.如權(quán)利要求1或2所述的拼版蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于， 作為所述多個(gè)金屬掩模，將該多個(gè)金屬掩模中的幾個(gè)作為一體形成的金屬掩模集合體部件而形成并且使用多個(gè)這樣的金屬掩模集合體部件。
4.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的拼版蒸鍍掩模的制造方法，其特征在于， 在所述框體內(nèi)配置所述金屬掩模中，其設(shè)計(jì)上的配置位置與實(shí)際的配置位置之間的縫隙的寬度方向上的最大容許誤差為所述開(kāi)口部的間距的0.2倍以內(nèi)，縫隙的長(zhǎng)度方向上的最大容許誤差為5_以內(nèi)，進(jìn)行配置作業(yè)。
5.如權(quán)利要求1所述的拼板蒸鍍掩模的制造方法，其中， 在所述框體上，替代安裝各金屬掩模及用于制作所述樹(shù)脂掩模的樹(shù)脂薄膜材料的工序，進(jìn)行安裝用于制作各金屬掩模的金屬板、及安裝用于制作所述樹(shù)脂掩模的樹(shù)脂薄膜材料的工序，在框體上安裝有金屬板及樹(shù)脂薄膜材料的狀態(tài)下，對(duì)該金屬板進(jìn)行加工，設(shè)置僅貫通金屬板的縫隙而作為金屬掩模，然后，對(duì)所述樹(shù)脂薄膜材料進(jìn)行加工，縱橫地形成多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部。
6.如權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的拼板蒸鍍掩模的制造方法,其特征在于， 在加工樹(shù)脂薄膜材料，縱橫地形成多個(gè)與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部時(shí)，準(zhǔn)備預(yù)先設(shè)有與所述開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的圖案的基準(zhǔn)板，將該基準(zhǔn)板貼合在樹(shù)脂薄膜材料的未設(shè)有金屬掩模的一側(cè)的面，經(jīng)由樹(shù)脂薄膜材料識(shí)別所述基準(zhǔn)板的圖案，同時(shí)，從金屬掩模側(cè)按照基準(zhǔn)板的圖案進(jìn)行激光照射，在樹(shù)脂薄膜材料形成開(kāi)口圖案。
7.—種拼版蒸鍍掩模,在框體內(nèi)的開(kāi)口空間沿其縱橫方向進(jìn)行劃分，配置多個(gè)掩模而構(gòu)成，其特征在于，所述各掩模由設(shè)有縫隙的金屬掩模、和位于該金屬掩模的表面且縱橫地配置多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部的樹(shù)脂掩模構(gòu)成。
8.一種有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法，其特征在于，使用由如上述權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的制造方法制造的拼 版蒸鍍掩模或上述權(quán)利要求7所述的拼版蒸鍍掩模。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK104053812SQ201380005281
【公開(kāi)日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2013年1月11日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月12日
【發(fā)明者】廣部吉紀(jì), 松元豐, 牛草昌人, 武田利彥, 小幡勝也, 西村佑行 申請(qǐng)人:大日本印刷株式會(huì)社