專利名稱：鉬鈮合金靶材的生產(chǎn)工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于鑰鈮合金制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及鑰鈮合金靶材的生產(chǎn)工藝。
背景技術(shù)：
鑰鈮(Mo-Nb)合金具有熔點(diǎn)高，高溫強(qiáng)度高，耐腐蝕等優(yōu)異性能，是重要的高溫結(jié)構(gòu)材料。鑰鈮合金在航天，航空，核工業(yè)，武器，電子，醫(yī)學(xué)等高科技領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。鑰鈮合金靶材是把鑰鈮合金通過離子濺射鍍覆到基材上的基本原料。由于鑰鈮合金均屬于置換固溶體合金，燒結(jié)致密難。采用普通等靜壓制后由于最大壓制壓力限制壓坯密度較低，由于壓坯孔隙度高，導(dǎo)致燒結(jié)后板材密度較低，故采用傳統(tǒng)的等靜壓制和燒結(jié)方法生產(chǎn)的鑰鈮合金難以滿足濺射靶材用鑰鈮合金板材的生產(chǎn)要求。·

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種工藝流程簡單的鑰鈮合金靶材的生產(chǎn)工藝
本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種鑰鈮合金靶材的生產(chǎn)工藝采用粉末冶金原理，設(shè)計(jì)了適合加工這種材料的生產(chǎn)工藝。具體工藝流程為混料一鑰鈮合金粉末煅燒一球磨機(jī)制粉—壓制成型一用磨床精加工成IE材一清洗一真空包裝一質(zhì)檢一進(jìn)庫。這是粉末冶金的基本流程，其中創(chuàng)新點(diǎn)在煅燒、制粉和壓制三個(gè)工序。具體加工過程是，把高純的鑰粉和鈮粉在混料機(jī)內(nèi)混合均勻，鈮粉和鑰粉按照1:8-9的重量比置于混料機(jī)中，在1400 1900°C高溫真空煅燒爐內(nèi)煅燒成鑰鈮合金。把燒結(jié)塊用油壓機(jī)破碎成小塊后在瑪瑙球磨機(jī)中，在氦氣保護(hù)下研磨。磨球配比為1/3，以公轉(zhuǎn)600的微粉。在真空加壓燒結(jié)裝置中壓制成型，壓力12 25兆帕，在1450 2020°C壓30 90分鐘，得到靶坯。在磨床上修整得到成品靶材。本發(fā)明煅燒時(shí)。鑰鈮合金是高純材料，不能用普通的熔煉爐在空氣中熔煉，必須采用真空煅燒爐煅燒。為了保證高純，不被氧化和污染，不能用普通的球磨機(jī)在空氣中研磨。采用瑪瑙球磨機(jī)，在氦氣保護(hù)下研磨。研磨速度要適中不能溫度過高。也因?yàn)槭歉呒儾牧?，而且要得到致密度高，均勻的靶材，不能用普通冷壓燒結(jié)，必須采用真空加壓燒結(jié)成型。本發(fā)明鑰鈮合金靶材產(chǎn)品的性能和規(guī)格如下
性能純度99. 95% 99. 995% ;晶粒度5 120 μ m ;相對密度> 95%。規(guī)格圓形祀直徑25 900mm,厚I 50mm。矩形祀長I 900mm,寬I 450mm,厚I 50mm。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明的方法工藝流程簡單，易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。無污染，制備過程不會產(chǎn)生任何廢料、廢酸等污染物。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1
一種鑰鈮合金靶材的生產(chǎn)工藝，把高純的鑰粉和鈮粉在混料機(jī)內(nèi)混合均勻，鈮粉和鑰粉按照1:8-9的重量比置于混料機(jī)中，在1400 1900°C高溫真空煅燒爐內(nèi)煅燒成鑰鈮合金。把燒結(jié)塊用油壓機(jī)破碎成小塊后在瑪瑙球磨機(jī)中，在氦氣保護(hù)下研磨。磨球配比為1/3，以公轉(zhuǎn)600的微粉。在真空加壓燒結(jié)裝置中壓制成型，壓力12 25兆帕，在1450 2020°C壓30 90分鐘，得到靶 坯。在磨床上修整得到成品靶材。
權(quán)利要求
1.一種鑰鈮合金靶材的生產(chǎn)工藝，其特征在于把高純的鑰粉和鈮粉在混料機(jī)內(nèi)混合均勻，鈮粉和鑰粉按照1:8-9的重量比置于混料機(jī)中，在1400 1900°C高溫真空煅燒爐內(nèi)煅燒成鑰鈮合金，把燒結(jié)塊用油壓機(jī)破碎成小塊后在瑪瑙球磨機(jī)中，在氦氣保護(hù)下研磨，磨球配比為1/3，以公轉(zhuǎn)600的微粉，在真空加壓燒結(jié)裝置中壓制成型，壓力12 25兆帕，在1450 2020°C壓30 90分鐘，得到靶坯，在磨床上修整得到成品靶材。
全文摘要
一種鉬鈮合金靶材的生產(chǎn)工藝，其特征在于把高純的鉬粉和鈮粉在混料機(jī)內(nèi)混合均勻，鈮粉和鉬粉按照18-9的重量比置于混料機(jī)中，在1400～1900℃高溫真空煅燒爐內(nèi)煅燒成鉬鈮合金，把燒結(jié)塊用油壓機(jī)破碎成小塊后在瑪瑙球磨機(jī)中，在氦氣保護(hù)下研磨。磨球配比為1/3，以公轉(zhuǎn)600的微粉，在真空加壓燒結(jié)裝置中壓制成型，壓力12～25兆帕，在1450～2020℃壓30～90分鐘，得到靶坯。在磨床上修整得到成品靶材。本發(fā)明的方法工藝流程簡單，易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。無污染，制備過程不會產(chǎn)生任何廢料、廢酸等污染物。
文檔編號B22F9/04GK103060762SQ20131001039
公開日2013年4月24日 申請日期2013年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月11日
發(fā)明者吳文斌 申請人:江西科泰新材料有限公司