專利名稱：生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及生產(chǎn)線設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法及一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置裝置。
背景技術(shù)：
生產(chǎn)線設(shè)備是現(xiàn)代生活中完成各類產(chǎn)品生產(chǎn)、制造或工藝過程不可缺少的硬件設(shè) 備，為盡可能提高產(chǎn)量及效率，對于生產(chǎn)線設(shè)備均配置有相應(yīng)的控制系統(tǒng)以控制生產(chǎn)線設(shè) 備的運(yùn)行。如在太陽能電池制造設(shè)備等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)中，多采用 In-line(線型)的硬件結(jié)構(gòu)及在線型鍍膜技術(shù)(In-line PECVD)來達(dá)到高效率、高產(chǎn)量的 目的。對于生產(chǎn)線設(shè)備，尤其是PECVD設(shè)備來說，一個(gè)評價(jià)運(yùn)行效率的關(guān)鍵指標(biāo)就是產(chǎn) 率，現(xiàn)有技術(shù)中通常采用增加載板數(shù)量的方法，讓設(shè)備中的各個(gè)腔室更大負(fù)荷地工作，以達(dá) 到提高產(chǎn)率目的。但是在實(shí)際應(yīng)用中，如果載板數(shù)量配置過多，有可能出現(xiàn)前一個(gè)腔室的載 板已完成當(dāng)前工藝需要傳出到下一個(gè)腔室，但下一個(gè)腔室中的載板由于數(shù)量過多，還沒有 完成其當(dāng)前工藝的情況而無法接收載板傳入的情形，這樣反而會(huì)降低生產(chǎn)線設(shè)備的產(chǎn)率； 但是，如果載板數(shù)量配置過少，則會(huì)使生產(chǎn)線設(shè)備耗費(fèi)較多空閑資源，同樣嚴(yán)重影響產(chǎn)率。 因此，載板數(shù)量配置的合理性對提高產(chǎn)率而言尤為重要?，F(xiàn)有技術(shù)中一般采用人工配置載板的方法，即相關(guān)技術(shù)人員會(huì)根據(jù)實(shí)際情況，基 于生產(chǎn)線設(shè)備運(yùn)行的各個(gè)工藝流程所需要的時(shí)間步步推演，以得出最大產(chǎn)率的情況下，一 臺設(shè)備最佳的載板數(shù)量，然后配備給設(shè)備。顯然，這個(gè)推演過程極其復(fù)雜，特別是多個(gè)載板 同時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，推演的復(fù)雜度更高；再者，隨著生產(chǎn)線設(shè)備使用時(shí)間地增長或者為適應(yīng)工藝需 要，在一些工藝流程上所耗費(fèi)的時(shí)間或者在某個(gè)腔室的工藝時(shí)間可能會(huì)發(fā)生變化，這就導(dǎo) 致事先推演得出的載板數(shù)量不再合理，需要重新進(jìn)行推演。因此，目前需要本領(lǐng)域技術(shù)人員迫切解決的一個(gè)技術(shù)問題就是如何能夠創(chuàng)新地 提出一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置機(jī)制，以簡單易行的方式依據(jù)生產(chǎn)線設(shè)備的實(shí)際情況 動(dòng)態(tài)配置載板數(shù)量，從而保證載板數(shù)量配置的合理性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法及系統(tǒng)， 用以盡可能客觀地捕捉生產(chǎn)線設(shè)備的實(shí)際情況，并節(jié)省系統(tǒng)資源。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例公開了一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方 法，包括基于當(dāng)前載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比 例Pin，并依據(jù)該比例確定最大配置的載板數(shù)量；所述最大配置的載板數(shù)量小于或等于當(dāng) 前工藝所限定載板數(shù)量的最大值；基于所述最大配置的載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pout， 并依據(jù)比例Pin和Pout確定最佳配置的載板數(shù)量，所述最佳配置的載板數(shù)量小于或等于所 述最大配置的載板數(shù)量。優(yōu)選的，所述確定最大配置載板數(shù)量的步驟包括子步驟S11、基于當(dāng)前載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù) 置時(shí)間的比例Pinl ；子步驟S12、若當(dāng)前載板數(shù)量未達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值，則相應(yīng)增 加載板數(shù)量；子步驟S13、基于增加后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間 占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2;子步驟S14、比較所述比例Pinl和Pin2，若Pin2 < Pinl,則將比例Pin2賦給 Pinl，返回步驟S12 ；若Pin2彡P(guān)inl，則執(zhí)行步驟S15 ；子步驟S15、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最大配置的載板數(shù)量。優(yōu)選的，所述確定最佳配置載板數(shù)量的步驟包括子步驟S21、基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí) 際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間 的比例Pout 1 ；子步驟S22、若當(dāng)前載板數(shù)量大于1，則相應(yīng)減少載板數(shù)量；子步驟S23、基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間 占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例 Pout2 ；子步驟S24、分別比較所述比例Pinl和Pin2，Poutl和Pout2，若Pout2 < Poutl, 則將比例Pout2賦給Poutl，返回步驟S22 ；若Pout2 ^ Poutl，則執(zhí)行步驟S25 ；若Pin2 > Pinl，則相應(yīng)增加載板數(shù)量后，執(zhí)行步驟S25 ；若Pin2 ( Pinl，則將比例Pin2賦給Pinl，返 回步驟S22 ；子步驟S25、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。優(yōu)選的，所述確定最佳配置載板數(shù)量的步驟包括子步驟S31、基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí) 際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間 的比例Poutl ；子步驟S32、計(jì)算所述比例Pinl和Poutl之和T1 ；子步驟S33、若當(dāng)前載板數(shù)量大于1，則相應(yīng)減少載板數(shù)量；子步驟S34、基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間 占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例 Pout2 ；子步驟S35、計(jì)算所述比例Pin2和Pout2之和T2 ；子步驟S36、比較所述比例和T1和T2，若Tl > T2，則相應(yīng)增加載板數(shù)量后，執(zhí)行步 驟S37 ；若Tl ^ T2，則將比例和T2賦給T1，返回步驟S33 ；子步驟S37、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。
優(yōu)選的，所述確定最大配置載板數(shù)量的步驟還包括子步驟S16、若當(dāng)前載板數(shù)量達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值，則確定該最 大值為最大配置的載板數(shù)量。優(yōu)選的，所述相應(yīng)增加的載板數(shù)量為1 ±夬，相應(yīng)減少的載板數(shù)量為1塊。優(yōu)選的，所述生產(chǎn)線設(shè)備為太陽能電池制造設(shè)備PECVD，所述當(dāng)前處理模塊為反應(yīng)腔。本發(fā)明實(shí)施例還公開了一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置裝置，包括最大配置載板數(shù)量確定模塊，用于基于當(dāng)前載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載 板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，并依據(jù)該比例確定最大配置的載板數(shù)量；所述 最大配置的載板數(shù)量小于或等于當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值；最佳配置載板數(shù)量確定模塊，用于基于所述最大配置的載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理 模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的 實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pout，并依據(jù)比例Pin和Pout確定最佳配置的載板數(shù)量，所述 最佳配置的載板數(shù)量小于或等于所述最大配置的載板數(shù)量。優(yōu)選的，所述最大配置載板數(shù)量確定模塊包括第一傳入等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于當(dāng)前載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載 板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl ；第一載板增加子模塊、用于在當(dāng)前載板數(shù)量未達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最 大值時(shí)，相應(yīng)增加載板數(shù)量；第二傳入等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于增加后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等 待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2 ；第一比較子模塊，用于比較所述比例Pinl和Pin2，若Pin2<Pinl，則觸發(fā)第一賦 值子模塊，若Pin2》Pinl，則觸發(fā)第一確定子模塊；第一賦值子模塊，用于將比例Pin2賦給Pinl，并返回所述載板數(shù)量增加模塊；第一確定子模塊，用于確定當(dāng)前載板數(shù)量為最大配置的載板數(shù)量。優(yōu)選的，所述最佳配置載板數(shù)量模塊包括第一等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊 等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí) 際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Poutl ；載板減少子模塊、用于在當(dāng)前載板數(shù)量大于1時(shí)，相應(yīng)減少載板數(shù)量；第二等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載 板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間 占預(yù)置時(shí)間的比例Pout2 ；第二比較子模塊，用于分別比較所述比例Pinl和Pin2，Poutl和Pout2，若Pout2 < Poutl，則觸發(fā)第二賦值子模塊；若Pout2 ^ Poutl，則觸發(fā)第二確定子模塊；若Pin2 > Pinl，則觸發(fā)第二載板增加子模塊；若Pin2 ^ Pinl，則觸發(fā)第一賦值子模塊；第二賦值子模塊，用于將比例Pout2賦給Poutl，并返回所述載板減少子模塊；第二載板增加子模塊，用于相應(yīng)增加載板數(shù)量后，觸發(fā)第二確定子模塊；第一賦值子模塊，用于將比例Pin2賦給Pinl，并返回所述載板減少子模塊；
第二確定子模塊，用于確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。優(yōu)選的，所述最佳配置載板數(shù)量確定模塊包括第一等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊 等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí) 際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Poutl ；第一合計(jì)模塊，用于計(jì)算所述比例Pinl和Poutl之和T1 ；載板減少子模塊、用于在當(dāng)前載板數(shù)量大于1時(shí)，相應(yīng)減少載板數(shù)量；第二等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載 板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間 占預(yù)置時(shí)間的比例Pout2 ；第二合計(jì)模塊，用于計(jì)算所述比例Pin2和Pout2之和T2 ；第三比較子模塊，用于比較所述比例和T1和T2，若T1 >T2，則觸發(fā)第二載板增加 子模塊后、觸發(fā)第二確定子模塊；若T1 ^ T2，則觸發(fā)第三賦值子模塊；第二載板增加子模塊，用于相應(yīng)增加載板數(shù)量后，觸發(fā)第二確定子模塊；第三賦值子模塊，用于將比例和T2賦給T1，并返回所述載板減少子模塊；第二確定子模塊，用于確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。優(yōu)選的，所述最大配置載板數(shù)量確定模塊還包括第四確定子模塊，用于在當(dāng)前載板數(shù)量達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值 時(shí)，確定該最大值為最大配置的載板數(shù)量。優(yōu)選的，所述相應(yīng)增加的載板數(shù)量為1 ±夬，相應(yīng)減少的載板數(shù)量為1塊。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)首先，本發(fā)明通過在配置載板數(shù)量的過程中，綜合考慮反應(yīng)腔等待載板傳入和等 待載板傳出的時(shí)間，在根據(jù)反應(yīng)腔等待預(yù)處理模塊的情形獲得最大配置的載板數(shù)量的情況 下，再根據(jù)反應(yīng)腔等待后處理模塊的情況判斷載板數(shù)量是否過多，從而確定出既能使反應(yīng) 腔滿負(fù)荷工作，不會(huì)浪費(fèi)過多等待時(shí)間的最佳配置的載板數(shù)量。再者，本發(fā)明具體可以通過統(tǒng)計(jì)出一段時(shí)間中反應(yīng)腔等待預(yù)處理模塊的總時(shí)間所 占比例，以及，反應(yīng)腔等待后處理模塊的總時(shí)間所占比例來進(jìn)行載板數(shù)量的配置，由于采用 百分比的形式進(jìn)行對比，故可以應(yīng)對實(shí)際中任一種預(yù)置時(shí)間設(shè)置的情形，即使前后兩次配 置采用不同預(yù)置時(shí)間，也不會(huì)影響載板數(shù)量的配置結(jié)果，并可以使得載板數(shù)量的配置動(dòng)態(tài) 地適應(yīng)工藝需要。此外，本發(fā)明簡單易行，無需額外增加硬件，并能有效節(jié)約成本。


圖1是一種簡化的PECVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是PECVD設(shè)備中的反應(yīng)腔等待預(yù)處理模塊的第一種情形的示意圖；圖3是PECVD設(shè)備中的反應(yīng)腔等待預(yù)處理模塊的第二種情形的示意圖；圖4是PECVD設(shè)備中的反應(yīng)腔等待后處理模塊的第一種情形的示意圖；圖5是PECVD設(shè)備中的反應(yīng)腔等待后處理模塊的第二種情形的示意圖；圖6是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法實(shí)施例1的步驟流程圖7是本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施例中確定最大配置載板數(shù)量的步驟流程圖；圖8是本發(fā)明的一種確定最大配置載板數(shù)量的具體示例的步驟流程圖；圖9是本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施例中確定最佳配置載板數(shù)量的步驟流程圖；圖10是本發(fā)明的一種確定最佳配置載板數(shù)量的具體示例的步驟流程圖；圖11是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法實(shí)施例2的步驟流程圖；圖12是本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置結(jié)構(gòu)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實(shí) 施方式對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明，以下以PECVD設(shè)備為例，具體說明本發(fā) 明的核心構(gòu)思及具體實(shí)現(xiàn)。從上文中的論述可以得知，提高PECVD設(shè)備產(chǎn)率的關(guān)鍵就是讓反應(yīng)腔處于滿負(fù)荷 的工作狀態(tài)，減少其等待的時(shí)間，具體來說，就是減少反應(yīng)腔空等載板傳入的時(shí)間，以及反 應(yīng)腔中已經(jīng)完成工藝任務(wù)的載板等待傳出的時(shí)間。基于這個(gè)理解，如圖1所示，可以把設(shè)備 簡化為三個(gè)模塊預(yù)處理模塊11，反應(yīng)腔12和后處理模塊13。在實(shí)際中，有可能導(dǎo)致反應(yīng)腔等待的情況如圖2-圖5所示，其中，圖2示出了反應(yīng) 腔在預(yù)處理模塊無載板傳入時(shí)等待的第一種情形，圖3示出了反應(yīng)腔在預(yù)處理模塊雖有載 板但仍在準(zhǔn)備時(shí)等待的第二種情形，圖4示出了反應(yīng)腔準(zhǔn)備好傳出載板但后處理模塊中還 有載板時(shí)等待的第一種情形，圖5示出了反應(yīng)腔準(zhǔn)備好傳出載板但后處理模塊中還在準(zhǔn)備 時(shí)等待的第二種情形。其中，反應(yīng)腔等待預(yù)處理模塊的情形，最終都會(huì)歸結(jié)到圖3所示的情況；反應(yīng)腔等 待后處理模塊的情形，也都會(huì)歸結(jié)到圖5所示的情況。于是，本專利發(fā)明人創(chuàng)造性地提出， 首先根據(jù)反應(yīng)腔等待預(yù)處理模塊的情形添加載板數(shù)量，然后再根據(jù)反應(yīng)腔等待后處理模塊 的情況判斷載板數(shù)量是否過多，從而確定出既能使反應(yīng)腔滿負(fù)荷工作，不會(huì)浪費(fèi)過多等待 時(shí)間的最佳配置的載板數(shù)量。參考圖6，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法實(shí)施例1的步驟 流程圖，具體可以包括以下步驟步驟71、基于當(dāng)前載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置 時(shí)間的比例Pin，并依據(jù)該比例確定最大配置的載板數(shù)量；所述最大配置的載板數(shù)量小于 或等于當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值；步驟72、基于所述最大配置的載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際 時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比 例Pout，并依據(jù)比例Pin和Pout確定最佳配置的載板數(shù)量，所述最佳配置的載板數(shù)量小于 或等于所述最大配置的載板數(shù)量?？梢钥闯?，所述步驟71即是根據(jù)反應(yīng)腔等待預(yù)處理模塊的情形添加載板數(shù)量的 具體實(shí)現(xiàn)，所述步驟72即是根據(jù)反應(yīng)腔等待后處理模塊的情形判斷載板數(shù)量是否過多的 具體實(shí)現(xiàn)。參考圖7，在本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述步驟71可以包括如下子步驟
子步驟711、基于當(dāng)前載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù) 置時(shí)間的比例Pinl ；子步驟712、若當(dāng)前載板數(shù)量未達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值，則相應(yīng)增 加載板數(shù)量；子步驟713、基于增加后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間 占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2;子步驟714、比較所述比例Pinl和Pin2，若Pin2 < Pinl，則執(zhí)行子步驟715 ；若 Pin2彡P(guān)inl，則執(zhí)行子步驟716 ；子步驟715、將比例Pin2賦給Pinl，返回子步驟712 ；子步驟716、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最大配置的載板數(shù)量。在具體實(shí)現(xiàn)中，若當(dāng)前載板數(shù)量達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值，則可以 直接確定該最大值為最大配置的載板數(shù)量。為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)施例，以下結(jié)合圖8通過一個(gè)具體例子來說 明上述確定最大配置的載板數(shù)量的過程。步驟901、設(shè)置預(yù)置時(shí)間內(nèi)反應(yīng)腔等待載板傳入的最大時(shí)間所占比例作為第一次 配置用的Pinl ；例如，假設(shè)預(yù)置時(shí)間為100s，則Pinl = 100%。步驟902、統(tǒng)計(jì)反應(yīng)腔等待當(dāng)前數(shù)量的載板傳入的實(shí)際總時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例 Pin2 ；例如，假設(shè)初始載板的數(shù)量為20塊，反應(yīng)腔實(shí)際等待這20塊載板數(shù)量傳入的時(shí)間 為75s，則可以得到Pin2 = 75%。步驟903、判斷當(dāng)前Pin2是否小于Pinl，若是，則執(zhí)行步驟904和905 ；若否，則執(zhí) 行步驟907 ；如本例為Pin2 < Pinl，故需要執(zhí)行步驟904。步驟904、將Pin2賦給Pinl，即經(jīng)過本步驟，Pinl被更新為75% ；步驟905、判斷當(dāng)前載板數(shù)量是否達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值，若否， 則執(zhí)行步驟906 ；若是，則執(zhí)行步驟907 ；假設(shè)本例中，當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值為30塊，當(dāng)前載板數(shù)量為20塊， 故需要執(zhí)行步驟906 ；步驟906、增加1塊載板，并返回步驟902 ；即此時(shí)，當(dāng)前載板數(shù)量更新為21塊；然后基于該21塊載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)預(yù)置時(shí)間內(nèi) 反應(yīng)腔等待的實(shí)際總時(shí)間所占比例Pin2，假設(shè)為50%，將該P(yáng)in2與Pinl進(jìn)行比較，盡管 Pinl已更新為75%，但Pin2仍小于Pinl，故再次把Pin2賦給Pinl，即此時(shí)Pinl = 50% ； 然后再增加1塊模塊，即當(dāng)前載板數(shù)量更新為22塊；基于該22塊載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)預(yù)置時(shí)間 內(nèi)反應(yīng)腔等待的實(shí)際總時(shí)間所占比例Pin2，假設(shè)為51%;將該P(yáng)in2與Pinl進(jìn)行比較，由于 Pinl已更新為50%，此次Pin2大于Pinl，故需要執(zhí)行步驟907 ；步驟907、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最大配置的載板數(shù)量。即在本例中，可以確定最大配置的載板數(shù)量為22塊。可以理解，在本發(fā)明實(shí)施例中，Pinl和Pin2是相對前后兩次配置過程中使用的比例而言的，Pinl即前一次配置所使用的比例，Pin2即后一次配置所使用的比例，在Pin2 < Pinl時(shí)，Pin2就會(huì)在下一次配置中作為Pinl來使用。再者，需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施 例中前后兩次配置的預(yù)置時(shí)間可以相同，也可以不同，本領(lǐng)域技術(shù)人員依據(jù)實(shí)際需求設(shè)置 即可，由于本發(fā)明通過采用百分比的形式進(jìn)行對比，無論預(yù)置時(shí)間是否相同，相應(yīng)的等待時(shí) 間也會(huì)按比例增加或減少，故載板數(shù)量的配置結(jié)果并不會(huì)受到預(yù)置時(shí)間變化的影響。參考圖9，在本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述步驟72可以包括如下子步驟子步驟721、基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí) 際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間 的比例Pout 1 ；子步驟722、若當(dāng)前載板數(shù)量大于1，則相應(yīng)減少載板數(shù)量；子步驟723、基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間 占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例 Pout2 ；子步驟724、分別比較所述比例Pinl和Pin2，Poutl和Pout2，若Pout2 < Poutl, 則執(zhí)行子步驟725 ；若Pout2 ^ Poutl，則執(zhí)行子步驟728 ；若Pin2 > Pinl，則執(zhí)行子步驟 726 ；若Pin2 ^ Pinl，則執(zhí)行子步驟727 ；子步驟725、將比例Pout2賦給Poutl，并返回子步驟722 ；子步驟726、相應(yīng)增加載板數(shù)量后，執(zhí)行子步驟728 ；子步驟727、將比例Pin2賦給Pinl，并返回子步驟722 ；子步驟728、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)施例，以下結(jié)合圖10通過一個(gè)具體例子來 說明上述確定最佳配置的載板數(shù)量的過程。步驟111、設(shè)置預(yù)置時(shí)間內(nèi)反應(yīng)腔等待載板傳出的最大時(shí)間所占比例作為第一次 配置用的Poutl ；例如，假設(shè)Poutl = 100%。步驟112、統(tǒng)計(jì)反應(yīng)腔等待當(dāng)前數(shù)量的載板傳入的實(shí)際總時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例 Pinl，以及，反應(yīng)腔等待當(dāng)前數(shù)量的載板傳出的實(shí)際總時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pout2 ；例如，假設(shè)最大配置的載板數(shù)量為22塊，Pinl = 100%,Pout2 = 80%。步驟113、判斷當(dāng)前Pout2是否小于Poutl，若是，則執(zhí)行步驟114和115 ；若否，則 執(zhí)行步驟121 ；如本例為Pout2 < Poutl，故需要執(zhí)行步驟114。步驟114、將Pout2賦給Poutl，即經(jīng)過本步驟，Poutl被更新為80% ；步驟115、判斷當(dāng)前載板數(shù)量是否大于1，若是，則執(zhí)行步驟116 ；若否，則執(zhí)行步驟 121 ；步驟116、減少1塊載板，并執(zhí)行以下步驟；即在本例中，當(dāng)前載板數(shù)量被更新為21塊。步驟117、統(tǒng)計(jì)反應(yīng)腔等待當(dāng)前數(shù)量的載板傳入的實(shí)際總時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例 Pin2，以及，反應(yīng)腔等待當(dāng)前數(shù)量的載板傳出的實(shí)際總時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pout2 ；即基于更新后的21塊的載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)預(yù)置時(shí)間內(nèi)反應(yīng)腔等待傳入的實(shí)際總時(shí)間所占比例Pin2，假設(shè)為90 %，和預(yù)置時(shí)間內(nèi)反應(yīng)腔等待傳出的實(shí)際總時(shí)間所占比例 Pout2，假設(shè)為 75%。即此時(shí)，Pinl = 100%，Poutl = 80% (經(jīng)過步驟 114 已更新)，Pin2 =90%, Pout2 = 75%。步驟118、判斷Pin2是否大于Pinl，若是，則執(zhí)行步驟119，若否，則執(zhí)行步驟120 ；本例中，Pin2小于Pinl，故需要執(zhí)行步驟120。步驟119、增加1塊載板后，執(zhí)行步驟121 ；步驟120、將Pin2賦給Pinl，返回步驟113;即經(jīng)過本步驟，Pinl被更新為90% ；在本例中，返回步驟113進(jìn)行Pout2與Poutl的比較，可以得知Pout2 < Poutl，于 是再次將Pout2賦給Poutl，Poutl被更新為75%，基于當(dāng)前載板數(shù)量21，可以再減少1塊 載板后(20塊)計(jì)算Pin2和Pout2，假設(shè)此次計(jì)算獲得Pin2 = 95%, Pout2 = 75%，則可 以得出Pin2 > Pinl，于是再增加1塊載板，即恢復(fù)為21塊。步驟121、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。即在本例中，可以確定最佳配置的載板數(shù)量為21塊。可以看出，本實(shí)施例可以在配置載板數(shù)量的過程中，綜合考慮反應(yīng)腔等待載板傳 入和等待載板傳出的時(shí)間，在根據(jù)反應(yīng)腔等待預(yù)處理模塊的情形獲得最大配置的載板數(shù)量 的情況下，再根據(jù)反應(yīng)腔等待后處理模塊的情況判斷載板數(shù)量是否過多，從而確定出既能 使反應(yīng)腔滿負(fù)荷工作，不到會(huì)浪費(fèi)過多等待時(shí)間的最佳配置的載板數(shù)量?？梢岳斫猓诒景l(fā)明實(shí)施例中，Poutl和Pout2是相對前后兩次配置過程中使用 的比例而言的，Poutl即前一次配置所使用的比例，Pout2即后一次配置所使用的比例，在 Pout2 < Pout 1時(shí)，Pout2就會(huì)在下一次配置中作為Pout 1來使用。再者，需要說明的是，本 發(fā)明實(shí)施例中前后兩次配置的預(yù)置時(shí)間可以相同，也可以不同，本領(lǐng)域技術(shù)人員依據(jù)實(shí)際 需求設(shè)置即可，由于本發(fā)明通過采用百分比的形式進(jìn)行對比，無論預(yù)置時(shí)間是否相同，相應(yīng) 的等待時(shí)間也會(huì)按比例增加或減少，故載板數(shù)量的配置結(jié)果并不會(huì)受到預(yù)置時(shí)間變化的影 響。參考圖11，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法實(shí)施例2的步驟 流程圖，具體可以包括以下步驟步驟1、基于當(dāng)前載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí) 間的比例Pinl ；步驟2、若當(dāng)前載板數(shù)量未達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值，則相應(yīng)增加載 板數(shù)量；步驟3、基于增加后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù) 置時(shí)間的比例Pin2 ；步驟4、比較所述比例Pinl和Pin2，若Pin2 < Pinl,則執(zhí)行步驟5 ；若 Pin2彡P(guān)inl，則執(zhí)行步驟6 ；步驟5、將比例Pin2賦給Pinl，返回步驟2 ；步驟6、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最大配置的載板數(shù)量。步驟7、基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí) 間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比 例 Poutl ；
步驟8、計(jì)算所述比例Pinl和Poutl之和T1 ；步驟9、若當(dāng)前載板數(shù)量大于1，則相應(yīng)減少載板數(shù)量；步驟10、基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占 預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例 Pout2 ；步驟11、計(jì)算所述比例Pin2和Pout2之和T2 ；步驟12、比較所述比例和T1和T2，若T2 > T1，則執(zhí)行步驟13 ；若T2 ^ T1，則執(zhí) 行步驟14 ；步驟13、相應(yīng)增加載板數(shù)量后，執(zhí)行步驟15 ；步驟14、將比例和T2賦給T1，返回步驟9 ；步驟15、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。本實(shí)施例與圖9所示實(shí)施例的不同之處在于，圖9是通過分別對比所述比例Pinl 和Pin2，P0utl和Pout2，確定是進(jìn)入下一次配置，還是獲得最佳載板數(shù)量的配置；而本實(shí)施 例是對比所述比例Pinl和Poutl之和T1，以及，Pin2和Pout2之和T2，來確定是進(jìn)入下一
次配置，還是獲得最佳載板數(shù)量的配置。對于實(shí)際中隨著生產(chǎn)線設(shè)備使用時(shí)間地增長或者為適應(yīng)工藝需要，在一些工藝流 程上所耗費(fèi)的時(shí)間或者在某個(gè)腔室的工藝時(shí)間可能會(huì)發(fā)生變化的問題，由于本發(fā)明可以通 過統(tǒng)計(jì)出一段時(shí)間中反應(yīng)腔等待預(yù)處理模塊的總時(shí)間所占比例，以及，反應(yīng)腔等待后處理 模塊的總時(shí)間所占比例來進(jìn)行載板數(shù)量的配置，故可以動(dòng)態(tài)地適應(yīng)工藝需要。需要說明的是，對于前述的各方法實(shí)施例，為了簡單描述，故將其都表述為一系列 的動(dòng)作組合，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該知悉，本發(fā)明并不受所描述的動(dòng)作順序的限制，因?yàn)?依據(jù)本發(fā)明，某些步驟可以采用其他順序或者同時(shí)進(jìn)行。其次，本領(lǐng)域技術(shù)人員也應(yīng)該知 悉，說明書中所描述的實(shí)施例均屬于優(yōu)選實(shí)施例，所涉及的動(dòng)作和模塊并不一定是本發(fā)明 所必須的。參考圖12，示出了本發(fā)明的一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置系統(tǒng)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框 圖，具體可以包括以下模塊最大配置載板數(shù)量確定模塊131，用于基于當(dāng)前載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待 載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，并依據(jù)該比例確定最大配置的載板數(shù)量；所 述最大配置的載板數(shù)量小于或等于當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值；最佳配置載板數(shù)量確定模塊132，用于基于所述最大配置的載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處 理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出 的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pout，并依據(jù)比例Pin和Pout確定最佳配置的載板數(shù)量，所 述最佳配置的載板數(shù)量小于或等于所述最大配置的載板數(shù)量。在本發(fā)明的一種優(yōu)選實(shí)施例中，所述最大配置載板數(shù)量確定模塊可以包括以下子 模塊第一傳入等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于當(dāng)前載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載 板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl ；第一載板增加子模塊、用于在當(dāng)前載板數(shù)量未達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最 大值時(shí)，相應(yīng)增加載板數(shù)量；
第二傳入等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于增加后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等 待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2 ；第一比較子模塊，用于比較所述比例Pinl和Pin2，若Pin2<Pinl，則觸發(fā)第一賦 值子模塊，若Pin2 ^ Pinl，則觸發(fā)第一確定子模塊；第一賦值子模塊，用于將比例Pin2賦給Pinl，并返回所述載板數(shù)量增加模塊；第一確定子模塊，用于確定當(dāng)前載板數(shù)量為最大配置的載板數(shù)量。更為優(yōu)選的是，所述最大配置載板數(shù)量確定模塊還可以包括以下子模塊第四確定子模塊，用于在當(dāng)前載板數(shù)量達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值 時(shí)，確定該最大值為最大配置的載板數(shù)量。所述最佳配置載板數(shù)量模塊可以包括以下子模塊第一等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊 等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí) 際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Poutl ；載板減少子模塊、用于在當(dāng)前載板數(shù)量大于1時(shí)，相應(yīng)減少載板數(shù)量；第二等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載 板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間 占預(yù)置時(shí)間的比例Pout2 ；第二比較子模塊，用于分別比較所述比例Pinl和Pin2，Poutl和Pout2，若Pout2 < Poutl，則觸發(fā)第二賦值子模塊；若Pout2 ^ Poutl，則觸發(fā)第二確定子模塊；若Pin2 > Pinl，則觸發(fā)第二載板增加子模塊；若Pin2 ^ Pinl，則觸發(fā)第一賦值子模塊；第二賦值子模塊，用于將比例Pout2賦給Poutl，并返回所述載板減少子模塊；第二載板增加子模塊，用于相應(yīng)增加載板數(shù)量后，觸發(fā)第二確定子模塊；第一賦值子模塊，用于將比例Pin2賦給Pinl，并返回所述載板減少子模塊；第二確定子模塊，用于確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。由于本實(shí)施例基本相應(yīng)于圖6-圖10所示的方法實(shí)施例，故本實(shí)施例的描述中未 詳盡之處，可以參見上述圖中的相關(guān)說明，在此就不贅述了。作為另一種實(shí)施例，所述最佳配置載板數(shù)量確定模塊可以包括以下子模塊第一等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊 等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí) 際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Poutl ；第一合計(jì)模塊，用于計(jì)算所述比例Pinl和Poutl之和T1 ；載板減少子模塊、用于在當(dāng)前載板數(shù)量大于1時(shí)，相應(yīng)減少載板數(shù)量；第二等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載 板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間 占預(yù)置時(shí)間的比例Pout2 ；第二合計(jì)模塊，用于計(jì)算所述比例Pin2和Pout2之和T2 ；第三比較子模塊，用于比較所述比例和T1和T2，若T1 >T2，則觸發(fā)第二載板增加 子模塊后、觸發(fā)第二確定子模塊；若T1 ^ T2，則觸發(fā)第三賦值子模塊；第二載板增加子模塊，用于相應(yīng)增加載板數(shù)量后，觸發(fā)第二確定子模塊；
第三賦值子模塊，用于將比例和T2賦給T1，并返回所述載板減少子模塊；第二確定子模塊，用于確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。在本發(fā)明實(shí)施例中，為精確控制載板數(shù)量的配置，所述相應(yīng)增加的載板數(shù)量為1 塊，相應(yīng)減少的載板數(shù)量為1塊。由于本實(shí)施例基本相應(yīng)于前述圖11所示的方法實(shí)施例，故本實(shí)施例的描述中未 詳盡之處，可以參見圖11所示實(shí)施例中的相關(guān)說明，在此就不贅述了。本說明書中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與 其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見即可。最后，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將 一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作 之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。本發(fā)明可用于眾多通用或?qū)Ｓ玫挠?jì)算系統(tǒng)環(huán)境或配置中。例如多處理器系統(tǒng)、服 務(wù)器、網(wǎng)絡(luò)PC、小型計(jì)算機(jī)、大型計(jì)算機(jī)、包括以上任何系統(tǒng)或設(shè)備的分布式計(jì)算環(huán)境等等。本發(fā)明可以在由計(jì)算機(jī)執(zhí)行的計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令的一般上下文中描述，例如程序 模塊。一般地，程序模塊包括執(zhí)行特定任務(wù)或?qū)崿F(xiàn)特定抽象數(shù)據(jù)類型的例程、程序、對象、組 件、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)等等。也可以在分布式計(jì)算環(huán)境中實(shí)踐本發(fā)明，在這些分布式計(jì)算環(huán)境中，由 通過通信網(wǎng)絡(luò)而被連接的遠(yuǎn)程處理設(shè)備來執(zhí)行任務(wù)。在分布式計(jì)算環(huán)境中，程序模塊可以 位于包括存儲(chǔ)設(shè)備在內(nèi)的本地和遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)中。以上對本發(fā)明所提供的一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法及一種生產(chǎn)線設(shè)備 載板數(shù)量的配置裝置進(jìn)行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對本發(fā)明的原理及實(shí)施方式 進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時(shí)，對于 本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實(shí)施方式
及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之 處，綜上所述，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本發(fā)明的限制。
權(quán)利要求
一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法，其特征在于，包括基于當(dāng)前載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，并依據(jù)該比例確定最大配置的載板數(shù)量；所述最大配置的載板數(shù)量小于或等于當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值；基于所述最大配置的載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pout，并依據(jù)比例Pin和Pout確定最佳配置的載板數(shù)量，所述最佳配置的載板數(shù)量小于或等于所述最大配置的載板數(shù)量。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述確定最大配置載板數(shù)量的步驟包括 子步驟S11、基于當(dāng)前載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl ；子步驟S12、若當(dāng)前載板數(shù)量未達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值，則相應(yīng)增加載 板數(shù)量；子步驟S13、基于增加后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù) 置時(shí)間的比例Pin2 ；子步驟S14、比較所述比例Pinl和Pin2，若Pin2 < Pinl，則將比例Pin2賦給Pinl，返 回步驟S12 ；若Pin2彡P(guān)inl，則執(zhí)行步驟S15 ；子步驟S15、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最大配置的載板數(shù)量。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述確定最佳配置載板數(shù)量的步驟包括 子步驟S21、基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比 例 Poutl ；子步驟S22、若當(dāng)前載板數(shù)量大于1，則相應(yīng)減少載板數(shù)量；子步驟S23、基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占 預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例 Pout2 ；子步驟S24、分別比較所述比例Pinl和Pin2，Poutl和Pout2，若Pout2 < Poutl，則將 比例Pout2賦給Poutl，返回步驟S22 ；若Pout2彡P(guān)outl，則執(zhí)行步驟S25 ；若Pin2 >Pinl， 則相應(yīng)增加載板數(shù)量后，執(zhí)行步驟S25 ；若Pin2 ( Pinl，則將比例Pin2賦給Pinl，返回步 驟 S22 ；子步驟S25、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述確定最佳配置載板數(shù)量的步驟包括 子步驟S31、基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比 例 Poutl ；子步驟S32、計(jì)算所述比例Pinl和Poutl之和Tl ； 子步驟S33、若當(dāng)前載板數(shù)量大于1，則相應(yīng)減少載板數(shù)量；子步驟S34、基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占 預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pout2 ；子步驟S35、計(jì)算所述比例Pin2和Pout2之和T2 ；子步驟S36、比較所述比例和T1和T2，若Tl > T2，則相應(yīng)增加載板數(shù)量后，執(zhí)行步驟 S37 ；若Tl ( T2，則將比例和T2賦給T1，返回步驟S33 ； 子步驟S37、確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。
5.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述確定最大配置載板數(shù)量的步驟還包括 子步驟S16、若當(dāng)前載板數(shù)量達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值，則確定該最大值為最大配置的載板數(shù)量。
6.如權(quán)利要求2、3或4所述的方法，其特征在于，所述相應(yīng)增加的載板數(shù)量為1±夬，相 應(yīng)減少的載板數(shù)量為1塊。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述生產(chǎn)線設(shè)備為太陽能電池制造設(shè)備 PECVD，所述當(dāng)前處理模塊為反應(yīng)腔。
8.—種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置裝置，其特征在于，包括最大配置載板數(shù)量確定模塊，用于基于當(dāng)前載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳 入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，并依據(jù)該比例確定最大配置的載板數(shù)量；所述最大 配置的載板數(shù)量小于或等于當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值；最佳配置載板數(shù)量確定模塊，用于基于所述最大配置的載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊 等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際 時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pout，并依據(jù)比例Pin和Pout確定最佳配置的載板數(shù)量，所述最佳 配置的載板數(shù)量小于或等于所述最大配置的載板數(shù)量。
9.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述最大配置載板數(shù)量確定模塊包括第一傳入等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于當(dāng)前載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳 入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl ；第一載板增加子模塊、用于在當(dāng)前載板數(shù)量未達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值 時(shí)，相應(yīng)增加載板數(shù)量；第二傳入等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于增加后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載 板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2 ；第一比較子模塊，用于比較所述比例Pinl和Pin2，若Pin2<Pinl，則觸發(fā)第一賦值子 模塊，若Pin2 ^ Pinl，則觸發(fā)第一確定子模塊；第一賦值子模塊，用于將比例Pin2賦給Pinl，并返回所述載板數(shù)量增加模塊； 第一確定子模塊，用于確定當(dāng)前載板數(shù)量為最大配置的載板數(shù)量。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述最佳配置載板數(shù)量模塊包括第一等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待 載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí) 間占預(yù)置時(shí)間的比例Poutl ；載板減少子模塊、用于在當(dāng)前載板數(shù)量大于1時(shí)，相應(yīng)減少載板數(shù)量； 第二等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳 入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù) 置時(shí)間的比例Pout2 ；第二比較子模塊，用于分別比較所述比例Pinl和Pin2，Poutl和Pout2，若Pout2 < Poutl，則觸發(fā)第二賦值子模塊；若Pout2 ^ Poutl，則觸發(fā)第二確定子模塊；若Pin2 > Pinl，則觸發(fā)第二載板增加子模塊；若Pin2 ^ Pinl，則觸發(fā)第一賦值子模塊；第二賦值子模塊，用于將比例Pout2賦給Poutl，并返回所述載板減少子模塊； 第二載板增加子模塊，用于相應(yīng)增加載板數(shù)量后，觸發(fā)第二確定子模塊； 第一賦值子模塊，用于將比例Pin2賦給Pinl，并返回所述載板減少子模塊； 第二確定子模塊，用于確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。
11.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述最佳配置載板數(shù)量確定模塊包括第一等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于所述最大配置的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待 載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pinl，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí) 間占預(yù)置時(shí)間的比例Poutl ；第一合計(jì)模塊，用于計(jì)算所述比例Pinl和Poutl之和T1 ； 載板減少子模塊、用于在當(dāng)前載板數(shù)量大于1時(shí)，相應(yīng)減少載板數(shù)量； 第二等待時(shí)間統(tǒng)計(jì)子模塊，用于基于減少后的載板數(shù)量統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳 入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin2，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù) 置時(shí)間的比例Pout2 ；第二合計(jì)模塊，用于計(jì)算所述比例Pin2和Pout2之和T2 ；第三比較子模塊，用于比較所述比例和T1和T2，若Tl > T2，則觸發(fā)第二載板增加子模 塊后、觸發(fā)第二確定子模塊；若Tl ( T2，則觸發(fā)第三賦值子模塊；第二載板增加子模塊，用于相應(yīng)增加載板數(shù)量后，觸發(fā)第二確定子模塊； 第三賦值子模塊，用于將比例和T2賦給T1，并返回所述載板減少子模塊； 第二確定子模塊，用于確定當(dāng)前載板數(shù)量為最佳配置的載板數(shù)量。
12.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述最大配置載板數(shù)量確定模塊還包括 第四確定子模塊，用于在當(dāng)前載板數(shù)量達(dá)到當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值時(shí)，確定該最大值為最大配置的載板數(shù)量。
13.如權(quán)利要求9、10或11所述的裝置，其特征在于，所述相應(yīng)增加的載板數(shù)量為1±夬， 相應(yīng)減少的載板數(shù)量為1塊。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種生產(chǎn)線設(shè)備載板數(shù)量的配置方法，包括基于當(dāng)前載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，并依據(jù)該比例確定最大配置的載板數(shù)量；所述最大配置的載板數(shù)量小于或等于當(dāng)前工藝所限定載板數(shù)量的最大值；基于所述最大配置的載板數(shù)量，統(tǒng)計(jì)當(dāng)前處理模塊等待載板傳入的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pin，以及，當(dāng)前處理模塊等待載板傳出的實(shí)際時(shí)間占預(yù)置時(shí)間的比例Pout，并依據(jù)比例Pin和Pout確定最佳配置的載板數(shù)量，所述最佳配置的載板數(shù)量小于或等于所述最大配置的載板數(shù)量。本發(fā)明以簡單易行的方式依據(jù)生產(chǎn)線設(shè)備的實(shí)際情況動(dòng)態(tài)配置載板數(shù)量，從而保證載板數(shù)量配置的合理性。
文檔編號C23C16/52GK101876066SQ200910238730
公開日2010年11月3日 申請日期2009年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月23日
發(fā)明者易璨 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司