專利名稱：：非晶合金薄帶的制造方法和制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及將熔融合金噴射到冷卻輥表面使其急冷凝固從而制造非晶合金薄帶的方法和裝置，特別是涉及在薄帶制造中以在線方式研磨冷卻輥表面的方法和裝置。
背景技術(shù)：
：作為非晶合金薄帶的制造方法，一般采用如下方法將熔融合金噴出到高速旋轉(zhuǎn)的冷卻輥的圓周面上，利用冷卻輥的散熱作用使其急冷凝固的方法，即單輥法。在單輥法中，需要將熔融合金以104~105°(:/秒左右的冷卻速度急冷。因此，作為從熔融合金急速地吸取熱量的冷卻輥，通常采用由銅合金等的導(dǎo)熱率大的金屬材料構(gòu)成的冷卻輥。在工業(yè)上制造非晶合金薄帶的情況下，利用冷卻輥使熔融合金急冷凝固之后，將非晶合金薄帶一邊從冷卻輥剝離一邊連續(xù)地巻取，但是，由于熔融合金直接接觸冷卻輥表面，因此隨著制造進(jìn)行，冷卻輥的表面由于熱過(guò)程和熔融合金的凝固等而損傷，冷卻輥的表面粗糙度增大，或冷卻輥的表層部的材質(zhì)劣化。該現(xiàn)象對(duì)非晶合金薄帶的表面性狀、磁特性等造成不良影響，有時(shí)也在制造中引起非晶合金薄帶的斷裂。因此，在工業(yè)上制造非晶合金薄帶的情況下，使冷卻輥的圓周面長(zhǎng)時(shí)間維持在健全的狀態(tài)不僅可維持非晶合金薄帶的生產(chǎn)率，而且可維持其磁性特性恒定，是不可欠缺的，到目前為止，提出了很多的對(duì)冷卻輥的圓周面進(jìn)行研磨的方案(參照日本特開(kāi)昭58-025848號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)昭58-029557號(hào)^>才艮、日本特開(kāi)昭61-209755號(hào)7>才艮、日本特開(kāi)昭62-1660594號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)昭62-176650號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)昭63-090341號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)昭63-0卯343號(hào)公才艮、日本特開(kāi)平03-169460號(hào)公才艮、日本特開(kāi)平03-275252號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)平07-178516號(hào)7〉才艮、日本特開(kāi)平07-178517號(hào)么4艮和日本特開(kāi)平08-019834號(hào)公報(bào))。例如，在日本特開(kāi)昭61-209755號(hào)公報(bào)中提出了使用碗型刷(盤(pán)刷；brush)或旋轉(zhuǎn)刷將冷卻輥表面沿相對(duì)于薄帶的縱向構(gòu)成15。以上的角度的方向?qū)嵤┭心サ难心シ椒?。此外，在日本特開(kāi)昭62-176650號(hào)公^^中，為了除去附著在冷卻輥的圓周面的異物，提出了在冷卻輥的圓周面配置了多個(gè)刷輥的冷卻輥的表面清潔化裝置。在日本特開(kāi)昭63-090343號(hào)公報(bào)中提出了將粒度不同的4種研磨紙按粒度從粗到細(xì)的順序用彈簧機(jī)構(gòu)按壓在冷卻輥的圓周面，來(lái)研磨冷卻輥的表面的方法。另夕卜，在日本特開(kāi)平3-169460號(hào)公報(bào)中提出了設(shè)置測(cè)量冷卻輥表面粗糙度的在線測(cè)量裝置，基于在線測(cè)量裝置的輸出來(lái)進(jìn)行研磨或磨削的方法。在日本特開(kāi)平7-178516號(hào)公報(bào)和日本特開(kāi)平7-178517號(hào)公報(bào)中提出了用刷輥研磨冷卻輥的表面，并用梳齒形的鋤除裝置除去由研磨產(chǎn)生的研磨粉和刷屑的方法。但是，日本特開(kāi)昭58-025848號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)昭58-029557號(hào)公報(bào)、曰本特開(kāi)昭61-209755號(hào)公才艮、日本特開(kāi)昭62-166059號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)昭62-176650號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)昭63-090341號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)昭63-090343號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)平03-169460號(hào)7>才艮、日本特開(kāi)平03-275252號(hào)^H艮、日本特開(kāi)平07-178516號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)平07-178517號(hào)公才艮和日本特開(kāi)平08-019834號(hào)公報(bào)提出的方法，全部是以伴隨非晶合金薄帶的制造在冷卻輥的圓周面產(chǎn)生的損傷在冷卻輥的橫向?yàn)榇笾孪嗤某潭葹榍疤岬摹＜催@些方法在冷卻輥的圓周面所受的損傷的程度在冷卻輥的橫向不同的情況下不能夠?qū)⒗鋮s輥的圓周面研磨到健全的狀態(tài)。在工業(yè)上制造磁特性優(yōu)異的非晶合金薄帶的情況下，需要將冷卻輥的5圓周面長(zhǎng)時(shí)間地總是維持在健全的狀態(tài)，從而探求著開(kāi)發(fā)如下技術(shù)即使在損傷的程度在冷卻輥的橫向不同的情況下也能夠?qū)⒗鋮s輥的圓周面總是研磨到健全的狀態(tài)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的課題是在使用冷卻輥制造非晶合金薄帶時(shí)，在制造中將冷卻輥的圓周面以在線方式在冷卻輥的橫向進(jìn)行研磨，從而使其長(zhǎng)時(shí)間維持在健全的狀態(tài)，本發(fā)明是為了解決該課題而完成的，其目的在于提供一種可批量生產(chǎn)磁特性優(yōu)異的非晶合金薄帶的制造方法和制造裝置。本發(fā)明人為了開(kāi)發(fā)在非晶合金薄帶的制造中使冷卻輥的圓周面長(zhǎng)時(shí)間地維持在健全的狀態(tài)的方法，對(duì)在冷卻輥的圓周面產(chǎn)生的損傷的方式進(jìn)行了深入調(diào)查。其結(jié)果判明(i)在熔融合金在冷卻輥上凝固、薄帶收縮時(shí)，侵入冷陷；(ii)薄帶的收縮在薄帶的橫向的兩端部最大；(iii)隨著時(shí)間的遷移，與薄帶兩端部抵接的冷卻輥的圓周面的損傷比中央部的損傷大。另外得到了如下的見(jiàn)解在薄帶的制造中，在遍及冷卻輥的橫向來(lái)研磨剝離非晶合金薄帶之后的冷卻輥的圓周面時(shí)，在冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向上改變研磨方式進(jìn)行研磨，即，若配置研磨特性不同的研磨部件進(jìn)行研磨，則可將損傷程度在中央部和薄帶兩端部不同的冷卻輥的圓周面總是維持在健全的狀態(tài)。本發(fā)明是基于上述見(jiàn)解而完成的，其要旨如下。(1)一種非晶合金薄帶的制造方法，向高速旋轉(zhuǎn)中的冷卻輥圓周面噴射熔融金屬并使其急冷凝固來(lái)制造非晶合金薄帶，該制造方法的特征在于，在上述薄帶的制造過(guò)程中使用研磨部件對(duì)剝離該薄帶之后的冷卻輥的圓周面進(jìn)行研磨時(shí)，對(duì)冷卻輥的圓周面一邊在橫向(幅寬方向)上根據(jù)表面性狀改變研磨方法一邊進(jìn)行連續(xù)或間歇地研磨。(2)根據(jù)(1)所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，在上研磨部件來(lái)研磨冷卻輥的在橫向上分割(劃分)的區(qū)域。(3)根據(jù)(1)所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，在冷卻輥的圓周方向階段性地進(jìn)行上述研磨的一部分或全部。(4)根據(jù)(1)所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，在上述研磨方法中，利用研磨特性不同的至少兩個(gè)研磨部件來(lái)改變研磨方法。(5)根據(jù)(1)或(4)所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，作為上述研磨部件，組合由在樹(shù)脂纖維線材中編入(織入)磨粒而成的研磨材料構(gòu)成的圓筒形狀的刷輥、研磨墊、研磨紙、研磨帶中的任意兩種來(lái)進(jìn)行研磨。(6)根據(jù)(1)所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，改變上述研磨方法的要素為研磨部件的材質(zhì)、形狀、研磨粗糙度、硬度、密度(每單位面積的研磨材料的數(shù)量)、接觸面積、擠壓力中的任一個(gè)。(7)根據(jù)(1)~(6)的任一項(xiàng)所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，在上述研磨中，一邊將研磨特性不同的至少兩個(gè)研磨部件沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向配置，并且使其以冷卻輥的圓周的0.2%以上的長(zhǎng)度與該冷卻輥的圓周面接觸，一邊進(jìn)行研磨。(8)根據(jù)(1)所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，在上述研磨結(jié)束之后對(duì)冷卻輥進(jìn)行清潔化。(9)一種非晶合金薄帶的制造裝置，是向高速旋轉(zhuǎn)中的冷卻輥圓周面噴射熔融金屬并使其急冷凝固來(lái)制造非晶合金薄帶的裝置，其特征在于，在制造出的薄帶剝離的位置與熔融金屬的噴射位置之間，在該冷卻輥外周配置了在橫向上改變了研磨方法(研磨方式)的研磨部件。(10)根據(jù)(9)所述的非晶合金薄帶的制造裝置，其特征在于，上述研磨部件在冷卻輥的橫向上分割地設(shè)置。(11)根據(jù)(9)或(10)所述的非晶合金薄帶的制造裝置，其特征在于，上述研磨部件為將由在樹(shù)脂纖維線材中編入磨粒而成的研磨材料構(gòu)成的圓筒形狀的刷輥、研磨墊、研磨紙、研磨帶中的至少一種以上組合的研磨部件。(12)根據(jù)(9)~(11)的任一項(xiàng)所述的非晶合金薄帶的制造裝置，其特征在于，在上述研磨中，將研磨特性不同的至少兩個(gè)研磨部件在冷卻輥橫向的一部分或全部上沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向配置，并且使該研磨部件以冷卻輥的圓周的0.2%以上的長(zhǎng)度與冷卻輥的圓周面接觸而配置。(13)根據(jù)(1)所述的非晶合金薄帶的制造裝置，其特征在于，在上述研磨部件的配置位置的緊后方配置了對(duì)冷卻輥進(jìn)行清潔化的清潔化裝置。圖1是表示在不研磨冷卻輥的圓周面而連續(xù)20分鐘地制造非晶合金薄帶的情況下的冷卻輥橫向的粗糙度的變化(將中央部的粗糙度設(shè)為1的情況下的粗糙度比率)的圖。圖2U)是表示在不研磨冷卻輥的圓周面來(lái)制造非晶合金薄帶的情況下的冷卻輥中央部和接觸端部(薄帶端部)的相對(duì)于制造時(shí)間的粗糙度變化(將制造前的冷卻輥粗糙度設(shè)為1的情況下的粗糙度比率)的圖；圖2(b)是表示在對(duì)冷卻輥的圓周面使用兩個(gè)研磨單元并且改變研磨單元與冷卻輥的接觸長(zhǎng)度(研磨長(zhǎng)度)L來(lái)制造非晶合金薄帶的情況下的冷卻輥中央部和接觸端部(薄帶端部)的相對(duì)于制造時(shí)間的粗糙度變化(將制造前的冷卻輥粗糙度設(shè)為1的情況下的粗糙度比率)的圖。圖3(a)是表示本發(fā)明例的制造非晶合金薄帶的單輥裝置的一個(gè)方式的圖；圖3(b)是表示本發(fā)明例的制造非晶合金薄帶的單輥裝置的另一方式的圖；圖3(c)是表示本發(fā)明例的制造非晶合金薄帶的單輥裝置的又一方式的圖。圖4是表示將冷卻輥的圓周面在橫向上改變了研磨方法的研磨單元的方式的圖。U)表示改變了研磨粗糙度的情況，(b)表示改變了研磨材料密度的情況。圖5是表示將冷卻輥的圓周面在橫向上改變了研磨方法的研磨單元的8另一方式的圖。(a)表示改變了研磨粗糙度的情況，(b)表示改變了研磨材料密度的情況，(c)表示改變了擠壓力的情況。圖6是表示將冷卻輥的圓周面在橫向上改變了研磨方法的研磨單元的另一方式的圖。(a)表示在2段的分割研磨的方式中改變了研磨粗糙度的情況，(b)表示在2段的分割研磨的方式中改變了研磨材料密度的情況，(c)表示在2段的分割研磨的方式中改變了接觸面積的情況。圖7(a)表示將冷卻輥的圓周面在橫向上改變了研磨方法的研磨單元設(shè)置了多段的情況，圖7(b)表示繼將冷卻輥的圓周面在橫向上改變了研磨方法的研磨單元之后設(shè)置了在橫向上沒(méi)有分布的研磨單元的情況。具體實(shí)施例方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。伴隨非晶合金薄帶的制造，在冷卻輥的圓周面產(chǎn)生的損傷對(duì)非晶合金薄帶的表面性狀和磁特性產(chǎn)生大的影響。因此，本發(fā)明人們著眼于對(duì)非晶合金薄帶的表面性狀和磁特性產(chǎn)生大的影響的冷卻輥的表面粗糙度的變化，對(duì)損傷的發(fā)生方式進(jìn)行調(diào)查，最終得到如下的見(jiàn)解。在不研磨冷卻輥的圓周面的情況下，隨著制造的進(jìn)行，如圖1所示，冷卻輥的橫向的粗糙度發(fā)生變化。圖1是表示對(duì)每個(gè)制造的非晶合金薄帶調(diào)查冷卻輥橫向的粗糙度變化的結(jié)果。具體來(lái)說(shuō)，在熔融合金接觸了的冷卻輥的圓周面，相對(duì)于中央部的粗糙度，越靠近接觸端部(薄帶端部)，粗糙度越大。另外，非晶合金薄帶的寬度越寬，則中央部和接觸端部(薄帶端部)的粗糙度之差越大，非晶合金薄帶的寬度為50mm以上時(shí)該粗糙度之差變得顯著。本發(fā)明人們深入分析其原因的結(jié)果判明隨著非晶合金薄帶的制造的進(jìn)行，在冷卻輥的圓周面的中央部和接觸端部(薄板端部)，冷卻輥表面粗糙度產(chǎn)生差異，該差異擴(kuò)大的現(xiàn)象是由在熔融合金凝固時(shí)產(chǎn)生的冷卻輥的在橫向上的熱收縮所引起的。即，熔融合金在冷卻輥表面凝固時(shí)，在冷卻輥上收縮，但在該收縮時(shí)侵入冷卻輥表面的微細(xì)凹部并已經(jīng)凝固了的合金被拉向冷卻輥的中央部，從而撓起冷卻輥的表面，其結(jié)果，冷卻輥的表面受到損傷而變得粗糙。另外，一旦冷卻輥表面受到損傷，則熔融合金容易侵入損傷部，冷卻輥的損傷伴隨著制造的進(jìn)行而變大。熔融合金凝固時(shí)的熱收縮在冷卻輥的橫向和縱向產(chǎn)生，但是在縱向，供給的熔融合金的寬度大致恒定，因此，冷卻輥的在縱向(冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向)的熱收縮量相等，另外，由于熔融合金的縱向的寬度窄，為數(shù)mm以下，因此熱收縮量也小，作為結(jié)果由熱收縮導(dǎo)致的冷卻輥的表面粗糙化的程度也為大致相同的程度，并且，由熱收縮所導(dǎo)致的冷卻輥的表面粗糙化的程度也小。另一方面，在冷卻輥的橫向，接觸端部(薄帶端部)的收縮長(zhǎng)度比中央部的收縮長(zhǎng)度長(zhǎng)，因此，在接觸端部(薄帶端部)及其附近的表面損傷的程度相比于中央部變大。本發(fā)明人們已確認(rèn)在不研磨冷卻輥的圓周面而連續(xù)5分鐘以上來(lái)制造寬度為50mm以上的非晶合金薄帶的情況下，該現(xiàn)象顯著地呈現(xiàn)。在圖2(a)中表示不研磨冷卻輥的圓周面，并改變制造時(shí)間來(lái)制造寬度106mm的非晶合金薄帶的情況下的中央部和接觸端部(薄帶端部)的冷卻輥的粗糙度變化。中央部的損傷即使延長(zhǎng)制造時(shí)間也變化少(參照?qǐng)D中A標(biāo)記)，與此相對(duì)，在接觸端部(薄帶端部、邊緣部)，當(dāng)連續(xù)制造5分鐘以上時(shí)，損傷變大(參照?qǐng)D中"示記)，薄帶性狀和磁特性劣化。在圖3a所示的單輥裝置中，沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向配置有兩個(gè)研磨單元9a和9b。研磨單元9a和9b在冷卻輥的圓周面總是以長(zhǎng)度L接觸，研磨長(zhǎng)度為L(zhǎng)的圓周面區(qū)域。上述長(zhǎng)度L在改善冷卻輥上的表面損傷的程度大的接觸端部(薄帶端部)的研磨效率上是重要的指標(biāo)。本發(fā)明人們一邊對(duì)于具有所需的研磨特性的研磨部件改變其與冷卻輥的圓周面的接觸長(zhǎng)度(以下也稱為"研磨長(zhǎng)度")L來(lái)進(jìn)行在線研磨，一邊10制造非晶合金薄帶，測(cè)定了損傷程度最大的接觸端部(薄帶端部)和損傷最小的中央部的冷卻輥的表面粗糙度。在圖2(b)中，表示了沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向配置2個(gè)研磨單元的情況的結(jié)果，從該圖2(b)可知，若使接觸長(zhǎng)度(研磨長(zhǎng)度)L為冷卻輥的圓周的0.2%以上，則接觸端部(薄帶端部)和中央部的粗糙度之差幾乎消失，可平滑化。因此，在本發(fā)明中，使研磨單元的上述接觸長(zhǎng)度(研磨長(zhǎng)度)L為冷卻輥的圓周的0.2%以上。在本發(fā)明中，為了這樣地將在冷卻輥的橫向上損傷程度不同的冷卻輥的圓周面加工成在整個(gè)橫向上健全的面，在薄帶的制造中研磨剝離非晶合金薄帶之后的冷卻輥的圓周面時(shí)，一邊在冷卻輥的橫向?qū)⒀心ゲ考鶕?jù)冷卻輥圓周面的表面性狀改變研磨方法一邊進(jìn)行研磨，這是本發(fā)明的特征。另外，在本發(fā)明中，為了將在冷卻輥的橫向上損傷程度不同的冷卻輥的圓周面加工成在整個(gè)橫向上健全的圓周面，優(yōu)選(i)將研磨特性不同的至少2個(gè)研磨部件沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向配置，而且，(ii)使上述研磨部件以冷卻輥的圓周的0.2%以上的長(zhǎng)度與冷卻輥的圓周面接觸來(lái)進(jìn)行研磨。其理由是在冷卻輥的橫向，在接觸端部(薄帶端部)及其附近的表面損傷程度比中央部的損傷程度大。因此，若進(jìn)行接觸端部(薄帶端部)的損傷以上的粗研磨，則可維持在冷卻輥橫向上均勻的粗糙度狀態(tài)，但是冷卻輥的表面粗糙度過(guò)大，得到的薄帶的磁特性劣化。因此，需要用可實(shí)現(xiàn)所希望的粗糙度水平的研磨的研磨部件將接觸端部(薄帶端部)的損傷和中央部的損傷都加工到與損傷前相同的程度的粗糙度。在用單輥法制造非晶合金薄帶時(shí)，冷卻輥每轉(zhuǎn)一周鋼液就接觸并凝固，因此由于凝固時(shí)的熱收縮，冷卻輥的表面每轉(zhuǎn)一周就受到損傷。在為了將冷卻輥的圓周面維持在健全的狀態(tài)而在冷卻輥的圓周面配置研磨部件的情況下，每轉(zhuǎn)一周就在旋轉(zhuǎn)方向的一個(gè)部位進(jìn)行一次接觸研磨。因此，為了使用可實(shí)現(xiàn)所希望的粗糙度水平的研磨的研磨特性不同的的研磨部件維持健全的冷卻輥圓周面，需要提高在一次的接觸中的研磨效率。本發(fā)明人們探索高效的研磨方法的結(jié)果判明通過(guò)組合研磨特性不同的研磨材料，相比于以多個(gè)或?qū)挿秶鷣?lái)設(shè)置相同特性的研磨材料，能夠大幅度提高研磨效率，直到非晶合金薄帶的制造結(jié)束都可在冷卻輥橫向上均勻地維持大體初期的冷卻輥的表面狀態(tài)。而且還判明為了將冷卻輥的表面狀態(tài)維持在大體初期的表面性狀，需要使研磨單元的一個(gè)與冷卻輥的圓周接觸該圓周的0.2%以上。即判明了若接觸長(zhǎng)度百分率不到0.2%，則研磨效率降低，冷卻輥的損傷逐漸變大?；诟綀D對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。在圖3(a)~(c)中表示本發(fā)明的制造非晶合金薄帶的單輥裝置的方式的例子。在圖3(a)中所示的單輥裝置中，使噴出噴嘴3的開(kāi)口面接近于高速旋轉(zhuǎn)的冷卻輥5的圓周面，從噴出噴嘴3噴出中間包1內(nèi)的熔融合金2，連續(xù)性地制造非晶合金薄帶6。若提升中間包l內(nèi)的塞棒4，則熔融合金2向冷卻輥5的圓周面噴出，非晶合金薄帶6的制造開(kāi)始，非晶合金薄帶6被巻取輥7a巻取。在圖3(a)中，下一個(gè)巻取輥7b在非晶合金薄帶的附近待機(jī)，在巻取輥7a的巻取量達(dá)到規(guī)定量時(shí)，非晶合金薄帶6被切斷(切斷裝置未圖示)，切換到下一個(gè)巻取輥7b。由更換裝置(未圖示)將巻取了規(guī)定量的非晶合金薄帶的巻取輥7a更換為新的巻取輥，然后，卡羅賽爾式巻取機(jī)8旋轉(zhuǎn)，繼續(xù)巻取，從而可長(zhǎng)時(shí)間地制造非晶合金薄帶。以在線方式用與冷卻輥的圓周面抵接的研磨單元9研磨剝離了非晶合金薄帶6之后的冷卻輥5的圓周面，但在本發(fā)明中，如上述那樣，在冷卻輥的橫向?qū)A周面在橫向上改變研磨方式(研磨方法)進(jìn)行研磨。改變研磨方法的要素可通過(guò)在冷卻輥的橫向適當(dāng)選擇研磨部件的材質(zhì)、形狀、研磨粗糙度、硬度、密度(每單位面積的研磨材料的數(shù)量)、接觸面積、擠壓力中的一個(gè)或兩個(gè)以上來(lái)形成，但優(yōu)選具有可長(zhǎng)時(shí)間維持所需的接觸長(zhǎng)度L的研磨特性。在圖4中表示了在研磨中在冷卻輥的橫向?qū)⒗鋮s輥的圓周面在橫向上12改變研磨方式進(jìn)行研磨的情況的一個(gè)方式。將研磨部件按中央部和兩端部來(lái)劃分，在中央部和兩端部配置具有不同的研磨特性的研磨部件。如上所述，冷卻輥在橫向的損傷程度與中央部相比在接觸端部(薄帶端部)及其附近較大，因此，研磨部件需要具有研磨接觸端部(薄帶端部)及其附近的兩端部的研磨能力比中央部的研磨能力大的研磨特性。但是，必須將冷卻輥的表面粗糙度抑制在不使非晶合金薄帶的特性變差的水平的表面粗糙度，需要預(yù)先通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)決定適當(dāng)?shù)难心ゲ考?。圖4(a)是為了使研磨接觸端部(薄帶端部)及其附近的兩端部的研磨能力大于中央部的研磨能力，研磨部件的密度相同、并且改變了研磨粗糙度的情況(改變研磨部件的研磨號(hào))，是使中央部的研磨粗糙度小并使兩端部的研磨粗糙度大的例子。圖4(b)是研磨部件的研磨粗糙度相同、并且改變了研磨密度的情況，是使中央部的研磨密度小(疏)、使兩端部的研磨密度大(密)的例子。另外，在圖4中表示了劃分為中央部和兩端部并改變了研磨方式的情況的研磨狀態(tài)，但劃分的寬度只要根據(jù)冷卻輥在橫向的損傷程度來(lái)決定即可，另外，用于形成研磨特性不同的區(qū)域的劃分本身也只要根據(jù)冷卻輥在橫向的損傷程度來(lái)決定即可。例如，也可以使中央部的劃分寬度較窄、并將兩端部區(qū)分為兩個(gè)來(lái)形成不同的研磨狀態(tài)的區(qū)域。研磨部件只要是由能夠?qū)⒗鋮s輥的圓周面在橫向改變研磨方式的形狀、材質(zhì)等構(gòu)成的研磨部件即可，不限于特定的研磨部件，但從可任意調(diào)整研磨狀態(tài)、并且可長(zhǎng)時(shí)間維持研磨狀態(tài)這一點(diǎn)來(lái)考慮，優(yōu)選圓筒形狀的刷輥、直線刷、碗型刷等，作為研磨材料優(yōu)選是比冷卻輥的表面硬度軟且能耐與冷卻輥表面的摩擦的材質(zhì)，例如在樹(shù)脂纖維線材中編入了磨粒的材料、在樹(shù)脂纖維線材上涂布了磨粒的材料、在樹(shù)脂纖維線材上粘結(jié)了磨粒的材料、將磨?；烊霕?shù)脂纖維線材中的材料等。另外，作為研磨部件，從取得的容易程度來(lái)考慮也可適用研磨墊、研磨紙、研磨帶等。另外，為了使研磨加工均勻化，也可以使研磨部件沿冷卻輥橫向擺動(dòng)。另外，為了提高研磨效率而設(shè)置的9a、9b，如上述那樣沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向改變研磨特性、研磨狀態(tài)是重要的。即，在圖3a中所示的單輥裝置中，作為研磨單元，研磨部件9b即使采用與9a相同的部件，使其研磨特性與研磨單元9a的研磨特性不同也是必要的。研磨部件9b的研磨特性理所當(dāng)然根據(jù)由前段的研磨部件研磨了的冷卻輥的圓周面的表面性狀來(lái)設(shè)定。另外，在使用刷輥等輥狀的研磨部件的情況下，為了長(zhǎng)時(shí)間維持研磨特性，優(yōu)選使其旋轉(zhuǎn)，但該情況下的旋轉(zhuǎn)方向，相對(duì)于冷卻輥旋轉(zhuǎn)方向可以為正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)的任一方，更優(yōu)選在刷輥附近配置用于吸引由研磨產(chǎn)生的研磨屑的吸引裝置。另外，作為最后段的研磨單元，如圖3(b)所示，可以采用將研磨部件直接按壓在冷卻輥的圓周面的單元9c。作為研磨部件，優(yōu)選研磨墊、具有可連續(xù)地供給新的面的機(jī)構(gòu)的研磨紙、研磨帶等。研磨墊、研磨帶具有一邊研磨冷卻輥的圓周面一邊對(duì)其進(jìn)行清潔化的功能，因此，也可以配置在以接觸長(zhǎng)度L與冷卻輥的圓周面接觸的研磨部件(參照?qǐng)D3b中9a)的后方。對(duì)于研磨部件9c,為了得到規(guī)定的接觸長(zhǎng)度，將其做成與冷卻輥的外周面相匹配的形狀或設(shè)置用軟質(zhì)橡膠推壓等的機(jī)構(gòu)以使其能夠與冷卻輥的外周面相匹配地變形是更優(yōu)選的。而且，也可以對(duì)冷卻輥的圓周面在線測(cè)定圓周面損傷程度，基于測(cè)定結(jié)果使研磨單元連續(xù)或間歇地與冷卻輥的圓周面接觸。在圖5中表示了研磨部件在冷卻輥的橫向?qū)A周面遍及橫向而進(jìn)行研磨的情況的另一方式。如圖5所示，也可以在冷卻輥的橫向分割、并列地配置研磨部件。圖5(a)所示的研磨方式為減小中央的研磨單元的研磨粗糙度，增大兩端的研磨單元的研磨粗糙度，對(duì)于冷卻輥的橫向的研磨改變了研磨狀態(tài)的情況。圖5(b)所示的研磨方式為減小中央的研磨單元的研磨材料密度，增大兩端的研磨部件的研磨密度，對(duì)于冷卻輥的橫向的研磨改變了研磨狀態(tài)的情況。另外，圖5(c)所示的研磨方式為在中央和兩端研磨部件相同，但減小中央的研磨部件的擠壓力，增大兩端的研磨部件的擠壓力，對(duì)于冷卻輥的橫向的研磨改變了研磨狀態(tài)的情況。另外，在分割研磨部件的情況下也只要根據(jù)冷卻輥在橫向的損傷程度來(lái)決定即可，分割方式并不限于圖5所示的3部分的分割。另外，在分割研磨部件的情況下，也可以對(duì)冷卻輥的圓周面在線測(cè)定圓周面損傷程度，基于測(cè)定結(jié)果，使研磨部件一體性地與冷卻輥的圓周面連續(xù)或間歇地接觸，或者使各個(gè)研磨部件分別地與冷卻輥的圓周面連續(xù)或間歇地接觸。而且，為了在研磨的劃分部分平穩(wěn)地改變研磨方式，也可以使研磨部件在冷卻輥橫向擺動(dòng)。在分割研磨單元而改變研磨方式的情況下，存在研磨部件之間的冷卻輥圓周面的研磨不充分的情況，另外，在整個(gè)橫向上研磨變得不充分的情況下，如圖68所示，也可以以在冷卻輥的圓周方向重復(fù)一部分或全部的方式配置多段的研磨部件9x和9y并階段性地進(jìn)行研磨。圖6(a)所示的2段的分割研磨方式是減小中央的研磨部件的研磨粗糙度，增大兩端的研磨部件的研磨粗糙度，對(duì)于冷卻輥的橫向的研磨改變了研磨方式的情況。圖6(b)所示的2段的分割研磨方式是減小中央的研磨密度，增大兩端的研磨部件的研磨密度，對(duì)于冷卻輥的橫向的研磨改變了研磨方式的情況。圖6(c)所示的2段的分割研磨方式是研磨單元全部相同，但通過(guò)使兩端為2段的研磨來(lái)增大兩端的接觸面積(研磨面積)，對(duì)于冷卻輥的橫向的研磨改變了研磨方式的情況。另外，圖7U)所示的分割研磨方式是將在冷卻輥的橫向改變了研磨方式的圖4(a)所示的研磨部件沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置了多段(圖7(a)中為2段的例子)的情況。15另外，圖7(b)所示的分割研磨方式是沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置了多個(gè)(圖7(b)中為2段的例子)研磨部件的情況，即，繼在冷卻輥的橫向改變了研磨方式的圖4(a)所示的研磨部件之后，為了使冷卻輥橫向的表面粗糙度均勻化，設(shè)置了在橫向上研磨方式?jīng)]有變化的研磨部件。另外，在配置多段研磨部件的情況下也只要根據(jù)冷卻輥在橫向的損傷程度來(lái)決定即可，研磨部件的配置的分布、分割和配置段數(shù)不限于圖68所示的研磨特性的分布、3部分的分割、2段。該情況下也可對(duì)冷卻輥的圓周面在線測(cè)定圓周面損傷程度，基于測(cè)定結(jié)果，使研磨部件一體性地與冷卻輥的圓周面連續(xù)或間歇地接觸，或者使各個(gè)研磨部件分別地與冷卻輥的圓周面連續(xù)或間歇地接觸。為了在研磨的劃分部分平穩(wěn)地改變研磨方式，也可以使研磨單元在冷卻輥橫向擺動(dòng)。而且，在本發(fā)明中，如圖3(c)所示，為了除去研磨后殘留在冷卻輥的圓周面的^:小研磨屑，而在研磨部件附近配置將冷卻輥的圓周面清潔化的裝置10時(shí)，從穩(wěn)定地制造磁特性優(yōu)異的非晶合金薄帶方面來(lái)考慮是優(yōu)選的。作為將冷卻輥的圓周面清潔化的裝置，可以采用氣體的噴吹和吸引、將布等直接壓附在冷卻輥圓周面、使用不含研磨材料的刷輥等。對(duì)于刷輥，與研磨單元同樣地優(yōu)選比冷卻輥的表面硬度軟且可耐受冷卻輥表面的摩擦的材質(zhì)，例如由樹(shù)脂纖維線材構(gòu)成的圓筒形狀的刷輥等。這樣，在本發(fā)明中，在薄帶的制造中研磨分離非晶合金薄帶之后的冷卻輥的圓周面時(shí)，在冷卻輥的橫向根據(jù)冷卻輥的損傷程度改變研磨狀態(tài)進(jìn)行研磨，因此可以使冷卻輥的圓周面長(zhǎng)時(shí)間地總是維持在健全的狀態(tài)。實(shí)施例(實(shí)施例1)^使用圖3所示的方式的單輥裝置，將以原子。/。計(jì)的Fe:80.5%、Si:6.5%、B:12%、C:1%的Fe系熔融合金從170mmx0.85mm的矩形狹縫狀的噴嘴開(kāi)口噴出到冷卻輥直徑為1198mm、輥寬度250mm的冷卻輥表面，制造了板寬170mm、板厚約30jim的Fe系非晶合金薄帶。另外，使制造時(shí)的冷卻輥圓周速度為21m/秒。表l示出了制造條件。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>研磨部件在本發(fā)明例1中使用外徑①100mm、長(zhǎng)度250mm的樹(shù)脂制的刷輥，如圖4(a)所示，將刷輥的中央部50mm設(shè)為研磨粗糙度弁1000,將刷輥的兩端100mm設(shè)為研磨粗糙度弁500。另外，在本發(fā)明例2中，設(shè)為2段的分割研磨，如圖6(a)所示，在第l段的中央使用外徑①100mm、長(zhǎng)度100mm、研磨粗糙度#1000的樹(shù)脂制的刷輥，在第2段的兩端使用外徑巾100mm、長(zhǎng)度100mm、研磨粗糙度#500的樹(shù)脂制的刷輥。第1段和第2段的刷在距冷卻輥端75mm100mm之間重復(fù)，在重復(fù)部的第l段和第2段的刷的間隔設(shè)為50mm。本發(fā)明例3也是2段的分割研磨，如圖6(c)所示，在第l段的兩端使用外徑①100mm、長(zhǎng)度100mm、研磨粗糙度#1000的樹(shù)脂制的刷輥，在第2段使用外徑①100mm、長(zhǎng)度250mm、研磨粗糙度#1000的樹(shù)脂制的刷輥。另外，第l段和第2段的刷的間隔設(shè)為50mm。另外，本發(fā)明例4為2段的研磨，如圖7(b)所示，在第l段使用將中央部50mm設(shè)為研磨粗糙度#1000、兩端部的100mm設(shè)為研磨粗糙度#500的外徑①100mm、長(zhǎng)度250mm的樹(shù)脂制的刷輥，在第2段使用具有可連續(xù)地供給新的研磨面的才幾構(gòu)的寬度250mm、研磨粗糙度#1000的研磨紙，第1段和第2段的研磨單元的間隔設(shè)為200mm。另外，在本發(fā)明例1~4中使用的刷輥的密度均相同。作為比較例，在比較例1中，使用了在冷卻輥橫向研磨特性相同的外徑①100mm、長(zhǎng)度250mm、研磨粗糙度#1000的樹(shù)脂制的刷輥。另外，在比較例2中，使用具有可連續(xù)地供給新的研磨面的機(jī)構(gòu)的寬度250mm、研磨粗糙度#1000的研磨紙。從制造的非晶合金薄帶的制造結(jié)束位置提取樣品，沿板橫向分割來(lái)測(cè)定磁特性，對(duì)中央部和薄帶端部的磁特性進(jìn)行了比較。磁特性的測(cè)定是對(duì)提取的Fe系非晶合金薄帶樣品(寬度25mmx長(zhǎng)度120mm)經(jīng)360。Cxl小時(shí)的熱處理之后用SST(SingleSheetTester)裝置測(cè)定鐵損(1.3T、50Hz)。其結(jié)果一并示于表l中。從表l所示的結(jié)果可知，在本發(fā)明例14中，在冷卻輥的橫向根據(jù)冷卻輥的損傷程度改變研磨狀態(tài)進(jìn)行研磨，因此，可長(zhǎng)時(shí)間地將冷卻輥的圓周面維持在健全的狀態(tài)，其結(jié)果，不存在薄帶中央部和薄帶端部的凌失損差，可得到良好的非晶合金薄帶。另一方面可知，在比較例1~2中，在冷卻輥的橫向沒(méi)有改變研磨狀態(tài)，因此不能將冷卻輥的圓周面維持在健全的狀態(tài)，冷卻輥的接觸端部(薄帶端部)的損傷變大，結(jié)果薄板端部的鐵損劣化。從表l所示的結(jié)果可知，在本發(fā)明中，可長(zhǎng)時(shí)間、穩(wěn)定地批量生產(chǎn)磁特性優(yōu)異的Fe系非晶合金薄帶。(實(shí)施例2)使用圖3(a)和圖3(b)所示的方式的單輥裝置、將以原子％計(jì)的Fe:80.5%、Si:6.5%、B:12%、C:1%的Fe系熔融合金從170mmx0.85mm以及106mmx0.85mm的矩形狹縫狀的噴嘴開(kāi)口噴出到冷卻輥直徑1198mm、輥寬度250mm的冷卻輥表面，制造了板寬170mm、板厚約30fim的Fe系非晶合金薄帶以及板寬106mm、板厚約30nm的Fe系非晶合金薄帶。另外，制造時(shí)的冷卻輥圓周速度設(shè)為21m/秒。從制造的非晶合金薄帶的制造結(jié)束位置提取樣品，在板橫向分割來(lái)測(cè)定磁特性，對(duì)中央部和薄帶端部的磁特性進(jìn)行比較。磁特性的測(cè)定是對(duì)提取的Fe系非晶合金薄帶樣品(寬度25mmx長(zhǎng)度120mm)經(jīng)360'Cxl小時(shí)的熱處理之后用SST(SingleSheetTester)裝置測(cè)定4失損(1.3T、50Hz)。表2示出制造條件和測(cè)定結(jié)果。另外，表2所示的研磨部件1和研磨部件2依次沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置。表2區(qū)分No.制造條件鐵損(W/kg)研磨部件1研磨部件2研磨長(zhǎng)度L板寬(mm)制造時(shí)間(分鐘)中央部端部本發(fā)明例刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#500研磨紙粗糙度#10000.2170280.0930.1022刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#800研磨紙粗糙度弁iooo0.2106430.0950.0873刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#500研磨紙粗糙度#10000.3170250.0940.0894刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#800研磨紙粗糙度#10000.3106440.0930.0965刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#150刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#8000.2170250.0820.0836刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#150刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#8000.3170230.0810.079比較例刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#500研磨紙粗糙度#10000.1170260.0950.1628刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#800研磨紙粗糙度#10000.1106380.0930.1529刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#涵刷輥(樹(shù)脂)粗糙度#8000,1170220.0950.17710研磨紙粗糙度#1000研磨紙粗糙度#10000.1170230.1030.19811研磨紙粗糙度#1000研磨紙粗糙度#10000.2170220.1010.15212研磨紙粗糙度#1000無(wú)0.3170200.1020.154從表2所示的結(jié)果來(lái)看，在本發(fā)明例16中，配置不同的研磨部件，并且使接觸長(zhǎng)度(研磨長(zhǎng)度)L為0.2%以上，因此可長(zhǎng)時(shí)間地將冷卻輥的19圓周面維持在健全的狀態(tài)，其結(jié)果，不存在薄帶中央部與薄帶端部的鐵損差，可得到良好的非晶合金薄帶。另一方面，在比較例79中，雖然配置不同的研磨部件，但接觸長(zhǎng)度為0.1%，因此不能將冷卻輥的圓周面維持在健全的狀態(tài)，冷卻輥的接觸端部(薄帶端部)的損傷變大，結(jié)果薄帶端部的鐵損劣化。在比較例1011中，使用了相同的研磨部件，因此即使使接觸長(zhǎng)度(研磨長(zhǎng)度)L從0.1。/。增大為0.2%,研磨效率也差，因此不能防止冷卻輥的接觸端部(薄帶端部)的損傷，薄帶端部的鐵損劣化。另外，在比較例12中，只有研磨單元l，因此即使使接觸長(zhǎng)度(研磨長(zhǎng)度)L為0.3%，也不能防止冷卻輥的接觸端部(薄帶端部)的損傷，薄帶端部的鐵損劣化。從表2所示的結(jié)果可知，根據(jù)本發(fā)明，可長(zhǎng)時(shí)間、穩(wěn)定地批量生產(chǎn)磁特性優(yōu)異的Fe系非晶合金薄帶。產(chǎn)業(yè)上的可利用性如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在非晶合金薄帶的制造中，以在線方式研磨在冷卻輥的橫向損傷程度不同的冷卻輥的圓周面，可長(zhǎng)時(shí)間地在冷卻輥的橫向?qū)⑵渚S持在健全的狀態(tài)，其結(jié)果可穩(wěn)定地批量生產(chǎn)磁特性優(yōu)異的Fe系非晶合金薄帶。本發(fā)明中表示數(shù)值范圍的"以上"和"以下，，均包括本數(shù)。權(quán)利要求1、一種非晶合金薄帶的制造方法，向高速旋轉(zhuǎn)中的冷卻輥圓周面噴射熔融金屬并使其急冷凝固來(lái)制造非晶合金薄帶，該制造方法的特征在于，在上述薄帶的制造過(guò)程中使用研磨部件對(duì)剝離該薄帶之后的冷卻輥的圓周面進(jìn)行研磨時(shí)，對(duì)冷卻輥的圓周面一邊在橫向上根據(jù)表面性狀改變研磨方法一邊進(jìn)行連續(xù)或間歇地研磨。2、根據(jù)權(quán)利要求l所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，在上述研磨中，利用并列地配置的研磨部件來(lái)研磨冷卻輥的在橫向上分割的區(qū)域。3、根據(jù)權(quán)利要求l所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，在冷卻輥的圓周方向階段性地進(jìn)行上述研磨的一部分或全部。4、根據(jù)權(quán)利要求l所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，對(duì)于上述研磨方法，利用研磨特性不同的至少兩個(gè)研磨部件來(lái)改變研磨方法。5、根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，作為上述研磨部件，組合由在樹(shù)脂纖維線材中編入磨粒而成的研磨材料構(gòu)成的圓筒形狀的刷輥、研磨墊、研磨紙、研磨帶中的任意兩種來(lái)進(jìn)行研磨。6、根據(jù)權(quán)利要求l所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，改變上述研磨方法的要素為研磨部件的材質(zhì)、形狀、研磨粗糙度、硬度、密度(每單位面積的研磨材料的數(shù)量)、接觸面積、擠壓力中的任一個(gè)。7、根據(jù)權(quán)利要求1~6的任一項(xiàng)所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，在上述研磨中，一邊將研磨特性不同的至少兩個(gè)研磨部件沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向配置，并且使其以冷卻輥的圓周的0.2%以上的長(zhǎng)度與該冷卻輥的圓周面接觸，一邊進(jìn)行研磨。8、根據(jù)權(quán)利要求l所述的非晶合金薄帶的制造方法，其特征在于，在上述研磨結(jié)束之后對(duì)冷卻輥進(jìn)行清潔化。9、一種非晶合金薄帶的制造裝置，是向高速旋轉(zhuǎn)中的冷卻輥圓周面噴射熔融金屬并使其急冷凝固來(lái)制造非晶合金薄帶的裝置，其特征在于，在制造出的薄帶剝離的位置與熔融金屬的噴射位置之間，在該冷卻輥外周配置了在橫向上改變了研磨方法的研磨部件。10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的非晶合金薄帶的制造裝置，其特征在于，上述研磨部件在冷卻輥的橫向上分割地設(shè)置。11、根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的非晶合金薄帶的制造裝置，其特征在于，上述研磨部件將由在樹(shù)脂纖維線材中編入磨粒而成的研磨材料構(gòu)成的圓筒形狀的刷輥、研磨墊、研磨紙、研磨帶中的至少一種以上組合的研磨部件。12、根據(jù)權(quán)利要求9~11的任一項(xiàng)所述的非晶合金薄帶的制造裝置，其特征在于，在上述研磨中，將研磨特性不同的至少兩個(gè)研磨部件在冷卻輥橫向的一部分或全部上沿冷卻輥的旋轉(zhuǎn)方向配置，并且使該研磨部件以冷卻輥的圓周的0.2%以上的長(zhǎng)度與冷卻輥的圓周面接觸而配置。13、根據(jù)權(quán)利要求l所述的非晶合金薄帶的制造裝置，其特征在于，在上述研磨部件的配置位置的緊后方配置了對(duì)冷卻輥進(jìn)行清潔化的清潔化機(jī)構(gòu)。全文摘要本發(fā)明涉及在向高速旋轉(zhuǎn)中的冷卻輥圓周面噴射熔融金屬并使其急冷凝固來(lái)制造非晶合金薄帶時(shí)在該薄帶的制造過(guò)程中以在線方式研磨冷卻輥表面的方法及其裝置，其中，在使用研磨部件對(duì)剝離了該薄帶之后的冷卻輥的圓周面進(jìn)行研磨時(shí)，對(duì)冷卻輥的圓周面一邊在橫向上根據(jù)表面性狀改變研磨方法一邊進(jìn)行連續(xù)或間歇地研磨。文檔編號(hào)B22D11/06GK101678443SQ20088001509公開(kāi)日2010年3月24日申請(qǐng)日期2008年4月16日優(yōu)先權(quán)日2007年5月8日發(fā)明者今井武,尾崎茂克申請(qǐng)人:新日本制鐵株式會(huì)社