專(zhuān)利名稱(chēng)：一種數(shù)控單晶硅專(zhuān)用磨床的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及數(shù)控機(jī)床自動(dòng)化領(lǐng)域，具體為一種數(shù)控單晶硅專(zhuān)用磨床。
(二)
背景技術(shù)：
現(xiàn)有數(shù)控單晶硅磨床，其工作原理采用端面金剛石砂輪滾磨磨削方式，其 金剛石砂輪的磨損量比較大，導(dǎo)致金剛石砂輪的使用壽命比較短，且其磨削效 率低，磨削精度低，導(dǎo)致其成品的廢品率高。
(三) 發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種數(shù)控單晶硅專(zhuān)用磨床，其可以延長(zhǎng) 金剛石砂輪的使用壽命，且其磨削效率高，磨削精度高，成品質(zhì)量得到提高。
其技術(shù)方案是這樣的其包括床身、工作臺(tái)、底座、頭架、尾架，所述工 作臺(tái)安裝于所述床身的前部的滑動(dòng)導(dǎo)軌上，所述底座安裝于所述床身后部，所 述底座上安裝有金剛石砂輪、砂輪架，金剛石砂輪套裝于砂輪架主軸的輸出端 上，其特征在于所述金剛石砂輪外圓表面為磨削面，所述工作臺(tái)上安裝有兩 只四爪自定心夾具。
其進(jìn)一步特征在于所述頭架、尾架安裝于所述工作臺(tái)上，所述兩只四爪 自定心夾具分別安裝在所述頭架、尾架的主軸上，所述砂輪架主軸與所述頭架 主軸和所述尾架主軸平行，進(jìn)給拖板通過(guò)直線(xiàn)導(dǎo)軌安裝在所述底座上，砂輪架 安裝于進(jìn)給拖板上，砂輪電機(jī)安裝于所述砂輪架上，砂輪電機(jī)通過(guò)皮帶連接砂 輪架主軸的輸入端，單晶硅工件支承于兩只四爪自定心夾具之間。
本實(shí)用新型的上述結(jié)構(gòu)中，由于金剛石砂輪的外圓面為磨削面，且金剛石 砂輪直徑較大，在同樣磨削量情況下，單位金剛石砂粒所切余的單晶硅量較小， 故金剛石砂輪的壽命較長(zhǎng)；保持同樣單位金剛石砂粒所切余的單晶硅量情況下， 可提高磨削效率；其砂輪線(xiàn)速度較滾磨磨削線(xiàn)速度大，可提高單晶硅表面的磨 削光潔度，磨削精度高，成品質(zhì)量得到提高。
(四)
圖1為本實(shí)用新型主視圖示意圖； 圖2為本實(shí)用新型主視圖的俯視圖。 具體實(shí)施方式
見(jiàn)圖l、圖2，本實(shí)用新型包括床身l、工作臺(tái)2、底座3，工作臺(tái)2安裝于 床身1的前部的滑動(dòng)導(dǎo)軌17上，底座3安裝于床身1后部，底座3上安裝有金 剛石砂輪9、砂輪架8，金剛石砂粒位于金剛石砂輪9外圓表面，金剛石砂輪9 套裝于砂輪架主軸18的輸出端上，工作臺(tái)2上安裝有兩只四爪自定心夾具6， 頭架4、尾架5安裝于工作臺(tái)2上，兩只四爪自定心夾具6分別安裝在頭架主軸 19、尾架主軸20的上，所述砂輪架主軸18與所述頭架主軸19和所述尾架主軸 20平行，進(jìn)給拖板7通過(guò)直線(xiàn)導(dǎo)軌15安裝在底座3上，砂輪架8安裝于進(jìn)給拖 板7上，砂輪電機(jī)16安裝于所述砂輪架8上，砂輪電機(jī)16通過(guò)皮帶連接金剛 石砂輪主軸18的輸入端，單晶硅工件10支承于兩只四爪自定心夾具6之間。 進(jìn)給拖板7通過(guò)伺服電機(jī)12、滾珠絲杠14作橫向進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，工作臺(tái)2通過(guò)伺服 電機(jī)ll、滾珠絲杠13作縱向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
權(quán)利要求1、一種數(shù)控單晶硅專(zhuān)用磨床，其包括床身、工作臺(tái)、底座、頭架、尾架，所述工作臺(tái)安裝于所述床身的前部的滑動(dòng)導(dǎo)軌上，所述底座安裝于所述床身后部，所述底座上安裝有金剛石砂輪、砂輪架，金剛石砂輪套裝于砂輪架主軸的輸出端上，其特征在于所述金剛石砂輪外圓表面為磨削面，所述工作臺(tái)上安裝有兩只四爪自定心夾具。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種數(shù)控單晶硅專(zhuān)用磨床，其特征在于所述頭架、 尾架安裝于所述工作臺(tái)上，所述兩只四爪自定心夾具分別安裝在所述頭架、尾 架的主軸上，所述砂輪架主軸與所述頭架主軸和所述尾架主軸平行，進(jìn)給拖板 通過(guò)直線(xiàn)導(dǎo)軌安裝在所述底座上，砂輪架安裝于進(jìn)給拖板上，砂輪電機(jī)安裝于 所述砂輪架上，砂輪電機(jī)通過(guò)皮帶連接砂輪架主軸的輸入端，單晶硅工件支承 于兩只四爪自定心夾具之間。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供了一種數(shù)控單晶硅專(zhuān)用磨床。其可以延長(zhǎng)金剛石砂輪的使用壽命，且其磨削效率高，磨削精度高，成品質(zhì)量得到提高。其技術(shù)方案是這樣的其包括床身、工作臺(tái)、底座，所述工作臺(tái)安裝于所述床身的前部的滑動(dòng)導(dǎo)軌上，所述底座安裝于所述床身后部，所述底座上安裝有金剛石砂輪、砂輪架，金剛石砂粒位于所述金剛石砂輪外圓表面，金剛石砂輪套裝于金剛石砂輪主軸的輸出端上，所述工作臺(tái)上安裝有兩只四爪自定心夾具。
文檔編號(hào)B24B19/22GK201279726SQ200820186660
公開(kāi)日2009年7月29日 申請(qǐng)日期2008年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月31日
發(fā)明者楊建良, 銘 辛 申請(qǐng)人:楊建良