專利名稱：硅片載體使用的掛具的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及硅片技術領域，是指硅片生產中在等離子真空鍍膜設 備中的硅片載體使用的掛具。
背景技術：
在太陽能電池和半導體的硅片生產中，需要在硅片上沉積氮化 硅。沉積氮化硅的工藝是將硅片盛入硅片載體上，再將硅片載體放入 等離子真空鍍膜設備內，再通入反應氣體在真空高溫中進行。
各個硅片盛入硅片載體的各個孔位(如36孔，25孔)時，首先 需要將掛具安裝到硅片載體的框架上以支撐各個硅片。掛具包括掛鉤
和擋片兩種，掛鉤包括鉤尖，每個硅片載體孔位通過多個掛鉤的鉤尖 用來支撐硅片，擋片用來定位硅片位置。如圖l示出了目前的掛具， 包括兩個支臂和連接兩個支臂的支撐部，支臂與支撐部形成U型的框 體，框體下方可具有掛鉤部件形成圖1 (a)或(b)所示的掛鉤，或 具有擋片部件形成圖l (c)或d所示的檔片。
在安裝掛具時，將掛具U型開口垂直方向向上放置，套入硅片載 體的框架，然后使用尖嘴鉗夾緊掛具兩個支臂的頂端，使得之支臂向 U型開口內彎曲，從而使掛具固定在硅片載體的框架上。
掛具安裝的精度影響到硅片能否盛入，是否會掉片，并直接影響 氮化硅的鍍膜質量。因此，需要掛具安裝精確，牢固，尤其掛鉤的各 個鉤尖要在一個平面上。但是，由于夾緊掛具之支臂時，尖嘴鉗所施 力的掛具支臂的位置是靠手工確認，因此難免出現不同的桂具之支臂 所施力位置不同，使得各個掛具安裝不正，鉤尖不在一個平面上。
另一方面，為了確保安裝的精度，對操作人員的要求比較高，使 得掛具的安裝過程比較耗時、耗力。

發(fā)明內容
有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種硅片載體上所使用的 掛具，以使掛具安裝到硅片載體時，安裝位置更為精確、更為快捷。 本發(fā)明提供的硅片載體使用的掛具，包括由兩個支臂和連接兩個
支臂的支撐部形成的u型框體，在所述每個支臂遠離支撐部的位置， 設置有朝向u形開口外側方向的作為緊固頭的凸起部。
其中，所述支臂遠離支撐部的位置為支臂遠離支撐部的頂端位置。
較佳的，在所述支臂凸起部與支撐部之間，與凸起部具有一定距 離的位置，設置有豁口。
可選的，所述害谷口設置在支臂朝向u形開口外側方向。
可選的，所述豁口"i殳置在支臂朝向U形開口內側方向。 所述掛具可以是在背向U型開口方向還連有掛鉤部的掛鉤或者有 擋片部的擋片。
由上可以看出，本發(fā)明掛具的支臂具有作為緊固頭的凸起部，安 裝掛具時，由于掛具支臂的凸起部與尖嘴鉗接觸受力，且所有掛具支 臂的凸起部在相同的位置，因此，由于受力位置相同，支臂向U型開 口內側彎曲的位置也基本相同，這樣可以使各個桂具安裝，掛鉤的下 端的鉤子的高度基本相同，使所有鉤尖平整位于一個平面上?？梢?， 本發(fā)明提高了掛具安裝的精確性，提高了掛具安裝質量。
并且，所述凸起部可以設置在支臂頂端位置，從而可以在使用尖 嘴鉗夾緊凸起部時，可以使用較小的力量施力或使尖嘴鉗鉗口相對移 動較小的距離，就可以使得U型開口的兩個支臂向內彎曲到預定形 狀。
并且，在掛具支臂上還可以設置豁口 ，設置豁口后，當兩支臂受 力向內彎曲時，會首先在該豁口位置進行彎曲，這樣可以使各個掛具 彎曲的位置更精確，從而使各個掛具的鉤尖更精確的基本位于 一 個平 面上。由上可以看出，由于安裝過程中不用像背景技術那樣再靠經驗去 確認所要夾緊的掛具支臂的施力位置，因此使得安裝過程更為方便， 更為快捷，大大地縮短了安裝時間，經過比較，使用本發(fā)明時，安裝
一個36孔硅片載體只需一個人1小時，而使用背景技術中描述的掛 具安裝時，不僅需要復雜的安裝工具，且安裝一個36孔硅片載體要 二個人半天時間。


圖l為目前掛具的示意圖；其中，(a)為雙掛鉤的掛具，(b) 為單掛鉤的掛具，(c)為雙擋片的掛具，(d)為單擋片的掛具；
圖2為支臂頂端設置有作為緊固頭的凸起部的掛具示意圖，其中， (a)為雙掛鉤的掛具，(b)為單掛鉤的掛具，(c)為雙擋片的掛 具，(d)為單擋片的掛具；
圖3為支臂上設置豁口的掛具示意圖；其中，(a)為豁口朝向U 型開口外側的掛具，(b)為窖谷口朝向U型開口內側的掛具；
圖4為本發(fā)明掛具安裝到硅片載體上的示意圖；其中，(a)為掛 具安裝在硅片載體示意圖；(b)為(a)圖中的局部放大圖的截面示 意圖。
具體實施例方式
如圖2示出了本發(fā)明的掛具。其中，本發(fā)明掛具包括框體，框體 上包括兩個支臂1和連接兩個支臂的支撐部2，支臂1與支撐部2將 框體形成U型。在每個支臂1遠離支撐部2的位置，設置有朝向U 形開口外側方向的凸起部3。
其中，如圖2所示，將凸起部3設置在支臂1遠離支撐部的頂端 位置，當凸起部3設置在支臂1頂端位置時，在使用尖嘴鉗夾緊凸起 部3時，可以使用較小的力量施力，使得U型開口的兩個支臂1向U 型開口內彎曲到預定形狀。
另外，如圖3所示，在所述支臂1的凸起部3與支撐部2之間，與凸起部3具有一定距離的位置還可以i殳置豁口 6。其中，該害谷口 6 的作用是用來實現支臂1彎曲時的定位，設置豁口6后，當兩支臂l 受力向內彎曲時，會首先在豁口 6位置進行彎曲，這樣可以使各個掛 具更精確的固定在硅片載體上。需要說明的是，豁口 6的位置應當保 證掛具安裝到硅片載體后該豁口 6與支撐部2的距離與硅片載體框架 的厚度一致。
其中，支臂1上所述的豁口可以如圖3-a所示設置在支臂1朝向 U形開口外側方向。豁口6可以是線性、三角形?；蛘?，支臂l上所 述豁口 6也可以如圖3-b所示設置在支臂l的面向U形開口內側方向， 當朝向內側時，豁口 6的開口角度最好為不小于90度，以使支臂1 能夠較大角度的彎曲。
另外，上面僅針對掛具框體進行了描述，在U型框體背向U型開 口方向還可連接有掛鉤部件4,從而使本發(fā)明掛具形成掛鉤作用。如 圖2-a和圖2-b分別示出了具有雙掛鉤和單掛鉤的掛具?；蛘撸赨 型框體背向U型開口方向連接有擋片部件5,從而使本發(fā)明掛具形成 擋片作用。如圖2-c和圖2-d分別示出了具有雙擋片和單擋片的掛具。 不難理解，才艮據需要，也可以在U型框體背向U型開口方向連接一 掛鉤部件4和一擋片部件5，此處不再贅述。
如圖4所示掛具安裝到硅片載體上的示意圖，當進行掛具安裝時， 將掛具的U型開口朝向硅片載體框體插入，使硅片載體框體位于U 型開口內，然后針對掛具的兩個支臂，用尖嘴鉗夾緊掛具支臂上的凸 起部，尖嘴鉗通過凸起部向兩個支臂施力，使兩個支臂向U型開口內 彎曲，固定在硅片載體上。
當尖嘴鉗進行夾緊時，尖嘴鉗僅與所述支臂凸起部相接觸，僅會 向凸起部施力，由凸起部作為受力點，將掛具兩支臂向U型開口內彎 曲。由于各個掛具受力點統(tǒng)一，因此安裝位置會統(tǒng)一。不僅如此，又 由于支臂上設置有豁口 ，因此U型支臂彎曲時會首先從所述豁口位置 進行彎曲，從而，使得各個掛具安裝的位置準確，更加統(tǒng)一整齊。
可見，由于安裝過程中尖嘴鉗僅與凸起部相接觸，因此不用像背景技術那樣再靠經驗去確認所要夾緊掛具的位置，使得安裝過程更為 方便，更為快捷，大大地縮短了安裝時間。
另一方面，由于所有掛具凸起部位置相同、豁口位置相同，因此， U型開口向內彎曲的位置也相同，這樣可以使各個掛具下端的掛鉤的 鉤子的高度相同，掛具安裝端正，使所有鉤尖平整位于一個平面上。 可見，本發(fā)明提高了桂具安裝的精確性。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明， 凡在本發(fā)明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等， 均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。
權利要求
1、一種硅片載體使用的掛具，包括由兩個支臂(1)和連接兩個支臂(1)的支撐部(2)形成的具有U型開口的框體，其特征在于，在所述每個支臂(1)遠離支撐部(2)的位置，設置有朝向U形開口外側方向的凸起部(3)。
2、 根據權利要求1所述的掛具，其特征在于，所述支臂(1 )遠 離支撐部(2)的位置為支臂(1 )遠離支撐部(2)的頂端位置。
3、 根據權利要求1或2所述的掛具，其特征在于，在凸起部(3 ) 與支撐(2)部之間的支臂(1)上，距離凸起部(3) —定距離的位 置設置有豁口 (6)。
4、 根據權利要求3所述的掛具，其特征在于，所述豁口 (6)設 置在支臂(l)的朝向U形開口的外側上。
5、 根據權利要求3所述的掛具，其特征在于，所述豁口 (6)設 置在支臂(1 )的朝向U形開口的內側上。
6、 根據權利要求1所述的掛具，其特征在于，所述掛具背向U 型開口方向還連接有掛鉤部件(4)。
7、 根據權利要求1所述的掛具，其特征在于，所述掛具背向U 型開口方向還連接有擋片部件(5)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種硅片載體使用的掛具，包括由兩個支臂和連接兩個支臂的支撐部形成的U型框體，在所述每個支臂遠離支撐部的位置，設置有朝向U形開口外側方向的作為緊固頭用的凸起部。使用本發(fā)明，可以使掛具安裝到硅片載體時，緊固頭受力使支臂彎曲，使得安裝會更為精確便捷。
文檔編號C23C16/513GK101532127SQ200810171738
公開日2009年9月16日 申請日期2008年10月24日 優(yōu)先權日2008年10月24日
發(fā)明者尤耀明 申請人:尤耀明