專利名稱：多節(jié)立式開合真空濺射離子鍍爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種多節(jié)立式開合真空濺射離子鍍爐，尤其是能將大口徑、超長度加工件進(jìn)行磁控濺射離子鍍的特殊真空濺射離子鍍爐。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)的問題所采用的技術(shù)方案是將整體爐分解為爐體上蓋、爐體、爐體底盤三大部分。爐體上蓋上設(shè)有懸掛自動(dòng)定位球體、球座、懸掛吊筒、拉筋、吊盤、靶芯、靶芯固定支架螺母、球座軌道、齒圈，加工工件。靶芯由靶芯固定支架螺帽固定不轉(zhuǎn)動(dòng)，用靶芯耐高溫密封材料進(jìn)行封閉；懸掛自動(dòng)定位球體內(nèi)安裝有懸掛吊筒，懸掛吊筒下端安裝有活動(dòng)拉筋和吊盤懸掛吊筒，懸掛吊筒下端安裝有活動(dòng)拉筋和吊盤，加工工件吊掛其上，加工工件隨著吊盤懸掛吊筒和懸掛自動(dòng)定位球體，在球座上，用轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪驅(qū)動(dòng)，在球座軌道上轉(zhuǎn)動(dòng)。爐體為立式開合爐體右扇和立式爐體左扇，由雙層爐壁焊接而成，立式開合爐體右扇安裝在爐體底盤上為固定扇，爐體底盤下設(shè)有爐體支架，立式爐體左扇為活動(dòng)開合扇，其上各扇的兩側(cè)上設(shè)有合爐密封板，在密封板的側(cè)邊設(shè)有數(shù)個(gè)緊固螺孔，上述為一節(jié)的造形和結(jié)構(gòu)，根據(jù)加工件長度的需要，可以多層上下連結(jié)為多層，在該開合左扇的一側(cè)設(shè)有軌道，軌道上放置有開合軌道車，開合油缸和可隨時(shí)開合的立式開合爐體左扇連接在一起，在立式開合爐體右扇和左扇上都設(shè)有上、下連接法蘭，連接法蘭上有多個(gè)緊固螺孔，在立式開合爐體左、右扇上設(shè)有多個(gè)水冷卻循環(huán)水道孔，爐體底盤為圓形，外沿邊上設(shè)有多個(gè)緊固螺孔，下邊有爐體支柱。在吊裝加工工件，卸出加工工件，清理維修爐體內(nèi)部時(shí)將該分體爐開啟，在進(jìn)行磁控濺射離子鍍的運(yùn)行時(shí)將應(yīng)連通的電器元件和應(yīng)通連的部件連接好后將該爐閉合為一體，呈圓筒形，各個(gè)閉合件之間用耐高溫密封材料和密封墊將其密封，用堅(jiān)固件通過螺孔將其全部密封，然后用真空泵使其爐內(nèi)真空，達(dá)到磁控濺射離子鍍的工藝要求。
本實(shí)用新型的有益效果是解決了大口徑、特長度加工工件的困惑，該爐可根據(jù)加工工件的長度增、減爐層，方便、實(shí)用，可節(jié)省大量資金，而且可以一爐多用，在真空高溫條件下進(jìn)行滲碳、滲鈦等多種工藝加工。


圖1本實(shí)用新型多節(jié)立式開合真空濺射離子鍍爐立體局部剖視圖圖2本實(shí)用新型多節(jié)立式開合真空濺射離子鍍爐爐體平面剖視圖圖3本實(shí)用新型多節(jié)立式開合真空濺射離子鍍爐爐體單節(jié)示意圖圖中 1、爐蓋2、懸掛自動(dòng)定位球體3、球座4、懸掛吊筒5、拉筋6、吊盤7、靶芯8、加工工件9、靶芯固定支架螺帽10、靶芯密封材料11、立式開合爐體右扇 12、立式開合爐體左扇13、雙層爐壁夾層 14、水冷卻循環(huán)水道孔15、開合油缸 16、開合軌道車17、軌道 18、爐體底盤
19、爐體支架20、緊固螺孔21、連接螺栓22、合爐密封板23、球座軌道24、爐壁25、齒圈26、連接法蘭27、緊固螺孔28、水循環(huán)進(jìn)水管29、出水管 30、轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪
權(quán)利要求1.一種多節(jié)立式開合真空濺射離子鍍爐，在爐體底盤上裝有立式開合爐體右扇和可以開合的立式開合的爐體左扇及上蓋，其特征是爐體底盤(18)為圓形，其下有爐體支架(19)，連結(jié)螺栓(21)將立式開合爐體右扇(11)的第一節(jié)和爐體底盤(18)連接，立式開合爐體右扇(11)的第二節(jié)和第一節(jié)的上連接法蘭通過緊固螺孔(20)用緊固件相連接，立式開合爐體左扇(12)和立式開合爐體右扇(11)相同相對應(yīng)，開合油缸(15)，開合軌道車(16)控制立式開合爐體左扇(12)的開合，通過左、右兩扇上兩側(cè)的合爐密封板(22)上的數(shù)個(gè)緊固螺孔(27)用緊固螺栓密封，上蓋(1)上安裝懸掛自動(dòng)定位球體(2)、靶芯固定支架螺帽(9)將靶芯(7)固定在加工工件(8)內(nèi)，懸掛吊筒(4)擰固在懸掛自動(dòng)定位球體(2)上，球座(3)在齒圈(25)、轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪(30)的作用下繞球底軌道(23)轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)加工工件(8)在爐體內(nèi)繞靶芯(7)轉(zhuǎn)動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種多節(jié)立式開合真空濺射離子鍍爐,它由爐體底座、爐體、上蓋三部分組成,整體為圓形,底座和爐體右扇第一節(jié)的下連接法蘭連接,上連接法蘭和第二節(jié)連接,多節(jié)相連增高,爐體左扇和右扇相對應(yīng),由開合油缸和軌道車控制開合,縫隙間有耐高溫密封墊進(jìn)行密封緊固,上蓋上裝有懸掛自動(dòng)定位球體,靶芯固定支架螺帽,自動(dòng)定位靶芯固定不動(dòng),球座帶動(dòng)懸掛吊筒、拉筋、吊盤和加工工件轉(zhuǎn)動(dòng),該爐的特征在于:在磁控濺射離子鍍?nèi)抗に嚥蛔?保證質(zhì)量的情況下不需增高廠房對大口徑,超長度加工件進(jìn)行離子鍍、滲碳、滲鈦等多種工藝加工,節(jié)省巨大資金,有利于保護(hù)爐內(nèi)各種電器元件和設(shè)施,便于清爐,便于裝爐、出爐。
文檔編號C23C14/34GK2520334SQ02202419
公開日2002年11月13日 申請日期2002年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月24日
發(fā)明者李忠河 申請人:李忠河