一種小片ogs高效激光蝕刻裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及激光蝕刻機(jī)設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種小片OGS高效激光蝕刻
目.ο
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的OGS激光蝕刻機(jī)在蝕刻加工前，均需通過(guò)移動(dòng)待加工件，使得待加工件上的兩個(gè)Mark標(biāo)置于CCD相機(jī)的視野范圍內(nèi)，在CCD識(shí)別待加工件的相對(duì)位置后，然后由工控機(jī)控制運(yùn)動(dòng)平臺(tái)將其移動(dòng)至透鏡下方的工作中心，并控制激光器和掃描振鏡完成線路的蝕刻加工。
[0003]由此不難看出，定位需要多次移動(dòng)XY軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，浪費(fèi)大量時(shí)間，長(zhǎng)時(shí)間的頻繁運(yùn)動(dòng)也將影響設(shè)備的精度和穩(wěn)定性；需要購(gòu)置XY軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其機(jī)械結(jié)構(gòu)和運(yùn)動(dòng)控制均較為復(fù)雜，成本較高；在前一個(gè)待加工OGS沒(méi)有完成加工前，無(wú)法進(jìn)行下一片的上料等準(zhǔn)備工作，人工利用率和生產(chǎn)效率低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種無(wú)需XY軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，能夠高效完成激光加工工作的一種小片OGS高效激光蝕刻裝置。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種小片OGS高效激光蝕刻裝置，包括工件安置機(jī)構(gòu)、雙CCD抓標(biāo)機(jī)構(gòu)和掃描蝕刻機(jī)構(gòu)，所述工件安置機(jī)構(gòu)包括光學(xué)平臺(tái)、底座設(shè)置在光學(xué)平臺(tái)中心處的DD馬達(dá)以及中心處固定在DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)端的吸附平臺(tái)；所述雙CCD抓標(biāo)機(jī)構(gòu)包括X軸位移臺(tái)、Y軸位移臺(tái)、Z軸位移臺(tái)、兩臺(tái)CCD相機(jī)、兩個(gè)同軸光以及兩個(gè)棱鏡，所述Y軸位移臺(tái)由兩個(gè)對(duì)稱結(jié)構(gòu)組成，且分別固定在X軸位移臺(tái)兩端，Z軸位移臺(tái)同樣由兩個(gè)對(duì)稱結(jié)構(gòu)組成，且分別固定在兩Y軸位移臺(tái)近吸附平臺(tái)一端，所述兩個(gè)同軸光分別固定在Z軸位移臺(tái)上并與X軸位移臺(tái)平行，所述兩臺(tái)CCD相機(jī)固定于兩同軸光的遠(yuǎn)吸附平臺(tái)一偵牝所述兩棱鏡固定于兩同軸光的近吸附平臺(tái)一側(cè)；所述掃描蝕刻機(jī)構(gòu)包括激光器、振鏡和透鏡，所述激光器與振鏡的入光口連接，透鏡水平設(shè)置在振鏡掃描口下方中心處。
[0006]作為對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)角度恒定設(shè)為180°。
[0007]作為對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述透鏡掃描的工作面積大于待加工件的表面積。
[0008]作為對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述吸附平臺(tái)的吸附面積大于振鏡掃描面積的兩倍。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是，在一個(gè)工件蝕刻加工的同時(shí)，吸附平臺(tái)上的另一個(gè)工位可以同時(shí)完成上料操作。待前一個(gè)工件蝕刻完成后，工作人員啟動(dòng)開(kāi)始按鈕，DD馬達(dá)帶動(dòng)吸附平臺(tái)旋轉(zhuǎn)180°，將下一片工件傳送至激光蝕刻范圍內(nèi)，同時(shí)將已加工好的工件傳送至上下料工位；循環(huán)往復(fù)不斷生產(chǎn)，既消除了抓標(biāo)運(yùn)動(dòng)所需時(shí)間，大幅提升生產(chǎn)效率，同時(shí)提高了人工利用率，能完成普通激光蝕刻機(jī)近兩倍的產(chǎn)出，亦無(wú)需使用XY軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，降低了設(shè)備成本。
【附圖說(shuō)明】
[0010]下面結(jié)合附圖中的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0011]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖中:1、光學(xué)平臺(tái)，2、DD馬達(dá)，3、吸附平臺(tái)，4、X軸位移臺(tái)，5、Y軸位移臺(tái)，6、Z軸位移臺(tái)，7、CXD相機(jī)，8、同軸光，9、棱鏡，10、激光器，11、振鏡，12、透鏡，13、第一工件，14、第二工件。
【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖1所示，本實(shí)用新型的一種小片OGS高效激光蝕刻裝置，包括工件安置機(jī)構(gòu)、雙CCD抓標(biāo)機(jī)構(gòu)和掃描蝕刻機(jī)構(gòu)。
[0014]工件安置機(jī)構(gòu)包括光學(xué)平臺(tái)1、底座設(shè)置在光學(xué)平臺(tái)I中心處的DD馬達(dá)2以及中心處固定在DD馬達(dá)2旋轉(zhuǎn)端的吸附平臺(tái)3。其中，DD馬達(dá)2的旋轉(zhuǎn)角度恒定設(shè)為180°，且吸附平臺(tái)3的吸附面積大于振鏡11掃描面積的兩倍，這樣即可使得吸附平臺(tái)3可同時(shí)放置兩個(gè)工件，且前一個(gè)工位處于加工時(shí)，后一個(gè)工位可以進(jìn)行上下料工作。
[0015]雙CXD抓標(biāo)機(jī)構(gòu)包括X軸位移臺(tái)4、Y軸位移臺(tái)5、Z軸位移臺(tái)6、兩臺(tái)CXD相機(jī)7、兩個(gè)同軸光8以及兩個(gè)棱鏡9 ;Y軸位移臺(tái)5由兩個(gè)對(duì)稱結(jié)構(gòu)組成，且分別固定在X軸位移臺(tái)4兩端，Z軸位移臺(tái)6同樣由兩個(gè)對(duì)稱結(jié)構(gòu)組成，且分別固定在兩Y軸位移臺(tái)5近吸附平臺(tái)3 —端；兩個(gè)同軸光8分別固定在Z軸位移臺(tái)6上并與X軸位移臺(tái)4平行，兩臺(tái)CCD相機(jī)7固定于兩同軸光8的遠(yuǎn)吸附平臺(tái)3—側(cè)，兩棱鏡9固定于兩同軸光8的近吸附平臺(tái)3 —側(cè)。
[0016]掃描蝕刻機(jī)構(gòu)包括激光器10、振鏡11和透鏡12，激光器10與振鏡11的入光口連接，透鏡12水平設(shè)置在振鏡11掃描口下方中心處。
[0017]實(shí)施工作時(shí)，將第一工件13放置在振鏡11掃描的工作范圍內(nèi)，并使得第一工件13兩個(gè)對(duì)角上的Mark標(biāo)(圖未示)置于雙CXD相機(jī)7的視野范圍內(nèi)，此時(shí)，由CXD相機(jī)7同步抓取Mark標(biāo)并識(shí)別出第一工件13的相對(duì)位置，由工控機(jī)(圖未示)控制激光器10完成蝕刻加工；在第一工件13蝕刻加工的同時(shí)，吸附平臺(tái)3上可進(jìn)行上一個(gè)工件的下料工作和第二工件14的上料工作，待第一工件13完成蝕刻加工后，工作人員開(kāi)啟DD馬達(dá)2，使得吸附平臺(tái)3旋轉(zhuǎn)180°，將第二工件14送至加工范圍內(nèi)，然后完成第一工件13的下料工作和下一個(gè)工件的上料工作，照此即可循環(huán)生產(chǎn)，大幅提升小片OGS的生產(chǎn)效率，同時(shí)也無(wú)需XY軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，降低了設(shè)備成本。
[0018]本發(fā)實(shí)用新型的具體操作步驟如下:
[0019]1、根據(jù)振鏡掃描中心和待蝕刻工件的相關(guān)尺寸大致確定好待加工件的擺放位置，在吸附平臺(tái)上安放限位塊以保證每次上料時(shí)工件都基本上處于同一位置。
[0020]2、根據(jù)待加工件的位置，將2個(gè)CXD分別移動(dòng)至工件右上角和右下角兩個(gè)靶標(biāo)(Mark點(diǎn))上方，并鎖緊。
[0021]3、進(jìn)行CCD標(biāo)定，使得抓標(biāo)后控制軟件能夠準(zhǔn)確計(jì)算出工件的具體位置，并能控制振鏡精確完成圖形蝕刻。
[0022]4、上料，將待加工件放好后啟動(dòng)蝕刻系統(tǒng)，工件將被自動(dòng)吸附在吸附平臺(tái)上，并旋轉(zhuǎn)180°進(jìn)入到待加工位置。
[0023]5,DD馬達(dá)運(yùn)動(dòng)到位后，雙CXD同時(shí)抓取2個(gè)靶標(biāo)，計(jì)算出工件的具體位置，由工控機(jī)控制掃描蝕刻機(jī)構(gòu)完成蝕刻；蝕刻的同時(shí)，工作人員可以進(jìn)行第二片OGS的上料。
[0024]6、第一片蝕刻完成，且第二片上料完畢，由工作人員再次啟動(dòng)加工，第二片被自動(dòng)吸附在吸附平臺(tái)上，DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)180°，將第二片送入加工位置。DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)到位后，第一片被自動(dòng)松開(kāi)，便于工作人員取下已加工完成的工件，并放好第三片待加工件。如此循環(huán)往復(fù)，持續(xù)生產(chǎn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種小片OGS高效激光蝕刻裝置，包括工件安置機(jī)構(gòu)、雙CCD抓標(biāo)機(jī)構(gòu)和掃描蝕刻機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述工件安置機(jī)構(gòu)包括光學(xué)平臺(tái)、底座設(shè)置在光學(xué)平臺(tái)中心處的DD馬達(dá)以及中心處固定在DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)端的吸附平臺(tái)；所述雙CCD抓標(biāo)機(jī)構(gòu)包括X軸位移臺(tái)、Y軸位移臺(tái)、Z軸位移臺(tái)、兩臺(tái)CCD相機(jī)、兩個(gè)同軸光以及兩個(gè)棱鏡，所述Y軸位移臺(tái)由兩個(gè)對(duì)稱結(jié)構(gòu)組成，且分別固定在X軸位移臺(tái)兩端，Z軸位移臺(tái)同樣由兩個(gè)對(duì)稱結(jié)構(gòu)組成，且分別固定在兩Y軸位移臺(tái)近吸附平臺(tái)一端，所述兩個(gè)同軸光分別固定在Z軸位移臺(tái)上并與X軸位移臺(tái)平行，所述兩臺(tái)CCD相機(jī)固定于兩同軸光的遠(yuǎn)吸附平臺(tái)一側(cè)，所述兩棱鏡固定于兩同軸光的近吸附平臺(tái)一側(cè)；所述掃描蝕刻機(jī)構(gòu)包括激光器、振鏡和透鏡，所述激光器與振鏡的入光口連接，透鏡水平設(shè)置在振鏡掃描口下方中心處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小片OGS高效激光蝕刻裝置，其特征在于:所述DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)角度恒定設(shè)為180°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小片OGS高效激光蝕刻裝置，其特征在于:所述透鏡掃描的工作面積大于待加工件的表面積。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種小片OGS高效激光蝕刻裝置，其特征在于:所述吸附平臺(tái)的吸附面積大于振鏡掃描面積的兩倍。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種小片OGS高效激光蝕刻裝置，包括工件安置機(jī)構(gòu)、雙CCD抓標(biāo)機(jī)構(gòu)和掃描蝕刻機(jī)構(gòu)，工件安置機(jī)構(gòu)包括光學(xué)平臺(tái)、DD馬達(dá)和吸附平臺(tái)；在一個(gè)工件蝕刻加工的同時(shí)，吸附平臺(tái)上的另一個(gè)工位可以同時(shí)完成上料操作；DD馬達(dá)帶動(dòng)吸附平臺(tái)旋轉(zhuǎn)180°，將下一片工件傳送至激光蝕刻范圍內(nèi)，同時(shí)將已加工好的工件傳送至上下料工位。本實(shí)用新型既消除了抓標(biāo)運(yùn)動(dòng)所需時(shí)間，大幅提升生產(chǎn)效率，同時(shí)提高了人工利用率，能完成普通激光蝕刻機(jī)近兩倍的產(chǎn)出，亦無(wú)需使用XY軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，降低了設(shè)備成本。
【IPC分類】B23K26-082, B23K26-70, B23K37-04, B23K26-362
【公開(kāi)號(hào)】CN204565427
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520187819
【發(fā)明人】劉磊, 段光前
【申請(qǐng)人】武漢先河激光技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年3月31日