載臺(tái)和切割方法
【專利摘要】一種載臺(tái)和切割方法，該載臺(tái)包括臺(tái)體和多個(gè)活塞，該臺(tái)體包括臺(tái)面，臺(tái)面中設(shè)置有多個(gè)開孔，該多個(gè)活塞分別設(shè)置于至少部分多個(gè)開孔中，且被配置為可沿開孔的側(cè)壁相對(duì)臺(tái)面往復(fù)運(yùn)動(dòng)。該載臺(tái)和切割方法在使用中可減小或消除膜狀待切割物在被切割時(shí)局部的形變，減少或避免在切割過(guò)程中切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
【專利說(shuō)明】
載臺(tái)和切割方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本公開的實(shí)施例涉及一種載臺(tái)和切割方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在工業(yè)生產(chǎn)中，經(jīng)常需要對(duì)待切割物進(jìn)行切割，在切割時(shí)需要用到用于承載待切割物的載臺(tái)。
[0003]激光切割是利用物質(zhì)激發(fā)產(chǎn)生的激光進(jìn)行切割的工藝，當(dāng)激光接觸待切割物時(shí)，能夠迅速使待切割物融化，再根據(jù)預(yù)設(shè)路徑移動(dòng)完成切割。激光切割相對(duì)于傳統(tǒng)的切割方法，切割精度更高，縫隙更小，能夠節(jié)省材料，所以激光切割已經(jīng)越來(lái)越廣泛地應(yīng)用到工業(yè)生產(chǎn)中。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本公開的實(shí)施例提供一種載臺(tái)，包括臺(tái)體和多個(gè)活塞，所述臺(tái)體包括臺(tái)面，所述臺(tái)面中設(shè)置有多個(gè)開孔，所述多個(gè)活塞分別設(shè)置于至少部分所述多個(gè)開孔中，且被配置為可沿所述開孔的側(cè)壁相對(duì)所述臺(tái)面往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0005]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)，還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被配置為可分別驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)活塞沿所述開孔的側(cè)壁相對(duì)所述臺(tái)面往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0006]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括連接部和傳動(dòng)部，所述活塞和所述傳動(dòng)部通過(guò)所述連接部連接。
[0007]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)，還包括動(dòng)力設(shè)備，其中，所述動(dòng)力設(shè)備與所述傳動(dòng)部連接，并可驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部。
[0008]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)中，所述動(dòng)力設(shè)備包括電動(dòng)機(jī)、燃油發(fā)動(dòng)機(jī)或手動(dòng)動(dòng)力設(shè)備中的一種或其組合。
[0009]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)中，所述活塞由彈性材料制成。
[0010]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)中，所述活塞與所述開孔的側(cè)壁為緊密配合。[0011 ]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)中，所述多個(gè)開孔的尺寸相同。
[0012]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)中，所述多個(gè)開孔呈矩陣分布。
[0013]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)，還包括氣壓傳感器，其中，所述氣壓傳感器設(shè)置于至少一個(gè)所述開孔的側(cè)壁上且位于所述活塞與所述臺(tái)面之間的位置或所述活塞接近所述臺(tái)面的一側(cè)。
[0014]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)，還包括控制器，其中，所述控制器被配置為接收所述氣壓傳感器檢測(cè)并發(fā)送的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)，并比較所述實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)，從而控制所述活塞的移動(dòng)方向。
[0015]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)，還包括輸入設(shè)備和輸出設(shè)備，其中，所述輸入設(shè)備被配置為輸入所述預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù);所述輸出設(shè)備被配置為輸出所述實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)。
[0016]本公開的實(shí)施例還提供一種采用本公開任一實(shí)施例所述載臺(tái)的薄膜切割方法，包括:在所述臺(tái)體的所述臺(tái)面上設(shè)置膜狀待切割物，其中，所述待切割物至少覆蓋部分所述開孔;驅(qū)動(dòng)所述活塞沿所述開孔的側(cè)壁向遠(yuǎn)離所述臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)，以將所述膜狀待切割物吸附在所述臺(tái)面上;切割所述待切割物。
[0017]例如，本公開實(shí)施例提供的切割方法，還包括:在所述臺(tái)面上設(shè)置所述待切割物之前，驅(qū)動(dòng)所述活塞沿所述開孔的側(cè)壁向接近所述臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)以進(jìn)行初始化。
[0018]例如，在本公開實(shí)施例提供的切割方法中，在切割所述待切割物的過(guò)程中，切割的路徑經(jīng)過(guò)所述待切割物覆蓋的開孔中的部分。
[0019]例如，本公開實(shí)施例提供的切割方法，還包括:當(dāng)所述開孔中的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)小于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述活塞沿所述開孔的側(cè)壁向接近所述臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)；當(dāng)所述開孔中的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)大于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述活塞沿所述開孔的側(cè)壁向遠(yuǎn)離所述臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)。
【附圖說(shuō)明】
[0020]為了更清楚地說(shuō)明本公開實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或相關(guān)技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅涉及本公開的一些實(shí)施例，并非對(duì)本公開的限制。
[0021]圖1是本公開實(shí)施例提供的一種載臺(tái)的側(cè)視示意圖之一；
[0022]圖2是本公開實(shí)施例提供的一種載臺(tái)的側(cè)視示意圖之二；
[0023]圖3是本公開實(shí)施例提供的一種載臺(tái)的俯視示意圖；以及
[0024]圖4是本公開實(shí)施例提供的一種切割方法的流程圖。
[0025]附圖標(biāo)記
[0026]10-載臺(tái)；100-臺(tái)體；110-臺(tái)面；120-開孔；130-活塞；200-驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；210-連接部；220-傳動(dòng)部;300-動(dòng)力設(shè)備;400-氣壓傳感器;500-控制器;600-輸入設(shè)備；700-輸出設(shè)備；800-膜狀待切割物。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面將結(jié)合附圖，對(duì)本公開實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述參考在附圖中示出并在以下描述中詳述的非限制性示例實(shí)施例，更加全面地說(shuō)明本公開的示例實(shí)施例和它們的多種特征及有利細(xì)節(jié)。應(yīng)注意的是，圖中示出的特征不是必須按照比例繪制。本公開省略了已知材料、組件和工藝技術(shù)的描述，從而不使本公開的示例實(shí)施例模糊。所給出的示例僅旨在有利于理解本公開示例實(shí)施例的實(shí)施，以及進(jìn)一步使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠?qū)嵤┦纠龑?shí)施例。因而，這些示例不應(yīng)被理解為對(duì)本公開的實(shí)施例的范圍的限制。
[0028]除非另外特別定義，本公開使用的技術(shù)術(shù)語(yǔ)或者科學(xué)術(shù)語(yǔ)應(yīng)當(dāng)為本公開所屬領(lǐng)域內(nèi)具有一般技能的人士所理解的通常意義。此外，在本公開各個(gè)實(shí)施例中，相同或類似的參考標(biāo)號(hào)表不相同或類似的構(gòu)件。
[0029]在例如制作柔性顯示面板的過(guò)程中，需要對(duì)柔性膜狀待切割物進(jìn)行切割。在例如激光切割的過(guò)程中，可采用負(fù)壓吸附的方式將膜狀待切割物固定在載臺(tái)上，但負(fù)壓吸附的方式容易使膜狀待切割物變形，進(jìn)而導(dǎo)致在切割過(guò)程中切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
[0030]本公開的實(shí)施例提供的載臺(tái)和切割方法，可減小或消除膜狀待切割物在被切割時(shí)局部的形變，減少或避免在切割過(guò)程中切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
[0031]圖1是本公開實(shí)施例提供的一種載臺(tái)的側(cè)視示意圖之一，圖2是本公開實(shí)施例提供的一種載臺(tái)的側(cè)視示意圖之二，圖3是本公開實(shí)施例提供的一種載臺(tái)的俯視示意圖。
[0032]如圖1、圖2和圖3所示，本公開的實(shí)施例提供一種載臺(tái)10，包括臺(tái)體100和多個(gè)活塞130。臺(tái)體100包括臺(tái)面110，臺(tái)面110中設(shè)置有多個(gè)開孔120。多個(gè)活塞130分別設(shè)置于至少部分多個(gè)開孔120中且被配置為可沿開孔120的側(cè)壁相對(duì)臺(tái)面110往復(fù)運(yùn)動(dòng)，由此當(dāng)開孔的在臺(tái)面110的開口被薄膜(膜狀待切割物的示例)覆蓋時(shí)，可以調(diào)節(jié)相應(yīng)的開孔120中的氣壓。
[0033]例如，載臺(tái)10可以由鋁等金屬或大理石等耐高溫?zé)o機(jī)材質(zhì)制成，以使載臺(tái)10能夠承受例如激光切割產(chǎn)生的高溫。
[0034]例如，每個(gè)開孔120中均設(shè)置有活塞130。
[0035]例如，各個(gè)開孔120貫通臺(tái)體100。
[0036]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200被配置為可分別驅(qū)動(dòng)多個(gè)活塞130沿開孔120的側(cè)壁相對(duì)臺(tái)面110往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0037]例如，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200也可以被配置為可驅(qū)動(dòng)臺(tái)體100相對(duì)活塞130往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0038]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200包括連接部210和與連接部210相連接的傳動(dòng)部220;活塞130和傳動(dòng)部220通過(guò)連接部210連接，由此可被傳動(dòng)部220驅(qū)動(dòng)。
[0039]例如，連接部210與傳動(dòng)部220通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)或齒輪結(jié)構(gòu)等連接。傳動(dòng)部220例如為傳動(dòng)軸。
[0040]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10還可包括動(dòng)力設(shè)備300，該動(dòng)力設(shè)備300在工作中可與傳動(dòng)部220連接，由此可驅(qū)動(dòng)該傳動(dòng)部220。
[0041 ]例如，傳動(dòng)部220與動(dòng)力設(shè)備300通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)或齒輪結(jié)構(gòu)等連接，由此動(dòng)力設(shè)備300可驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部220。
[0042]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10中，動(dòng)力設(shè)備300包括電動(dòng)機(jī)、燃油發(fā)動(dòng)機(jī)或手動(dòng)動(dòng)力設(shè)備中的一種或其組合。電動(dòng)機(jī)例如為步進(jìn)電機(jī)，可通過(guò)調(diào)整步進(jìn)電機(jī)被施加的脈沖信號(hào)調(diào)整步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)角度、轉(zhuǎn)動(dòng)速度和轉(zhuǎn)動(dòng)方向。
[0043]例如，動(dòng)力設(shè)備300可帶動(dòng)傳動(dòng)部220運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)部220可帶動(dòng)連接部210運(yùn)動(dòng)，連接部210進(jìn)而可帶動(dòng)活塞130運(yùn)動(dòng)。
[0044]例如，通過(guò)改變動(dòng)力設(shè)備300的運(yùn)動(dòng)方向(例如電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向)，可改變傳動(dòng)部220、連接部210的運(yùn)動(dòng)方向，進(jìn)而改變活塞130的運(yùn)動(dòng)方向，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)活塞130沿開孔120的側(cè)壁相對(duì)臺(tái)面110往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0045]例如，如圖1和圖2所示，活塞130通過(guò)連接部210組成一個(gè)整體，在動(dòng)力設(shè)備300和傳動(dòng)部220的帶動(dòng)下同步運(yùn)動(dòng)，也就是說(shuō)在同一時(shí)刻所有活塞130處于開孔120中相同的位置，并可同步沿開孔120的側(cè)壁向接近或遠(yuǎn)離臺(tái)面110的方向運(yùn)動(dòng)。
[0046]需要說(shuō)明的是，本公開的實(shí)施例包括但不僅限于活塞130通過(guò)連接部210組成一個(gè)整體的情況。也可以是每個(gè)活塞130由一套獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和動(dòng)力設(shè)備驅(qū)動(dòng)，也就是說(shuō)每個(gè)活塞130分別由一套與其對(duì)應(yīng)的連接部、傳動(dòng)部和動(dòng)力設(shè)備驅(qū)動(dòng)，這樣可以實(shí)現(xiàn)每個(gè)活塞130的分別運(yùn)動(dòng)，靈活調(diào)整每個(gè)活塞130的位置，由此在工作中可更精確地控制該活塞130所在的開孔中的氣壓。
[0047]例如，活塞130為實(shí)心活塞，實(shí)心活塞是指活塞130在接近臺(tái)面110的表面和遠(yuǎn)離臺(tái)面110的表面之間沒(méi)有連通的孔或氣道，以保證活塞130的密閉性。
[0048]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10中，活塞130可以由彈性材料制成。例如，由彈性材料制成的活塞130可更好地保證活塞130與開孔120側(cè)壁的密閉性。
[0049]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10中，活塞130與開孔120的側(cè)壁為緊密配合。
[0050]例如，活塞130與開孔120的側(cè)壁為緊密配合是指活塞130與開孔120的側(cè)壁之間不漏氣或基本不漏氣，以保證當(dāng)膜狀待切割物800被設(shè)置在臺(tái)面110上時(shí)，膜狀待切割物800、開孔120的側(cè)壁和活塞130共同組成一個(gè)密閉的腔體，從而保證當(dāng)活塞130沿開孔120的側(cè)壁運(yùn)動(dòng)時(shí)可改變?cè)撉惑w的氣壓。
[0051]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10中，多個(gè)開孔120的尺寸相同，其截面例如可以均為圓形、橢圓形、方形等。
[0052]例如，在本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10中，多個(gè)開孔120呈矩陣/陣列分布，可以分布在幾乎整個(gè)臺(tái)面或者僅占據(jù)部分臺(tái)面。
[0053]例如，活塞130可設(shè)置為可拆卸的，以方便活塞130的維護(hù)和替換。例如，可根據(jù)膜狀待切割物的尺寸和切割路徑在開孔120中靈活設(shè)置活塞130，在膜狀待切割物尺寸較小時(shí)可節(jié)省活塞130的數(shù)量。
[0054]例如，開孔120為圓柱形。例如，圓柱形的開孔120便于活塞130的安裝和拆卸。
[0055]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10還包括氣壓傳感器400，該氣壓傳感器400設(shè)置于至少一個(gè)開孔120中，例如設(shè)置在該開孔120的側(cè)壁上且位于活塞130與臺(tái)面110之間的位置或活塞130接近臺(tái)面的一側(cè)。
[0056]例如，如圖1所示，氣壓傳感器400設(shè)置在活塞130接近臺(tái)面110的一側(cè)。例如，如圖2所示，氣壓傳感器400設(shè)置于開孔120的側(cè)壁上且位于活塞130與臺(tái)面110之間的位置。又例如，氣壓傳感器400設(shè)置于開孔120的側(cè)壁上且位于活塞130往復(fù)運(yùn)動(dòng)中可到達(dá)的最接近臺(tái)面110的位置與臺(tái)面110之間的位置。這樣設(shè)置的氣壓傳感器400，可測(cè)量在工作過(guò)程中膜狀待切割物800、開孔120的側(cè)壁和活塞130共同組成的腔體中的實(shí)際氣壓。
[0057]需要說(shuō)明的是，本公開的實(shí)施例包括但不局限于圖1或圖2所示的情形，也可以在每個(gè)活塞130上或每個(gè)開孔120的側(cè)壁上均設(shè)置氣壓傳感器400，以獲取每個(gè)密閉腔體中的氣壓，結(jié)合上文介紹的每個(gè)活塞130單獨(dú)驅(qū)動(dòng)的方式和下文介紹的控制器500實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)密閉腔體中的氣壓的精確控制，進(jìn)而使膜狀待切割物均勻地被吸附在載臺(tái)100的臺(tái)面110上，以減小膜狀待切割物800的形變。
[0058]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10，還可包括控制器500。該控制器500例如與氣壓傳感器400、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200或動(dòng)力設(shè)備300等通過(guò)有線或無(wú)線方式信號(hào)連接。氣壓傳感器400可向控制器500發(fā)送在工作實(shí)時(shí)測(cè)量的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)，控制器500被配置為接收氣壓傳感器400發(fā)送的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)，并比較實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)(或稱為參考?xì)鈮簲?shù)據(jù))，從而控制活塞130的移動(dòng)方向。
[0059]例如，預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)包括控制器500中存儲(chǔ)的歷史數(shù)據(jù)或者人工輸入的數(shù)據(jù)。
[0060]例如，氣壓傳感器400和控制器500通過(guò)無(wú)線通訊(例如藍(lán)牙或無(wú)線局域網(wǎng))或有線通訊傳輸數(shù)據(jù)。
[0061]例如，控制器500和動(dòng)力設(shè)備300通過(guò)無(wú)線通訊(例如藍(lán)牙或無(wú)線局域網(wǎng))或有線通訊傳輸數(shù)據(jù)。
[0062]例如，在切割過(guò)程中，當(dāng)密閉腔體中的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)小于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)時(shí)，控制器500向動(dòng)力設(shè)備300發(fā)送增壓信號(hào)，動(dòng)力設(shè)備300進(jìn)而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200驅(qū)動(dòng)活塞130沿開孔120的側(cè)壁向接近臺(tái)面110的方向運(yùn)動(dòng)，以增大密閉腔體中的氣壓；當(dāng)密閉腔體中的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)大于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)時(shí)，控制器500向動(dòng)力設(shè)備300發(fā)送減壓信號(hào)，動(dòng)力設(shè)備300進(jìn)而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200驅(qū)動(dòng)活塞130沿開孔120的側(cè)壁向遠(yuǎn)離臺(tái)面110的方向運(yùn)動(dòng)，以減小密閉腔體中的氣壓。
[0063 ] 例如，控制器500可以通過(guò)FPGA、DSP、單片機(jī)等信號(hào)處理器實(shí)現(xiàn)。
[0064]例如，控制器500可以包括處理器和存儲(chǔ)器，處理器執(zhí)行存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的軟件程序?qū)崿F(xiàn)比較實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)以及向動(dòng)力設(shè)備300發(fā)送增壓或減壓信號(hào)的功能，進(jìn)而控制活塞130的移動(dòng)方向。
[0065]例如，本公開實(shí)施例提供的載臺(tái)10還可包括輸入設(shè)備600和輸出設(shè)備700，輸入設(shè)備600被配置為輸入預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù);輸出設(shè)備700被配置為輸出實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)。
[0066]例如，輸入設(shè)備600可以為觸控屏、鍵盤或鼠標(biāo)等設(shè)備。例如，輸出設(shè)備700可以為顯示屏、信號(hào)燈、打印機(jī)、聲音或震動(dòng)提示設(shè)備等。
[0067]例如，輸入設(shè)備600與控制器500通過(guò)無(wú)線通訊(例如藍(lán)牙或無(wú)線局域網(wǎng))或有線通訊傳輸數(shù)據(jù)。
[0068]例如，輸出設(shè)備700與控制器500通過(guò)無(wú)線通訊(例如藍(lán)牙或無(wú)線局域網(wǎng))或有線通訊傳輸數(shù)據(jù)。
[0069]例如，輸入設(shè)備600可以方便操作者根據(jù)不同的膜狀待切割物的情況(例如膜狀待切割物的材料、大小、形狀等)靈活輸入預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)。
[0070]例如，輸出設(shè)備700可以輸出預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)、實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)以及預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)與實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)之差，使操作者直觀地了解載臺(tái)10的工作狀況。
[0071 ]例如，接下來(lái)示例性地介紹載臺(tái)10的工作過(guò)程。
[0072]如圖1所示，在把膜狀待切割物800(例如柔性基板)設(shè)置在載臺(tái)10的臺(tái)面110上之前，控制器500通過(guò)有線或無(wú)線通訊向動(dòng)力設(shè)備300發(fā)送初始化信號(hào)，響應(yīng)于該初始化信號(hào)，動(dòng)力設(shè)備300帶動(dòng)傳動(dòng)部220運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)部220帶動(dòng)連接部210運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)活塞130沿開孔120的側(cè)壁向接近于臺(tái)面110的方向運(yùn)動(dòng)，并使活塞130停留在靠近臺(tái)面110的初始化位置，初始化位置例如為活塞130在開孔120中往復(fù)運(yùn)動(dòng)過(guò)程中最靠近臺(tái)面110的位置，此時(shí)，開孔120內(nèi)的氣壓與外界大氣壓相同(例如為I個(gè)大氣壓)。
[0073]如圖2所示，將膜狀待切割物800鋪設(shè)在載臺(tái)10的臺(tái)面110上由此覆蓋了臺(tái)面中開孔120的開口，膜狀待切割物800、開孔120的側(cè)壁以及活塞130組成密閉的腔體。操作者根據(jù)膜狀待切割物800的材料、大小及形狀信息確定預(yù)設(shè)氣壓，并通過(guò)輸入設(shè)備600輸入該預(yù)設(shè)氣壓(該預(yù)設(shè)氣壓例如小于外界大氣壓)，輸入設(shè)備600將該預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)發(fā)送給控制器500。氣壓傳感器400測(cè)量此時(shí)該密閉腔體內(nèi)的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)，并將該實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)通過(guò)有線或無(wú)線通訊發(fā)送給控制器500，控制器500比較預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)和實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)，判斷實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)大于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)，控制器500向動(dòng)力設(shè)備300發(fā)送減壓信號(hào)，動(dòng)力設(shè)備300進(jìn)而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200驅(qū)動(dòng)活塞130沿開孔120的側(cè)壁向遠(yuǎn)離臺(tái)面110的方向運(yùn)動(dòng)，減小密閉腔體中的氣壓，將膜狀待切割物吸附在臺(tái)面110上。例如，在活塞130運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，氣壓傳感器400實(shí)時(shí)向控制器500發(fā)送實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)，控制器500實(shí)時(shí)向輸出設(shè)備700發(fā)送預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)和實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)，輸出設(shè)備700實(shí)時(shí)輸出預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)和實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)。當(dāng)密閉腔體中的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)小于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)時(shí)，控制器500向動(dòng)力設(shè)備300發(fā)送增壓信號(hào)，動(dòng)力設(shè)備300進(jìn)而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)200驅(qū)動(dòng)活塞130沿開孔120的側(cè)壁向接近臺(tái)面110的方向運(yùn)動(dòng)，以增大密閉腔體中的氣壓。通過(guò)減壓和增壓的循環(huán)實(shí)現(xiàn)密閉腔體內(nèi)實(shí)際氣壓的閉環(huán)控制，直到實(shí)際氣壓等于預(yù)設(shè)氣壓。此時(shí)，控制器500向動(dòng)力設(shè)備發(fā)送氣壓調(diào)節(jié)完成信號(hào)，響應(yīng)于該氣壓調(diào)節(jié)完成信號(hào)，動(dòng)力設(shè)備300停止運(yùn)動(dòng)。
[0074]如圖3所示，沿切割線810對(duì)膜狀待切割物800進(jìn)行切割，在整個(gè)切割過(guò)程中，動(dòng)力設(shè)備300不再運(yùn)動(dòng)，以使活塞130保持靜止?fàn)顟B(tài)。例如，切割線810經(jīng)過(guò)被膜狀待切割物800覆蓋的部分通孔120，當(dāng)切割至某個(gè)通孔120的邊緣時(shí)，由于膜狀待切割物800被貫穿，使得對(duì)應(yīng)于該通孔120的密閉腔體與外界大氣連通，該通孔120附近的膜狀待切割物800處于自然伸展?fàn)顟B(tài)，減小或消除了因吸附造成的局部形變，進(jìn)而避免了切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
[0075]圖4是本公開實(shí)施例提供的一種切割方法的流程圖。如圖4所示，本公開的實(shí)施例還提供一種采用本公開任一實(shí)施例提供載臺(tái)的薄膜切割方法，包括如下步驟:
[0076]步驟S10:驅(qū)動(dòng)活塞沿開孔的側(cè)壁向接近臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)以進(jìn)行初始化；
[0077]步驟S20:在臺(tái)體的臺(tái)面上設(shè)置膜狀待切割物，待切割物至少覆蓋部分開孔；
[0078]步驟S30:驅(qū)動(dòng)活塞沿開孔的側(cè)壁向遠(yuǎn)離臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)，以將膜狀待切割物吸附在臺(tái)面上；
[0079]步驟S40:切割待切割物。
[0080]例如，步驟SlO也可以在每次切割完成后進(jìn)行。例如，當(dāng)活塞處于接近于臺(tái)面的位置，活塞的運(yùn)動(dòng)足以使密閉腔體中的實(shí)際氣壓等于預(yù)設(shè)氣壓時(shí)，也可以省略步驟S10。
[0081]例如，在本公開實(shí)施例提供的切割方法中，在切割待切割物的過(guò)程中，切割的路徑經(jīng)過(guò)待切割物覆蓋的開孔中的部分。
[0082]例如，本公開實(shí)施例提供的切割方法，還可包括:當(dāng)實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)小于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)時(shí)，驅(qū)動(dòng)活塞沿開孔的側(cè)壁向接近臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)；當(dāng)實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)大于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)時(shí)，驅(qū)動(dòng)活塞沿開孔的側(cè)壁向遠(yuǎn)離臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)。
[0083]本公開的實(shí)施例提供的載臺(tái)和切割方法，可減小或消除膜狀待切割物在被切割時(shí)局部的形變，減少或避免在切割過(guò)程中切割線變寬、切割精度下降等工藝不良。
[0084]雖然上文中已經(jīng)用一般性說(shuō)明及【具體實(shí)施方式】，對(duì)本公開作了詳盡的描述，但在本公開實(shí)施例基礎(chǔ)上，可以對(duì)之作一些修改或改進(jìn)，這對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見(jiàn)的。因此，在不偏離本公開精神的基礎(chǔ)上所做的這些修改或改進(jìn)，均屬于本公開要求保護(hù)的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種載臺(tái)，包括: 臺(tái)體，所述臺(tái)體包括臺(tái)面，所述臺(tái)面中設(shè)置有多個(gè)開孔； 多個(gè)活塞，所述多個(gè)活塞分別設(shè)置于至少部分所述多個(gè)開孔中，且被配置為可沿所述開孔的側(cè)壁相對(duì)所述臺(tái)面往復(fù)運(yùn)動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載臺(tái)，還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被配置為可分別驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)活塞沿所述開孔的側(cè)壁相對(duì)所述臺(tái)面往復(fù)運(yùn)動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的載臺(tái)，其中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括連接部和與所述連接部相連接的傳動(dòng)部； 所述活塞和所述傳動(dòng)部通過(guò)所述連接部連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的載臺(tái)，還包括動(dòng)力設(shè)備，其中，所述動(dòng)力設(shè)備與所述傳動(dòng)部連接，并可驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的載臺(tái)，其中，所述動(dòng)力設(shè)備包括電動(dòng)機(jī)、燃油發(fā)動(dòng)機(jī)或手動(dòng)動(dòng)力設(shè)備中的一種或其組合。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載臺(tái)，其中，所述活塞由彈性材料制成。7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的載臺(tái)，其中，所述活塞與所述開孔的側(cè)壁為緊密配合。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載臺(tái)，其中，所述多個(gè)開孔的尺寸相同。9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的載臺(tái)，其中，所述多個(gè)開孔呈矩陣分布。10.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的載臺(tái)，還包括氣壓傳感器，其中，所述氣壓傳感器設(shè)置于至少一個(gè)所述開孔的側(cè)壁上且位于所述活塞與所述臺(tái)面之間的位置或所述活塞接近所述臺(tái)面的一側(cè)。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的載臺(tái)，還包括控制器，其中，所述控制器被配置為接收所述氣壓傳感器檢測(cè)并發(fā)送的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)，并比較所述實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)，從而控制所述活塞的移動(dòng)方向。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的載臺(tái)，還包括輸入設(shè)備和輸出設(shè)備，其中， 所述輸入設(shè)備被配置為輸入所述預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)； 所述輸出設(shè)備被配置為輸出所述實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)。13.—種采用如權(quán)利要求1所述的載臺(tái)的薄膜切割方法，包括: 在所述臺(tái)體的所述臺(tái)面上設(shè)置膜狀待切割物，其中，所述待切割物至少覆蓋部分所述開孔； 驅(qū)動(dòng)所述活塞沿所述開孔的側(cè)壁向遠(yuǎn)離所述臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)，以將所述膜狀待切割物吸附在所述臺(tái)面上； 切割所述待切割物。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的切割方法，還包括: 在所述臺(tái)面上設(shè)置所述待切割物之前，驅(qū)動(dòng)所述活塞沿所述開孔的側(cè)壁向接近所述臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)以進(jìn)行初始化。15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的切割方法，其中，在切割所述待切割物的過(guò)程中，切割的路徑經(jīng)過(guò)所述待切割物覆蓋的開孔中的部分。16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的切割方法，還包括: 當(dāng)所述開孔中的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)小于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述活塞沿所述開孔的側(cè)壁向接近所述臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)； 當(dāng)所述開孔中的實(shí)際氣壓數(shù)據(jù)大于預(yù)設(shè)氣壓數(shù)據(jù)時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述活塞沿所述開孔的側(cè)壁向遠(yuǎn)離所述臺(tái)面的方向運(yùn)動(dòng)。
【文檔編號(hào)】B23K26/38GK105921894SQ201610326162
【公開日】2016年9月7日
【申請(qǐng)日】2016年5月17日
【發(fā)明人】李曉虎, 孫中元, 王路, 朱海彬
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司