高效照明光控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明具體設(shè)及一種高效照明光控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，在玻璃內(nèi)部S維制作波導(dǎo)、光分歧器、方向性禪合器等的光集成電路的研 究盛行。作為運(yùn)樣的光集成電路的制作方法之一，有使用飛秒激光的方法。在該方法中，例 如，在飛秒激光的聚光點(diǎn)由雙光子吸收等來誘發(fā)沖擊，由此，能夠進(jìn)行使玻璃的折射率局部 變化的加工。另外，運(yùn)樣的激光向照射對象物的聚光照射，除了光集成電路的制作W外，還 廣泛使用在各種的激光加工裝置或者觀察激光的散射、反射的激光顯微鏡等中，運(yùn)里，在使 用從激光光源出射的一條激光束來進(jìn)行復(fù)雜的=維構(gòu)造的加工等的激光照射的情況下，存 在該加工工序中需要極長的時間的問題。作為該情況下的加工時間的縮短方法，考慮進(jìn)行 利用多個聚光點(diǎn)的多點(diǎn)同時加工的方法。實(shí)現(xiàn)運(yùn)樣的方法的最簡單的結(jié)構(gòu)是使用從多個激 光光源提供的多條激光束的結(jié)構(gòu)。然而，運(yùn)樣的結(jié)構(gòu)，若考慮到準(zhǔn)備多個激光光源的成本、 設(shè)置空間等，則是不現(xiàn)實(shí)的；所W亟需一種高效照明光控制方法W解決上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種高效照明光控制方法，該高效 照明光控制方法可W很好地解決上述問題。
[0004] 為達(dá)到上述要求，本發(fā)明采取的技術(shù)方案是：提供一種高效照明光控制方法，該高 效照明光控制方法包括照射條件取得步驟，其取得激光向空間光調(diào)制器的入射圖案、位于 激光從空間光調(diào)制器向聚光點(diǎn)的傳播路徑上的第1傳播介質(zhì)的第1折射率ni、W及位于比 第1傳播介質(zhì)更靠聚光點(diǎn)側(cè)處的第2傳播介質(zhì)的與第1折射率不同的第2折射率ri2作為 激光的照射條件；聚光條件設(shè)定步驟，其設(shè)定聚光照射來自空間光調(diào)制器的激光的聚光點(diǎn) 的個數(shù)St、W及關(guān)于St個聚光點(diǎn)S各個的聚光位置、聚光強(qiáng)度作為激光的聚光條件，其中， St是1W上的整數(shù)；像差條件導(dǎo)出步驟，其導(dǎo)出在激光從空間光調(diào)制器向聚光點(diǎn)S的傳播 中，由折射率相互不同的第1傳播介質(zhì)化及第2傳播介質(zhì)產(chǎn)生的像差條件；化及調(diào)制圖案設(shè) 計(jì)步驟，其考慮由像差條件導(dǎo)出步驟導(dǎo)出的像差條件來設(shè)計(jì)空間光調(diào)制器中所呈現(xiàn)的調(diào)制 圖案；通過按下按鍵，輸入數(shù)據(jù)；從按下按鍵時開始，計(jì)量規(guī)定時間；W及在背光點(diǎn)亮期間， 檢測出按鍵按下時，使背光焰滅規(guī)定時間；；調(diào)制圖案設(shè)計(jì)處理，在所述調(diào)制圖案的所述像 素j的所述相位值的變更中，通過基于表示所述聚光點(diǎn)S的所述聚光狀態(tài)的復(fù)振幅的相位 舉S:、考慮了所述像差條件的所述傳播函數(shù)巧巧'、W及在所述像素j的變更前的相位值賄解 析求得的值，來變更所述相位值。 陽0化]與現(xiàn)有技術(shù)相比，該高效照明光控制方法可W很好地解決現(xiàn)有的光控制程序成本 過高及空間設(shè)計(jì)方面的問題。
【附圖說明】
[0006] 此處所說明的附圖用來提供對本申請的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，在運(yùn) 些附圖中使用相同的參考標(biāo)號來表示相同或相似的部分，本申請的示意性實(shí)施例及其說明 用于解釋本申請，并不構(gòu)成對本申請的不當(dāng)限定。在附圖中：
[0007] 圖1是本發(fā)明的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008] 為使本申請的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，W下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例，對本 申請作進(jìn)一步地詳細(xì)說明。
[0009] 在W下描述中，對"一個實(shí)施例"、"實(shí)施例"、"一個示例"、"示例"等等的引用表明 如此描述的實(shí)施例或示例可W包括特定特征、結(jié)構(gòu)、特性、性質(zhì)、元素或限度，但并非每個實(shí) 施例或示例都必然包括特定特征、結(jié)構(gòu)、特性、性質(zhì)、元素或限度。另外，重復(fù)使用短語"根據(jù) 本申請的一個實(shí)施例"雖然有可能是指代相同實(shí)施例，但并非必然指代相同的實(shí)施例。
[0010] 為簡單起見，W下描述中省略了本領(lǐng)域技術(shù)人員公知的某些技術(shù)特征。 W11] 根據(jù)本申請的一個實(shí)施例，提供一種高效照明光控制方法，如圖1所示，包括照射 條件取得步驟，其取得激光向空間光調(diào)制器的入射圖案、位于激光從空間光調(diào)制器向聚光 點(diǎn)的傳播路徑上的第1傳播介質(zhì)的第1折射率ni、W及位于比第1傳播介質(zhì)更靠聚光點(diǎn)側(cè) 處的第2傳播介質(zhì)的與第1折射率不同的第2折射率ri2作為激光的照射條件；聚光條件設(shè) 定步驟，其設(shè)定聚光照射來自空間光調(diào)制器的激光的聚光點(diǎn)的個數(shù)St、W及關(guān)于St個聚光 點(diǎn)S各個的聚光位置、聚光強(qiáng)度作為激光的聚光條件，其中，St是1W上的整數(shù)；像差條件導(dǎo) 出步驟，其導(dǎo)出在激光從空間光調(diào)制器向聚光點(diǎn)S的傳播中，由折射率相互不同的第1傳播 介質(zhì)W及第2傳播介質(zhì)產(chǎn)生的像差條件；W及調(diào)制圖案設(shè)計(jì)步驟，其考慮由像差條件導(dǎo)出 步驟導(dǎo)出的像差條件來設(shè)計(jì)空間光調(diào)制器中所呈現(xiàn)的調(diào)制圖案；通過按下按鍵，輸入數(shù)據(jù)； 從按下按鍵時開始，計(jì)量規(guī)定時間；W及在背光點(diǎn)亮期間，檢測出按鍵按下時，使背光焰滅 規(guī)定時間；；調(diào)制圖案設(shè)計(jì)處理，在所述調(diào)制圖案的所述像素j的所述相位值的變更中，通 過基于表示所述聚光點(diǎn)S的所述聚光狀態(tài)的復(fù)振幅的相位舉S、考慮了所述像差條件的所述 傳播函數(shù)取/、W及在所述像素j的變更前的相位值帶解析求得的值，來變更所述相位值。
[0012] 根據(jù)本申請的一個實(shí)施例，提供一種高效照明光控制方法該高效照明光控制方法 的調(diào)制圖案設(shè)計(jì)步驟通過假定在空間光調(diào)制器中二維排列的多個像素，著眼于多個像素中 所呈現(xiàn)的調(diào)制圖案的1個像素的相位值的變更對聚光點(diǎn)的激光的聚光狀態(tài)所造成的影響， W使該聚光狀態(tài)接近于所期望的狀態(tài)的方式變更相位值，并針對調(diào)制圖案的全部像素進(jìn)行 運(yùn)樣的相位值的變更操作，從而設(shè)計(jì)調(diào)制圖案，并且在評價聚光點(diǎn)的聚光狀態(tài)時，針對光從 空間光調(diào)制器的調(diào)制圖案中的像素j向聚光點(diǎn)S的傳播。
[0013] W上實(shí)施例僅表示本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能理 解為對本發(fā)明范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā) 明構(gòu)思的前提下，還可W做出若干變形和改進(jìn)，運(yùn)些都屬于本發(fā)明保護(hù)范圍。因此本發(fā)明的 保護(hù)范圍應(yīng)該W權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種高效照明光控制方法，其特征在于，包括：照射條件取得步驟，其取得激光向空 間光調(diào)制器的入射圖案、位于激光從空間光調(diào)制器向聚光點(diǎn)的傳播路徑上的第1傳播介質(zhì) 的第1折射率ni、以及位于比第1傳播介質(zhì)更靠聚光點(diǎn)側(cè)處的第2傳播介質(zhì)的與第1折射 率不同的第2折射率1!2作為激光的照射條件；聚光條件設(shè)定步驟，其設(shè)定聚光照射來自空 間光調(diào)制器的激光的聚光點(diǎn)的個數(shù)St、以及關(guān)于^個聚光點(diǎn)s各個的聚光位置、聚光強(qiáng)度 作為激光的聚光條件，其中，^是1以上的整數(shù)；像差條件導(dǎo)出步驟，其導(dǎo)出在激光從空間 光調(diào)制器向聚光點(diǎn)s的傳播中，由折射率相互不同的第1傳播介質(zhì)以及第2傳播介質(zhì)產(chǎn)生 的像差條件；以及調(diào)制圖案設(shè)計(jì)步驟，其考慮由像差條件導(dǎo)出步驟導(dǎo)出的像差條件來設(shè)計(jì) 空間光調(diào)制器中所呈現(xiàn)的調(diào)制圖案；通過按下按鍵，輸入數(shù)據(jù)；從按下按鍵時開始，計(jì)量規(guī) 定時間；以及在背光點(diǎn)亮期間，檢測出按鍵按下時，使背光熄滅規(guī)定時間；調(diào)制圖案設(shè)計(jì)處 理，在所述調(diào)制圖案的所述像素j的所述相位值的變更中，通過基于表示所述聚光點(diǎn)s的所 述聚光狀態(tài)的復(fù)振幅的相位(|>S,考慮了所述像差條件的所述傳播函數(shù)(py、以及在所述像 素j的變更前的相位值吶解析求得的值，來變更所述相位值。2. 如權(quán)利要求1的高效照明光控制方法，其特征在于：調(diào)制圖案設(shè)計(jì)步驟通過假定在 空間光調(diào)制器中二維排列的多個像素，著眼于多個像素中所呈現(xiàn)的調(diào)制圖案的1個像素的 相位值的變更對聚光點(diǎn)的激光的聚光狀態(tài)所造成的影響，以使該聚光狀態(tài)接近于所期望的 狀態(tài)的方式變更相位值，并針對調(diào)制圖案的全部像素進(jìn)行這樣的相位值的變更操作，從而 設(shè)計(jì)調(diào)制圖案，并且在評價聚光點(diǎn)的聚光狀態(tài)時，針對光從空間光調(diào)制器的調(diào)制圖案中的 像素j向聚光點(diǎn)s的傳播。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種高效照明光控制方法，包括：照射條件取得步驟，其取得激光向空間光調(diào)制器的入射圖案、位于激光從空間光調(diào)制器向聚光點(diǎn)的傳播路徑上的第1傳播介質(zhì)的第1折射率n1、以及位于比第1傳播介質(zhì)更靠聚光點(diǎn)側(cè)處的第2傳播介質(zhì)的與第1折射率不同的第2折射率n2作為激光的照射條件；聚光條件設(shè)定步驟，其設(shè)定聚光照射來自空間光調(diào)制器的激光的聚光點(diǎn)的個數(shù)st、以及關(guān)于st個聚光點(diǎn)s各個的聚光位置、聚光強(qiáng)度作為激光的聚光條件，其中，st是1以上的整數(shù)。
【IPC分類】B23K26/064, B23K26/00
【公開號】CN105127588
【申請?zhí)枴緾N201510531127
【發(fā)明人】黃雷
【申請人】成都秋雷科技有限責(zé)任公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年8月26日